專利名稱：化學(xué)藥液儲液罐轉(zhuǎn)換連接器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種將供液、回液、補(bǔ)氣、超壓溢流排氣等多種功能連接集于一體的化學(xué)藥液儲液罐轉(zhuǎn)換連接器。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造工藝中需要用到各種化學(xué)藥液，其中包括強(qiáng)腐蝕性藥液，而此藥液都是由工藝設(shè)備外部供給的濃度較高的原液經(jīng)過一定比例稀釋后方可使用的?，F(xiàn)階段所使用的化學(xué)液原液基本都是標(biāo)準(zhǔn)品，由于其具有較強(qiáng)的腐蝕性，在盛裝、保存和使用過程中都要盡量避免與操作人員直接接觸或直接暴露于環(huán)境中，以免污染環(huán)境或被環(huán)境污染。存儲藥液的儲液罐是由耐化學(xué)藥液腐蝕的材料制成，儲液罐頂部通常設(shè)有兩個連接口，其中一個可以作為備用或者根據(jù)需要連接。其連接形式和液體輸送形式較為單一，不能滿足較復(fù)雜的輸送工藝要求。在實際使用過程中，由廠端向工藝設(shè)備供給化學(xué)藥液原液時，出于供給的穩(wěn)定性和安全性等方面的考慮，除了簡單的供液或通氣接口外還需要儲液罐具備連接其他需求管路的功能，以便適應(yīng)較復(fù)雜或者功能要求較多的藥液供給系統(tǒng)。

實用新型內(nèi)容(一)要解決的技術(shù)問題本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種能夠與現(xiàn)有的化學(xué)原液儲液罐配合使用，并將供液、回液、補(bǔ)氣、超壓溢流排氣等多種功能連接集于一體的化學(xué)藥液儲液罐轉(zhuǎn)換連接器。(二)技術(shù)方案為達(dá)上述目的，本實用新型的化學(xué)藥液儲液罐轉(zhuǎn)換連接器，其設(shè)有供液連接口3、補(bǔ)氣連接口 4、超壓溢流排氣孔I和回液連接口 2 ;所述超壓溢流排氣孔I為二階圓通孔，包括第一階排氣通孔和第二階排氣通孔，所述第二階排氣通孔與儲液罐13相連，所述第一階排氣通孔的直徑大于所述第二階排氣通孔的直徑。所述第一階排氣通孔內(nèi)安裝有端蓋5、彈簧6和密封珠7，所述端蓋5和所述密封珠7分別置于所述彈簧6的兩端，所述密封珠7在彈簧6作用下將所述第二階排氣通孔活動密封，所述端蓋5上設(shè)有通孔。所述端蓋5上設(shè)有外螺紋，所述端蓋5通過螺紋與超壓溢流排氣孔I連接。所述端蓋5上的通孔為內(nèi)六角型。所述回液連接口 2為二階圓通孔，包括第一階回液通孔和第二階回液通孔，所述第二階回液通孔與儲液罐13相連，所述第一階回液通孔的直徑小于所述第二階回液通孔的直徑，所述第二階回液通孔的端面設(shè)有多孔板，所述多孔板上的孔為通孔。所述多孔板上的所有孔的橫截面積之和大于回液管路的橫截面積。所述化學(xué)藥液儲液罐轉(zhuǎn)換連接器的材質(zhì)為耐腐蝕性塑料。(三)有益效果[0015]本實用新型采用上述技術(shù)方案提供的裝置，將供液、回液、補(bǔ)氣和超壓溢流排氣等功能連接集成于一體，可滿足復(fù)雜和不同的藥液輸送工藝使用要求；當(dāng)儲液罐內(nèi)氣壓大于設(shè)定壓力時，超壓溢流排氣孔排氣，使罐內(nèi)氣壓穩(wěn)定，有利于供液的穩(wěn)定，并且超壓排氣的臨界壓力可調(diào)；帶有多孔板的回液連接口，可以減小回流藥液對儲液罐內(nèi)藥液的沖擊，有利于供液和藥液本身的穩(wěn)定，且減小了噪音。

圖1是本實用新型化學(xué)藥液儲液罐轉(zhuǎn)換連接器的剖面圖；圖2是本實用新型化學(xué)藥液儲液罐轉(zhuǎn)換連接器的應(yīng)用示意圖。圖中，1:超壓溢流排氣孔；2:回液連接口 ；3:供液連接口 ；4:補(bǔ)氣連接口 ；5 端蓋；6:彈簧；7:密封珠；8:供液連接口外部接頭；9:回液連接口接頭；10:供液連接口內(nèi)部接頭；11:內(nèi)部供液管；12:補(bǔ)氣連接口接頭；13:儲液罐。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型化學(xué)藥液儲液罐轉(zhuǎn)換連接器作進(jìn)一步詳細(xì)說明。以下實施例用于說明本實用新型，但不用來限制本實用新型的范圍。在本實用新型的描述中，需要說明的是，術(shù)語“中心”、“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底” “內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具 有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。