專利名稱：平板狀搬運(yùn)物的搬運(yùn)方法及其裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于搬運(yùn)液晶面板用玻璃基板等平板狀搬運(yùn)物的方法以及裝置，尤其涉及將平板狀搬運(yùn)物近似水平放置，并保持其下表面或上表面來進(jìn)行搬運(yùn)的平板狀搬運(yùn)物的搬運(yùn)方法及其裝置。
背景技術(shù)：
這種平板狀搬運(yùn)物一般收納在多層托盤中，通過機(jī)械手等搬運(yùn)裝置依次搬運(yùn)到處理裝置上，在被處理裝置實(shí)施處理之后，再次返回到托盤中。該平板狀搬運(yùn)物的搬運(yùn)，多使用由特開平11-322069號(hào)公報(bào)所公開的叉子狀指狀物(finger)構(gòu)成的保持部來進(jìn)行。
在搬運(yùn)物具有大型液晶面板用玻璃基板那樣的大面積，且厚度薄的情況下，由于其自身重量使得撓曲量變大，存在著難以向以狹窄的上下間隔構(gòu)成各層的托盤進(jìn)行搬運(yùn)等問題，所以，如上述特開平11-322069號(hào)公報(bào)所公開那樣，需要叉子狀指狀物形成為可保持平板狀搬運(yùn)物的大致整個(gè)區(qū)域的大小。
專利文獻(xiàn)1特開平11-322069號(hào)公報(bào)但是，如果載置平板狀搬運(yùn)物的指狀物等較大，則機(jī)械手等搬運(yùn)裝置的搬運(yùn)載荷變大，難以快速正確地進(jìn)行位置控制，從而，存在導(dǎo)致搬運(yùn)裝置大型化等問題。而且，為了避免污染，優(yōu)選在搬運(yùn)時(shí)盡量抑制液晶面板用玻璃基板那樣的平板狀搬運(yùn)物與指狀物等保持部的接觸。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于此，本發(fā)明的目的在于消除前述現(xiàn)有技術(shù)所具有的問題點(diǎn)，提供平板狀搬運(yùn)物的搬運(yùn)方法及其裝置，該方法以及裝置能夠使指狀物等載置部小型化，并且，將與平板狀搬運(yùn)部的接觸抑制得更少，同時(shí)，將由自身重量引起的平板狀搬運(yùn)物的撓曲抑制得更小，從而能夠?qū)崿F(xiàn)更高效的搬運(yùn)。
為了達(dá)到前述目的，本發(fā)明提供一種平板狀搬運(yùn)物的搬運(yùn)方法，該方法是將平板狀搬運(yùn)物以近似水平的姿勢(shì)放置在搬運(yùn)裝置的載置部上，在通過載置部的保持部保持平板狀搬運(yùn)物的下表面或上表面的狀態(tài)下，進(jìn)行搬運(yùn)，其特征在于，在保持前述平板狀搬運(yùn)物的下表面或上表面的多個(gè)保持部上以規(guī)定排列設(shè)置高低差，至少在處于保持狀態(tài)時(shí)，利用前述保持部的高低差使前述平板狀搬運(yùn)物強(qiáng)制彎曲，在保持前述平板狀搬運(yùn)物的強(qiáng)制彎曲狀態(tài)下，使前述載置部移動(dòng)來搬運(yùn)該平板狀搬運(yùn)物。
而且，本發(fā)明還提供一種平板狀搬運(yùn)物的搬運(yùn)裝置，其在以近似水平的姿勢(shì)保持的狀態(tài)下對(duì)平板狀搬運(yùn)物進(jìn)行搬運(yùn)，其特征在于，包括載置部，以近似水平的姿勢(shì)載置前述平板狀搬運(yùn)物；搬運(yùn)裝置的主體部，具有使前述載置部移動(dòng)的機(jī)構(gòu)；和保持部，至少呈兩列且每列多個(gè)地排列在前述載置部上，來保持前述平板狀搬運(yùn)物，前述保持部設(shè)置有這樣一種機(jī)構(gòu)具有相對(duì)前述平板狀搬運(yùn)物的下表面或上表面的高度不同的高低差，至少在處于保持狀態(tài)時(shí)，利用前述保持部的高低差使前述平板狀搬運(yùn)物強(qiáng)制彎曲。
