吸引夾持器及具備其的移載裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供簡單地構(gòu)成了對各噴嘴的壓縮空氣的供給通道的吸引夾持器。吸引夾持器具備具有與工件相對的相對面（31）的平板狀的主體。在主體上形成從相對面（31）噴出氣體的多個(gè)吸引單元、對各吸引單元提供壓縮空氣的供給通道、以及沿厚度方向貫穿主體的多個(gè)排氣孔。每個(gè)吸引單元具備具有在相對面（31）上開口的圓形噴出口（41）的圓柱狀空間（45）、在圓柱狀空間（45）的內(nèi)周壁上開口的多個(gè)噴嘴（44）。供給通道具備將壓縮空氣分配給多個(gè)噴嘴（44）的每一個(gè)的分配通道（62）以及給分配通道（62）提供壓縮空氣的共同供給通道（47）。并且，吸引單元、分配通道（62）及共同供給通道（47）被形成在相互不同的金屬板上。
【專利說明】吸引夾持器及具備其的移載裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及噴出壓縮氣體、利用伯努利效應(yīng)吸引保持工件的吸引夾持器。
【背景技術(shù)】
[0002]為了移載太陽能電池晶片和燃料電池單元，或者充電電池的電極或隔板等薄的平板狀工件(薄板工件)，利用了非接觸地保持并搬運(yùn)該工件的非接觸搬運(yùn)裝置。
[0003]這種非接觸搬運(yùn)裝置以高速噴出空氣產(chǎn)生伯努利效應(yīng)引起的負(fù)壓，利用該負(fù)壓吸引工件地構(gòu)成。專利文獻(xiàn)I中記載的非接觸搬運(yùn)裝置將空氣噴射到形成為中空圓柱體的回旋流形成體(吸引單元)的內(nèi)部，在該回旋流形成體的內(nèi)部形成回旋流地構(gòu)成。由于回旋流從回旋流形成體成高速流地流出，因此該回旋流形成體的端面與被搬運(yùn)物(晶片)之間成為負(fù)壓。由此，被搬運(yùn)物被回旋流形成體吸引，但由于在回旋流形成體與被搬運(yùn)物之間形成空氣層，因此被搬運(yùn)物與回旋流形成體之間保持非接觸狀態(tài)。這樣，能夠非接觸地吸引保持被搬運(yùn)物。
[0004]作為這種非接觸搬運(yùn)裝置的另外的例子，本發(fā)明 申請人:提出了圖13所示那樣的吸引夾持器80的方案(日本特愿2011-94215)。如圖13所示，該吸引夾持器80具備構(gòu)成為平板狀的主體81，該主體81的下面成為直接與工件相對置的相對面31。在相對面31上排列形成有多個(gè)圓孔狀的噴出口 41。并且，在主體81上形成有沿厚度方向貫穿該主體81的多個(gè)排氣孔42。
[0005]將噴出口 41中的一個(gè)放大表示在圖14中。在各噴出口 41的內(nèi)側(cè)形成有用來噴出壓縮空氣的噴嘴44。噴嘴44作為細(xì)長縫隙狀的流路而形成。在該例中，噴嘴44對一個(gè)噴出口 41而形成有2根。2根噴嘴44使相位互相相差180°地形成在噴出口 41內(nèi)壁的切線方向上。該噴嘴44的一端在噴出口 41的內(nèi)周壁上開口，另一端與連接孔34連通。
[0006]在該吸引夾持器80的主體81上形成有與連接孔34連通的供給通道83。該供給通道83與各噴嘴44相對應(yīng)地設(shè)置。例如圖14的吸引夾持器80中，由于對一個(gè)噴出口 41設(shè)置了 2個(gè)噴嘴44，因此供給通道83也設(shè)置2條。
