專利名稱：氣體漂浮裝置、氣體漂浮運(yùn)送裝置及熱處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及利用氣體使在以例如等離子體顯示板或太陽(yáng)能電池板為最終產(chǎn)品的制造工序中作為產(chǎn)品原材料或零件、中間產(chǎn)品等那樣的作為被處理材料的對(duì)象物予以漂浮的氣體漂浮裝置、靠漂浮進(jìn)行運(yùn)送的氣體漂浮運(yùn)送裝置及進(jìn)行熱處理的熱處理裝置，和利用氣體使作為被處理材料的對(duì)象物漂浮的氣體漂浮方法、靠漂浮進(jìn)行運(yùn)送的氣體漂浮運(yùn)送方法及熱處理方法。
背景技術(shù)：
在各種產(chǎn)品的制造過程中，利用各種熱處理，例如加熱及冷卻處理等。具體地說，利用干燥、燒固、封裝、排氣、退火、及其它熱處理來完成產(chǎn)品的作用多數(shù)人是知道的。
例如，為使熱處理的生產(chǎn)率提高，提出了如下的方案一邊用網(wǎng)帶運(yùn)送機(jī)、輥道等運(yùn)送被處理材料，一邊使其通過圓頂狀或隧道狀的加熱爐內(nèi)來進(jìn)行加熱處理。
圖19是用立體圖模式表示在電子元件等制造中一般性使用的電阻加熱的網(wǎng)帶運(yùn)送式熱處理裝置。在熱處理裝置1100中，將網(wǎng)帶1106連續(xù)地向一方向移動(dòng)到由稱作為用電阻加熱器塊1102圍成的加熱爐1104的金屬材料所形成的隧道內(nèi)。進(jìn)行熱處理的被處理材料1108載放在該網(wǎng)帶1106上并從供給部(輸入器)1110側(cè)向排出部(非輸入器)1112側(cè)移動(dòng)。被處理材料1108一邊通過加熱爐1104一邊以規(guī)定的溫度被加熱。當(dāng)網(wǎng)帶1106與被處理材料1108通過用加熱器塊1102圍成的區(qū)域時(shí)，一邊通過設(shè)有冷卻水管1114的冷卻爐1116一邊被冷卻。
對(duì)于熱處理使用的加熱爐，一般沿被處理材料的運(yùn)送方向而配置有使被處理材料加熱升溫的升溫區(qū)域、將升溫后的被處理材料的溫度維持成一定的恒溫區(qū)域、使被處理材料冷卻降溫的降溫區(qū)域，在被處理材料依次通過各個(gè)區(qū)域期間進(jìn)行規(guī)定的熱處理。通常，在升溫區(qū)域增加熱量，在恒溫區(qū)域僅與散熱量相平衡地增加熱量，在降溫區(qū)域被奪走熱量。
通常，作為用于電子元件熱處理的加熱爐的加熱方式，有利用電能的電阻加熱、使用燈照射的光電加熱、使用氣體燃料等燃燒熱的加熱，它們可單獨(dú)或組合使用。對(duì)于被處理材料那樣的熱負(fù)荷變動(dòng)較小，因此，為維持穩(wěn)定的熱處理?xiàng)l件，使用上述那樣的加熱方式，必需形成具有較大熱容量環(huán)境的熱處理空間，且還必需對(duì)構(gòu)成熱處理空間的熱處理裝置的內(nèi)部構(gòu)造物進(jìn)行加熱。
在上述那樣的現(xiàn)有的熱處理方法中，對(duì)于被處理材料的熱處理，在對(duì)被處理材料整體進(jìn)行均勻地升溫、恒溫、降溫處理時(shí)，必需較大的熱處理空間，則隨之損失的熱能也較大。為維持這種較大的熱處理空間，在投入熱處理裝置的熱能中，被處理材料的加熱處理所實(shí)際而有效地消耗的熱能(有效保有熱)的比例較小，故有大部分投入的熱能被無謂地消耗的問題，成為熱處理成本變高的原因。
如上所述，圖19是表示電子元件等熱處理所利用的一般性網(wǎng)帶運(yùn)送式的熱處理裝置內(nèi)部的局部剖切的立體圖。這種熱處理裝置中的熱能利用率低的原因是考慮為如下的理由。
圖20表示現(xiàn)有熱處理裝置的熱量估算圖。實(shí)際上，若將投入熱處理裝置的熱能設(shè)為100％來計(jì)算熱平衡，則在對(duì)運(yùn)送被處理材料的運(yùn)送機(jī)予以出入的隧道狀的代表性的加熱爐中，由于出入口始終開放，故供給到加熱爐內(nèi)的熱能會(huì)從出入口放出。這種從出入口放出的熱能，為所供給的熱能的30％左右。
另外，在熱處理裝置內(nèi)，除了被處理材料外，由于還必需對(duì)運(yùn)送機(jī)加熱，故為加熱運(yùn)送機(jī)而消耗大量的熱能。要加熱復(fù)雜的機(jī)構(gòu)裝置且熱容量也大的運(yùn)送機(jī)，必需大量的熱能。當(dāng)運(yùn)送機(jī)離開加熱爐時(shí)，在熱處理裝置內(nèi)，供給到運(yùn)送機(jī)的熱能就向外部放出，成為浪費(fèi)。運(yùn)送機(jī)每循環(huán)、出入于熱處理裝置，大量的熱能就供給到運(yùn)送機(jī)，未利用供給的熱能而向外部放出。用這種運(yùn)送機(jī)所帶走的熱能，也約為所供給的熱能的20％。
此外，在現(xiàn)有的熱處理技術(shù)中，從加熱爐的爐壁向外部放出的熱能的量也較大，供給的熱能的45％左右從爐壁放出。
這些結(jié)果，說明在現(xiàn)有的熱處理裝置中，在供給的熱能中，被處理材料的加熱處理可利用的熱能只不過是整體的5％以下，進(jìn)行極其非效率的熱處理是目前的狀況。
按本說明書，所謂「熱處理」，是被處理材料的升溫、恒溫、降溫或它們的組合的處理，也可是將被處理材料的溫度上升、下降或保持成一定，或是它們中任一組合的處理；因此，也可是對(duì)被處理材料增加熱量或從其吸收熱量或是它們各種組合(根據(jù)情況也可包含隔熱)中任一的處理。通過這種熱處理，被處理材料的至少一個(gè)特性(例如，水分保有率、重量、電阻、透過率、形成膜厚度或其均勻性、內(nèi)部應(yīng)力或變形、強(qiáng)度及組成等)按規(guī)定地變化。
例如，對(duì)被處理材料加熱的處理，包含以規(guī)定時(shí)間將被處理材料的溫度上升到規(guī)定的溫度的處理、以規(guī)定溫度將被處理材料的溫度維持規(guī)定時(shí)間的處理及將被處理材料置于規(guī)定的溫度變化條件的處理等。另外，從被處理材料奪走熱量的處理，包含當(dāng)未增加熱量時(shí)、即用自然冷卻的方法或由動(dòng)力吹冷風(fēng)、或者通過利用對(duì)規(guī)定的溫度可控制的熱量予以吸收的面或散熱的面等的強(qiáng)制冷卻的方法來使被處理材料的溫度下降的處理。
因此，本發(fā)明的課題是，例如在等離子體顯示板及太陽(yáng)能電池板的制造中，消除在對(duì)各種被處理材料進(jìn)行熱處理的情況下的上述的問題，從而提供一種將使用的氣體的量設(shè)成最小限度并使熱能的利用率提高、生產(chǎn)率提高及質(zhì)量進(jìn)一步提高的中間產(chǎn)品或提供最終產(chǎn)品的熱處理方法及作為可適用于熱處理裝置的對(duì)象物的被處理材料的漂浮裝置及氣體漂浮運(yùn)送裝置和漂浮方法及運(yùn)送方法。
尤其，本發(fā)明涉及熱處理裝置，例如可適用于等離子體顯示板及太陽(yáng)能電池制造用熱處理裝置的運(yùn)送方法與裝置，在投入熱處理裝置的全部熱能中，與使用網(wǎng)帶運(yùn)送或輥道運(yùn)送的運(yùn)送裝置不同，作為可盡量消除較大熱損失的簡(jiǎn)單的運(yùn)送裝置，提供一種通過使氣體的排出與運(yùn)送組合從而利用氣體使被處理材料漂浮(或上浮)進(jìn)行運(yùn)送的新型氣體漂浮運(yùn)送裝置。
然而，漂浮運(yùn)送被處理材料的基本的技術(shù)，現(xiàn)在是眾所周知的。另外，作為在熱處理空間內(nèi)漂浮基板進(jìn)行熱處理的裝置，如在日本發(fā)明專利公開1993年第29238號(hào)公報(bào)(申請(qǐng)人為夏普公司)所揭示的那樣，提出了如下的熱擴(kuò)散裝置在半導(dǎo)體器件制造工序中，將惰性氣體吹向半導(dǎo)體基板的兩面使基板漂游，并通過照射加熱光進(jìn)行半導(dǎo)體基板的加熱，同時(shí)，在規(guī)定的基板表面將不純物(摻雜物)熱擴(kuò)散。
但是，在考慮實(shí)用性的情況下，在高溫環(huán)境內(nèi)，僅以氣體的作用在規(guī)定的時(shí)間范圍內(nèi)按規(guī)定水平可靠地運(yùn)送基板后，使其穩(wěn)定停止這種漂浮運(yùn)送控制非常困難，另外，即使可實(shí)現(xiàn)它，利用氣體而將基板漂浮運(yùn)送用的氣體流量的控制裝置的成本變得昂貴是容易預(yù)想的。因此，對(duì)于確保熱處理的產(chǎn)品質(zhì)量并有效利用浪費(fèi)的熱能方面，要使氣體漂浮運(yùn)送適應(yīng)實(shí)際的制造工序，就希望提供一種更現(xiàn)實(shí)而價(jià)廉的、更具有可靠性的漂浮運(yùn)送方法及其所用的裝置。

發(fā)明內(nèi)容
在本發(fā)明的第1宗旨中，提供以亞音速～音速范圍內(nèi)的規(guī)定的排出速度將氣體從氣體排出裝置的氣體排出口向?qū)ο笪锱懦?、由此漂浮?duì)象物的氣體漂浮裝置。另外，本發(fā)明提供一種氣體漂浮方法，其特點(diǎn)是，在氣體排出裝置的氣體排出口以亞音速～音速范圍的規(guī)定的排出速度將作用著使對(duì)象物漂浮的力的氣體向?qū)ο笪锱懦?。另外，氣體排出裝置，是將作為向?qū)ο笪锱懦鰵怏w的開口部的氣體排出口設(shè)在其端部的構(gòu)件(例如噴嘴等)。從氣體供給裝置(例如包括泵、導(dǎo)管等)將氣體供給到如此的氣體排出裝置。
本發(fā)明是基于有關(guān)利用如下那樣氣體產(chǎn)生作用的力的考察。使用的氣體也可是任何的適當(dāng)?shù)臍怏w，例如，為形成處理空間或熱處理空間所需的環(huán)境氣體，可使用如空氣、氮?dú)?、氫氣、其它加工氣體等。
從噴嘴等的氣體排出裝置的氣體排出口排出的氣體，作用在與排出方向垂直的面上的力F(與在對(duì)象物或被處理材料上作用的漂浮力相對(duì)應(yīng))，與氣體的密度ρ、氣體的流量Q及氣體的排出速度V之間具有如下的關(guān)系式(1)F＝ρQV (1)即，為獲得同一的漂浮力F，當(dāng)要較少流量Q時(shí)，必需增大密度ρ或排出速度V。另外，氣體的密度ρ可用如下的實(shí)際存在的氣體的狀態(tài)方程式表現(xiàn)為式(2)ρ＝P/(zRT) (2)式中，P為氣體的壓力，z為壓縮系數(shù)，R為氣體常數(shù)，T為氣體的溫度(絕對(duì)溫度)。
因此，要增大氣體的密度ρ，就要增大氣體的壓力P，從而增大熱處理環(huán)境的壓力，或降低氣體的溫度T(絕對(duì)溫度)，從而降低熱處理環(huán)境的溫度，或者僅變更氣體種類的方法。通常，由于其它的制約，而決定了氣體的種類與熱處理環(huán)境的狀態(tài)，故不能改變壓力P與溫度T。例如，由于供給系統(tǒng)需要高壓配管，故對(duì)于壓力P不能大，另外，為設(shè)在常溫以下，而需冷卻裝置，故對(duì)于溫度T不能低。
因此，要增大漂浮力F，除了增大氣體的排出速度V以外無其他方法。然而，當(dāng)氣體的排出速度過大時(shí)，需對(duì)噴嘴等的氣體排出裝置下工夫，結(jié)果，氣體排出裝置變得昂貴。