前述保持部，優(yōu)選在朝向前述平板狀搬運(yùn)物的下表面或上表面的方向高度低的保持部上，具備吸附該下表面或上表面的吸附部，并且，優(yōu)選至少一部分可調(diào)整前述高度。進(jìn)而，前述保持部也可以形成為使前述平板狀搬運(yùn)物彎曲成沿著其長(zhǎng)度方向上下的波形，或者形成為使前述平板狀搬運(yùn)物彎曲成與長(zhǎng)度方向成直角的寬度方向的中央較低的V字型、或中央較高的山型。
由于本發(fā)明由于作成下述結(jié)構(gòu)，即，在至少處于保持狀態(tài)時(shí)，通過在保持前述平板狀搬運(yùn)物的下表面或上表面的保持部上設(shè)置高低差，使前述平板狀搬運(yùn)物強(qiáng)制彎曲，來進(jìn)行保持·搬運(yùn)，所以，能夠使沿著彎曲的山或/和谷的方向的撓曲減少，可以使指狀物等保持部小型化，并且能夠?qū)⑴c平板狀搬運(yùn)物的接觸抑制得更少。
另外，如果將前述彎曲形成為沿著前述平板狀搬運(yùn)物的長(zhǎng)度方向而上下的波形，則能夠?qū)锨恳种频酶。瑫r(shí)，可將前述保持部限定在與長(zhǎng)度方向成直角的寬度方向的中央附近等，并且，還可以將前述彎曲限定在前述平板狀搬運(yùn)物的與長(zhǎng)度方向成直角的寬度方向的兩端附近等。


圖1是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式例的搬運(yùn)裝置的概要主視圖。
圖2是圖1所示的搬運(yùn)裝置的叉子的放大詳細(xì)俯視圖。
圖3是表示從下方觀察圖2的叉子的吸附狀態(tài)的放大詳細(xì)右側(cè)視圖。
圖4是表示本發(fā)明其他實(shí)施方式例的叉子的放大詳細(xì)俯視圖。
圖5是表示從右面觀察圖4的叉子的吸附狀態(tài)的放大詳細(xì)右側(cè)視圖。
圖6是表示本發(fā)明其他實(shí)施方式例的叉子的放大詳細(xì)俯視圖。
附圖標(biāo)記說明10-底座11-回旋臺(tái)12-升降·旋轉(zhuǎn)軸13-第一回旋臂14-第二回旋臂15-手柄(hand)16、26、36-叉子16A、16B、26A、26B、26C-指狀物17-平板狀搬運(yùn)物18-襯墊(pad)19-吸附部20-墊片(shim)具體實(shí)施方式
下面，參照附圖，對(duì)本發(fā)明所涉及的平板狀搬運(yùn)物的搬運(yùn)方法及其裝置的一實(shí)施方式進(jìn)行說明。
圖1是表示將本發(fā)明應(yīng)用于以機(jī)械手作為主體的搬運(yùn)裝置中的一例的圖，10是底座，11是回旋臺(tái)，12是升降·旋轉(zhuǎn)軸，13是第一回旋臂，14是第二回旋臂，15是手柄，16是作為載置搬運(yùn)物的載置部、即叉子。
第一回旋臂13、第二回旋臂14相互向逆方向回旋，使手柄15向升降·旋轉(zhuǎn)軸12的半徑方向移動(dòng)。此時(shí)，手柄15與第一回旋臂13以及第二回旋臂14的回旋聯(lián)動(dòng)，在第一回旋臂13以及第二回旋臂14上旋轉(zhuǎn)，并將手柄15的朝向保持恒定。另外，手柄15也可以與上述聯(lián)動(dòng)方式不同的方式旋轉(zhuǎn)。并且，手柄15通過升降·旋轉(zhuǎn)軸12的升降而上下動(dòng)作，通過回旋臺(tái)的旋轉(zhuǎn)而向升降·旋轉(zhuǎn)軸12的圓周方向移動(dòng)。
