專利名稱：用于pecvd自動(dòng)裝卸片系統(tǒng)的石墨舟小車的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及太陽能硅電池片生產(chǎn)領(lǐng)域，是一種適用于等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法(PECVD)自動(dòng)裝卸片系統(tǒng)的石墨舟小車。。
背景技術(shù)：
PECVD自動(dòng)裝卸片系統(tǒng)包括石墨舟小車、機(jī)械手拾取器、校正架、中轉(zhuǎn)片盒升降機(jī)構(gòu)，進(jìn)出片盒升降機(jī)構(gòu)、進(jìn)出片盒輸送機(jī)構(gòu)、計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制系統(tǒng)，對(duì)于PECVD自動(dòng)裝卸片系統(tǒng)的石墨舟小車的研究，國(guó)內(nèi)外相關(guān)內(nèi)容不多，國(guó)內(nèi)未見相關(guān)記錄。在PECVD自動(dòng)裝卸片的過程中，石墨舟小車移動(dòng)位置不準(zhǔn)確，夾緊機(jī)構(gòu)施加力度太大或者變化，擺動(dòng)機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)不平穩(wěn)，都會(huì)影響機(jī)械手取放片的準(zhǔn)確性和可靠性，有可能造成電池片碎片。不僅給生產(chǎn)廠家造成損失，嚴(yán)重的時(shí)候影響生產(chǎn)率，使PECVD自動(dòng)裝卸片系統(tǒng)不能順利實(shí)施。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提出一種用于PECVD自動(dòng)裝卸片系統(tǒng)的石墨舟小車，可以較大幅度降低碎片率，以及提高自動(dòng)裝卸片生產(chǎn)效率。本發(fā)明的技術(shù)方案為一種用于PECVD自動(dòng)裝卸片系統(tǒng)的石墨舟小車，其特征是， 包括電動(dòng)滑臺(tái)，電動(dòng)滑臺(tái)上端設(shè)有滑臺(tái)連接板，并在滑臺(tái)連接板上端設(shè)有基板，基板上方設(shè)有石墨舟托板，且石墨舟托板通過連接機(jī)構(gòu)與基板相連，石墨舟托板一端設(shè)有帶動(dòng)石墨舟托板繞連接機(jī)構(gòu)中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)的擺動(dòng)機(jī)構(gòu)，石墨舟托板另一端設(shè)有用于夾持石墨舟的夾緊機(jī)構(gòu)，所述石墨舟托板上表面沿長(zhǎng)度方向設(shè)有支撐石墨舟的石墨舟支板。以下對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步描述。進(jìn)一步地，所述夾緊機(jī)構(gòu)包括設(shè)在石墨舟托板2兩端的左U形塊7和右U形塊12， 各U形塊通過連接板5與石墨舟托板2相連，連接板5置于各U形塊的U形凹槽內(nèi)，各U形塊通過U形塊銷27與連接板5相連，各U形塊上部設(shè)有垂直于石墨舟托板2長(zhǎng)度方向的轉(zhuǎn)軸沈，U形塊可繞轉(zhuǎn)軸沈中心轉(zhuǎn)動(dòng)，左U形塊7與氮?dú)鈴椈捎^相連，該氮?dú)鈴椈捎^固定在氮?dú)鈴椈芍ё?上，氮?dú)鈴椈芍ё?通過螺栓與基板8相連，且螺栓穿通孔為長(zhǎng)槽型孔。進(jìn)一步地，所述轉(zhuǎn)軸上套裝有減震圈。進(jìn)一步地，所述擺動(dòng)機(jī)構(gòu)包括電機(jī)，該電機(jī)固定在電機(jī)座上，電機(jī)座經(jīng)緊固螺栓固定在基板上，所述電機(jī)與轉(zhuǎn)輪相連并控制轉(zhuǎn)輪轉(zhuǎn)動(dòng)，還設(shè)有一連桿，連桿一端通過a連桿銷與石墨舟托板端部相連，連桿另一端通過b連桿銷與轉(zhuǎn)輪連接。進(jìn)一步地，所述與連桿相連的石墨舟托板端部?jī)?nèi)側(cè)設(shè)有軸用擋圈。進(jìn)一步地，所述連接機(jī)構(gòu)包括固定在石墨舟托板下端的雙軸承帶座軸承，雙軸承帶座軸承兩側(cè)對(duì)稱設(shè)有帶座軸承，且雙軸承帶座軸承與帶座軸承通過鉸鏈銷連接，石墨舟托板繞連接鉸鏈銷轉(zhuǎn)動(dòng)，鉸鏈銷外部設(shè)有彈性擋圈。進(jìn)一步地，所述鉸鏈銷上套裝軸套。進(jìn)一步地，所述石墨舟托板上表面沿長(zhǎng)度方向設(shè)有反射膜墊板。