研究這種情況的結(jié)果，要容易且價(jià)廉地使用氣體排出裝置，氣體的排出速度最好是約0.4～1.0馬赫數(shù)的范圍，即，是亞音速～音速(在常溫常壓約為340m/s左右)附近范圍的任一規(guī)定速度，尤其在常溫常壓下約為125m/s～340m/s較好，而在常溫常壓下，約為275m/s～325m/s更好，由此，我們知道，可將漂浮對(duì)象物所用的氣體的量設(shè)成最小限度。規(guī)定的速度既可是一定，也可是變化，可根據(jù)對(duì)象物的性質(zhì)(例如，重量、底面積等)考慮目的物的漂浮高度或漂浮量進(jìn)行適當(dāng)選擇。另外，即使急劇階梯狀地到達(dá)規(guī)定的速度，或直到到達(dá)規(guī)定的速度，也可逐漸速度從零增加到規(guī)定的速度。
另外，在將流速(或氣體的排出速度)V設(shè)成一定的情況下，規(guī)定氣體的流量的主要因素是作為氣體排出裝置的噴嘴等的氣體排出口的截面積(口徑)，但要獲得上述那樣的排出速度，圓形截面噴嘴的情況的直徑尺寸最好是例如0.3～1mm左右，另外，氣體排出口之前的壓力最好是例如0.1～0.9MPa。
在本發(fā)明的第2宗旨中，是為對(duì)被處理材料進(jìn)行熱處理而在熱處理空間內(nèi)利用氣體使被處理材料漂浮并沿規(guī)定方向進(jìn)行運(yùn)送的裝置，由氣體漂浮裝置與運(yùn)送裝置構(gòu)成，氣體漂浮裝置包括為使被處理材料上浮而對(duì)作用漂浮力的被處理材料的一部分吹氣體的氣體排出裝置；以及將氣體供給到氣體排出裝置的氣體供給裝置。
運(yùn)送裝置由與上浮的被處理材料的后端抵接且沿該規(guī)定方向移動(dòng)的抵接構(gòu)件所構(gòu)成，通過移動(dòng)抵接構(gòu)件而推壓被處理材料，由此，提供以將上浮的被處理材料向該規(guī)定方向移動(dòng)為特征的氣體漂浮運(yùn)送裝置。另外，被處理材料的數(shù)目是1個(gè)或多個(gè)，在多個(gè)的情況下，沿該規(guī)定方向多個(gè)排列配置即可，通常，這是一般性的。
在較佳的形態(tài)中，氣體漂浮裝置還包括具有氣體排出口的底板，在停止氣體排出的情況下，可將上浮的被處理材料載放在其上，根據(jù)需要，在底板上規(guī)定地處理被處理材料，如可進(jìn)行熱處理。這種處理結(jié)束后，可再排出氣體并將被處理材料運(yùn)送到規(guī)定的部位。然后，再停止氣體的排出，從而可在底板上載放被處理材料，再規(guī)定地進(jìn)行處理。
此外，本發(fā)明提供一種氣體漂浮運(yùn)送方法，是為對(duì)被處理材料進(jìn)行熱處理而在熱處理空間內(nèi)用氣體漂浮裝置并利用氣體而使被處理材料漂浮、再利用運(yùn)送裝置將其沿規(guī)定方向進(jìn)行運(yùn)送的方法，其特點(diǎn)是，氣體漂浮裝置，將由氣體供給裝置供給的氣體從氣體排出裝置吹向被處理材料的一部分而使被處理材料上浮，運(yùn)送裝置具有沿該規(guī)定方向移動(dòng)的抵接構(gòu)件，抵接構(gòu)件與上浮的被處理材料的后端抵接，通過移動(dòng)抵接構(gòu)件而推壓被處理材料，由此，將上浮的被處理材料向規(guī)定方向移動(dòng)。尤其，在較佳的形態(tài)中，將被處理材料載放在運(yùn)送構(gòu)件上，抵接構(gòu)件使運(yùn)送構(gòu)件向規(guī)定方向移動(dòng)。在較佳的形態(tài)中，氣體漂浮裝置還包括具有氣體排出口的底板，對(duì)通過氣體漂浮裝置的氣體排出而使被處理材料在底板上的漂浮、通過運(yùn)送裝置而使被處理材料的移動(dòng)以及通過氣體漂浮裝置的排出氣體的停止而使被處理材料在底板上的載放予以重復(fù)，并間歇地移動(dòng)被處理材料。
在本發(fā)明中，所謂「被處理材料」是指為進(jìn)行熱處理而在熱處理空間(通常，也可是同時(shí)能容納多個(gè)的對(duì)象的在水平方向?yàn)榧?xì)長(zhǎng)的空間)內(nèi)進(jìn)行運(yùn)送的對(duì)象，例如各種基板，尤其也可是板或薄板狀的。被處理材料，將具有被勁吹從氣體漂浮裝置排出的氣體而產(chǎn)生漂浮力的面設(shè)為其一部分。被處理材料的數(shù)目為1個(gè)或1個(gè)以上，不特別限定，通常也可是2～30個(gè)左右。具體的數(shù)目選擇，可根據(jù)業(yè)主考慮熱處理的種類、生產(chǎn)率、裝置的成本等來選擇。另外，本發(fā)明雖然不排除單一的被處理材料的熱處理，但從效率的觀點(diǎn)看，單獨(dú)處理被處理材料一般是非效率的。這種被處理材料，在熱處理空間內(nèi)沿規(guī)定方向排列配置，并沿該方向運(yùn)送。在該反應(yīng)期間，被處理材料被規(guī)定地?zé)崽幚怼?br> 所謂「熱處理」，是指對(duì)對(duì)象進(jìn)行加熱(包含保溫用的加熱)、從對(duì)象進(jìn)行吸熱(包含保溫用的冷卻)、將對(duì)象設(shè)成隔熱狀態(tài)，或也可是它們的任一組合，根據(jù)熱處理，熱處理空間具有熱裝置。因此，被處理材料在熱處理空間內(nèi)被運(yùn)送期間，通過熱處理空間內(nèi)設(shè)置的熱裝置(例如加熱裝置、冷卻裝置、隔熱裝置等)而被規(guī)定地?zé)崽幚?。所謂「規(guī)定方向」，是指在熱處理空間內(nèi)應(yīng)將被處理材料移動(dòng)的預(yù)定的方向，通?？梢允撬椒较?。
「氣體漂浮裝置」，由氣體排出裝置與氣體供給裝置構(gòu)成，只要在為了上浮而使漂浮力作用于被處理材料的部分，通常在被處理材料的底面的一部分，勁吹氣體而使漂浮力作用于被處理材料并使其上浮即可，不特別限定。被處理材料多數(shù)是板或薄板狀(即，與厚度相比，其他尺寸(如長(zhǎng)度、寬度、進(jìn)深等)較大的情況，此時(shí)，對(duì)背面勁吹氣體。一般，從具有噴嘴或多孔板那樣的1個(gè)或1個(gè)以上的氣體排出口的「氣體排出裝置」對(duì)被處理材料勁吹惰性氣體(通常是空氣、氮?dú)饣蛐纬蔁崽幚砜臻g的其他加工氣體等)，「氣體供給裝置」，控制供給從氣體排出裝置向被處理材料勁吹的氣體(尤其，它的壓力與/或量)，確保穩(wěn)定的漂浮高度或漂浮量。
在本發(fā)明的氣體漂浮運(yùn)送裝置中，被處理材料在熱處理空間內(nèi)的移動(dòng)，利用具有運(yùn)送裝置的抵接構(gòu)件來實(shí)施。該抵接構(gòu)件與在熱處理空間內(nèi)應(yīng)移動(dòng)的被處理材料的后端抵接，并向前方推壓被處理材料而沿規(guī)定方向?qū)⑵溥\(yùn)送。
運(yùn)送裝置包括與上浮的被處理材料的后端抵接且沿該規(guī)定方向進(jìn)行移動(dòng)的抵接構(gòu)件，向規(guī)定方向移動(dòng)的抵接構(gòu)件推壓上浮的被處理材料，由此，將被處理材料向該規(guī)定方向機(jī)械性移動(dòng)。這種運(yùn)送裝置，在規(guī)定的時(shí)刻能可靠地使被處理材料向規(guī)定的位置移動(dòng)，它也可稱作「推壓式運(yùn)送裝置」。被處理材料，至少在如此移動(dòng)的期間上浮。因此，未移動(dòng)時(shí)，上浮也可，或不上浮也可，但為節(jié)約所使用的氣體的量，最好僅在移動(dòng)被處理材料時(shí)供給氣體而使其漂浮。
被處理材料的熱處理，通過將被處理材料通過設(shè)定在規(guī)定的熱條件的熱處理空間來進(jìn)行。因此，通常在漂浮被處理材料的期間(利用運(yùn)送裝置進(jìn)行移動(dòng)的時(shí)間及對(duì)其前后的被處理材料停止的期間)與未漂浮被處理材料的期間(即，停止漂浮氣體的供給而被處理材料位于熱處理空間底部的期間)的雙方來進(jìn)行。在僅漂浮的期間停止熱處理是可能的情況下，也可在漂浮時(shí)不進(jìn)行熱處理。
另外，上述的氣體漂浮裝置可使用公知技術(shù)，例如，日本發(fā)明專利公開1978年第24672號(hào)公報(bào)所揭示的。在本發(fā)明的氣體漂浮運(yùn)送裝置中，只要可使被處理材料上浮規(guī)定高度，也可使用任一公知的氣體漂浮裝置，尤其在較佳的形態(tài)中，將先前說明的本發(fā)明的第1宗旨的氣體漂浮裝置用作氣體漂浮裝置。此時(shí)，第1宗旨的氣體漂浮裝置的對(duì)象物與氣體漂浮運(yùn)送裝置的被處理材料對(duì)應(yīng)。
即，在第2宗旨的氣體漂浮運(yùn)送裝置中，其特點(diǎn)是，在使被處理材料漂浮時(shí)，作用使被處理材料漂浮的力的氣體，在氣體排出裝置的氣體排出口以亞音速～音速的范圍的規(guī)定排出速度向被處理材料排出。在這種氣體漂浮運(yùn)送裝置中，對(duì)排出的氣體的壓力予以調(diào)整，達(dá)到那樣的排出速度，由此，可盡量減少漂浮所需的氣體的量。
此外，本發(fā)明提供一種氣體漂浮運(yùn)送方法，其特點(diǎn)是，在利用氣體使被處理材料漂浮而將其運(yùn)送時(shí)、將作用使對(duì)象物漂浮的力的氣體在氣體排出裝置的氣體排出口以亞音速～音速的范圍的規(guī)定排出速度向被處理材料排出，利用運(yùn)送裝置而將其移動(dòng)。
另外，在第3宗旨中，本發(fā)明提供一種被處理材料的熱處理裝置，具有包括上述本發(fā)明的氣體漂浮運(yùn)送裝置的熱處理空間。此外，本發(fā)明提供一種方法，是對(duì)被處理材料進(jìn)行熱處理的方法，其特點(diǎn)是，在設(shè)定成規(guī)定的熱條件的熱處理空間內(nèi)，使用上述的氣體漂浮運(yùn)送裝置，且將(1)利用氣體漂浮裝置排出氣體而使被處理材料漂浮的工序、(2)利用運(yùn)送裝置使被處理材料沿規(guī)定方向移動(dòng)的工序、以及(3)停止氣體的排出而將被處理材料載放到熱處理空間的底板(或底部)上的工序分別設(shè)成至少1次以上，通過按(1)→(2)→(3)的順序(最初的工序也可是任何一個(gè))來進(jìn)行，使被處理材料暫時(shí)滯留在熱處理空間內(nèi)而使其通過，在通過的期間，通過置于熱處理空間的熱條件下而對(duì)被處理材料進(jìn)行熱處理。即，反復(fù)漂浮→移動(dòng)→載放的順序來進(jìn)行熱處理。
通常，一邊數(shù)次進(jìn)行上述工序(1)～(3)，一邊使被處理材料通過熱處理空間。工序的順序，也可從任何的工序開始。例如也可從工序(2)開始(此時(shí)，例如為(2)→(3)→(1)→……→(1)→(2)→(3)的順序)，或者也可從工序(3)開始(此時(shí)，例如為(3)→(1)→(2)→……→(1)→(2)的順序)。
即，通過至少進(jìn)行1次工序(1)～(3)，被處理材料就暫時(shí)滯留在熱處理空間內(nèi)，然后進(jìn)行移動(dòng)(因此，被處理材料間歇地在熱處理空間內(nèi)進(jìn)行移動(dòng))。在最初進(jìn)行何工序，或在最后進(jìn)行何工序，根據(jù)被處理材料向熱處理空間的供給方法(例如以漂浮的狀態(tài)進(jìn)行供給的方法、以載放后的狀態(tài)進(jìn)行供給的方法等)及從那里的取出方法(例如以漂浮的狀態(tài)進(jìn)行取出的方法、以載放后的狀態(tài)進(jìn)行取出的方法等)來變化。
另外，最好將工序(3)與工序(1)之間(即，載放在底板上的時(shí)間)相對(duì)地設(shè)定得長(zhǎng)，在那期間主要進(jìn)行熱處理。這種熱處理方法，可用本發(fā)明的熱處理裝置較佳地進(jìn)行，此時(shí)，在氣體排出停止的情況下，被處理材料當(dāng)被載放在底板上、氣體向被處理材料排出時(shí)，在底板的上方，被處理材料產(chǎn)生漂浮。因此，底板設(shè)有氣體排出口。