圖2是叉子16的放大詳細(xì)俯視圖，17是載置在叉子16上的由透明玻璃板(例如，液晶面板用玻璃基板)構(gòu)成的平板狀搬運(yùn)物。圖3是從下方觀察圖2的叉子16的放大詳細(xì)右側(cè)視圖。如圖2所示，叉子16具有兩根指狀物16A、16B，兩指狀物16A、16B不是位于平板狀搬運(yùn)物17的與長(zhǎng)度方向(圖2中的左右方向)成直角的寬度方向(圖2中的上下方向)的兩端部，而是位于寬度方向比較靠近中央附近，向上述長(zhǎng)度方向平行延伸。因此，叉子16的寬度比平板狀搬運(yùn)物17的寬度窄。
在兩指狀物16A、16B的上表面，與平板狀搬運(yùn)物17的下表面抵接而支承該平板狀搬運(yùn)物17的作為保持部的襯墊18、和對(duì)置配置在平板狀搬運(yùn)物17的下表面同樣作為保持部的吸附部19，沿著指狀物16A、16B的長(zhǎng)度方向分別成列地交替配置。吸附部19經(jīng)由設(shè)置在指狀物16A、16B以及手柄15內(nèi)部的未圖示的流路，與同樣未圖示的真空泵連接，構(gòu)成為能夠真空吸附平板狀搬運(yùn)物17的下表面。
如圖3所示，襯墊18經(jīng)由墊片20安裝在指狀物16A、16B的上表面，通過調(diào)節(jié)墊片20的厚度，能夠調(diào)整襯墊18的高度，從而，能夠在與吸附部19的吸附面之間設(shè)定高低差。另一方面，吸附部19在非吸附狀態(tài)時(shí)，其上端的吸附面設(shè)定成與墊片20的上端大致相等的高度，在以真空吸引力吸附平板狀搬運(yùn)物17的下表面時(shí)，通過僅下陷1mm至幾mm預(yù)先設(shè)定的規(guī)定量，對(duì)平板狀搬運(yùn)物17賦予強(qiáng)制的彎曲。
接著，對(duì)該搬運(yùn)裝置的作用進(jìn)行說明。
如圖2所示，在將指狀物16A、16B插入到收納于未圖示的托盤內(nèi)的平板狀搬運(yùn)物17的下方之后，使指狀物16A、16B上升規(guī)定量，通過襯墊18以及吸附部19來承接平板狀搬運(yùn)物17的下表面，將平板狀搬運(yùn)物17從托盤轉(zhuǎn)移到指狀物16A、16B上。
此時(shí)，由于指狀物16A、16B位于平板狀搬運(yùn)物17的寬度方向比較靠近中央附近的位置，所以，能夠避免設(shè)置在未圖示的托盤上的保持部與指狀物16A、16B的干涉，并能更加可靠地保持平板狀搬運(yùn)物17。這對(duì)于成為利用該搬運(yùn)裝置的平板狀搬運(yùn)物17的搬運(yùn)目的地的處理裝置等中的平板狀搬運(yùn)物17的保持部來說，也是同樣的。
接著，如果通過未圖示的真空泵使吸附部19工作，則吸附部19會(huì)吸附平板狀搬運(yùn)物17的下表面，由于該吸附使得平板狀搬運(yùn)物的下表面下陷規(guī)定量。
通過由該吸附部19的吸附作用引起的下陷，平板狀搬運(yùn)物17被賦予下述彎曲，即在圖2中以點(diǎn)劃線A表示的部分成為山，以點(diǎn)劃線B表示的部分成為谷。也就是說，沿著平板狀搬運(yùn)物17的長(zhǎng)度方向，被強(qiáng)制賦予上下波形的彎曲形狀。
