專利名稱：輸送系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及輸送絕緣性工件的輸送系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在例如薄型顯示裝置的制造工序等工序中，需要輸送以玻璃基板為 代表的絕緣性物品(工件)的技術(shù)。并且，輸送此類工件的裝置， 一般 可以使用在輸送方向上排列了多個(gè)輥的傳送帶裝置。
當(dāng)在傳送帶裝置中輸送玻璃基板時(shí)，有時(shí)會隨著與輥的摩擦在基板 表面產(chǎn)生靜電。在上述情況下，有時(shí)空氣中的灰塵和垃圾(所謂的粒子) 附著于基板表面或者基板電路產(chǎn)生缺陷。
以往為了解決上述的問題而提出有對基板進(jìn)行除電的技術(shù)。例如在 專利文獻(xiàn)l中輥的至少與基板接觸的部分由導(dǎo)電性柔軟的部件形成，還 將導(dǎo)電性柔軟材料接地。
專利文獻(xiàn)'l:日本特開2002 - 274642號>^才艮
然而，上述以往的傳送帶裝置具有如下所示的問題。
即，即使使用導(dǎo)電性的輥也僅能對輥和基板接觸部分除電。即，除 電的程度不充分，因此無法避免上述問題。
另外，近年玻璃基板朝大型化發(fā)展，因此其有可能進(jìn)一步增加帶電量。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是解決上述以往課題的，其目的在于提供一種可以抑制輸送 絕緣體工件時(shí)的帶電的輸送系統(tǒng)。
技術(shù)方案1中所述的輸送系統(tǒng)是輸送絕緣性工件的輸送系統(tǒng)，具備托盤和多個(gè)輥。托盤載置工件。多個(gè)輥為輸送托盤而排列并配置于輸送 方向。在輥和托盤中至少雙方接觸的接觸部具有導(dǎo)電性。接觸部接地。
在上述系統(tǒng)中，在輸送托盤時(shí)，將托盤和輥的摩擦產(chǎn)生的靜電更可 靠地放電。即，抑制輸送絕緣性工件時(shí)的帶電。其結(jié)果是，例如難于發(fā) 生粒子被吸引到工件上等問題。
技術(shù)方案2所述的輸送系統(tǒng)中，在技術(shù)方案l的基礎(chǔ)上，托盤是由 導(dǎo)電性材料形成的。
在上述系統(tǒng)中，由于托盤是由導(dǎo)電性材料而形成的，因此能夠?qū)⒃?輥直接接觸部分以外蓄積的靜電也進(jìn)行放電。
技術(shù)方案3所述的輸送系統(tǒng)，在技術(shù)方案1或2的基礎(chǔ)上，輥是由 含有規(guī)定量的導(dǎo)電性材料的樹脂形成的。
在上述系統(tǒng)中，使用樹脂制的輥，因此在輸送時(shí)不易損傷托盤。
技術(shù)方案4所述的輸送系統(tǒng)，在技術(shù)方案3的基礎(chǔ)上，輥含有1~ 50wt。/。的導(dǎo)電性材料。
在上述系統(tǒng)中，可以充分地確保為抑制工件的帶電量而輥所需要的 導(dǎo)電性。
技術(shù)方案5中所述的輸送系統(tǒng)，在技術(shù)方案4的基礎(chǔ)上，輥含有1 ~ 30wt。/。的導(dǎo)電性材料。
在上述系統(tǒng)中，可以充分地確保為抑制工件的帶電量而輥所需要的 導(dǎo)電性。
根據(jù)本發(fā)明涉及的輸送系統(tǒng)，能夠抑制輸送絕緣體工件時(shí)的帶電。


圖l是本發(fā)明一實(shí)施方式的輸送系統(tǒng)的外觀圖。 圖2本發(fā)明一實(shí)施方式的輸送系統(tǒng)的橫剖視圖。
4圖3是圖l及圖2所包含的輥周邊的放大剖視圖。
圖4是由圖1的輸送系統(tǒng)輸送的輸送托盤的外觀圖。
圖5是由圖1的輸送系統(tǒng)輸送的輸送托盤的俯視圖。
圖6是利用以往輸送方法輸送玻璃基板情況下的帶電電位的測量結(jié)果。