[0007]以上結(jié)構(gòu)的吸引夾持器80中，通過將壓縮空氣提供給供給通道83，壓縮空氣通過連接孔34流入噴嘴44，壓縮空氣從該噴嘴44噴出到噴出口 41的內(nèi)部。從噴嘴44噴出來的空氣在沿噴出口 41的內(nèi)壁面流動后從該噴出口 41以高速流出。由此，能夠在吸引夾持器80的相對面31與工件之間產(chǎn)生負(fù)壓、能夠吸引保持該工件。另外，由于從噴出口 41流出的空氣通過排氣孔42而被快速排出，因此能夠防止空氣流滯留引起的吸引力的下降。
[0008]如圖15和圖16所不,吸引夾持器80層疊多個(gè)金屬制的板84?87構(gòu)成。在表面板84上形成有噴出口 41。在噴嘴板85上形成有噴嘴44。在連接板86上形成有連接孔34。在分配板87上形成有供給通道83。
[0009]噴出口 41、噴嘴44、連接孔34、供給通道83、排氣孔42等能夠用對金屬板84?87的蝕刻或機(jī)械加工等方向形成，小型化和密集化是容易的。例如圖13的吸引夾持器80中使噴出口 41的直徑為3mm。由于能夠這樣極小地形成噴出口 41，因此如圖13所示地能夠多個(gè)排列成陣列形地形成噴出口 41。由此，由于能夠使負(fù)壓均勻地分散作用于相對面31與工件之間，因此能夠防止吸引保持工件時(shí)該工件的振動和變形。
[0010][專利文獻(xiàn)I]日本特許第3981241號公報(bào)
[0011]圖13等所示的現(xiàn)有技術(shù)例的吸引夾持器80由于是將金屬制的板層疊而成的結(jié)構(gòu)，因此有將金屬板彼此互相結(jié)合的必要。為了將層疊的金屬板彼此結(jié)合，能夠利用擴(kuò)散接
口 ο
[0012]但是，在圖13等所示的吸引夾持器80中，為了確保壓縮空氣的流量足夠，供給通道83的寬度足夠?qū)挼匦纬?。在擴(kuò)散接合金屬板彼此之際，有必要在其厚度方向上施加壓力，但如果像供給通道83那樣在金屬板上形成寬度寬的溝槽(或縫隙)，則壓力難以夾著該溝槽(或縫隙)沿厚度方向傳遞。因此，即使將板84?87全部疊起來一體地進(jìn)行擴(kuò)散接合，壓力也難以作用于供給通道83的部分。因此，在該供給通道83的部分金屬板彼此的結(jié)合變得不充分，存在產(chǎn)生空氣泄漏等問題的擔(dān)憂。
[0013]因此，在形成圖13等所示的現(xiàn)有技術(shù)例的吸引夾持器80之際，將板84?86疊起來并擴(kuò)散接合，然后通過粘接形成了供給通道83的分配板87進(jìn)行一體化。這樣，圖13等所示的吸引夾持器80由于不能夠統(tǒng)一擴(kuò)散接合所有的板84?87，因此制造費(fèi)功夫，成為了制造成本上升的主要原因。
[0014]并且，通過本申請
【發(fā)明者】們的研究發(fā)現(xiàn)，通過對一個(gè)噴出口 41形成3根以上的噴嘴44能夠提高吸引夾持器80的吸引性能(吸引力提高，吸引時(shí)工件的變形減少)。但是，圖14的結(jié)構(gòu)中由于分別與噴嘴44相對應(yīng)配設(shè)供給通道83，因此如果增加噴嘴44的數(shù)量則相應(yīng)地供給通道83的配設(shè)路徑變得復(fù)雜。因此增加噴嘴44的數(shù)量困難或者是不可能的。并且，如果供給通道83的配設(shè)路徑變復(fù)雜，則難以將排氣孔42配置在最適當(dāng)?shù)奈恢谩?br>
【發(fā)明內(nèi)容】