像上述那樣被彎曲的平板狀搬運(yùn)物17，沿著點(diǎn)劃線A表示的山以及點(diǎn)劃線B表示的谷的方向(寬度方向)撓曲，即在圖2中，平板狀搬運(yùn)物17的寬度方向的兩端部分、和圖2中相鄰的指狀物16A、16B的各襯墊18之間的平板狀搬運(yùn)物17的下垂減少。
這樣，根據(jù)該搬運(yùn)裝置，通過預(yù)先對(duì)平板狀搬運(yùn)物17強(qiáng)制附加波形的彎曲形狀，在平板狀搬運(yùn)物17中，未被指狀物16A、16B支承而向外側(cè)伸出的周邊部分的剛性提高，不易因自身重量而彎曲。因此，由于通過上述彎曲，將圖2中上下方向(寬度方向)的平板狀搬運(yùn)物17的撓曲量抑制得小，而且，由襯墊18和吸附部19保持平板狀搬運(yùn)物17，而將圖2中左右方向(長(zhǎng)度方向)的平板狀搬運(yùn)物17的撓曲量抑制在規(guī)定值內(nèi)，所以，通過設(shè)置在更狹窄的范圍內(nèi)的數(shù)量更少的由襯墊18以及吸附部19構(gòu)成的保持部，可以將由平板狀搬運(yùn)物17的自身重量引起的整體撓曲量抑制得更小。
圖4至圖5是表示本發(fā)明其他的實(shí)施方式例的圖，圖4是與圖2對(duì)應(yīng)的其他叉子26的放大詳細(xì)主視圖。圖5是從右面觀察圖4的叉子26的放大詳細(xì)主視圖。如圖4所示，叉子26具有三根指狀物26A、26B、26C，中央的指狀物26B位于平板狀搬運(yùn)物17的與長(zhǎng)度方向成直角的寬度方向的中央處，在上述長(zhǎng)度方向上平行延伸。左右兩指狀物26A、26C位于上述寬度方向的中央與圖4中平板狀搬運(yùn)物17的上下邊的中間，優(yōu)選位于上下邊的附近側(cè)，并同樣與上述長(zhǎng)度方向平行地延伸。而且，叉子26的寬度比平板狀搬運(yùn)物17的寬度窄。
在上述中央的指狀物26B的根端側(cè)與前端側(cè)設(shè)置有與前述的吸附部19相同的吸附部19，在左右兩指狀物26A、26C的根端側(cè)與前端側(cè)，經(jīng)由墊片20分別以與吸附部19相同的間隔，同樣地設(shè)置與前述的襯墊18相同的襯墊18。在各指狀物26A、26B、26C的根端側(cè)與前端部，襯墊18與吸附部19分別在寬度方向上交替配置，形成分別在圖4的上下方向(寬度方向)延伸的兩列，在圖4中，吸附部19處于位于上下位置的襯墊18、18之間。在鄰接的襯墊18和吸附部19之間設(shè)置高低差，使得吸附部19的吸附面變低。
優(yōu)選襯墊18以及吸附部19在平板狀搬運(yùn)物17的長(zhǎng)度方向的位置，位于比較靠近該方向的端部，或靠近該方向的中央與端部的中間。
在該實(shí)施方式例中，如圖5所示，彎曲成平板狀搬運(yùn)物17的與長(zhǎng)度方向成直角的寬度方向的中央較低的V字型。由此，由于將平板狀搬運(yùn)物17在上述長(zhǎng)度方向的撓曲量抑制得較小，而且，由襯墊18和吸附部19保持平板狀搬運(yùn)物17，而將平板狀搬運(yùn)物17在圖4的上下方向(寬度方向)的撓曲抑制在規(guī)定值內(nèi)，所以，通過設(shè)置在更狹窄的范圍內(nèi)的數(shù)量更少的由襯墊18以及吸附部19構(gòu)成的保持部，可以將由平板狀搬運(yùn)物17的自身重量引起的整體撓曲量抑制得更小。