下面，主要對(duì)本發(fā)明的氣體漂浮裝置及本發(fā)明的氣體漂浮運(yùn)送裝置主要參照它們被裝入熱處理裝置后的形態(tài)(本發(fā)明的熱處理裝置的形態(tài))進(jìn)行說明，而本發(fā)明的氣體漂浮裝置及本發(fā)明的氣體漂浮運(yùn)送裝置，也可以單獨(dú)或組合而適用于熱處理以外的用途。例如，氣體漂浮裝置，也可適用于需使對(duì)象物漂浮的其他處理，可降低所使用的氣體的量。例如氣體漂浮運(yùn)送裝置，也可使公知技術(shù)或本發(fā)明的氣體漂浮裝置組合適用于需使被處理材料通過規(guī)定空間的其他處理。另外，在本發(fā)明的熱處理裝置中，也可使用公知的氣體漂浮裝置來代替本發(fā)明的氣體漂浮裝置。
在本發(fā)明的1個(gè)形態(tài)中，本發(fā)明的熱處理裝置，在熱處理空間內(nèi)具有本發(fā)明的氣體漂浮運(yùn)送裝置，該氣體漂浮運(yùn)送裝置，作為氣體漂浮措施，由本發(fā)明的第1宗旨的氣體漂浮裝置構(gòu)成。氣體漂浮裝置，使應(yīng)進(jìn)行熱處理的被處理材料漂浮。該裝置由通過從其下方將氣體向被處理材料勁吹使漂浮力作用于被處理材料而使被處理材料漂浮的、例如噴嘴那樣的氣體排出裝置和對(duì)控制并穩(wěn)定氣體排出量的漂浮量或漂浮高度予以確保的氣體供給裝置所構(gòu)成。氣體供給裝置，將氣體加壓成規(guī)定的壓力并穩(wěn)定氣體地從氣體排出裝置的氣體排出口排出，由此確保被處理材料的規(guī)定的漂浮高度或漂浮量。
另外，漂浮高度或漂浮量不特別限定，但當(dāng)漂浮量過大時(shí)，排出的氣體不利于被處理材料的漂浮而通過被處理材料與底板之間并僅從被處理材料的周邊部漏走，增加了成為無用的氣體量。另外，當(dāng)漂浮量太少時(shí)，對(duì)象物有時(shí)與底板接觸而給被處理材料的質(zhì)量帶來不良影響。當(dāng)考慮這種情況時(shí)，在本發(fā)明中，特別較佳的漂浮高度(底板與被處理材料之間的距離)，在上方約為0.2mm～1mm的范圍。
本發(fā)明的熱處理裝置，在上述那樣的熱處理空間內(nèi)具有運(yùn)送裝置，由此，在規(guī)定的時(shí)刻與規(guī)定的部位能可靠地使被處理材料移動(dòng)。例如，將與被處理材料(例如其運(yùn)送方向的后端及根據(jù)情況并在其前端)抵接的構(gòu)件安裝在傳動(dòng)鏈帶等上，通過移動(dòng)/停止鏈帶，并通過移動(dòng)/停止構(gòu)件，構(gòu)件可推壓被處理材料或?qū)⑵渫Ｖ?。利于這種運(yùn)送裝置，在使被處理材料漂浮的狀態(tài)下，在熱處理空間內(nèi)規(guī)定地進(jìn)行運(yùn)送(例如在規(guī)定的時(shí)間運(yùn)送到規(guī)定的部位)后停止，阻止氣體排出，并將被處理材料載放在底板上，于是對(duì)被處理材料進(jìn)行熱處理，然后，根據(jù)需要使被處理材料漂浮，并運(yùn)送到下一個(gè)部位，于是再次進(jìn)行熱處理。在熱處理空間的設(shè)定條件下，雖然也可在被處理材料漂浮的狀態(tài)下進(jìn)行熱處理，但一般在停止氣體排出而未漂浮的狀態(tài)下進(jìn)行。
在本發(fā)明的熱處理裝置中，用于漂浮的氣體的供給壓力，必需加上氣體供給配管系統(tǒng)中的壓力損失及在排出口的吹出損失，但作為氣體排出裝置中的壓力，即使考慮壓縮氣體生成成本(雖然有與排出速度的關(guān)系)，通常只要是4kgf/cm2或其以下，例如只要是1～2kgf/cm2就足夠。這是氣體漂浮裝置的入口的壓力。
在本發(fā)明的一個(gè)較佳的形態(tài)中，氣體漂浮裝置由具有氣體排出裝置的底板構(gòu)成，在該底板的上方，被處理材料被漂浮，并利用運(yùn)送裝置將被處理材料移動(dòng)到該底板上方。另外，具有這種氣體漂浮裝置的本發(fā)明的熱處理裝置，包括沿被處理材料的移動(dòng)方向而排列的多個(gè)氣體漂浮裝置(根據(jù)需要，氣體漂浮裝置既可沿被處理材料的移動(dòng)方向排成一排，也可排成多排)。
在這種氣體漂浮裝置中，最好氣體供給裝置控制向氣體排出裝置供給的氣體的量及/或壓力并設(shè)成亞音速～音速的規(guī)定的排出速度。氣體排出裝置與氣體供給裝置最好各1個(gè)成對(duì)，但也可從1個(gè)氣體供給裝置向多個(gè)氣體排出裝置供給氣體。
被處理材料的移動(dòng)(或運(yùn)送)，如上所述由運(yùn)送裝置來進(jìn)行，在被處理材料漂浮的狀態(tài)下，當(dāng)移動(dòng)到應(yīng)進(jìn)行熱處理的規(guī)定的部位時(shí)，停止移動(dòng)，并停止使被處理材料漂浮的氣體的排出，在將被處理材料載放在底板上的狀態(tài)下進(jìn)行規(guī)定的熱處理。
在本發(fā)明的氣體漂浮運(yùn)送裝置的1個(gè)形態(tài)中，將被處理材料載放在運(yùn)送構(gòu)件上，使運(yùn)送構(gòu)件通過熱處理空間內(nèi)。即，在先前說明的本發(fā)明的氣體漂浮運(yùn)送裝置中，利用氣體使運(yùn)送構(gòu)件上浮，代替被處理材料，通過利用運(yùn)送裝置使運(yùn)送構(gòu)件向規(guī)定方向移動(dòng)，結(jié)果，運(yùn)送載放在上面的被處理材料。這種運(yùn)送構(gòu)件，希望在對(duì)被處理材料進(jìn)行熱處理的環(huán)境中實(shí)際上不受影響，并在熱處理環(huán)境中不對(duì)被處理材料帶來不良影響。通常，最好由石英玻璃材料、陶瓷材料、金屬材料來形成這種運(yùn)送構(gòu)件。運(yùn)送構(gòu)件最好具有利用從氣體排出裝置吹出的氣體而易受到漂浮力的面，因此，運(yùn)送構(gòu)件一般最好是可將被處理材料支承在上面的矩形的板狀或較淺的器皿狀(托盤狀)的形態(tài)，向如此運(yùn)送構(gòu)件的背面勁吹氣體，在相反側(cè)的表面上載放被處理材料。
在如此使用運(yùn)送構(gòu)件的情況下，被處理材料的形態(tài)不受到影響，能可靠地進(jìn)行運(yùn)送，并具有根據(jù)熱處理?xiàng)l件來防止被處理材料因自重而產(chǎn)生變形的優(yōu)點(diǎn)。例如，在通過排出來自氣體排出裝置的高溫氣體而欲同時(shí)進(jìn)行氣體的漂浮與熱處理的情況下，當(dāng)向被處理材料直接勁吹氣體將其漂浮時(shí)，在被處理材料中產(chǎn)生較大的溫度分布，熱處理變得不均勻，或在被處理材料中因剩余應(yīng)力而產(chǎn)生熱變形，有時(shí)還因急劇的加熱或冷卻產(chǎn)生破壞，但在那種情況下，通過運(yùn)送構(gòu)件可避免被處理材料的直接的加熱。當(dāng)然，用另外方法也可為防止被排出氣體加熱而使用其他的加熱裝置。
在本發(fā)明的1個(gè)形態(tài)中，抵接構(gòu)件是與被處理材料(或運(yùn)送構(gòu)件)的后端接觸的其他的被處理材料(或運(yùn)送構(gòu)件)的前端。即，在該形態(tài)下，被處理材料在規(guī)定方向排列配置，某1個(gè)被處理材料，由緊跟著配置的被處理材料推壓。因此，后續(xù)的被處理材料的尤其前端，與先于它的被處理材料的后端接觸，通過利用某種作用使后續(xù)的被處理材料向前方移動(dòng)，使先行的被處理材料向前方移動(dòng)。這種被處理材料的移動(dòng)，在多個(gè)被處理材料相互接觸而排列的情況下，當(dāng)把從外部向前方的力施加在最末尾的被處理材料上時(shí)，通過該力逐漸傳遞到位于前方的被處理材料來實(shí)施，因此，只要利用例如推壓器來施加對(duì)排列的被處理材料的最末尾機(jī)械地予以向前的推壓力即可。這種運(yùn)送方式，可稱作彈子式(玉突き式)、循序前進(jìn)式(トコロテン式)或插動(dòng)式。在該形態(tài)中，由于直接抵接被處理材料(或運(yùn)送構(gòu)件)，故一般排列的被處理材料(或運(yùn)送構(gòu)件)相互可接觸的面積較大是適合的，且被處理材料的厚度或運(yùn)送構(gòu)件的運(yùn)送方向的端部的厚度方向的尺寸(即，與運(yùn)送方向垂直的尺寸)較大是適合的。另外，運(yùn)送構(gòu)件只要是可載放被處理材料，其形狀無特別限定，例如，可以是托盤狀、比被處理材料厚的板狀、及平臺(tái)狀的形狀。
在本發(fā)明的另外形態(tài)中，利用在被處理材料的長(zhǎng)度上至少實(shí)際相隔等間隔地與在熱處理空間內(nèi)沿該規(guī)定方向朝前方移動(dòng)的連續(xù)構(gòu)件系緊的抵接構(gòu)件進(jìn)行推壓而使被處理材料沿規(guī)定方向移動(dòng)。在該形態(tài)中，抵接構(gòu)件，為使抵接構(gòu)件可與被處理材料的后端的至少一部分抵接而與規(guī)定方向的皮帶、鏈條、鋼絲繩等在熱處理空間內(nèi)進(jìn)行循環(huán)的連續(xù)構(gòu)件系緊。該連續(xù)構(gòu)件，通過借助適當(dāng)?shù)臐L輪、齒輪等傳遞電動(dòng)機(jī)等的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置的力，就連續(xù)地朝規(guī)定方向移動(dòng)。在需移動(dòng)多個(gè)被處理材料的情況下，與在熱處理空間內(nèi)暫時(shí)容納數(shù)個(gè)被處理材料的數(shù)量相對(duì)應(yīng)的數(shù)個(gè)處理抵接構(gòu)件與連續(xù)構(gòu)件系緊，各自的抵接構(gòu)件與各被處理材料或各運(yùn)送構(gòu)件的后端抵接而推壓它們。
系緊抵接構(gòu)件的間隔，最好通常是等間隔的，由于在該間隔之間需配置被處理材料，故間隔至少是被處理材料的長(zhǎng)度(即，被處理材料的規(guī)定方向的尺寸)。連續(xù)構(gòu)件，在熱處理空間中沿規(guī)定方向至少需配置1個(gè)，例如沿?zé)崽幚砜臻g的一方的邊緣或中央線進(jìn)行配置，最好沿兩邊緣配置2個(gè)。
在本發(fā)明的又1個(gè)形態(tài)中，抵接構(gòu)件沿長(zhǎng)構(gòu)件的周圍的一部分配置。長(zhǎng)構(gòu)件，可向規(guī)定方向及其反方向作往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)。其結(jié)果，抵接構(gòu)件在與被處理材料接觸的狀態(tài)時(shí)(即，抵接狀態(tài)是「開」)，長(zhǎng)構(gòu)件前進(jìn)，在向規(guī)定距離前方前進(jìn)后，這種抵接狀態(tài)被解除。該解除，通過對(duì)在周圍一部分具有抵接構(gòu)件的長(zhǎng)構(gòu)件在其軸(或長(zhǎng)度方向)的周圍予以旋轉(zhuǎn)，可解除抵接構(gòu)件與被處理材料抵接的狀態(tài)(即，抵接狀態(tài)成為「關(guān)」(也就是說不抵接狀態(tài)))。在解除抵接狀態(tài)的狀態(tài)下，長(zhǎng)構(gòu)件后退，后退到后續(xù)的被處理材料的后端的部位，然后，在長(zhǎng)構(gòu)件的軸的周圍作相反的旋轉(zhuǎn)，與后續(xù)的被處理材料的后端抵接，然后再前進(jìn)。