[0015]本發(fā)明就是鑒于以上的情況，其目的是要提供一種在將多個(gè)金屬板層疊構(gòu)成的吸引夾持器中，簡單地構(gòu)成對各噴嘴的壓縮空氣的供給通道、并且能夠通過擴(kuò)散接合一次將全部一體化的吸引夾持器。
[0016]本發(fā)明想要解決的問題如上所述，下面說明解決該問題的手段及其效果。
[0017]根據(jù)本發(fā)明的方案，提供如下地構(gòu)成的吸引夾持器。該吸引夾持器具備具有與工件相對的相對面的平板狀的主體。在上述主體上形成了從上述相對面噴出氣體的多個(gè)吸引單元、對各吸引單元提供上述氣體的供給通道、以及沿厚度方向貫穿上述主體的多個(gè)排氣孔。每個(gè)上述吸引單元具備:具有在上述相對面上開口的圓形噴出口的圓柱狀空間，以及在上述圓柱狀空間的內(nèi)周壁上開口的多個(gè)噴嘴。上述供給通道具備:將上述氣體分配給上述多個(gè)噴嘴的每一個(gè)的分配通道，以及給上述分配通道提供上述氣體的共同供給通道。并且，上述吸引單元、上述分配通道及上述共同供給通道形成在上述主體的厚度方向的不同位置上。
[0018]S卩，從共同供給通道對分配通道提供壓縮空氣，從該分配通道對各噴嘴分配氣體。由于對各噴嘴的氣體的分配由分配通道進(jìn)行，因此共同供給通道只要對分配通道提供氣體就可以。因此，即使吸引單元具備多個(gè)噴嘴，共同供給通道的配設(shè)路徑也不會變復(fù)雜。由此，由于能夠使共同供給通道的配設(shè)路徑簡化，因此整體布局的自由度提高。[0019]上述吸引夾持器最好如下地構(gòu)成。即，上述供給通道具備供給口和第I氣體室。上述氣體提供給上述供給口。上述第I氣體室與上述分配通道連通。上述共同供給通道橫跨多個(gè)上述第I氣體室地設(shè)置，并且與上述供給口連接。并且該吸引夾持器具備形成了上述供給口的第I金屬板、形成了上述共同供給通道的第2金屬板、以及形成了上述第I氣體室的第3金屬板。
[0020]據(jù)此，通過對一個(gè)供給口提供氣體，通過共同供給通道能夠?qū)怏w提供給多個(gè)第I氣體室。
[0021]上述吸引夾持器最好如下地構(gòu)成。即，上述共同供給通道作為沿厚度方向貫穿上述第2金屬板形成的細(xì)長縫隙而構(gòu)成。并且，上述第2金屬板層疊多片金屬板而構(gòu)成。
[0022]從足夠地確保共同供給通道的流路面積的觀點(diǎn)出發(fā)，最好增大共同供給通道的厚度方向上的尺寸。但是，由于具有厚度的金屬板上難以形成細(xì)長的縫隙，因此像上述那樣在多個(gè)金屬板上分別形成縫隙，將它們層疊作為第2金屬板。由于通過層疊金屬板作為第2金屬板能夠使該第2金屬板變厚，因此能夠確保該第2金屬板上形成的縫隙(共同供給通道)的厚度方向上的尺寸。
[0023]上述吸引夾持器最好如下地構(gòu)成。即，上述共同供給通道作為互相間隔的多個(gè)細(xì)長縫隙形成在上述第2金屬板上。上述多個(gè)細(xì)長縫隙中的一部分直接與上述供給口連通。另一方面，上述多個(gè)細(xì)長縫隙的剩余部分通過上述第I氣體室間接地與上述供給口連通。
[0024]通過將共同供給通道分割成多個(gè)縫隙，能夠減小每個(gè)縫隙的開口面積。由此，擴(kuò)散接合之際容易施加壓力，并且第2金屬板不容易變形。被分割的縫隙彼此通過第I氣體室能夠互相連通。由此，能夠?qū)γ總€(gè)縫隙提供氣體。