圖6是表示本發(fā)明又一個(gè)實(shí)施方式例的圖，是與圖5對(duì)應(yīng)的其他叉子36的放大詳細(xì)主視圖。該實(shí)施方式例將圖4至圖5所示的實(shí)施方式例的襯墊18與吸附部的位置顛倒，使平板狀搬運(yùn)物17彎曲成中央高的山型。根據(jù)該實(shí)施方式例，與圖4至圖5所示的實(shí)施方式例相比，雖然平板狀搬運(yùn)物17寬度方向的撓曲量變大，但是產(chǎn)生更大撓曲的長(zhǎng)度方向的撓曲量與圖4至圖5所示的實(shí)施方式相同，被抑制得很小。
在前述的實(shí)施方式例中，作為平板狀搬運(yùn)物17的彎曲例，舉例說明了沿著平板狀搬運(yùn)物的長(zhǎng)度方向上下形成的波形、與該長(zhǎng)度方向成直角的寬度方向中央較低的V字型、以及寬度方向的中央較高的山型，但是，也可以是沿著寬度方向上下形成的波形、長(zhǎng)度方向的中央較低的V字型、以及長(zhǎng)度方向的中央較高的山型等各種彎曲。
而且，在前述的實(shí)施方式例中，舉例說明了將由支承平板狀搬運(yùn)物17下表面的襯墊18以及吸附部19構(gòu)成的保持部設(shè)置成兩列，但是，本發(fā)明不限定于此，也可以根據(jù)平板狀搬運(yùn)物17的大小以及厚度，設(shè)置成三列以上。另外，保持部也可以通過采用下陷量不同的吸附部19，而將襯墊18替換為吸附部19，即全部使用吸附部19，還可以采用把持平板狀搬運(yùn)物17緣部的夾持(clip)式等，能夠?qū)嵤└鞣N變更。
并且，在前述的實(shí)施方式例中，以通過設(shè)置在臂前端的叉子保持平板狀搬運(yùn)物17下表面的機(jī)械手作為構(gòu)成例，進(jìn)行了說明，但是，本發(fā)明不限定于此，也能夠應(yīng)用于沿著軌道那樣的行駛路來搬運(yùn)平板狀搬運(yùn)物17的搬運(yùn)裝置等各種方式的搬運(yùn)裝置，而且，平板狀搬運(yùn)物17的形狀不限定于四邊形，可以是各種形狀。
實(shí)施例使用圖2至圖3所示的叉子16，如該圖所示那樣，保持下述大小及厚度的玻璃制平板狀搬運(yùn)物17。其中，平板狀搬運(yùn)物17的尺寸縱×橫×厚度＝1500mm×1000mm×1mm指狀物16A、16B的間隔＝600mm襯墊18與吸附部19的間隔＝240mm吸附時(shí)襯墊18與吸附部19的高低差＝2mm此時(shí)，平板狀搬運(yùn)物17的寬度方向的撓曲量＝8mm。
與此相對(duì)，作為比較例1，在將吸附部19替換為襯墊18，即所有都為相同高度的襯墊18，而其他條件與上述實(shí)施例1相同的情況下，寬度方向的撓曲量為9mm。
使用圖4至圖5所示的叉子26，如該圖所示那樣，保持下述大小及厚度的玻璃制平板狀搬運(yùn)物17。其中，平板狀搬運(yùn)物17的尺寸縱×橫×厚度＝1200mm×1000mm×1mm指狀物26A、26B、26C的間隔＝300mm圖4中的襯墊18與吸附部19的左右方向間隔＝600mm吸附時(shí)襯墊18與吸附部19的高低差＝1mm此時(shí)，平板狀搬運(yùn)物17的寬度方向的撓曲量＝3mm。
與此相對(duì)，作為比較例2，在將吸附部19替換為襯墊18，即所有都為相同高度的襯墊18，而其他條件與上述實(shí)施例2相同的情況下，長(zhǎng)度方向的撓曲量為4mm。
工業(yè)上的可利用性本發(fā)明能夠廣泛應(yīng)用于像液晶面板用玻璃基板那樣的，形狀大、厚度薄、且由自身重量產(chǎn)生比較大的撓曲的平板狀搬運(yùn)物的搬運(yùn)。
權(quán)利要求