如此，如抵接狀態(tài)的開→長(zhǎng)構(gòu)件的前進(jìn)→抵接狀態(tài)的關(guān)→長(zhǎng)構(gòu)件的后退→抵接狀態(tài)的開那樣，反復(fù)長(zhǎng)構(gòu)件的前進(jìn)與后退和抵接狀態(tài)的開與關(guān)而將被處理材料運(yùn)送到前方。另外，系緊抵接構(gòu)件的間隔、長(zhǎng)構(gòu)件的數(shù)目及其配置與上述的連續(xù)構(gòu)件相同。這種長(zhǎng)構(gòu)件，可以是例如桿、軸等的形態(tài)，而它們的旋轉(zhuǎn)及直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)也可通過任一適當(dāng)?shù)姆椒▉韺?shí)施。
這種連續(xù)構(gòu)件或長(zhǎng)構(gòu)件，自身結(jié)構(gòu)是簡(jiǎn)單的，驅(qū)動(dòng)它們的裝置(例如電動(dòng)機(jī)、滾輪、齒輪等)無需復(fù)雜的結(jié)構(gòu)，而將動(dòng)力傳遞給這些構(gòu)件的復(fù)雜的裝置，可配置在熱處理空間的外部，此外，與僅用氣體使被處理材料移動(dòng)、停止時(shí)相比較，具有能可靠地對(duì)被處理材料進(jìn)行移動(dòng)與停止的優(yōu)點(diǎn)。
具有上述那樣的氣體漂浮運(yùn)送裝置的熱處理裝置，還可包括在熱處理空間的跟前將被處理材料供給到熱處理空間的供給部、及在熱處理空間的后面從熱處理空間取出被處理材料的排出部，供給部與排出部，最好包括與熱處理空間相同的氣體漂浮裝置與運(yùn)送裝置。即，在被處理材料向熱處理裝置供給及從熱處理裝置取出被處理材料時(shí)，也最好在利用氣體漂浮裝置使其上浮的狀態(tài)下，利用運(yùn)送裝置將被處理材料供給到熱處理空間內(nèi)，在利用氣體漂浮裝置使其上浮的狀態(tài)下，利用運(yùn)送裝置從熱處理空間內(nèi)取出被處理材料。
在進(jìn)行對(duì)被處理材料施加熱的熱處理的場(chǎng)合所需的熱，也可利用任一適當(dāng)?shù)姆椒▉砉┙o，在1個(gè)形態(tài)中，可利用來自設(shè)在底板的下方及/或上方的適當(dāng)?shù)臒嵩吹臒?例如輻射熱、傳導(dǎo)熱)來實(shí)施。例如，利用設(shè)在底板下方的熱源對(duì)底板進(jìn)行加熱，并利用來自那里的傳熱(通過停止氣體排出)而可對(duì)載放在底板上的被處理材料進(jìn)行熱處理。該形態(tài)，可稱作所謂的熱板式，例如，底板具有將氣體排出的噴嘴等的氣體排出裝置。另外，即使是使用這種底板的情況，也可在利用氣體排出裝置使被處理材料漂浮的狀態(tài)下，利用來自底板的輻射而將被處理材料加熱到規(guī)定的溫度進(jìn)行熱處理。
作為這種加熱的熱源，可使用配置在底板下方的電加熱器、板加熱器等的電阻加熱裝置，或使用在底板的下方使石油、燈油等液體燃料、或都市氣體、LPG等氣體燃料燃燒所產(chǎn)生熱量的燃燒器。這些加熱裝置，對(duì)底板加熱，由此，利用傳熱而直接地可加熱被處理材料，利用輻射而間接地加熱被處理材料。作為另外的熱源，也可在被處理材料的上方設(shè)置適當(dāng)?shù)募訜嵩?例如加熱器、加熱燈)，利用來自它的輻射熱，可對(duì)被處理材料進(jìn)行熱處理。
根據(jù)情況，也可預(yù)先對(duì)漂浮所使用的氣體進(jìn)行加熱，在為漂浮而排出該氣體的同時(shí)，通過將熱處理空間加熱，來對(duì)被處理材料進(jìn)行熱處理。當(dāng)為漂浮而排出的氣體被加熱時(shí)，在被處理材料漂浮的狀態(tài)下，也可促進(jìn)熱處理。例如，在排出的氣體的供給配管系統(tǒng)，配置熱交換器，對(duì)高溫?zé)峤橘|(zhì)與應(yīng)排出的氣體進(jìn)行熱交換，從而將間接獲得的熱量用作為被處理材料進(jìn)行熱處理的能源。另外，也可利用將作為氣體來說熱吸收較好的波長(zhǎng)予以放射的紅外線燈等的光電輻射加熱來加熱氣體?；蛘?，也可將上述那樣的燃燒器設(shè)在氣體供給配管系統(tǒng)的外側(cè)來加熱所排出的氣體。
如此，在加熱氣體的情況下，通過將加熱后的氣體向被處理材料排出，可對(duì)被處理材料同時(shí)實(shí)施漂浮與熱處理雙方。當(dāng)然，也可并用底板的加熱與排出氣體的加熱雙方。如此，可使用各種熱源，但重要的是，作為熱源，相對(duì)對(duì)象的熱處理方法，要選擇易利用、熱效率最優(yōu)異且價(jià)廉的。
在本發(fā)明的1個(gè)較佳的形態(tài)中，氣體排出裝置包括設(shè)在底板上的多個(gè)氣體排出口，從該氣體排出口氣體以規(guī)定的排出速度排出。設(shè)在底板上的氣體排出口的數(shù)目不特別限定，根據(jù)熱處理的被處理材料，業(yè)者可適當(dāng)選擇。
例如，當(dāng)熱處理裝置的熱處理空間是高溫時(shí)，被處理材料也因其自身的每部分的溫度差、熱處理空間的溫度分布等而有容易產(chǎn)生熱變形的情況，另外，由于這種變形，有時(shí)被處理材料的漂浮作用下降。為防止這種變形，不是向被處理材料的1部位集中排出氣體，而在被處理材料的多個(gè)部位，最好希望盡可能均等地向被處理材料整體排出氣體，以作用漂浮力。因此，最好使多個(gè)排出口相對(duì)被處理材料均等地分散來防止變形。另外，在設(shè)置多個(gè)氣體排出裝置的情況下，通過調(diào)節(jié)從各個(gè)裝置排出的氣體的溫度及/或流量，來維持穩(wěn)定的熱環(huán)境，從而可獲得可靠的漂浮作用。另外，可使用具有更小開口部的多個(gè)氣體排出口，代替單一的氣體排出口。
相反，在熱處理?xiàng)l件下，只要被處理材料是較硬質(zhì)的，也可從在其正下面集合配置的氣體排出口向被處理材料的重心附近排出氣體，此時(shí)，氣體排出口也可是1個(gè)，代替多個(gè)氣體排出口，在穩(wěn)定性方面，由于用面進(jìn)行支承比用點(diǎn)進(jìn)行支承較好，故這方面有時(shí)設(shè)置多個(gè)氣體排出口較好。
另外，氣體從氣體排出口的排出，影響到熱處理空間內(nèi)的氣體的流動(dòng)。尤其，當(dāng)需進(jìn)行精密的熱處理時(shí)，對(duì)于漂浮所需的氣體的排出需盡量注意。例如，以高速排出的氣體，使附著在熱處理空間內(nèi)壁面等上的垃圾等的不要物質(zhì)飛散，成為包含可給熱處理空間內(nèi)帶來不良影響的不要物質(zhì)的原因。因此，最好盡量抑制影響到被處理材料質(zhì)量的不要物質(zhì)的飛散，為此，在設(shè)置多個(gè)氣體排出裝置的情況下，氣體排出裝置最好配置在可對(duì)被處理材料作用漂浮力的范圍內(nèi)。換言之，在漂浮被處理材料的情況下，最好將被處理材料保持在將排出應(yīng)漂浮被處理材料的氣體的氣體排出裝置的所有氣體排出口的上方。
另外，包括氣體排出裝置，以使從氣體排出口排出的氣體，垂直地(通常，由于被處理材料展開地位于水平方向，故此時(shí)「垂直」與鉛垂方向?qū)?yīng))吹向被處理材料，根據(jù)需要(如后所述)，也可以不垂直的方向?qū)怏w吹向被處理材料。
通常，被處理材料的厚度與其他尺寸相比非常小，且往往是長(zhǎng)方形或正方形那樣的矩形的板的形態(tài)，此時(shí)，被處理材料最好沿具有氣體排出裝置的底板的中央線(即，將底板設(shè)成二等分的與運(yùn)送方向平行的線)或其附近(中央部分)進(jìn)行移動(dòng)，這時(shí)，氣體排出裝置也可設(shè)成沿被處理材料的中央線(即，將被處理材料設(shè)成二等分的與運(yùn)送方向平行的線)或其附近(中央部分)而排出氣體、并在底板的中央部分設(shè)有1個(gè)或多個(gè)的氣體排出口，或者，也可在被處理材料的下方將氣體排出裝置均等分布地設(shè)在底板整體上(例如，錯(cuò)列狀或齒狀地設(shè)置)。
在本發(fā)明的熱處理裝置中，在集合設(shè)置多個(gè)氣體排出裝置的情況下，為使從各氣體排出裝置的氣體排出口排出的氣體的排出方向盡量朝向被處理材料的中央部，在90°(例如在水平漂浮板狀的被處理材料的情況下，指與其垂直的方向。)～60°(從垂直的狀態(tài)到傾斜30度的狀態(tài))的角度的范圍內(nèi)以從水平方向傾斜的角度排出氣體地構(gòu)成氣體排出裝置，因此，可使朝向被處理材料的規(guī)定部分的吹力、即漂浮力的分布均勻，并可進(jìn)行穩(wěn)定的漂浮運(yùn)送與熱處理。例如，來自在被處理材料的下方分布的氣體排出口的氣體被全部偏向被處理材料的中央部的方向排出。例如，可通過在90°(鉛垂方向向上)～60°的范圍內(nèi)改變噴嘴那樣的氣體排出裝置的方向來實(shí)施。
而在另外的形態(tài)中，在設(shè)置多個(gè)氣體排出裝置的情況下，將氣體排出裝置分割成許多組，每一組，為使排出氣體的方向不相同，例如如上所述，有時(shí)最好使氣體的排出角度不相同。例如，當(dāng)用在與運(yùn)送方向垂直(且水平)的方向排列的多個(gè)氣體排出裝置使被處理材料漂浮時(shí)，實(shí)際上垂直向上排出氣體地調(diào)節(jié)對(duì)被處理材料的中央部分排出氣體的氣體排出裝置的組，從被處理材料的中央部分到邊緣部分，實(shí)際上也可沿從垂直方向朝向被處理材料的中央部分傾斜的方向排出氣體地調(diào)節(jié)將氣體排出的氣體排出裝置的組。這樣，增加被處理材料的重量處于集中的中央部分的漂浮力，相對(duì)減少重量處于較輕的周邊部分的漂浮力，結(jié)果，作為被處理材料整體，可作用均勻的漂浮力。
相反，從被處理材料的中央部分到邊緣部分，實(shí)際上也可沿從垂直方向朝向被處理材料的邊緣部分傾斜的方向排出氣體地調(diào)節(jié)將氣體排出的氣體排出裝置的組，此時(shí)，由于漂浮力作用在被處理材料整體上，故可產(chǎn)生穩(wěn)定的漂浮。在任一場(chǎng)合，排出方向與上述相同，最好在90°～60°的范圍內(nèi)規(guī)定地調(diào)整。
在本發(fā)明的氣體漂浮裝置的1個(gè)形態(tài)中，包括向?qū)ο笪锱懦鰵怏w由此在上方漂浮對(duì)象物的底板，該氣體漂浮裝置的底板，在其上至少設(shè)有1個(gè)槽部，該槽部至少配置2個(gè)氣體排出口，在從底板的主要面不向上方突出的狀態(tài)下，氣體排出口最好在槽部的底部開口。因此，在該形態(tài)中，多個(gè)氣體排出口設(shè)在底板上，這些氣體排出口最好用槽部連接。在槽部的全長(zhǎng)，最好具有比氣體排出口的直徑大的寬度。另外，在具有比氣體排出口小的開口部的氣體排出口的群的情況下，最好槽部具有比包含該群的圓的直徑大的寬度。因此，槽部包含氣體排出口。
在底板具有槽部的情況下，氣體排出口最好保持地配置成以底板的中央線為軸而呈線對(duì)稱，或有關(guān)底板的中心點(diǎn)呈點(diǎn)對(duì)稱。配置成線對(duì)稱且點(diǎn)對(duì)稱更好。該氣體漂浮裝置，與上述的運(yùn)送裝置組合，可用作氣體漂浮運(yùn)送裝置。因此，本發(fā)明提供一種具有這種氣體漂浮裝置與運(yùn)送裝置的氣體漂浮運(yùn)送裝置，這與前面相同，可適用于熱處理裝置。