[0025]上述吸引夾持器最好如下地構(gòu)成。即，該吸引夾持器具備第4金屬板和第5金屬板。在上述第4金屬板上形成上述分配通道。在上述第5金屬板上形成第2氣體室。該第2氣體室與各吸引單元所具備的上述多個(gè)噴嘴相對應(yīng)地設(shè)置，使該對應(yīng)的噴嘴與上述分配通道連通。
[0026]利用該結(jié)構(gòu)，能夠?qū)⑻峁┙o分配通道的氣體通過第2氣體室提供給各噴嘴。
[0027]上述吸引夾持器最好如下地構(gòu)成。即，該吸引夾持器具備第6金屬板和第7金屬板。在上述第6金屬板上形成上述圓柱狀空間的一部分，并且形成與該圓柱狀空間連通的多個(gè)上述噴嘴。在上述第7金屬板上形成上述噴出口。
[0028]能夠從這樣形成的噴嘴將氣體噴出到圓柱狀空間的內(nèi)部。
[0029]上述吸引夾持器最好在依次將從第I到第7金屬板層疊后擴(kuò)散接合而構(gòu)成。
[0030]通過這樣擴(kuò)散接合，能夠一次使多個(gè)金屬板一體化來形成吸引夾持器。
[0031]上述吸引夾持器最好如下地構(gòu)成。即，上述第I氣體室為圓柱狀的空間。上述第I氣體室和與該第I氣體室相對應(yīng)的吸引單元的上述圓柱狀空間被配置在同一軸心上。上述分配通道具備輸入部和單獨(dú)供給通道。上述輸入部與上述第I氣體室連通。上述單獨(dú)供給通道與該分配通道對應(yīng)的吸引單元所具備的多個(gè)上述噴嘴分別相對應(yīng)地設(shè)置，將該對應(yīng)的噴嘴與上述輸入部連通。并且，各單獨(dú)供給通道從上述軸心放射狀地配置。
[0032]在上述吸引夾持器中，各單獨(dú)供給通道最好為互相相等的長度、并且具有相等的流路截面積。
[0033]在上述吸引夾持器中，各單獨(dú)供給通道最好以上述軸心為中心以等間隔配置。[0034]通過這樣地構(gòu)成分配通道，能夠?qū)Χ鄠€(gè)噴嘴均勻地分配氣體。
[0035]在上述吸引夾持器中，最好上述單獨(dú)供給通道的流路截面積與上述噴嘴的流路截面積相等或者比它大。
[0036]由此，能夠?qū)Ω鲊娮斐浞执_保提供的氣體的流量。
[0037]在上述吸引夾持器中，上述噴出口、上述噴嘴、上述分配通道及上述共同供給通道最好通過刻蝕形成在對應(yīng)的金屬板上。[0038]通過這樣地通過刻蝕進(jìn)行的加工形成噴出口和噴嘴等，小并且高精度地形成吸引
單元變得容易。
[0039]不過，上述噴出口、上述噴嘴、上述分配通道及上述共同供給通道也可以通過機(jī)械加工形成在對應(yīng)的金屬板上。
[0040]另外根據(jù)本發(fā)明的別的方案，能夠提供具備上述吸引夾持器以及能夠使上述吸引夾持器在規(guī)定的范圍內(nèi)三維移動的并聯(lián)機(jī)構(gòu)(^力二 < 的移載裝置。
[0041]即，利用并聯(lián)機(jī)構(gòu)能夠使由吸引夾持器吸引保持的工件自由地三維移動。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0042]圖1為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施形態(tài)涉及的移載機(jī)械手的透視圖；
[0043]圖2為吸引夾持器的透視圖；
[0044]圖3為表不吸引夾持器主體的相對面一側(cè)的透視圖；
[0045]圖4為放大表示吸引單元的透視圖；
[0046]圖5為吸引夾持器主體的分解透視圖；
[0047]圖6為吸引夾持器主體的縱剖視圖；
[0048]圖7為表示壓縮空氣流的縱剖視圖；
[0049]圖8為放大表示吸引單元附近的分解透視圖；