1.一種平板狀搬運(yùn)物的搬運(yùn)方法，將平板狀搬運(yùn)物以近似水平的姿勢(shì)放置在搬運(yùn)裝置的載置部上，在通過載置部的保持部保持平板狀搬運(yùn)物的下表面或上表面的狀態(tài)下，進(jìn)行搬運(yùn)，其特征在于，在保持前述平板狀搬運(yùn)物的下表面或上表面的多個(gè)保持部上以規(guī)定排列設(shè)置高低差，至少在處于保持狀態(tài)時(shí)，利用前述保持部的高低差使前述平板狀搬運(yùn)物強(qiáng)制彎曲，在保持前述平板狀搬運(yùn)物的強(qiáng)制彎曲狀態(tài)下，使前述載置部移動(dòng)來搬運(yùn)該平板狀搬運(yùn)物。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板狀搬運(yùn)物的搬運(yùn)方法，其特征在于，前述平板狀搬運(yùn)物的彎曲狀態(tài)是山與谷沿著該平板狀搬運(yùn)物的長(zhǎng)度方向交替連續(xù)而上下起伏的波形。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板狀搬運(yùn)物的搬運(yùn)方法，其特征在于，前述平板狀搬運(yùn)物的彎曲狀態(tài)是該平板狀搬運(yùn)物的與長(zhǎng)度方向成直角的寬度方向的中央變低的V字型。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板狀搬運(yùn)物的搬運(yùn)方法，其特征在于，前述平板狀搬運(yùn)物的彎曲狀態(tài)是該平板狀搬運(yùn)物的與長(zhǎng)度方向成直角的寬度方向的中央變高的山型。
5.根據(jù)權(quán)利要求2～4中任意一項(xiàng)所述的平板狀搬運(yùn)物的搬運(yùn)方法，其特征在于，所述平板狀搬運(yùn)物是液晶面板用玻璃基板。
6.一種平板狀搬運(yùn)物的搬運(yùn)裝置，在以近似水平的姿勢(shì)保持的狀態(tài)下對(duì)平板狀搬運(yùn)物進(jìn)行搬運(yùn)，其特征在于，包括載置部，以近似水平的姿勢(shì)載置前述平板狀搬運(yùn)物；搬運(yùn)裝置的主體部，具有使前述載置部移動(dòng)的機(jī)構(gòu)；和保持部，至少呈兩列且每列多個(gè)地排列在前述載置部上，來保持前述平板狀搬運(yùn)物，前述保持部設(shè)置有這樣一種機(jī)構(gòu)具有相對(duì)前述平板狀搬運(yùn)物的下表面或上表面的高度不同的高低差，至少在處于保持狀態(tài)時(shí)，利用前述保持部的高低差使前述平板狀搬運(yùn)物強(qiáng)制彎曲。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的平板狀搬運(yùn)物的搬運(yùn)裝置，其特征在于，前述保持部由襯墊與吸附部構(gòu)成，所述襯墊與前述平板狀搬運(yùn)物的下表面或上表面抵接來進(jìn)行支承，所述吸附部具有位于高度比前述襯墊的抵接面低的位置的吸附面。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的平板狀搬運(yùn)物的搬運(yùn)裝置，其特征在于，前述保持部構(gòu)成為至少一部分能夠調(diào)整前述高度。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的平板狀搬運(yùn)物的搬運(yùn)裝置，其特征在于，前述保持部的襯墊經(jīng)由墊片可調(diào)整高度地安裝在載置部上。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的平板狀搬運(yùn)物的搬運(yùn)裝置，其特征在于，前述載置部的保持部的襯墊和吸附部，以使前述平板狀搬運(yùn)物沿著其長(zhǎng)度方向彎曲成上下起伏的波形的方式交替排列。