圖7是表示進(jìn)行圖6的測量時(shí)的速度曲線(無加減速度)的曲線圖。
圖8是表示進(jìn)行圖6的測量時(shí)的速度曲線(有加減速度)的曲線圖。
圖9是利用以往輸送方法輸送各種輸送媒介情況下的帶電電位的測 量結(jié)果。
圖10的(a)是表示進(jìn)行圖9的測量時(shí)SUS托盤的速度曲線的曲線 圖，圖10的(b)是表示進(jìn)行圖9的測量時(shí)鋁托盤的速度曲線的曲線圖。
圖ll是改變托盤及輥的材質(zhì)來測量情況下的帶電電位的測量結(jié)果。
圖12是將玻璃基板載置于鋁托盤來輸送情況下的帶電電位的測量 結(jié)果。
圖13是表示進(jìn)行圖12的測量時(shí)的速度曲線(15m/min有加減速度) 的曲線圖。
圖14是表示進(jìn)行圖12的測量時(shí)的速度曲線(30m/min有加減速度) 的曲線圖。
圖15是表示進(jìn)行圖12的測量時(shí)的速度曲線(45m/min有加減速度) 的曲線圖。
圖16是表示進(jìn)行圖12的測量時(shí)的速度曲線(45m/min無加減速度) 的曲線圖。
圖17是本發(fā)明另一實(shí)施方式中的輥周邊的放大剖視圖附圖文字l...輸送托盤(托盤)；2…外框；2a…框部件；4…橫條； 4a…載置銷；ll...外側(cè)凸緣(接觸部)；12…內(nèi)側(cè)凸緣；13…傾斜部；20... 輸送帶；21…支承框；21a…主體；21b…支承腿；25…輥(接觸部)；26… 軸；100...輸送系統(tǒng)。
具體實(shí)施例方式
關(guān)于本發(fā)明實(shí)施方式之一的輸送系統(tǒng)100，利用圖1~圖5說明如下。
整體構(gòu)成
如圖1及圖2所示，輸送系統(tǒng)100是將薄板狀工件載置于輸送托盤 l(以下將記為"托盤1")且沿著輸送路徑輸送到規(guī)定位置的裝置。利 用本實(shí)施方式的輸送系統(tǒng)100輸送的薄板狀工件，例如有用于電子顯示 裝置(液晶顯示器和等離子顯示器等)的板狀工件、用于有機(jī)EL的樹 脂板等。
輸送帶20:
輸送帶20如圖1及圖2所示具備支承框21、輥25及驅(qū)動(dòng)裝置(未 圖示)。
支承框21是由導(dǎo)電性材料形成的，并且具有收納輥25的驅(qū)動(dòng)力傳 遞機(jī)構(gòu)的主體21a、以及將主體21a支承于地面上方的支承腿21b。
將輥25沿著輸送方向配置多個(gè)。具體而言，輥25是由一對沿著輸 送方向配置的輥組構(gòu)成的。將各個(gè)輥25通過導(dǎo)電性的軸26安裝于主體 21a。軸26借助配置在主體21a內(nèi)的軸承(未圖示)可旋轉(zhuǎn)地支承，并 且還與配置在主體21a內(nèi)的驅(qū)動(dòng)裝置(未圖示)連結(jié)。輥25是由加碳 的MC尼龍形成的。在本實(shí)施方式中，含有1 50wt。/。的碳黑，因此輥 25可以確保規(guī)定的導(dǎo)電性。
輸送托盤1:
圖4是表示輸送托盤1的一個(gè)實(shí)施方式的構(gòu)成的立體圖，圖5是托盤1的俯視圖。
托盤l用于栽置并輸送薄板狀工件。托盤l主要具備矩形形狀的 外框2以及多個(gè)架設(shè)在外框2相對置的框部件之間的橫條4。另外，這 里使用玻璃基板W作為薄板狀工件進(jìn)行說明。
外框2是由四根框部件2a構(gòu)成的。在本實(shí)施方式中，框部件2a使
用具有一定板厚的鋁制擠壓件，框部件2a是由兩根長邊框部件和兩根短 邊框部件構(gòu)成的。
框部件2a具備外側(cè)凸緣(接觸部)11、以及形成在比外側(cè)凸緣 11高的位置上的內(nèi)側(cè)凸緣12，并且在外側(cè)凸緣11和內(nèi)側(cè)凸緣12之間 設(shè)置有傾斜部13。內(nèi)側(cè)凸緣12從傾斜部13的上端部向內(nèi)側(cè)延伸，外側(cè) 凸緣11從傾斜部13的下端部向外側(cè)延伸。傾斜部13按照在形成外框2 時(shí)向下方擴(kuò)展的形狀設(shè)定角度。