[0050]圖9為從別的角度表示吸引單元附近的分解透視圖；
[0051]圖10為表示共同供給通道的結(jié)構(gòu)的分解透視圖；
[0052]圖11 (a)為第2金屬板的俯視圖；(b)為比較例的第2金屬板的俯視圖；
[0053]圖12放大表示分配通道的俯視圖；
[0054]圖13為現(xiàn)有技術(shù)例的吸引夾持器的透視圖；
[0055]圖14為放大表示現(xiàn)有技術(shù)例的吸引夾持器的吸引單元的透視圖；
[0056]圖15為現(xiàn)有技術(shù)例的吸引夾持器的分解透視圖；
[0057]圖16為現(xiàn)有技術(shù)例的吸引夾持器的從別的角度的分解透視圖。
[0058][附圖標(biāo)記]
[0059]10.吸引夾持器；11.主體；31.相對面；41.噴出口；42.排氣孔；44.噴嘴；45.圓柱狀空間；46.第2氣體室；47.共同供給通道；48.第I氣體室；62.分配通道；90.工件
【具體實(shí)施方式】
[0060]下面參照【專利附圖】

【附圖說明】本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)。圖1為表示具備本發(fā)明一個(gè)實(shí)施形態(tài)的吸引夾持器10的移載機(jī)械手(移載裝置)I的透視圖。[0061]該移載機(jī)械手I作為所謂并聯(lián)機(jī)構(gòu)機(jī)械手(^力二文' A 口 〃卜)而構(gòu)成。具體為，該移載機(jī)械手I具備底座部101、3根臂106、3個(gè)驅(qū)動電動機(jī)104和I個(gè)端板114。
[0062]在底座部101的上部形成有朝下的被安裝面P1。另一方面，用來安裝移載機(jī)械手I的圖示省略的框的上面作為水平的朝上的安裝面。該結(jié)構(gòu)通過將底座部101的被安裝面Pi固定在上述框體的安裝面上，能夠呈垂吊狀地設(shè)置移載機(jī)械手I。
[0063]在底座部101的下面一側(cè)，以該底座部101的俯視中央部為中心沿圓周方向等間隔地排列固定3個(gè)驅(qū)動電動機(jī)104。各驅(qū)動電動機(jī)104帶減速機(jī)構(gòu)，在該減速機(jī)構(gòu)的輸出軸上分別固定有上述臂106的根端部。
[0064]在各臂106的中間部分設(shè)置有由球接頭構(gòu)成的關(guān)節(jié)部110，在該關(guān)節(jié)部110該臂106彎曲自由。3根臂106的頂端通過球接頭構(gòu)成的關(guān)節(jié)部而彎曲自由地連接在一塊端板114上。并且，在底座部101上固定有將電機(jī)軸朝下地設(shè)置的電動機(jī)32。該電動機(jī)32的電機(jī)軸的端部連接在回旋軸33的端部。
[0065]回旋軸33的另一端貫穿端板114比該端板114的下面突出到下方，并且被端板114能夠旋轉(zhuǎn)地支承著。由此,能夠?qū)⑸鲜鲭妱訖C(jī)軸的旋轉(zhuǎn)傳遞到端板114的下方。在回旋軸33的下端部安裝有本實(shí)施形態(tài)的吸引夾持器(伯努利吸盤)10。
[0066]利用像上述那樣構(gòu)成的并聯(lián)機(jī)構(gòu)，移載機(jī)械手I通過適當(dāng)?shù)乜刂?個(gè)驅(qū)動電動機(jī)104，能夠使端 板114 (吸引夾持器10)在臂106及回旋軸33的行程范圍內(nèi)自由地三維移動。并且，通過適當(dāng)?shù)乜刂齐妱訖C(jī)32能夠使吸引夾持器10圍繞鉛垂軸回旋。