11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的平板狀搬運(yùn)物的搬運(yùn)裝置，其特征在于，前述載置部的保持部的襯墊和吸附部，以使前述平板狀搬運(yùn)物彎曲成與其長(zhǎng)度方向成直角的寬度方向的中央變低的V字型的方式，在寬度方向交替排列。
12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的平板狀搬運(yùn)物的搬運(yùn)裝置，其特征在于，前述載置部的保持部的襯墊和吸附部，以使前述平板狀搬運(yùn)物彎曲成與其長(zhǎng)度方向成直角的寬度方向的中央變高的山型的方式，在寬度方向交替排列。
13.根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的平板狀搬運(yùn)物的搬運(yùn)裝置，其特征在于，前述載置部由至少具有兩根指狀物的叉子構(gòu)成。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的平板狀搬運(yùn)物的搬運(yùn)裝置，其特征在于，在構(gòu)成前述叉子的各指狀物上，以規(guī)定的間隔交替排列有襯墊和吸附部。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的平板狀搬運(yùn)物的搬運(yùn)裝置，其特征在于，前述叉子的指狀物由以一定間隔排列襯墊的指狀物，和以與前述襯墊相同的間隔排列吸附部的指狀物構(gòu)成，前述襯墊和吸附部在叉子的寬度方向上構(gòu)成交替配置的排列。
16.根據(jù)權(quán)利要求13～15中任意一項(xiàng)所述的平板狀搬運(yùn)物的搬運(yùn)裝置，其特征在于，前述叉子的寬度比平板狀搬運(yùn)物的寬度短。
17.根據(jù)權(quán)利要求6所述的平板狀搬運(yùn)物的搬運(yùn)裝置，其特征在于，前述搬運(yùn)裝置的主體部，由具備在水平面上回旋的回旋臂的機(jī)械手構(gòu)成。
全文摘要
本發(fā)明提供平板狀搬運(yùn)物的搬運(yùn)方法及其裝置，能夠使叉子等保持部小型化，并且，將與平板狀搬運(yùn)部的接觸抑制得更少，同時(shí)，將由自身重量引起的平板狀搬運(yùn)物的撓曲抑制得更小，由此，能夠可靠地進(jìn)行搬運(yùn)。平板狀搬運(yùn)物(17)通過由襯墊(18)以及吸附部(19)構(gòu)成的保持部保持。襯墊(18)與平板狀搬運(yùn)物(17)的下表面抵接來對(duì)其進(jìn)行支承。吸附部(19)配置在襯墊(18)之間，并且，在吸附狀態(tài)時(shí)，將高度設(shè)定得比襯墊(18)低，真空吸附平板狀搬運(yùn)物(17)的下表面。由此，平板狀搬運(yùn)物(17)被強(qiáng)制彎曲，減少沿彎曲的山或/和谷方向的撓曲量。
文檔編號(hào)B65G49/05GK1891589SQ200610093428
公開日2007年1月10日 申請(qǐng)日期2006年7月4日 優(yōu)先權(quán)日2005年7月4日
發(fā)明者小椋勝仁, 根岸祐司 申請(qǐng)人:東芝機(jī)械株式會(huì)社