在1個(gè)較佳的形態(tài)中，多個(gè)槽部從底板中央部或其附近放射狀延伸，在各槽部的中央部側(cè)的端部設(shè)有氣體排出口，根據(jù)需要，在相反的端部也設(shè)有氣體排出口。此時(shí)，各槽部的一方端部，集中在底板的中央部，但各端部分開。在另外的形態(tài)中，槽部在底板中央部被一體連接，氣體排出口設(shè)在連接槽部的底板中央部。在該形態(tài)中，也可在中央部不設(shè)置多個(gè)氣體排出口，而在中央部?jī)H設(shè)置1個(gè)，在這種情況下，底板具有在底板上開口排出氣體的氣體排出口及從氣體排出口放射狀延伸的多個(gè)槽部。槽部的配置還最好是參照附圖進(jìn)行后述的形態(tài)，在該形態(tài)中，在底板的中央附近具有1個(gè)氣體排出口，及在底板的各對(duì)角線上，在靠近底板的角落部分具有共計(jì)4個(gè)氣體排出口。而如此配置的各氣體排出口，既可是較大的單一的開口部，也可是較小的多個(gè)的開口部。
在這種氣體漂浮裝置中，氣體的排出速度不特別限定，但如先前說明的那樣，氣體的排出速度最好是亞音速～音速。在該形態(tài)下，從排出口排出的氣體沖擊對(duì)象物，然后，優(yōu)先地沿槽部向?qū)ο笪锏闹苓叢壳斑M(jìn)。槽部的數(shù)目、深度、長(zhǎng)度等，可根據(jù)被處理材料適當(dāng)選擇。
特別考慮的最好是，從氣體排出口排出氣體后，氣體盡量沿槽部長(zhǎng)距離流動(dòng)，則排出的氣體可在被處理材料的下方保持更長(zhǎng)的時(shí)間(即，滯留時(shí)間長(zhǎng))，故可實(shí)現(xiàn)有效的漂浮(相反，在短距離流動(dòng)的情況下，在被處理材料的下方不能保持長(zhǎng)時(shí)間，而在短時(shí)間內(nèi)從被處理材料的周邊部流出，不產(chǎn)生漂浮力)。
當(dāng)在例如長(zhǎng)方形的板形態(tài)的底板上漂浮時(shí)，在底板上，在長(zhǎng)方形對(duì)角線的交點(diǎn)(即，底板的中央部)附近，開設(shè)氣體排出口，從長(zhǎng)方形的對(duì)角線的交點(diǎn)沿對(duì)角線延伸地形成4條槽，在該槽部也配置氣體排出口。該形態(tài)，適合于實(shí)際上在底板的整個(gè)面上存在被處理材料的情況。
在本發(fā)明的熱處理裝置中，由于氣體向熱處理空間內(nèi)排出，故需從熱處理空間去除氣體，因此，在熱處理裝置上設(shè)置排氣口，通過它從熱處理空間排出氣體。為防止因氣體排出所產(chǎn)生的垃圾等不要物質(zhì)的飛散，最好在比氣體排出裝置還下方的水平面(レベル)設(shè)置排氣口，通過它利用排氣裝置從熱處理空間回收氣體。由此，因被處理材料的漂浮所使用的氣體迅速?gòu)臒崽幚砜臻g排出，故可抑制排出氣體攪亂熱處理空間內(nèi)的環(huán)境，可容易維持清潔而溫度穩(wěn)定的熱處理環(huán)境。
在本發(fā)明的熱處理裝置中，在使用運(yùn)送構(gòu)件的情況下，最好位于沿被處理材料的運(yùn)送方向的運(yùn)送構(gòu)件邊緣部分的上方地設(shè)置罩子(或流動(dòng)控制罩子)。對(duì)于該罩子，從運(yùn)送構(gòu)件的下方排出的氣體沿運(yùn)送構(gòu)件的底面流動(dòng)而在運(yùn)送構(gòu)件的邊緣部與欲上升的氣體沖撞，因此，排出的氣體，優(yōu)先地易流向比運(yùn)送構(gòu)件的水平面還下方所設(shè)置的排氣口。所以，利用該罩子，可抑制排出的氣體流到被處理材料的上面?zhèn)?。由此，可抑制因氣體的排出所產(chǎn)生的垃圾等不要物質(zhì)在被處理材料側(cè)的飛散。即，該罩子不會(huì)攪亂熱處理空間內(nèi)的環(huán)境，可抑制被處理材料側(cè)的氣體的流動(dòng)變動(dòng)，防止垃圾等不要物質(zhì)的飛散。
在本發(fā)明的熱處理裝置中，有時(shí)需在清潔的環(huán)境中處理被處理材料。此時(shí)，作為從氣體排出裝置排出的氣體，必須使用清潔度高的氣體。要使排出的氣體清潔化，最好在清潔室、清潔臺(tái)等利用通常經(jīng)常使用的某種性能的中性能過濾器、高性能過濾器等的氣體清潔裝置將氣體過濾來使用。例如，可使用金屬篩網(wǎng)或多層構(gòu)造過濾器。另外，根據(jù)情況，還需要當(dāng)在熱處理時(shí)發(fā)生的氣體或粒子狀物質(zhì)那樣的垃圾等附著在被處理材料上時(shí)從包含給被處理材料的質(zhì)量帶來不良影響的因素的熱處理環(huán)境中將那種物質(zhì)予以去除的氣體清潔裝置。此外，根據(jù)需要，在循環(huán)熱處理空間內(nèi)的氣體而有效利用熱量的情況下，維持清潔的氣體也是重要的，此時(shí)，只要使用經(jīng)得起熱處理溫度環(huán)境的如過濾器那樣的氣體清潔裝置即可。
在本發(fā)明的熱處理裝置中，在用壓縮機(jī)對(duì)周邊大氣加壓進(jìn)行除濕后，作為干空氣，在將生產(chǎn)線的動(dòng)力所使用的稱作工廠空氣的空氣用作漂浮氣體的情況下，該空氣因是干燥狀態(tài)而帶電，故容易包含細(xì)微的垃圾。因此，為直接向被處理材料勁吹而使其漂浮，作為熱處理的環(huán)境氣體，使用那種工廠空氣，則在被處理材料上附著垃圾、例如被處理材料是絕緣材料的情況下，成為產(chǎn)生短路等原因，往往在被處理材料的質(zhì)量方面受到較大的影響。這種因氣體帶電所產(chǎn)生的各種問題，最好用適當(dāng)?shù)拇胧﹣硐龓щ姞顟B(tài)。例如，可將由利用電暈放電的離子發(fā)生器所產(chǎn)生的離子與氣體混合進(jìn)行電氣中和，或氣體的加濕或利用使用了金屬過濾器的接地方式的氣體除電裝置來去除氣體中所帶的靜電，最好將這種裝置設(shè)在氣體供給裝置的配管系統(tǒng)中。
在本發(fā)明的熱處理裝置中，由于在將被處理材料漂浮的狀態(tài)下利用移動(dòng)運(yùn)送裝置使被處理材料在熱處理空間內(nèi)移動(dòng)，故被處理材料與底板那樣的其他構(gòu)件之間不會(huì)存在摩擦阻力，且由于可使被處理材料移動(dòng)，故可非常容易地將被處理材料移動(dòng)。因此，移動(dòng)期間，被處理材料需處于漂浮狀態(tài)，被處理材料移動(dòng)到規(guī)定的部位后，停止氣體的排出，并將被處理材料載放在底板上進(jìn)行規(guī)定的熱處理。當(dāng)這種熱處理結(jié)束時(shí)，與先前相同，利用氣體使被處理材料漂浮，利用移動(dòng)運(yùn)送裝置將其移動(dòng)到下一個(gè)熱處理區(qū)域并進(jìn)行下一個(gè)熱處理。
這種熱處理裝置，可用于用來制造等離子體顯示板(PDP)或太陽(yáng)能電池板的原料基板或中間產(chǎn)品基板的熱處理。用于這種板的基板材料，可由陶瓷、玻璃(鈉玻璃、高變形點(diǎn)玻璃及其它玻璃材料)、金屬及其它結(jié)構(gòu)材料形成。另外，被處理材料的熱處理，例如對(duì)于等離子顯示板，是配置在基板上的銀、氧化錫等導(dǎo)電性材料、電解質(zhì)材料、紅/綠/蘭色的熒光體材料、絕緣性材料等的干燥、燒固、膜形成，此外，對(duì)于太陽(yáng)能電池板，同樣是配置在基板上的銀、氧化錫等透明導(dǎo)電性材料、半導(dǎo)體材料等的干燥、燒固、膜形成。


圖1模式表示可用于本發(fā)明氣體漂浮運(yùn)送裝置的氣體漂浮裝置的氣體排出裝置的分解立體圖。
圖2模式表示將圖1所示的氣體排出裝置裝配后狀態(tài)的側(cè)剖視圖。
圖3模式表示可用于本發(fā)明氣體漂浮運(yùn)送裝置的氣體漂浮裝置的立體圖。
圖4模式表示可用于本發(fā)明氣體漂浮運(yùn)送裝置的另外的氣體漂浮裝置的立體圖。
圖5模式表示從被處理材料的運(yùn)送方向的端部看到構(gòu)成可用于本發(fā)明熱處理裝置的氣體漂浮裝置的氣體排出裝置的1個(gè)形態(tài)的狀態(tài)。
圖6模式表示從熱處理裝置的端部看到本發(fā)明熱處理裝置一例子時(shí)的狀態(tài)。
圖7是以熱處理裝置的側(cè)剖視圖來模式表示本發(fā)明中熱處理裝置的氣體漂浮運(yùn)送順序的各個(gè)狀態(tài)。
圖8是以熱處理裝置的側(cè)剖視圖來模式表示本發(fā)明中熱處理裝置的氣體漂浮運(yùn)送順序的1個(gè)狀態(tài)。
圖9是在本發(fā)明的熱處理裝置的氣體漂浮運(yùn)送順序中以熱處理裝置的側(cè)剖視圖來模式表示圖8所示狀態(tài)的下一個(gè)的狀態(tài)。
圖10是在本發(fā)明的熱處理裝置的氣體漂浮運(yùn)送順序中以熱處理裝置的側(cè)剖視圖來模式表示圖9所示狀態(tài)的下一個(gè)的狀態(tài)。
圖11是在本發(fā)明的熱處理裝置的氣體漂浮運(yùn)送順序中以熱處理裝置的側(cè)剖視圖來模式表示圖10所示狀態(tài)的下一個(gè)的狀態(tài)。
圖12表示對(duì)使用本發(fā)明熱處理裝置時(shí)的被處理材料的溫度變化及熱處理空間的設(shè)定溫度予以模式顯示的曲線圖。
圖13(a)及(b)模式表示使用鏈條式或鋼絲繩式的被處理材料的保持及運(yùn)送機(jī)構(gòu)。
圖14模式表示使用軸式的被處理材料的保持及運(yùn)送機(jī)構(gòu)。
圖15模式表示本發(fā)明空氣漂浮式推壓托盤運(yùn)送方式的熱處理裝置的立體圖。
圖16模式表示圖15所示的本發(fā)明熱處理裝置內(nèi)部的運(yùn)送機(jī)構(gòu)的立體圖。
圖17模式表示從熱處理裝置的端部看到本發(fā)明熱處理裝置一例子時(shí)的狀態(tài)。
圖18用立體圖模式表示具有本發(fā)明氣體排出裝置的底板。
圖19是現(xiàn)有技術(shù)的一般網(wǎng)帶運(yùn)送式熱處理裝置的立體圖。
圖20是現(xiàn)有的一般熱處理爐的熱估算線圖。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)結(jié)合附圖，以具體的實(shí)施形態(tài)為例來詳細(xì)說明本發(fā)明。
圖1模式表示可用于本發(fā)明氣體漂浮運(yùn)送裝置的氣體漂浮裝置的氣體排出裝置一例子的分解立體圖。氣體排出裝置110，具有在整個(gè)面上配設(shè)許多氣體排出口112的(起到底板功能)噴嘴板114及同樣配設(shè)開口部116的中間板118，電加熱器120配置在中間板118的上方。電加熱器120及中間板118配置在下罩殼112內(nèi)，噴嘴板114載放在下罩殼122上。另外，在下罩殼122的底面上連接空氣配管124，由氣體供給裝置(未圖示)向氣體排出裝置110供給空氣，在圖示的形態(tài)中，氣體實(shí)際上從所有的氣體排出口112向垂直向上的方向排出。最好做成如下的結(jié)構(gòu)噴嘴板114的面積，相對(duì)于被處理材料的與板相對(duì)的面的面積設(shè)成90～100％大小，通過從氣體排出口排出的氣體實(shí)際上最初與處理材料沖撞，而緩和排出的氣體的能量，難以使不要物質(zhì)向被處理材料的上面飛散。
圖2模式表示將圖1所示的分解立體圖裝配形成的氣體排出裝置110的側(cè)剖視圖。噴嘴板114在4個(gè)角用螺栓126而被安裝在下罩殼122上。中間板118用帶有襯墊128的螺栓129以一定高度而被安裝在下罩殼122上。電加熱器120，通過用來避免電加熱器120與中間板118的熱膨脹差的襯墊128而設(shè)在中間板118上。通過與下罩殼122的中央連接的空氣配管124而供給的加壓空氣由中間板118整流，并由電加熱器120加熱后，從噴嘴板114的氣體排出口112以亞音速～音速的排出速度排出。在圖示的形態(tài)中，電加熱器120除了加熱空氣外還對(duì)噴嘴板加熱，加熱后的噴嘴板對(duì)利用排出的氣體而漂浮的被處理材料(未圖示)、或停止氣體排出而載放在噴嘴板114上的被處理材料予以加熱進(jìn)行熱處理。