進(jìn)一步地，石墨舟托板兩端端部分別固定有卡塊。進(jìn)一步地，所述石墨舟托板可繞連接機(jī)構(gòu)中心軸向兩側(cè)擺動(dòng)15度。本發(fā)明的技術(shù)原理是采用氮?dú)鈴椈傻牡獨(dú)夥醋饔昧︱?qū)動(dòng)左U型塊擺動(dòng)，左U型塊上的減震圈夾緊石墨舟，使石墨舟下降頂開減震圈過程中夾緊力不會(huì)因頂開距離不同而變化，恒力柔性夾持石墨舟可靠無沖擊，電動(dòng)滑臺(tái)將石墨舟從PECVD上下料位直線移動(dòng)到自動(dòng)裝卸片位，直線運(yùn)動(dòng)剛性好重復(fù)精度高，電機(jī)加轉(zhuǎn)輪和連桿的驅(qū)動(dòng)方式，驅(qū)動(dòng)石墨舟托板垂直方向擺動(dòng)，擺動(dòng)平穩(wěn)無抖動(dòng)，從而減少電池片的碎片。本發(fā)明采用電動(dòng)滑臺(tái)將石墨舟從PECVD上下料位直線移動(dòng)到自動(dòng)裝卸片位，直線運(yùn)動(dòng)剛性好重復(fù)精度高，電機(jī)加轉(zhuǎn)輪和連桿的驅(qū)動(dòng)方式，驅(qū)動(dòng)石墨舟托板垂直方向擺動(dòng)， 擺動(dòng)平穩(wěn)無抖動(dòng)，從而減少電池片的碎片。石墨舟小車基板在PECVD上下料位時(shí)，托板處于水平位置，PECVD上下料機(jī)械手將石墨舟往托板上放的過程中，首先石墨舟兩端與減震圈接觸自動(dòng)頂開減震圈，氮?dú)鈴椈蓨A緊石墨舟，放到石墨舟底面與石墨舟支板上表面接觸后，上下料機(jī)械手離開了石墨舟然后移出，滑臺(tái)直線移動(dòng)基板到自動(dòng)裝卸片位，電機(jī)驅(qū)動(dòng)托板擺動(dòng)正15度，機(jī)械手拾取器分批將石墨舟一面的電池片吸取校正后放到出片中轉(zhuǎn)盒，將進(jìn)片中轉(zhuǎn)盒的電池片吸取較正后放進(jìn)石墨舟，然后電機(jī)驅(qū)動(dòng)托板擺動(dòng)負(fù)15度，機(jī)械手拾取器分批將石墨舟另一面的電池片吸取校正后放到出片中轉(zhuǎn)盒，將進(jìn)片中轉(zhuǎn)盒的電池片吸取較正后放進(jìn)石墨舟，石墨舟雙面的電池片裝好后，電機(jī)驅(qū)動(dòng)托板擺動(dòng)到水平位，滑臺(tái)移動(dòng)基板到 PECVD上下料位，PECVD上下料機(jī)械手將石墨舟提出，減震圈回到未夾石墨舟位。由以上可知，本發(fā)明作為一種用于PECVD自動(dòng)裝卸片系統(tǒng)的石墨舟小車，通過采用氮?dú)鈴椈傻牡獨(dú)夥醋饔昧︱?qū)動(dòng)左U型塊擺動(dòng)，左U型塊上的減震圈夾緊石墨舟，使石墨舟下降頂開減震圈過程中夾緊力不會(huì)因頂開距離不同而變化，恒力柔性夾持石墨舟可靠無沖擊，減震圈與石墨舟接觸方式為滾動(dòng)接觸，接觸應(yīng)力小，氮?dú)鈴椈芍ёc基板連接的螺栓穿通孔為長(zhǎng)槽形孔，可以調(diào)節(jié)減震圈被頂開的距離，確保減震圈頂開可靠，頂開夾緊方式結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單可靠，從而降低碎片率。


圖1是本發(fā)明一種實(shí)施例的整體結(jié)構(gòu)(托板水平夾緊石墨舟)示意圖； 圖2是本發(fā)明圖1的左視圖3是本發(fā)明圖1托板向一側(cè)擺動(dòng)15度的左視圖； 圖4是本發(fā)明圖1未夾石墨舟的示意圖； 圖5是本發(fā)明圖1的A-A剖視圖。