[0067]如圖2所示，吸引夾持器10具備形成為平板狀的主體11。主體11具有與工件90的上面相對、朝下的相對面31。并且，在相對面31的相反一側(cè)的面(主體11的上面)連接有接頭71及配管72。該配管72通過圖示省略的電磁閥與適當(dāng)?shù)膲嚎s空氣源(例如壓縮機(jī))連接。吸引夾持器10通過從相對面31以高速噴射從該壓縮空氣源提供的壓縮空氣，利用伯努利效應(yīng)在工件90與相對面31之間產(chǎn)生負(fù)壓，由此非接觸地吸引保持該工件90地構(gòu)成。
[0068]并且，在主體11的邊緣部固定有圍繞該主體11地互相隔開間隔配置的多個(gè)引導(dǎo)部件91。引導(dǎo)部件91使其下端比主體11的下面(相對面31)朝下方突出地配置著。這些引導(dǎo)部件91在搬運(yùn)被保持在吸引夾持器10上的工件90之際、限制工件90沿與主體11的下面(相對面31)平行的方向相對移動。
[0069]本實(shí)施形態(tài)的移載機(jī)械手I給吸引夾持器10提供壓縮空氣來吸引保持工件90，在該狀態(tài)下適當(dāng)控制驅(qū)動電動機(jī)104使端板114(以及吸引了工件90的狀態(tài)的吸引夾持器10)移動到所希望的位置。并且，該移載機(jī)械手I通過適當(dāng)驅(qū)動上述電動機(jī)32使吸引夾持器10回旋，能夠使被該吸引夾持器10吸引保持的工件90在大致水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)。接著移載機(jī)械手I通過阻斷對吸引夾持器10的壓縮空氣的提供來解除工件90的吸引保持，由此將該工件90載置到所希望的位置上。像上述那樣，本實(shí)施形態(tài)的移載機(jī)械手I能夠用吸引夾持器10吸引保持工件90、使其移動到所希望的位置。
[0070]作為本實(shí)施形態(tài)的移載機(jī)械手I處理的工件90，假定形成為薄的平板狀一尤其為矩形的工件。作為工件90的例子能夠列舉太陽能電池晶片、燃料電池單元、充電電池的電極、隔板、硅晶片等，但并不局限于此。
[0071]接著詳細(xì)說明本實(shí)施形態(tài)的吸引夾持器10的結(jié)構(gòu)。[0072]如前所述，吸引夾持器10具備構(gòu)成為平板狀的主體11，其下面成為與工件90相對的相對面31。如圖3所示，在主體11的相對面31上開口有多個(gè)圓形的噴出口 41。并且，在吸引夾持器10的主體11上形成有多個(gè)在厚度方向上貫穿該主體11的排氣孔42。
[0073]多個(gè)噴出口 41的每一個(gè)對應(yīng)著一個(gè)吸引單元。將本實(shí)施形態(tài)的吸引夾持器10所具備的吸引單元放大表示在圖4中。如圖4所示，各吸引單元具備圓柱狀空間45和多個(gè)噴嘴44。
[0074]圓柱狀空間45為軸心與相對面31正交地形成的圓柱狀的空間。圓柱狀空間45在相對面上開口，該開口部分成為前述的噴出口 41。
[0075]多個(gè)噴嘴44分別作為細(xì)長的流路而構(gòu)成，其長度方向的一端開口在圓柱狀空間45的內(nèi)周壁上。并且，噴嘴44的另一端成為供給壓縮空氣的被供給部35。