圖3用立體圖模式表示由圖1或圖2所示那樣的氣體排出裝置110及氣體供給裝置130構(gòu)成的可用于本發(fā)明氣體漂浮運(yùn)送裝置的氣體漂浮裝置132。在圖示的形態(tài)中，氣體排出裝置110的內(nèi)部具有電加熱器120，氣體供給裝置130的氣體供給配管124，在其途中具有氣體清潔化過濾器134和利用電暈放電的離子發(fā)生器136。其結(jié)果，可從由氣體排出裝置110排出的氣體中去除微細(xì)物，另外，可去除氣體的靜電。在圖示的形態(tài)中，氣體供給配管124在途中被分歧，從而由1個(gè)氣體供給裝置向與被處理材料的運(yùn)送方向垂直的方向(用箭頭表示的方向)排列的多個(gè)氣體排出裝置供給氣體。當(dāng)如此排列氣體排出裝置時(shí)，可防止被處理材料的熱變形而進(jìn)行穩(wěn)定的運(yùn)送。另外，也可在如此排列的氣體排出裝置110上設(shè)置許多氣體排出口(未圖示)并將其分割成多個(gè)組，對(duì)被處理材料的熱處理的均等性及排出的氣體的流量進(jìn)行調(diào)節(jié)。在熱處理裝置中，沿被處理材料的運(yùn)送方向(與箭頭垂直的方向)排列配置這種氣體漂浮裝置，并可與適當(dāng)?shù)倪\(yùn)送裝置組合而形成本發(fā)明的熱處理裝置。
圖4表示與圖3相同的氣體漂浮裝置132。在配置于氣體供給配管124途中的熱交換器138中，將通過對(duì)高溫介質(zhì)140與排出的氣體熱交換而獲得氣體的熱量用作被處理材料的熱處理用能源。即，從氣體排出裝置110排出的加熱氣體，在漂浮被處理材料的同時(shí)，構(gòu)成熱處理環(huán)境，從而對(duì)被處理材料進(jìn)行熱處理。氣體的排出僅僅是漂浮被處理材料時(shí)，在僅排出的加熱后的氣體中，由于往往不供給足夠的熱量，故在圖示的形態(tài)中，省略了電加熱器，但最好與圖3相同，一并使用電加熱器。
圖5是從被處理材料的運(yùn)送方向的端部看到構(gòu)成可用于本發(fā)明熱處理裝置的氣體漂浮裝置的氣體排出裝置110的1個(gè)形態(tài)樣子，即，模式表示從與運(yùn)送方向垂直的一側(cè)看到的樣子。圖示的氣體排出裝置110，使經(jīng)由氣體供給配管124供給的氣體從在噴嘴板114整體上均等分布的氣體排出口112以亞音速～音速的排出速度排出而使運(yùn)送構(gòu)件142漂浮。在運(yùn)送構(gòu)件上載放被處理材料(例如是玻璃基板)144，通過運(yùn)送構(gòu)件的漂浮而間接地漂浮被處理材料，在該狀態(tài)下由運(yùn)送裝置(未圖示)運(yùn)送。
在噴嘴板114的下方配置有電加熱器120，由此對(duì)噴嘴板114加熱，通過停止氣體的排出而對(duì)載放在噴嘴板114上的運(yùn)送構(gòu)件142上的被處理材料144進(jìn)行熱處理。也可在漂浮被處理材料144后的狀態(tài)下利用噴嘴板114進(jìn)行熱處理。另外，在圖示的形態(tài)中，在氣體排出裝置內(nèi)可利用寬度方向上多個(gè)配置的電加熱器120來進(jìn)行均勻性提高的熱處理，另外，也可利用電加熱器120對(duì)排出的氣體進(jìn)行加熱。
圖6模式表示從熱處理裝置的端部看到本發(fā)明熱處理裝置一例子時(shí)的樣子(或與被處理材料的移動(dòng)方向垂直的方向的截面)。圖示的形態(tài)，可適用于例如將等離子放電顯示板或太陽(yáng)能電池板用的玻璃基板作為非處理材料而在熱處理裝置中進(jìn)行熱處理的情況。
圖示的熱處理裝置170具有由隔熱壁172圍成的熱處理空間174，在其天花板側(cè)配置上面加熱用平面加熱器176，由此，從上面對(duì)載放在運(yùn)送構(gòu)件142上的玻璃基板144進(jìn)行加熱。通過分別與沿被處理材料144的寬度方向配置的3個(gè)氣體排出裝置110連接的空氣配管124，加壓空氣從設(shè)在氣體排出裝置110上面的氣體排出口112排出而吹到運(yùn)送構(gòu)件142的底面，使玻璃基板144與運(yùn)送構(gòu)件142一起漂浮。
此時(shí)，當(dāng)因從氣體排出口排出的空氣而飛散的垃圾等不要物質(zhì)附著在玻璃基板144的上面時(shí)，會(huì)給基板的質(zhì)量帶來不良影響，所以，位于沿玻璃基板144的移動(dòng)方向的運(yùn)送構(gòu)件142的邊緣部上方設(shè)置遮住的罩子178作為流動(dòng)控制罩子，由此，抑制排出的氣體流向玻璃基板144的上面?zhèn)龋杆俚赝ㄟ^設(shè)在比玻璃基板144的水平面還下方的排氣口182并通過排氣管184而將氣體向熱處理空間外排出。
圖7是模式表示具有本發(fā)明氣體漂浮運(yùn)送裝置的熱處理裝置的剖視圖，即，對(duì)于被處理材料的運(yùn)送方向而言從其側(cè)方看到熱處理裝置的樣子。在熱處理裝置8的熱處理空間7，在作為運(yùn)送構(gòu)件的托盤2上分別載放有作為被處理材料的多個(gè)基板1。托盤2，沿著從左向右的水平的方向的規(guī)定方向無間隙地鄰接排列。
這些被處理材料1，被例如加熱到規(guī)定溫度進(jìn)行熱處理，為進(jìn)行這種加熱，加熱裝置6配置在熱處理空間7內(nèi)。為使載放了被處理材料1的托盤2依次從左到右移動(dòng)并通過熱處理空間7內(nèi)進(jìn)行運(yùn)送，設(shè)置向右水平方向推入與熱處理空間7的左端鄰接配置的托盤2、而將托盤2供給到熱處理空間內(nèi)的推壓式推入裝置4(也稱作「托盤推入裝置」或「推壓器」)作為運(yùn)送裝置。
由于多個(gè)托盤2實(shí)際上在它們之間不存在間隙地沿規(guī)定方向配置，故當(dāng)最末尾的托盤2被推入熱處理空間7內(nèi)時(shí)，對(duì)于除最前面的托盤2的各托盤，在前面的托盤依次將推入力傳播給位于更前面的托盤，從而，所有的托盤被運(yùn)送到前方。為了在熱處理空間內(nèi)可靠地使載放了被處理材料1的托盤2運(yùn)送，在鄰接的托盤2之間要不產(chǎn)生間隙，并且，為了托盤在因氣體漂浮產(chǎn)生上浮時(shí)的位置穩(wěn)定，在與供給部側(cè)的托盤推送裝置4相對(duì)的排出部側(cè)設(shè)置托盤保持裝置5。
托盤保持裝置5具有與托盤推送裝置4的推送作用相對(duì)的反作用的作用(因此，這些托盤2由推送裝置4及保持裝置5保持成被夾持的狀態(tài))，在熱處理空間7內(nèi)，可穩(wěn)定而確保托盤2的鄰接狀態(tài)。另外，在圖1所示形態(tài)的裝置中，除最末尾的托盤2外，當(dāng)著眼于各托盤2時(shí)，與該托盤的后端抵接的緊跟的托盤2，尤其托盤2的前端是抵接構(gòu)件，可以說它起到運(yùn)送裝置的功能。
另外，在圖示的形態(tài)中，被處理材料1被載放在托盤2上，而當(dāng)被處理材料是具有某種程度厚度的板形狀時(shí)，也可省略托盤而直接將氣體吹向被處理材料使其上浮。因此，在那種情況下，與先前相同，當(dāng)著眼于某個(gè)被處理材料時(shí)，抵接構(gòu)件是該被處理材料的緊跟的被處理材料，尤其是它的前端，它起到運(yùn)送構(gòu)件的功能。
如上所述，當(dāng)將托盤2向前方(圖中向右方)運(yùn)送時(shí)，從表示使托盤推送裝置4及托盤保持裝置5下降的移動(dòng)前的樣子的圖7(a)的狀態(tài)開始，通過利用氣體供給裝置(未圖示)從系統(tǒng)外將氣體供給到氣體漂浮裝置3，則氣體從噴嘴那樣的氣體排出裝置排出，排出后的氣體，吹到載放了基板1的托盤2的底面上。由此，如圖7(b)所示，托盤2因根據(jù)所供給的氣體的量的漂浮量(或高度)而上浮。
接著，如圖7(c)所示，通過利用保持裝置5確保托盤2的鄰接狀態(tài)，并利用推送裝置4向右水平方向推入供給側(cè)的托盤2，從而相互鄰接接觸而配置的多個(gè)托盤之間傳遞力，漂浮的托盤2的整體向右方移動(dòng)。此時(shí)，由于在氣體漂浮裝置3與托盤2之間有空氣層，故在移動(dòng)托盤時(shí)摩擦力幾乎不作用，可以較小的力推入。
如圖7(d)所示，當(dāng)在結(jié)束1個(gè)托盤的移動(dòng)運(yùn)送的時(shí)刻、停止空氣供給時(shí)，托盤接觸狀地被載放在氣體漂浮裝置3上，然后，在熱處理空間內(nèi)將托盤2保持規(guī)定時(shí)間，從而可進(jìn)行規(guī)定的熱處理。接著，將推送裝置向左方移動(dòng)并將新托盤2設(shè)在左端，再取出右端的托盤，獲得熱處理結(jié)束的被處理材料2，則1個(gè)移動(dòng)循環(huán)完成。如此，將如下的工序作為1個(gè)循環(huán)利用氣體產(chǎn)生的漂浮工序(b)→使用推送裝置的上浮時(shí)的移動(dòng)工序(c)→氣體停止的在氣體漂浮裝置上的載放工序(d)→熱處理工序→處理完的被處理材料的取出及未處理的被處理材料的供給工序(a)→利用氣體產(chǎn)生的漂浮工序(b)，通過對(duì)其反復(fù)，被處理材料就依次進(jìn)行移動(dòng)而被熱處理。
圖8～11是用沿被處理材料的運(yùn)送方向的模式剖視圖來更詳細(xì)表示這種被處理材料的漂浮運(yùn)送的樣子。而圖8與圖7(a)對(duì)應(yīng)，圖9與圖7(b)對(duì)應(yīng)，圖10與圖7(c)對(duì)應(yīng)，圖11與圖7(d)對(duì)應(yīng)。在這些附圖中，簡(jiǎn)單地僅圖示2個(gè)熱處理空間，被處理材料不使用運(yùn)送構(gòu)件而被直接漂浮進(jìn)行運(yùn)送。另外，運(yùn)送裝置也省略。
熱處理裝置50具有熱處理空間52與52′，它們被隔壁54分隔。熱處理，用通過對(duì)配置在熱處理空間與隔熱材料56之間的上方與下方加熱器58進(jìn)行控制而設(shè)定的熱處理?xiàng)l件來實(shí)施。在熱處理空間內(nèi)，配置具有氣體排出噴嘴60的底板62作為氣體排出裝置，在那里，供給應(yīng)從作為氣體供給裝置的被分歧后的氣體供給配管64排出的氣體(例如空氣)。氣體的供給，可利用閥66的開閉來控制。圖8所示的狀態(tài)，是閥66被關(guān)閉、在底板62上載放被處理材料68(例如玻璃基板)的狀態(tài)。另外在圖示的形態(tài)中，被處理材料68之間隔開間隔地配置，而在被處理材料68的端部兼作推壓前方的被處理材料的抵接構(gòu)件的情況下，實(shí)際上不存在那樣的間隔。另外，為使加熱器58不直接露出熱處理空間，加熱器58由玻璃罩70遮住。
在圖9所示的狀態(tài)中，閥66被打開，其結(jié)果，氣體從氣體排出噴嘴60的開口部吹向被處理材料，在被處理材料68漂浮的這一點(diǎn)上與圖8不同，但其他特點(diǎn)與圖8是相同的。
在圖10所示的狀態(tài)中，表示漂浮后的被處理材料68如大箭頭所示、利用運(yùn)送構(gòu)件(未圖示)向右方移動(dòng)的樣子。例如，可利用安裝在鏈條上的抵接構(gòu)件來移動(dòng)被處理材料68，或者，也可采用推壓器方式。