此外，術(shù)語“第一”、“第二”、“第三”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。在本實用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本實用新型中的具體含義。此外，在本實用新型的描述中，除非另有說明，“多個”的含義是兩個或兩個以上。如圖1所示，本實用新型的化學(xué)藥液儲液罐轉(zhuǎn)換連接器，其設(shè)有供液連接口 3、補(bǔ)氣連接口 4、超壓溢流排氣孔I和回液連接口 2。超壓溢流排氣孔I為二階圓通孔，包括第一階排氣通孔和第二階排氣通孔，第二階排氣通孔與儲液罐13相連。其中，第一階排氣通孔的直徑大于第二階排氣通孔的直徑。第一階排氣通孔內(nèi)安裝有端蓋5、彈簧6和密封珠7，端蓋5和密封珠7分別置于彈簧6的兩端，密封珠7在彈簧6作用下將第二階排氣通孔活動密封，端蓋5上設(shè)有通孔。端蓋5上設(shè)有外螺紋，端蓋5通過螺紋與超壓溢流排氣孔I連接。端蓋5上的通孔為內(nèi)六角型。內(nèi)六角型通孔用于轉(zhuǎn)動端蓋5調(diào)整端蓋5的高度，兼具排氣的功能。調(diào)整端蓋5的高度可以改變彈簧6的壓縮量，即改變超壓溢流排氣孔I的排氣臨界壓力。當(dāng)儲液罐內(nèi)氣壓大于設(shè)定壓力時，超壓溢流排氣孔排氣，使罐內(nèi)氣壓穩(wěn)定，有利于供液的穩(wěn)定，并且超壓排氣的臨界壓力可調(diào)。回液連接口 2為二階圓通孔，包括第一階回液通孔和第二階回液通孔，第二階回液通孔與儲液罐13相連，第一階回液通孔的直徑小于第二階回液通孔的直徑，第二階回液通孔的端面設(shè)有多孔板，多孔板上的孔為通孔。多孔板上的所有孔的橫截面積之和大于回液管路的橫截面積，能將回流藥液減速且分成多股，減小回流藥液對罐內(nèi)藥液的沖擊，此多孔板的通孔可以為圓形、方形或其他幾何形狀孔。帶有多孔板的回液連接口，可以減小回流藥液對儲液罐內(nèi)藥液的沖擊，有利于供液和藥液本身的穩(wěn)定，且減小了噪音?；瘜W(xué)藥液儲液罐轉(zhuǎn)換連接器的材質(zhì)為耐腐蝕性塑料，如聚四氟乙烯(PTFE)、聚偏氟乙烯(PVDF)或四氟乙烯(PFA)等。如圖2所示，供液連接口 3和補(bǔ)氣連接口 4為通孔，供液連接口外部接頭8和供液連接口內(nèi)部接頭10設(shè)有外螺紋，且分別通過螺紋連接于供液連接口 3的兩端，供液連接口內(nèi)部接頭10另一端與內(nèi)部供液管11相連接，回液連接口接頭9設(shè)有外螺紋且通過螺紋連接于回液連接口 2的第一階回液通孔，補(bǔ)氣連接口接頭12設(shè)有外螺紋且通過螺紋連接于所述補(bǔ)氣連接口 4。上述螺紋為NPT螺紋，也可以采用R螺紋等。本實用新型化學(xué)藥液儲液罐轉(zhuǎn)換連接器的工作過程如下:針對于循環(huán)型藥液供給系統(tǒng)，圖2中供液連接口外部接頭8與供液管路連接，回液連接口接頭9與循環(huán)回液管路連接，供液連接口內(nèi)部接頭10連接儲液罐內(nèi)部供液管11，內(nèi)部供液管11下端接近儲液罐13底部，以保證藥液的最大利用率，補(bǔ)氣連接口接頭12與保護(hù)性氣體(如氮氣等)輸入管路連接。工作時，藥液在壓差作用下經(jīng)供液管路流至工藝設(shè)備中，與此同時多余的藥液可經(jīng)由回液管路流回儲液罐13，進(jìn)入儲液罐13時通過回液連接口 2內(nèi)帶有多孔板減速減壓分流，避免回流藥液壓力或流速過大對儲液罐13內(nèi)藥液造成影響。同時通過保護(hù)性氣體輸入管路將保護(hù)性氣體輸入儲液罐13內(nèi)，起到填補(bǔ)已使用的藥液的空間，保持儲液罐13內(nèi)外壓差平衡的作用。當(dāng)儲液罐13內(nèi)氣壓高于超壓溢流排氣孔I的設(shè)定壓力時，圖1中密封珠7被頂起，彈簧6收縮，超壓溢流排氣孔I打開排氣，使儲液罐13內(nèi)的氣壓穩(wěn)定，從而能夠?qū)崿F(xiàn)化學(xué)藥液的穩(wěn)定連續(xù)供應(yīng)。另外，化學(xué)藥液儲液罐轉(zhuǎn)換連接器與外部供液管及內(nèi)部供液管11、化學(xué)藥液儲液罐轉(zhuǎn)換連接器與回液連接口接頭9還可以通過其他方式連接。供液連接口外部接頭8和供液連接口內(nèi)部接頭10焊接于供液連接口 3的兩端，回液連接口接頭9焊接于回液連接口 2的第一階回液通孔，補(bǔ)氣連接口接頭12焊接于補(bǔ)氣連接口 4。