[0076]本實(shí)施形態(tài)的吸引夾持器10中，對一個(gè)吸引單元設(shè)置3個(gè)噴嘴44。3個(gè)噴嘴44具有互相相等的長度，并且具有互相相等的流路截面積。并且，3個(gè)噴嘴44以圓柱狀空間45的軸心為中心互相相差120°相位地形成。因此，3個(gè)噴嘴44沿圓周方向等間隔地開口在圓柱狀空間45的內(nèi)周壁上。并且，各噴嘴44使其長度方向與圓柱狀空間45的切線方向一致地形成。
[0077]在吸引夾持器10的主體11上形成有用來對各噴嘴44的被供給部35提供壓縮空氣的供給通道。通過從上述供給通道將壓縮空氣提供給被供給部35，該壓縮空氣在噴嘴44中流動，噴出到圓柱狀空間45內(nèi)，在沿該圓柱狀空間45的內(nèi)周壁流動后從噴出口 41成為高速流而噴出。
[0078]將空氣從噴出口 41噴出的樣子用粗線箭頭表示在圖7中。由于空氣從形成在相對面31上的噴出口 41高速噴出，因此由于伯努利效應(yīng)，相對面31與工件90之間成為負(fù)壓。由此，工件90被相對面31吸引，但由于在相對面31與工件90之間形成空氣層，因此相對面31與工件90之間保持非接觸狀態(tài)。利用以上的結(jié)構(gòu)，能夠非接觸地狀態(tài)吸引保持工件90。
[0079]另外，從噴出口 41流出來的空氣如圖7所示在相對面31與工件90之間流過規(guī)定的距離后通過排氣孔42朝主體11的上面被快速排出。由此，能夠防止空氣滯留在相對面31與工件90之間，能夠防止吸引力降低及工件90的變形及振動的產(chǎn)生。
[0080]在本實(shí)施形態(tài)的吸引夾持器10中，由于各吸引單元具備3個(gè)噴嘴44，因此與只具備2個(gè)噴嘴44的圖14的吸引夾持器80相比，能夠使來自噴出口 41的空氣更均勻地噴出。由此，與圖14的吸引夾持器相比，能夠提高吸引性能(吸引力提高、吸引時(shí)工件的變形減少)。
[0081 ] 接著，詳細(xì)說明該吸引夾持器的結(jié)構(gòu)。
[0082]如圖5至圖9所示，吸引夾持器10的主體11將多個(gè)金屬制的板沿厚度方向?qū)盈B而構(gòu)成。具體為，主體11成為從靠近工件90的一側(cè)(下側(cè))起依次層疊有第7金屬板57、第6金屬板56、第5金屬板55、第4金屬板54、第3金屬板53、第2金屬板52和第I金屬板51的結(jié)構(gòu)。
[0083]在各金屬板51、52、53、54、55、56、57上形成有成為壓縮空氣流路的縫隙或孔。本實(shí)施形態(tài)中上述縫隙或孔通過對金屬板進(jìn)行刻蝕而形成。這樣，由于為了形成壓縮空氣的流路能夠而利用刻蝕，因此能夠很細(xì)(小)地形成該流路，因此細(xì)小、陣列狀地形成各吸引單元變得容易。
[0084]例如本實(shí)施形態(tài)中使噴出口 41的直徑為3mm。并且，本實(shí)施形態(tài)中如圖3所示將多個(gè)噴出口 41排列形成為陣列狀。這樣，本實(shí)施形態(tài)的吸引夾持器10由于通過用多個(gè)金屬板構(gòu)成主體11能夠通過刻蝕形成空氣的流路，因此能夠?qū)⒍鄠€(gè)小的吸引單元排列形成為陣列狀。由此，由于能夠在相對面31與工件90之間產(chǎn)生均勻地分散的負(fù)壓，因此能夠防止吸引保持工件90時(shí)的該工件90的變形和振動。