在圖11所示的狀態(tài)中，表示如下的狀態(tài)圖10所示的規(guī)定的移動(dòng)結(jié)束，被處理材料移動(dòng)到下一個(gè)熱處理空間后，通過關(guān)閉閥66并停止來自氣體排出裝置的氣體的排出，從而如箭頭所示那樣，被處理材料下降而載放在底板上。然后，直到下一個(gè)漂浮工序，進(jìn)行熱處理。當(dāng)然，在從上述的圖8狀態(tài)到圖11狀態(tài)的期間，由于熱處理空間也維持規(guī)定的條件，故在該期間也進(jìn)行熱處理。
圖12表示熱處理的溫度條件與構(gòu)成熱處理裝置50的熱處理空間52的熱處理室#1～#8所發(fā)生的關(guān)系。在上面的曲線中，縱軸是溫度，橫軸表示熱處理空間的位置(與熱處理室有關(guān))。熱處理室的位置，與在曲線下面模式表示的熱處理裝置對(duì)應(yīng)。在曲線中，實(shí)線表示被處理材料68的溫度，粗虛線表示各熱處理室的設(shè)定溫度。熱處理室#8是冷卻區(qū)域，由于不進(jìn)行主動(dòng)的加熱，故不表示設(shè)定溫度。在圖示的形態(tài)中，在通過熱處理室#1～#8期間，被處理材料的溫度如曲線所示那樣變化，由此，完成規(guī)定的熱處理。
熱處理，未必一定要僅在載放在氣體漂浮裝置上時(shí)進(jìn)行，如果熱處理空間內(nèi)維持規(guī)定的熱處理?xiàng)l件，不管漂浮被處理材料也好，不漂浮也好，只要存在于熱處理空間內(nèi)，就繼續(xù)被熱處理。另外，未必一定要進(jìn)行氣體停止的在氣體漂浮裝置上的載放工序，也可在保持上浮的狀態(tài)下進(jìn)行熱處理。但是，為抑制漂浮用的空氣消耗量和熱處理空間內(nèi)環(huán)境帶走的熱量，最好反復(fù)上浮與載放而間歇地移動(dòng)被處理材料。
圖13模式表示本發(fā)明另外形態(tài)的氣體漂浮運(yùn)送裝置。而圖13(a)為立體圖，圖13(b)為俯視圖，為簡(jiǎn)單起見，氣體漂浮裝置省略。在圖13中，向被處理材料9的規(guī)定的移動(dòng)方向(用箭頭表示的水平向右的方向)移動(dòng)的鏈條、皮帶或鋼絲繩那樣的連續(xù)構(gòu)件10，配置在被處理材料的運(yùn)送路徑的兩邊(圖13(a)中僅圖示一方)。這種連續(xù)構(gòu)件，通過借助滾輪、齒輪等傳遞電動(dòng)機(jī)等動(dòng)力而向規(guī)定方向移動(dòng)。
在連續(xù)構(gòu)件10上，系緊有與靠氣體漂浮裝置上浮后的被處理材料9的后端接觸的抵接構(gòu)件11，當(dāng)向應(yīng)移動(dòng)被處理材料的方向移動(dòng)連續(xù)構(gòu)件10時(shí)，抵接構(gòu)件11就推壓被處理材料9，由此，被處理材料9向規(guī)定方向移動(dòng)。當(dāng)停止連續(xù)構(gòu)件10的移動(dòng)時(shí)，抵接構(gòu)件11停止，即，抵接構(gòu)件11不推壓被處理材料9，在漂浮后的狀態(tài)下被處理材料9停止。停止后，也可根據(jù)需要，停止氣體的排出，將被處理材料載放在氣體漂浮裝置(未圖示)上，繼續(xù)熱處理。在經(jīng)過規(guī)定時(shí)間后，再次排出氣體使被處理材料上浮，然后，移動(dòng)連續(xù)構(gòu)件10，將被處理材料移動(dòng)到規(guī)定的位置。
在圖示的形態(tài)中，僅表示1個(gè)被處理材料，但也可實(shí)際上按等間隔配置多張這種被處理材料9，也可在這些被處理材料之間配置抵接構(gòu)件11(于是，抵接構(gòu)件之間僅離開至少相當(dāng)于被處理材料的長(zhǎng)度的距離來配置)。因此，在圖示的形態(tài)中，運(yùn)送裝置是具有抵接構(gòu)件11的連續(xù)構(gòu)件10。
另外，在圖13(b)所示的形態(tài)中，抵接構(gòu)件11在被配置于被處理材料的兩邊的同時(shí)，在被處理材料的前端還配置增加的抵接構(gòu)件11′。這樣，在停止被處理材料9時(shí)，可盡量阻止被處理材料因慣性產(chǎn)生的移動(dòng)，能可靠地將被處理材料停止在規(guī)定的位置上。在另外的形態(tài)中，在著眼于特定的1個(gè)被處理材料時(shí)，位于其前方的抵接構(gòu)件11可起到那種增加的抵接構(gòu)件的功能。
氣體漂浮裝置，既可是任何的適當(dāng)?shù)男螒B(tài)，也可是如圖7所示那樣的形態(tài)。將這種氣體漂浮運(yùn)送裝置配置在熱處理空間內(nèi)。被處理材料的熱處理、運(yùn)送，實(shí)際上也可是與參照上述圖1說明的情況相同的，反復(fù)使漂浮、移動(dòng)、熱處理組合的循環(huán)來進(jìn)行。另外，在圖13所示的形態(tài)中，使氣體的排出不停止地連續(xù)進(jìn)行，并通過將連續(xù)構(gòu)件的移動(dòng)設(shè)得非常緩慢，也可連續(xù)地運(yùn)送被處理材料。
通過設(shè)置至少1個(gè)抵接構(gòu)件11，可實(shí)現(xiàn)所述目的，但也可根據(jù)應(yīng)處理的被處理材料來增加數(shù)量，或適當(dāng)?shù)馗淖兊纸訕?gòu)件自身的結(jié)構(gòu)。通常，最好在被處理材料的后端的兩個(gè)角附近進(jìn)行抵接，所以，如圖13(b)所示，最好使用2個(gè)抵接構(gòu)件。在被處理材料9的寬度較大的情況下，既可在后端的中央部附近設(shè)置抵接構(gòu)件，也可連接左右的抵接構(gòu)件11。
圖14用立體圖(接近于從斜上方看到被處理材料樣子的圖)模式表示本發(fā)明又一形態(tài)的氣體漂浮運(yùn)送裝置。在圖14中，與圖13相同，也省略氣體漂浮裝置。在圖示的形態(tài)中，具有抵接構(gòu)件13的作往復(fù)運(yùn)動(dòng)的長(zhǎng)構(gòu)件12起到運(yùn)送裝置的功能，由此，成為通過規(guī)定時(shí)間、規(guī)定位置及向規(guī)定方向(粗空心箭頭)使被處理材料移動(dòng)來進(jìn)行運(yùn)送的結(jié)構(gòu)。在這種結(jié)構(gòu)中，由于可使長(zhǎng)構(gòu)件實(shí)際上不從熱處理空間內(nèi)伸出，故熱能帶走損失較小。另外，即使在圖13所示的連續(xù)構(gòu)件的情況下，通過從排出部返回到供給部的部分也設(shè)成經(jīng)由熱處理空間內(nèi)，則也可減少熱能的損失。
在圖14中，表示作為按比被處理材料14的運(yùn)送方向的長(zhǎng)度稍大的等間隔設(shè)置了抵接構(gòu)件13的長(zhǎng)構(gòu)件的軸構(gòu)件12進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)與旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的組合的運(yùn)送順序。抵接構(gòu)件13，至少在上浮時(shí)，與被處理材料14的后端抵接地與長(zhǎng)構(gòu)件12系緊。由于氣體未排出，故在被處理材料載放在氣體漂浮裝置上的狀態(tài)的情況下，即使抵接構(gòu)件13也與被處理材料14接觸也無問題。
最初，由氣體漂浮裝置的氣體排出裝置勁吹氣體而使被處理材料14上浮，使被處理材料14位于抵接構(gòu)件13之間，變成圖14(a)所示的狀態(tài)，接著，當(dāng)向箭頭(細(xì)空心箭頭)的方向使長(zhǎng)構(gòu)件12直線運(yùn)動(dòng)僅抵接構(gòu)件13間的距離時(shí)，由于抵接構(gòu)件13向前方推壓被處理材料的后端，故各被處理材料14向前方前進(jìn)，并向前方移動(dòng)僅1個(gè)被處理材料的距離。
接著，如圖14(b)所示，如用細(xì)箭頭所示那樣，使長(zhǎng)構(gòu)件12繞其軸旋轉(zhuǎn)，然后，如圖14(c)所示，使長(zhǎng)構(gòu)件12向反方向直線運(yùn)動(dòng)僅相同距離，并然后如圖14(d)所示，使長(zhǎng)構(gòu)件旋轉(zhuǎn)，在被處理材料至少上浮時(shí)，抵接構(gòu)件13就可與被處理材料抵接。旋轉(zhuǎn)長(zhǎng)構(gòu)件的角度不特別限定，例如，也可是90°左右。如此，通過反復(fù)(a)→(b)→(c)→(d)→(a)，可間歇地運(yùn)送被處理材料。
此外，在另外形態(tài)的圖14所示的形態(tài)中，根據(jù)抵接構(gòu)件的結(jié)構(gòu)及尺寸(特別是鉛垂方向的長(zhǎng)度)，僅被處理材料上浮時(shí)抵接構(gòu)件13可與被處理材料14接觸，在被處理材料未上浮時(shí)，抵接構(gòu)件可不妨礙長(zhǎng)構(gòu)件的直線運(yùn)動(dòng)。此時(shí)，不要旋轉(zhuǎn)長(zhǎng)構(gòu)件。另外，熱處理也可在任何時(shí)刻進(jìn)行。
圖15模式表示具有本發(fā)明氣體漂浮運(yùn)送裝置的熱處理裝置。圖示的形態(tài)，是用局部剖切后的立體圖更具體地表示圖7～11所示的熱處理裝置。另外，圖16是用立體圖表示可用于圖15所示的熱處理裝置的氣體漂浮運(yùn)送裝置。
本發(fā)明的熱處理裝置20，是一種例如對(duì)把等離子體顯示板作為最終產(chǎn)品的基板材料進(jìn)行熱處理的裝置。其結(jié)構(gòu)是，載放作為被處理材料的玻璃基板15的最末尾的運(yùn)載托盤16′，利用配置在供給部(輸入器)側(cè)的托盤推送裝置18而被推入處理空間內(nèi)，并依次地使其向前方移動(dòng)，由此，被運(yùn)送到熱處理裝置20內(nèi)部的熱處理空間。此時(shí)，在熱處理空間內(nèi)，多個(gè)運(yùn)載托盤16相互鄰接接觸地配置。運(yùn)載托盤16沿與應(yīng)移動(dòng)的方向垂直的方向而具有比基板15足夠大的深度，通過推壓供給側(cè)的最末尾的運(yùn)載托盤16，該力被依次傳遞到配置在裝置上的前方的運(yùn)載托盤上，這種運(yùn)送方式是上述的推進(jìn)方式。
在使托盤推送裝置18動(dòng)作時(shí)，需使運(yùn)載托盤16漂浮，它使用內(nèi)藏在熱處理裝置內(nèi)的壓縮機(jī)將加壓空氣供給到空氣漂浮構(gòu)件17，向托盤的背側(cè)勁吹氣體來漂浮托盤。熱處理，也可在被處理材料存在于熱處理空間內(nèi)期間、在任何的適當(dāng)?shù)臅r(shí)刻用適當(dāng)?shù)姆椒ㄟM(jìn)行。熱處理結(jié)束后的基板15與運(yùn)載托盤16在排出部側(cè)由運(yùn)載托盤升降器19分離，基板15被取出到熱處理裝置20外。
另外，若使用設(shè)在熱處理裝置外或熱處理裝置的底部側(cè)的運(yùn)送裝置，則也可將運(yùn)載托盤相反地運(yùn)送到供給部(輸入器)側(cè)，為了下一個(gè)的熱處理，載放玻璃基板，再次供給到熱處理空間內(nèi)。