橫條4在外框2相對置的框部件2a之間架設(shè)多條，并且構(gòu)成玻璃 基板W的載置部。橫條4可以使用具有一定板厚的鋁制擠壓件。
橫條4具有用于支承玻璃基板W的多個(gè)載置銷4a。載置銷4a是由 耐磨損性高的聚醚醚酮(PEEK)形成的，即使反復(fù)搭載玻璃基板W基 本上也不產(chǎn)生因磨損帶來的粉塵，因而不污染玻璃基板W。另外，由于 和玻璃基板W的接觸面較小，因此能夠抑制托盤1和玻璃基板W的摩 擦或因剝離引起的帶電。
當(dāng)用輸送帶20輸送托盤1時(shí)，如圖1所示將托盤1的左右兩側(cè)放 置在輥25的各輥組上。更具體而言，如圖3所示將托盤1的外側(cè)凸緣 11放置在輥25上。
在上述狀態(tài)下，若利用未圖示的驅(qū)動(dòng)裝置來旋轉(zhuǎn)輥25,則托盤l在 多個(gè)輥25上輸送。
支承框21在上述構(gòu)造中通過支承腿21b接地。由此，輥25通過軸 26及支承框21接地。另外，托盤1也被載置在輥25上，因此借助輥 25、軸26及支承框21而接地。通過上述接地構(gòu)造，可以抑制因輸送托盤1和輥25時(shí)接觸而引起的帶電。
在這樣的系統(tǒng)中，托盤l是由導(dǎo)電性材料形成的，因此也可以將輥 25直接接觸部分以外蓄積的靜電進(jìn)行放電。
在這樣的系統(tǒng)中，使用樹脂制的輥25，因此輸送時(shí)不易損傷托盤。
實(shí)施例1:
為了確認(rèn)在本發(fā)明的輸送系統(tǒng)100中的絕緣性工件的帶電抑制效 果，針對下述所示項(xiàng)目進(jìn)行了試驗(yàn)。
另外，在以下的試驗(yàn)中，使用單程輸送距離0.5m的托盤耐久試驗(yàn) 裝置和小型的試驗(yàn)用托盤進(jìn)行試驗(yàn)，并且在室溫25度、濕度45%的環(huán) 境實(shí)驗(yàn)室下進(jìn)行測量。另外，使用240mm、或400mm的玻璃基板作為 絕緣性工件進(jìn)行試驗(yàn)。另外，利用表面電位計(jì)來進(jìn)行玻璃基板的帶電量 的測量，通過貼付在小型試驗(yàn)用托盤及玻璃基板上的刻度尺(25mm間 隔)和攝像傳感器進(jìn)行輸送速度的測量。另外，利用一體地安裝在輥旋 轉(zhuǎn)軸的脈沖圓板和攝像傳感器來測量輥的轉(zhuǎn)速。
另外，關(guān)于本試驗(yàn)用托盤，其除了尺寸以外的構(gòu)成由與上述托盤同 樣的構(gòu)成要素構(gòu)成。
(1)在以單體形式輸送玻璃基板情況下的帶電電位的測量(現(xiàn)有 技術(shù))
首先，在以往的輸送方法，即，使玻璃基板與接地的導(dǎo)電性輥(例 如加碳的MC尼龍)接觸來輸送的情況下，測量在玻璃基板上產(chǎn)生的帶 電電位。
具體而言，將玻璃基板載置于輥上后充分除電，按照輥加減速有的 情況和無的情況的條件來反復(fù)往返輸送玻璃基板，測量玻璃基板的上面 和下面的帶電電位(V)。這里，無加減速時(shí)的速度曲線如圖7所示，有 加減速時(shí)的速度曲線如圖8所示。即，在輥無加減速的情況下，在輥和 玻璃基板之間發(fā)生滑動(dòng)，在有加減速時(shí)，在輥和玻璃基板之間沒有發(fā)生滑動(dòng)，因此可知不會產(chǎn)生摩擦而被輸送。