除此之外，化學(xué)藥液儲液罐轉(zhuǎn)換連接器與外部供液管及內(nèi)部供液管11還可以通過穿板接頭連接。供液連接口 3內(nèi)安裝穿板接頭，穿板接頭兩端分別與內(nèi)部供液管11和外部供液管連接。穿板接頭包括中部設(shè)有凸緣的外螺紋管和螺母，外螺紋管穿過供液連接口3后，旋緊螺母使化學(xué)藥液儲液罐轉(zhuǎn)換連接器夾緊于外螺紋管上的凸緣與螺母之間。以上實施方式僅用于說明本實用新型，而并非對本實用新型的限制，有關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本實用新型的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有等同的技術(shù)方案也屬于本實用新型的范疇。
權(quán)利要求1.一種化學(xué)藥液儲液罐轉(zhuǎn)換連接器，其特征在于，所述化學(xué)藥液儲液罐轉(zhuǎn)換連接器上設(shè)有供液連接口(3)、補(bǔ)氣連接口(4)、超壓溢流排氣孔(I)和回液連接口(2);所述超壓溢流排氣孔(I)為二階圓通孔，包括第一階排氣通孔和第二階排氣通孔，所述第二階排氣通孔與儲液罐(13)相連，所述第一階排氣通孔的直徑大于所述第二階排氣通孔的直徑。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)藥液儲液罐轉(zhuǎn)換連接器，其特征在于，所述第一階排氣通孔內(nèi)安裝有端蓋(5)、彈簧(6)和密封珠(7)，所述端蓋(5)和所述密封珠(7)分別置于所述彈簧(6)的兩端，所述密封珠(7)在彈簧(6)作用下將所述第二階排氣通孔活動密封，所述端蓋(5)上設(shè)有通孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的化學(xué)藥液儲液罐轉(zhuǎn)換連接器，其特征在于，所述端蓋(5)上設(shè)有外螺紋，所述端蓋(5)通過螺紋與超壓溢流排氣孔(I)連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的化學(xué)藥液儲液罐轉(zhuǎn)換連接器，其特征在于，所述端蓋(5)上的通孔為內(nèi)六角型。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項所述的化學(xué)藥液儲液罐轉(zhuǎn)換連接器，其特征在于，所述回液連接口(2)為二階圓通孔，包括第一階回液通孔和第二階回液通孔，所述第二階回液通孔與儲液罐(13)相連，所述第一階回液通孔的直徑小于所述第二階回液通孔的直徑，所述第二階回液通孔的端面設(shè)有多孔板，所述多孔板上的孔為通孔。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的化學(xué)藥液儲液罐轉(zhuǎn)換連接器，其特征在于，所述多孔板上的所有孔的橫截面積之和大于回液管路的橫截面積。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的化學(xué)藥液儲液罐轉(zhuǎn)換連接器，其特征在于，所述化學(xué)藥液儲液罐轉(zhuǎn)換連接器的材質(zhì)為耐腐蝕性塑料。
專利摘要本實用新型提供一種化學(xué)藥液儲液罐轉(zhuǎn)換連接器，所述化學(xué)藥液儲液罐轉(zhuǎn)換連接器設(shè)有供液連接口、補(bǔ)氣連接口、超壓溢流排氣孔和回液連接口。本實用新型的化學(xué)藥液儲液罐轉(zhuǎn)換連接器將供液、回液、補(bǔ)氣和超壓溢流排氣等功能連接集成于一體，可滿足復(fù)雜和不同的藥液輸送工藝使用要求；當(dāng)儲液罐內(nèi)氣壓大于設(shè)定壓力時，超壓溢流排氣孔排氣，使罐內(nèi)氣壓穩(wěn)定，有利于供液的穩(wěn)定，并且超壓排氣的臨界壓力可調(diào)；帶有多孔板的回液連接口，可以減小回流藥液對儲液罐內(nèi)藥液的沖擊，有利于供液和藥液本身的穩(wěn)定，且減小了噪音。
文檔編號B65D90/34GK203006192SQ20122069671
公開日2013年6月19日 申請日期2012年12月14日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月14日
發(fā)明者徐能, 初國超, 裴立坤, 吳儀 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司