具體實(shí)施例方式如圖1-圖5所示，一種用于PECVD自動(dòng)裝卸片系統(tǒng)的石墨舟小車，包括電動(dòng)滑臺(tái) 15，電動(dòng)滑臺(tái)15上端設(shè)有滑臺(tái)連接板10，并在滑臺(tái)連接板10上端設(shè)有基板8，基板8上方設(shè)有石墨舟托板2，且石墨舟托板2通過連接機(jī)構(gòu)與基板8相連，石墨舟托板2 —端設(shè)有帶動(dòng)石墨舟托板2繞連接機(jī)構(gòu)中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)的擺動(dòng)機(jī)構(gòu)，石墨舟托板2另一端設(shè)有用于夾持石墨舟的夾緊機(jī)構(gòu)，所述石墨舟托板2上表面沿長(zhǎng)度方向設(shè)有支撐石墨舟的石墨舟支板3。夾緊機(jī)構(gòu)包括設(shè)在石墨舟托板2兩端的左U形塊7和右U形塊12，各U形塊通過連接板5與石墨舟托板2相連，連接板5置于各U形塊的U形凹槽內(nèi)，各U形塊通過U形塊銷27與連接板5相連，各U形塊上部設(shè)有垂直于石墨舟托板2長(zhǎng)度方向的轉(zhuǎn)軸26，U形塊可繞轉(zhuǎn)軸沈中心轉(zhuǎn)動(dòng)，左U形塊7與氮?dú)鈴椈捎^相連，該氮?dú)鈴椈捎^固定在氮?dú)鈴椈芍ё?上，氮?dú)鈴椈芍ё?通過螺栓與基板8相連，且螺栓穿通孔為長(zhǎng)槽型孔，轉(zhuǎn)軸沈上套裝有減震圈6。擺動(dòng)機(jī)構(gòu)包括電機(jī)四，該電機(jī)四固定在電機(jī)座11上，電機(jī)座11經(jīng)緊固螺栓固定在基板8上，所述電機(jī)四與轉(zhuǎn)輪13相連并控制轉(zhuǎn)輪13轉(zhuǎn)動(dòng)，還設(shè)有一連桿14，連桿14 一端通過a連桿銷31與石墨舟托板2端部相連，連桿14另一端通過b連桿銷32與轉(zhuǎn)輪13 連接，與連桿14相連的石墨舟托板2端部?jī)?nèi)側(cè)設(shè)有軸用擋圈30。連接機(jī)構(gòu)包括固定在石墨舟托板2下端的雙軸承帶座軸承對(duì)，雙軸承帶座軸承M 兩側(cè)對(duì)稱設(shè)有帶座軸承25，且雙軸承帶座軸承M與帶座軸承25通過鉸鏈銷21連接，石墨舟托板2繞連接鉸鏈銷21轉(zhuǎn)動(dòng)，鉸鏈銷21外部設(shè)有彈性擋圈22，所述鉸鏈銷21上套裝軸套23。石墨舟托板2上表面沿長(zhǎng)度方向設(shè)有反射膜墊板4。石墨舟托板2兩端端部分別固定有卡塊1。所述石墨舟托板2可繞連接機(jī)構(gòu)中心軸向兩側(cè)擺動(dòng)15度。
權(quán)利要求
1.一種用于PECVD自動(dòng)裝卸片系統(tǒng)的石墨舟小車，其特征是，包括電動(dòng)滑臺(tái)(15)，電動(dòng)滑臺(tái)(15)上端設(shè)有滑臺(tái)連接板(10)，并在滑臺(tái)連接板(10)上端設(shè)有基板(8)，基板(8)上方設(shè)有石墨舟托板(2)，且石墨舟托板(2)通過連接機(jī)構(gòu)與基板(8)相連，石墨舟托板(2) — 端設(shè)有帶動(dòng)石墨舟托板(2)繞連接機(jī)構(gòu)中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)的擺動(dòng)機(jī)構(gòu)，石墨舟托板(2)另一端設(shè)有用于夾持石墨舟的夾緊機(jī)構(gòu)，所述石墨舟托板(2)上表面沿長(zhǎng)度方向設(shè)有支撐石墨舟的石墨舟支板(3)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于PECVD自動(dòng)裝卸片系統(tǒng)的石墨舟小車，其特征是，所述夾緊機(jī)構(gòu)包括設(shè)在石墨舟托板(2)兩端的左U形塊(7)和右U形塊(12)，各U形塊通過連接板 (5)與石墨舟托板(2)相連，連接板(5)置于各U形塊的U形凹槽內(nèi)，各U形塊通過U形塊銷(27 )與連接板(5 )相連，各U形塊上部設(shè)有垂直于石墨舟托板(2 )長(zhǎng)度方向的轉(zhuǎn)軸(26 )， U形塊可繞轉(zhuǎn)軸(26 )中心轉(zhuǎn)動(dòng)，左U形塊(7 )與氮?dú)鈴椈?28 )相連，該氮?dú)鈴椈?28 )固定在氮?dú)鈴椈芍ё?9)上，氮?dú)鈴椈芍ё?9)通過螺栓與基板(8)相連，且螺栓穿通孔為長(zhǎng)槽型孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述用于PECVD自動(dòng)裝卸片系統(tǒng)的石墨舟小車，其特征是，所述轉(zhuǎn)軸 (26)上套裝有減震圈(6)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于PECVD自動(dòng)裝卸片系統(tǒng)的石墨舟小車，其特征是，所述擺動(dòng)機(jī)構(gòu)包括電機(jī)(四)，該電機(jī)(29 )固定在電機(jī)座(11)上，電機(jī)座(11)經(jīng)緊固螺栓固定在基板(8 )上，所述電機(jī)(29 )與轉(zhuǎn)輪(13 )相連并控制轉(zhuǎn)輪(13 )轉(zhuǎn)動(dòng)，還設(shè)有一連桿(14)，連桿(14) 一端通過a連桿銷(31)與石墨舟托板(2)端部相連，連桿(14)另一端通過b連桿銷(32)與轉(zhuǎn)輪(13)連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述用于PECVD自動(dòng)裝卸片系統(tǒng)的石墨舟小車，其特征是，所述與連桿(14)相連的石墨舟托板(2)端部?jī)?nèi)側(cè)設(shè)有軸用擋圈(30)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于PECVD自動(dòng)裝卸片系統(tǒng)的石墨舟小車，其特征是，所述連接機(jī)構(gòu)包括固定在石墨舟托板(2 )下端的雙軸承帶座軸承(24 )，雙軸承帶座軸承M兩側(cè)對(duì)稱設(shè)有帶座軸承(25)，且雙軸承帶座軸承(24)與帶座軸承(25)通過鉸鏈銷(21)連接，石墨舟托板(2 )繞連接鉸鏈銷(21)轉(zhuǎn)動(dòng)，鉸鏈銷(21)外部設(shè)有彈性擋圈(22 )。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述用于PECVD自動(dòng)裝卸片系統(tǒng)的石墨舟小車，其特征是，所述鉸鏈銷(21)上套裝軸套(23)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于PECVD自動(dòng)裝卸片系統(tǒng)的石墨舟小車，其特征是，所述石墨舟托板(2 )上表面沿長(zhǎng)度方向設(shè)有反射膜墊板(4 )。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于PECVD自動(dòng)裝卸片系統(tǒng)的石墨舟小車，其特征是，石墨舟托板(2 )兩端端部分別固定有卡塊(1)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于PECVD自動(dòng)裝卸片系統(tǒng)的石墨舟小車，其特征是，所述石墨舟托板(2)可繞連接機(jī)構(gòu)中心軸向兩側(cè)擺動(dòng)15度。
全文摘要
本發(fā)明涉及太陽能硅電池片生產(chǎn)領(lǐng)域，是一種適用于等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法(PECVD)自動(dòng)裝卸片系統(tǒng)的石墨舟小車，包括電動(dòng)滑臺(tái)，電動(dòng)滑臺(tái)上端設(shè)有滑臺(tái)連接板，并在滑臺(tái)連接板上端設(shè)有基板，基板上方設(shè)有石墨舟托板，且石墨舟托板通過連接機(jī)構(gòu)與基板相連，石墨舟托板一端設(shè)有帶動(dòng)石墨舟托板繞連接機(jī)構(gòu)中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)的擺動(dòng)機(jī)構(gòu)，石墨舟托板另一端設(shè)有用于夾持石墨舟的夾緊機(jī)構(gòu),所述石墨舟托板上表面沿長(zhǎng)度方向設(shè)有支撐石墨舟的石墨舟支板。本發(fā)明所述用于PECVD自動(dòng)裝卸片系統(tǒng)的石墨舟小車，可以較大幅度降低碎片率，以及提高自動(dòng)裝卸片生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)B65G49/07GK102328827SQ20111016061
公開日2012年1月25日 申請(qǐng)日期2011年6月15日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月15日
發(fā)明者呂文利, 寧宗娥, 王慧勇, 魏唯 申請(qǐng)人:湖南紅太陽光電科技有限公司