其結(jié)果是，如圖6所示可以確認(rèn)即使在任何條件(有加減速的情況 和無的情況)下測量時(shí)，玻璃基板的帶電電位都與輸送距離成比例地增 大。即，可以確認(rèn)當(dāng)玻璃基板與輥接觸并輸送時(shí)，即使與玻璃基板接觸 的輥由導(dǎo)電性材料形成并且接地也沒有足夠的除電效果。這被認(rèn)為是僅 所輸送的玻璃基板為絕緣性是不能避免因與輥的摩擦而導(dǎo)致的帶電，另 外，即使想使用接地的導(dǎo)電性的輥進(jìn)行除電，實(shí)際上只有輥與玻璃基板 的接觸部分能夠除電。即，在上述以往輸送方法中，無法夠充分地抑制 玻璃基板的帶電。
(2) 按照輸送物種類的帶電電位的測量(本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)的比較)。
接著，對于接地的導(dǎo)電性輥，按每種輸送物的種類分別測量玻璃基 板的上面和下面的帶電電位(V)。輸送物為以下三種。
(a )玻璃基板單體(現(xiàn)有技術(shù))
(b) 載置于鋁托盤的玻璃基板(本發(fā)明)
(c) 載置于SUS托盤的玻璃基板(本發(fā)明)
這里，輸送玻璃基板單體(玻璃尺寸400mm)時(shí)的速度曲線為圖 7所示，輸送被載置于SUS托盤的玻璃基板(玻璃尺寸240mm)、輸 送被載置于鋁托盤的玻璃基板(玻璃尺寸240mm)時(shí)的速度曲線分別 如圖10 (a)、圖10 (b)所示。
其結(jié)果是，如圖9所示可以確認(rèn)與輸送玻璃基板單體時(shí)相比，在使 用SUS托盤、鋁托盤輸送玻璃基板時(shí)，玻璃基板的帶電電位極小。而 且，當(dāng)輸送距離增大時(shí)其差異顯著。由此可以確認(rèn)為了抑制在接地的導(dǎo) 電性輥上輸送時(shí)被輸送物體的帶電，不只是輸送玻璃基板單體，而且用 由導(dǎo)電性材料構(gòu)成的托盤輸送玻璃基板也是有利的。
(3) 按照托盤及輥材質(zhì)的帶電電位的測量(本發(fā)明與其它的技術(shù)的比較)。接著，以使用托盤輸送玻璃基板(玻璃尺寸240mm)為前 提，對托盤及輥導(dǎo)電性的有無的各組合，測量玻璃基板的帶電電位(V)。 組合為以下三種。
(a) UPE (超高分子量聚乙烯)的輥(絕緣性)和鋁的凸緣(導(dǎo) 電性)的組合(本發(fā)明以外的技術(shù))
(b) 加碳的MC尼龍輥(導(dǎo)電性)和鋁的凸緣(導(dǎo)電性)的組合 (本發(fā)明)
(c )加碳的MC尼龍輥(導(dǎo)電性)和表面貼付了 PVC帶的凸緣(絕 緣性)的組合(本發(fā)明以外的技術(shù))
對于以上三例，測量載置于托盤的玻璃基板的上面和下面的帶電電 位(V)。這里，托盤中的與輥的接觸部分為凸緣(相當(dāng)于圖4中的外側(cè) 凸緣ll )。
其結(jié)果是，如圖11所示可以確認(rèn)輥和凸緣雙方接觸的導(dǎo)電性部件 時(shí)，即上述(b)的組合時(shí)，玻璃基板的帶電電位極小。另一方面，(a)、 (c)的組合時(shí)，與(b)相比玻璃基板的帶電電位增大。
根據(jù)以上結(jié)果，可以確認(rèn)為了抑制使用托盤輸送絕緣性的玻璃基板 時(shí)的帶電電位，托盤及輥兩方(至少是接觸部分)為導(dǎo)電性的情況是有 效的。
(4)將玻璃基板載置于鋁托盤輸送情況下的帶電電位的測量(本 發(fā)明)
最后，將玻璃基板載置于鋁托盤，測量改變輸送速度和加減速度輸 送時(shí)的玻璃基板的帶電電位(V)。具體而言，如圖13~圖16所示的速 度曲線，測量在15m/min有加減速度(參照圖13)、 30m/min有加減速 度(參照圖14)、 45m/min無加減速度(參照圖16)的條件下，輸送時(shí) 的玻璃基板的上面和下面的帶電電位(V)。
其結(jié)果是，如圖12所示可以確認(rèn)在任何條件下測量的情況下，與用玻璃M單體輸送的情況(參照圖6)相比，可以較大地抑制帶電電位的上 升。
根據(jù)以上(1) ~ (4)的測量，可以確認(rèn)在由傳送帶裝置等的輥輸 送絕緣性工件的情況下，將絕緣工件載置于導(dǎo)電性托盤，使托盤和接地 的導(dǎo)電性輥接觸輸送的方法是有效的。
