1.一種研磨用組合物,含有羥乙基纖維素、水和磨粒,
所述羥乙基纖維素的分子量為50萬以上且150萬以下,
所述羥乙基纖維素相對于所述磨粒的質(zhì)量比為0.0075以上且0.025以下。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨用組合物,含有5質(zhì)量%以上且20質(zhì)量%以下的所述磨粒。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的研磨用組合物,還含有氨。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的研磨用組合物,含有0.1質(zhì)量%以上且1.0質(zhì)量%以下的所述氨。