在圖16所示的氣體漂浮運(yùn)送裝置中，對(duì)于通過將氣體供給到氣體漂浮裝置23而上浮的排列配置的托盤22，利用托盤推送裝置的推進(jìn)器25而向前方推壓最末尾的托盤22，由此，使位于前方的托盤向前方移動(dòng)。此時(shí)，排出部的托盤保持裝置的保持裝置27與推進(jìn)器25的推送聯(lián)動(dòng)而可向前方移動(dòng)。當(dāng)推進(jìn)器25的推送結(jié)束時(shí)，推進(jìn)器25回到原來狀態(tài)(向與箭頭相反的方向)，可配置下一個(gè)托盤，另外，在排出部側(cè)，在取出結(jié)束熱處理的被處理材料后，保持裝置27就回到原來狀態(tài)(向與箭頭相反的方向)。26與28表示用來將動(dòng)力傳遞給推送裝置與保持裝置的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)。
圖17模式表示在熱處理裝置中從沿著移動(dòng)被處理材料的方向的一側(cè)看到本發(fā)明熱處理裝置的另外一例子時(shí)的樣子。在圖示的形態(tài)中，也可是例如運(yùn)載托盤的形態(tài)的多個(gè)運(yùn)送構(gòu)件142相互鄰接接觸地配置在熱處理空間174內(nèi)，并配置其中應(yīng)熱處理的被處理材料144。在沿(用箭頭表示)移動(dòng)方向運(yùn)送的期間，由從配置在其下方的氣體排出裝置110的氣體排出口以亞音速～音速的范圍排出的氣體漂浮運(yùn)送構(gòu)件142，并由運(yùn)送裝置(未圖示)移動(dòng)。當(dāng)移動(dòng)結(jié)束時(shí)，停止氣體的排出，從而停止運(yùn)送構(gòu)件的漂浮狀態(tài)，進(jìn)行規(guī)定的熱處理。
在圖示的形態(tài)中，運(yùn)送構(gòu)件142，沿與對(duì)象物體的應(yīng)移動(dòng)的方向(箭頭)相垂直的方向而具有比對(duì)象物體的厚度足夠大的尺寸(或深度)186，在鄰接的運(yùn)送構(gòu)件的最末尾，當(dāng)向應(yīng)移動(dòng)被處理材料的方向施加力時(shí)，該力從最后的運(yùn)送構(gòu)件被傳遞到與其鄰接的先行的運(yùn)送構(gòu)件上，再?gòu)脑撨\(yùn)送構(gòu)件再傳遞到先行的運(yùn)送構(gòu)件上，如此，力被依次傳遞。因此，通過向前方(移動(dòng)方向)推壓最后的運(yùn)送構(gòu)件188，可使先于其的所有的支承構(gòu)件移動(dòng)。因此，在圖示的形態(tài)中，運(yùn)送裝置是從其外部將運(yùn)送構(gòu)件推入熱處理裝置內(nèi)的裝置，例如是推進(jìn)器190。
這種運(yùn)送裝置也可稱作推進(jìn)式(或插動(dòng)式)，當(dāng)將其配置在熱處理空間174內(nèi)時(shí)，可依次移動(dòng)作為配置在運(yùn)送構(gòu)件142上的對(duì)象物的被處理材料144，并在這期間進(jìn)行熱處理。運(yùn)送構(gòu)件自身，由于利用從位于其下面的氣體排出裝置110吹出的氣體而被漂浮，故在運(yùn)送構(gòu)件的下面只存在與氣體的摩擦阻力，使運(yùn)送構(gòu)件移動(dòng)所需的力是最小限度就可以了。在該形態(tài)中，為了被處理材料或運(yùn)送構(gòu)件的移動(dòng)，在不必將把力作用于它們的運(yùn)送裝置設(shè)在熱處理空間內(nèi)的這點(diǎn)上是合適的。
圖18模式表示具有配置氣體排出裝置80的氣體排出口82的開口部的底板84的立體圖。在圖示的較佳的形態(tài)中，作為氣體排出裝置的噴嘴的端面配置在底板的開口部上，利用設(shè)在底板上的槽部86而將開口部連接。在圖示的形態(tài)中，在底板的中央部和底板的對(duì)角線上的靠近角落部分的部分配置共計(jì)4個(gè)氣體排出裝置。在氣體排出裝置的端面，以群的形式存在較小開口部的氣體排出口，從該處氣體向被處理材料排出。在這樣的形態(tài)下，從氣體排出口82排出的氣體，沖撞對(duì)象物，然后，容易優(yōu)先地沿槽部前進(jìn)。另外，由于排出的氣體通過槽部而容易均等地?cái)U(kuò)散到板整體，故可有效地使用用于漂浮的氣體，其結(jié)果，可減少氣體使用量。
在圖示的形態(tài)中，槽部在底板的上側(cè)表面上形成線對(duì)稱且點(diǎn)對(duì)稱。在1個(gè)較佳的形態(tài)中，與槽部的長(zhǎng)度方向垂直的截面形狀，是矩形或半圓形，槽部的深度呈隨著遠(yuǎn)離排出口而變淺的所謂的錐狀。
另外，雖然以本發(fā)明為主并以加熱處理的情況為例子進(jìn)行了說明，但上述的本發(fā)明的漂浮裝置、氣體漂浮運(yùn)送裝置及熱處理裝置，在對(duì)對(duì)象物或被處理材料進(jìn)行冷卻處理或進(jìn)行恒溫處理的場(chǎng)合、及置于各種溫度變化的場(chǎng)合，也可與上述相同地使用。不同的是，對(duì)對(duì)象物施加熱量或除去熱量，或?qū)崃康倪M(jìn)出予以隔斷的區(qū)別，關(guān)于對(duì)象物的漂浮及運(yùn)送的上述的說明，也與加熱處理以外的熱處理配合。
與皮帶運(yùn)送方式具有較大的熱容量、在氣體漂浮運(yùn)送方式中也需非常多的氣體、且具有因運(yùn)送裝置的磨損而產(chǎn)生塵埃導(dǎo)致質(zhì)量惡化這樣的問題的現(xiàn)有的皮帶運(yùn)送機(jī)運(yùn)送式熱處理裝置相比，采用本發(fā)明的氣體漂浮裝置(或方法)、氣體漂浮運(yùn)送裝置(或方法)、或利用它的熱處理裝置(或方法)，可在熱處理空間，在將更少量的氣體吹向被處理材料而使其漂浮的狀態(tài)下將被處理材料移動(dòng)運(yùn)送，其結(jié)果，可使進(jìn)出熱處理空間內(nèi)外的機(jī)械結(jié)構(gòu)部變?yōu)樽钚∠薅?，可確保熱處理時(shí)的被處理材料的質(zhì)量，并可盡量抑制因運(yùn)送系統(tǒng)機(jī)械的熱量帶走所造成的熱能浪費(fèi)。
權(quán)利要求
1.一種氣體漂浮運(yùn)送裝置，是為對(duì)被處理材料進(jìn)行熱處理而在熱處理空間內(nèi)利用氣體使被處理材料漂浮并沿規(guī)定方向進(jìn)行運(yùn)送的裝置，由氣體漂浮裝置與運(yùn)送裝置構(gòu)成，其特征在于，氣體漂浮裝置包括為使被處理材料上浮而對(duì)作用漂浮力的被處理材料的一部分吹氣體的氣體排出裝置；以及將氣體供給到氣體排出裝置的氣體供給裝置，運(yùn)送裝置由與上浮的被處理材料的后端抵接且沿該規(guī)定方向移動(dòng)的抵接構(gòu)件所構(gòu)成，通過移動(dòng)抵接構(gòu)件而推壓被處理材料，而將上浮的被處理材料向該規(guī)定方向移動(dòng)。
2.如權(quán)利要求1所述的氣體漂浮運(yùn)送裝置，其特征在于，間歇運(yùn)送被處理材料，僅移動(dòng)時(shí)，氣體漂浮裝置使被處理材料上浮。
3.如權(quán)利要求1或2所述的氣體漂浮運(yùn)送裝置，其特征在于，被處理材料沿該規(guī)定方向被多個(gè)地排列配置。
4.如權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的氣體漂浮運(yùn)送裝置，其特征在于，抵接構(gòu)件是與被處理材料的后端接觸的其他的被處理材料的前端。
5.如權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的氣體漂浮運(yùn)送裝置，其特征在于，抵接構(gòu)件，在被處理材料的長(zhǎng)度上實(shí)際相隔等間隔地與在熱處理空間內(nèi)沿該規(guī)定方向朝前方移動(dòng)的連續(xù)構(gòu)件系緊。
6.如權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的氣體漂浮運(yùn)送裝置，其特征在于，抵接構(gòu)件，在被處理材料的長(zhǎng)度上實(shí)際相隔等間隔地與在熱處理空間內(nèi)沿該規(guī)定方向朝前后移動(dòng)的長(zhǎng)構(gòu)件系緊，抵接構(gòu)件與被處理材料的抵接狀態(tài)，根據(jù)長(zhǎng)構(gòu)件繞長(zhǎng)度方向軸的旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生抵接/不抵接的狀態(tài)。
7.一種氣體漂浮運(yùn)送方法，是為對(duì)被處理材料進(jìn)行熱處理而在熱處理空間內(nèi)用氣體漂浮裝置并利用氣體而使被處理材料漂浮、再利用運(yùn)送裝置將其沿規(guī)定方向進(jìn)行運(yùn)送的方法，其特征在于，氣體漂浮裝置，將由氣體供給裝置供給的氣體從氣體排出裝置吹向被處理材料的一部分而使被處理材料上浮，運(yùn)送裝置具有沿該規(guī)定方向移動(dòng)的抵接構(gòu)件，抵接構(gòu)件與上浮的被處理材料的后端抵接，通過移動(dòng)抵接構(gòu)件而推壓被處理材料，由此，將上浮的被處理材料向規(guī)定方向移動(dòng)。
8.如權(quán)利要求7所述的氣體漂浮運(yùn)送方法，其特征在于，被處理材料被載放在運(yùn)送構(gòu)件上，抵接構(gòu)件，代替被處理材料而與運(yùn)送構(gòu)件的后端鄰接并推壓運(yùn)送構(gòu)件，其結(jié)果，使被處理材料向規(guī)定方向移動(dòng)。
9.如權(quán)利要求8所述的氣體漂浮運(yùn)送方法，其特征在于，運(yùn)送構(gòu)件，是由石英玻璃材料或陶瓷材料構(gòu)成的盤或板狀構(gòu)件，對(duì)載放被處理材料的面的背側(cè)面吹氣體而作用漂浮力。
10.一種熱處理裝置，其特征在于，在熱處理空間內(nèi)具有如權(quán)利要求18～23中任一項(xiàng)所述的氣體漂浮運(yùn)送裝置。
11.如權(quán)利要求10所述的熱處理裝置，其特征在于，還包括在熱處理空間的跟前將被處理材料供給到熱處理空間的供給部與在熱處理空間的后面從熱處理空間將被處理材料取出的排出部，供給部與排出部，具有與熱處理空間相同的氣體漂浮裝置與運(yùn)送裝置。
12.如權(quán)利要求10或11所述的熱處理裝置，其特征在于，氣體漂浮裝置由從氣體排出裝置的氣體排出口向?qū)ο笪锱懦鰵怏w從而對(duì)象物被漂浮在上方的底板所構(gòu)成，底板具有多個(gè)氣體排出口，這些氣體排出口利用在底板的上側(cè)表面形成的槽部而被相互連接。
13.如權(quán)利要求12所述的熱處理裝置，其特征在于，槽部在底板上呈點(diǎn)對(duì)稱及/或線對(duì)稱地形成，在槽部的端部及中間部形成有氣體排出口。
全文摘要
一種在熱處理空間內(nèi)沿規(guī)定方向運(yùn)送被處理材料的裝置，包括氣體漂浮裝置與運(yùn)送裝置。氣體漂浮裝置包括為使被處理材料上浮而以亞音速～音速范圍的規(guī)定的排出速度從氣體排出裝置的氣體排出口對(duì)作用漂浮力的被處理材料的一部分吹氣體的氣體排出裝置；以及將氣體供給到氣體排出裝置的氣體供給裝置，運(yùn)送裝置由與上浮的被處理材料的后端抵接且沿該規(guī)定方向移動(dòng)的抵接構(gòu)件所構(gòu)成，本發(fā)明是一種價(jià)廉的更具有可靠性的裝置。
文檔編號(hào)B65G49/05GK1590944SQ20041005673
公開日2005年3月9日 申請(qǐng)日期1999年8月20日 優(yōu)先權(quán)日1998年8月20日
發(fā)明者森田真登, 筒井裕二, 吉田勝, 橫山暢入, 谷本憲司 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社