另外，在(2) ~ (4)使用的托盤的載置銷都是PEEK制、絕緣體。
(5)玻璃基板栽置于托盤時(shí)的帶電電位的測量(本發(fā)明)
實(shí)際使用時(shí)有將玻璃基板拿出放進(jìn)托盤的工序。即，從托盤下方貫 通橫條之間突出銷或者輥升降，由此將玻璃基板反復(fù)進(jìn)行托盤載置銷的 接觸、分離。
因此，對于將玻璃基板載置于托盤時(shí)的帶電電位，相互改變載置銷、 突出銷及輥的材質(zhì)進(jìn)行玻璃基敗的帶電電位(V)的測量。具體而言，
(a) PEEK (聚醚醚酮樹脂)的載置銷及突出銷(絕緣性)和加碳 MC尼龍的輥(導(dǎo)電性)的組合；
(b )巻繞了鋁箔的PEEK (聚醚醚酮樹脂)的載置銷及突出銷和加碳 MC尼龍的輥(導(dǎo)電性)的組合；
(c) PEEK (聚醚醚酮樹脂)的載置銷及突出銷(絕緣性)和表面貼 付了 PVC帶的輥(絕緣性)的組合；
(d )對于巻繞了鋁箔的PEEK(聚醚醚酮樹脂)的載置銷及突出銷(導(dǎo) 電性)和貼付了 PVC帶的輥(絕緣性)的組合，通過激光位移儀來測量 升^il度，并且在將托盤載置于輥的狀態(tài)下，通it^橫條間升降的突出銷 使玻璃基板升降。此時(shí)，玻璃141位于載置銷上時(shí)與突出銷分離，位于突 出銷上時(shí)與載置銷分離。即，反復(fù)進(jìn)行與^4肖的接觸/分離。而且，測量載 置于各自托盤的玻璃基板的上面和下面的帶電電位(V)。另外，玻璃M 在帶了正(+ )或負(fù)(-)lkV以上電荷之后開始測量。另外，突出銷的升 降速度為無加減速的1.0m/min。其結(jié)果是，無論在任何條件下即偵反復(fù)升降，帶電電位也基本沒有變 化，因而不能確認(rèn)剝離帶電現(xiàn)象。這被認(rèn)為是由于玻璃M和載置銷的接 觸面積非常小的原因。由此，可以確認(rèn)沒有因在托盤上載置、取出玻璃基 板帶來的缺陷。
另 一實(shí)施方式
以上，對于本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行了說明，然而本發(fā)明不局限 于上述的實(shí)施方式，在不脫離本發(fā)明宗旨的范圍內(nèi)可以進(jìn)行各種變更。
(A)
在上述實(shí)施方式的輸送系統(tǒng)100中，以輸送絕緣性玻璃基板W的 托盤l，具有圖4及圖5所示的橫條4為例進(jìn)行了說明。然而本發(fā)明不 限定于此。
例如，載置玻璃aw的部分，也可以由導(dǎo)電性的平板而形成。
(B)
在上述實(shí)施方式的輸送系統(tǒng)100中，以輥25的全體由導(dǎo)電性材料 形成為例進(jìn)行了說明。然而本發(fā)明不限定于此。
例如，如圖17所示，輥25中與托盤l接觸的接觸部25a也可以是 由導(dǎo)電性材料形成的。在這種情況下，適當(dāng)?shù)卦O(shè)定接觸部25a,并且只 要接地于某處，就可以獲得與上述實(shí)施方式涉及的輸送系統(tǒng)100同樣的 效果o
另外，無需所有的輥都都是導(dǎo)電性，也可以是在獲得規(guī)定效果的范 圍內(nèi)局部地安裝。
(C)
在上述實(shí)施方式的輸送系統(tǒng)100中，以加碳MC尼龍形成為例進(jìn)行 了說明。然而本發(fā)明不限定于此。
例如，也可以是由含有導(dǎo)電性材料的超高分子量的聚乙烯和聚醚亞胺等樹脂形成的。另外，也可以是由導(dǎo)電性金屬形成輥。
另外，在本實(shí)施例中表示了利用加碳MC尼龍的試驗(yàn)數(shù)據(jù)，然而可 以確認(rèn)在加碳UPE中也獲得同樣的效果。
(D)
在上述實(shí)施方式的輸送系統(tǒng)100中，以輥25由于含有1 50wt。/。的 碳黑，確保導(dǎo)電性材的MC尼龍而形成為例進(jìn)行了說明。然而本發(fā)明不 限定于此。
例如，也可以在MC尼龍中含有1 50wt。/。的碳纖維。另外，也可以 是含有1 30wt。/。的碳納管或碳納纖維。此時(shí)，也可以獲得與上述實(shí)施方 式涉及的輸送系統(tǒng)100同樣的效果。
(E)
在上述實(shí)施方式的輸送系統(tǒng)100中，以托盤1的整體由導(dǎo)電性鋁擠 壓部件形成為例進(jìn)行了說明。然而本發(fā)明不限定于此。
例如，只有作為與輥25接觸部分的外側(cè)凸緣11,由導(dǎo)電性材質(zhì)形成。
另外，即^A圖9所示的SUS制的托盤，也可以獲得同樣的效果，因 此其它的導(dǎo)電性金屬或?qū)嵤┝藢?dǎo)電性的表面處理的材料，也可以獲得同樣 的效果。
(F)
在上述實(shí)施方式的輸送系統(tǒng)IOO中，作為載置于托盤輸送的工件以 玻璃基板W為例進(jìn)行了說明。然而本發(fā)明不限定于此。
例如，即使是用于電子顯示裝置(液晶顯示器和等離子顯示裝置等) 的板狀工件以及用于有機(jī)EL顯示器和照明的樹脂板等，也可以獲得與 上述實(shí)施方式涉及的輸送系統(tǒng)100同樣的效果。
(G) 在上述實(shí)施方式的輸送系統(tǒng)100中，以形成在橫條4上形成
13的載置銷4a為例進(jìn)行了說明。然而本發(fā)明不限定于此。
例如，為了在托盤1和玻璃基板W之間不產(chǎn)生相對移動(dòng)即滑動(dòng)，也可 以抑制在傳送帶20中的托盤1的輸M度。在這種情況下，可以抑制在托 盤1和玻璃MW之間產(chǎn)生的摩擦或者因剝離引起的帶電。由此，可以提 高抑制輸送絕緣型工件時(shí)的帶電。
權(quán)利要求
1. 一種輸送系統(tǒng)，其是輸送絕緣性工件的輸送系統(tǒng)，其特征在于，具備載置上述工件的托盤；以及多個(gè)輥，其為了輸送上述托盤而排列并配置于輸送方向，在上述輥和上述托盤中至少雙方接觸的接觸部具有導(dǎo)電性，上述接觸部接地。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的輸送系統(tǒng)，其特征在于，上述托盤是由導(dǎo) 電性材料形成的。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的輸送系統(tǒng)，其特征在于，上述輥是由樹脂 形成的，上述樹脂含有規(guī)定量的導(dǎo)電性材料。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的輸送系統(tǒng)，其特征在于，上述輥含有1~ 50wt%的上述導(dǎo)電性材料。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的輸送系統(tǒng)，其特征在于，上述輥含有1~ 30wt%的上述導(dǎo)電性材料。
全文摘要
本發(fā)明提供一種可以抑制輸送絕緣體工件時(shí)的帶電的輸送系統(tǒng)以及輸送帶裝置。輸送系統(tǒng)(100)是將玻璃基板(W)載置于托盤(1)進(jìn)行輸送的輸送系統(tǒng)，具備輥(25)和托盤(1)。輥(25)在輸送方向上排列配置多個(gè)。托盤(1)載置絕緣性的玻璃基板(W)。而且，在托盤(1)和輥(25)中至少雙方接觸的接觸部(外側(cè)凸緣(11)及輥(25))具有導(dǎo)電性并且接觸部接地。
文檔編號B65G49/06GK101503148SQ20081018882
公開日2009年8月12日 申請日期2008年12月26日 優(yōu)先權(quán)日2008年2月4日
發(fā)明者中西秀明, 清水平涉 申請人:村田機(jī)械株式會社