[0085]作為上述7片金屬板51?57的材料能夠列舉從不銹鋼、鋁合金或鈦合金中選擇的材料作為具體例。并且，本實(shí)施形態(tài)中通過在將7片板51?57全部疊起來的狀態(tài)下擴(kuò)散接合，形成吸引夾持器10的主體11。為了提供應(yīng)變小、尺寸精度良好的吸引夾持器10，作為7片金屬板51?57的材料，優(yōu)選使用完全相同的材料。這是因?yàn)樵诩僭O(shè)將不同種類的金屬擴(kuò)散接合的情況下，由于結(jié)合后的殘余應(yīng)變，有產(chǎn)生翹曲等變形的擔(dān)憂的緣故。本實(shí)施形態(tài)作為7片板51?57都使用不銹鋼。
[0086]上述吸引單元被形成在第7金屬板57及第6金屬板56上。因此首先說明第7金屬板57及第6金屬板56的結(jié)構(gòu)。
[0087]在第7金屬板57及第6金屬板56上形成有上述圓柱狀空間45。該圓柱狀空間45作為在厚度方向上貫穿第7金屬板57及第6金屬板56的圓孔而形成。另外，在第5金屬板55上沒有形成圓柱狀空間45。即，在吸引夾持器10的厚度方向上，圓柱狀空間45的一側(cè)的端部(上側(cè)的端部)被第5金屬板55密封。另一方面，圓柱狀空間45的另一側(cè)的端部(下側(cè)的端部)在第7金屬板57的下面(相對面31)上開口而形成噴出口 41。
[0088]在第6金屬板56上形成有圓柱狀空間45的一部分。并且,在該第6金屬板56上如圖9所示形成有與上述圓柱狀空間45連接的噴嘴44。如圖9所示，各噴嘴44作為細(xì)長縫隙而形成在第6金屬板56上。并且，各噴嘴44在厚度方向上貫穿第6金屬板56地形成。在各噴嘴44的端部形成有被供給部35。如圖9所示，被供給部35作為在厚度方向上貫穿第6金屬板56的圓孔而形成。各噴嘴44的端部與對應(yīng)的被供給部35連接。
[0089]另外，雖然在圖6的剖視圖中各吸引單元在同一剖面內(nèi)2個(gè)噴嘴44相對地描繪，但這只時(shí)為了圖示上的方便。如前所述，由于各噴嘴44互相相差120°相位地形成，因此實(shí)際上噴嘴44并不是如圖6的剖面圖那樣形成在同一平面內(nèi)。
[0090]接著說明用來對各吸引單元提供壓縮空氣的結(jié)構(gòu)。
[0091]在本實(shí)施形態(tài)的吸引夾持器10的主體11上形成有用來對各吸引單元提供壓縮空氣的供給通道。該供給通道被形成在第I?第5金屬板51、52、53、54、55上。
[0092]如圖5及圖10所示，在第I金屬板51上形成有多個(gè)供給口 73。如圖10所示，各供給口 73作為在厚度方向上貫穿第I金屬板51的圓孔而形成。并且，如圖6所示，供給口73上能夠連接用來供給壓縮空氣的接頭71。具體為，通過在接頭71的連接部加工外螺紋，在供給口 73的圓孔內(nèi)加工內(nèi)螺紋等，將接頭71適當(dāng)連接在供給口 73上。由此，來自上述壓縮空氣源(壓縮機(jī)等)的壓縮空氣提供給供給口 73。
[0093]在第3金屬板53上形成有第I氣體室48。如圖8所示，該第I氣體室48作為在厚度方向上貫穿第3金屬板53的圓孔而形成。第I氣體室48按每個(gè)吸引單元設(shè)置一個(gè)。并且，各第I氣體室48使軸心與對應(yīng)的吸引單元的圓柱狀空間45 —致(同一軸心上)地配置。[0094]在第2金屬板52上形成有多個(gè)共同供給通道47。如圖10所示，各共同供給通道47作為細(xì)長縫隙形成在第2金屬板52上。并且，該共同供給通道47在厚度方向上貫穿第2金屬板52而形成。各共同供給通道47與各供給口 73相對應(yīng)地設(shè)置，與該對應(yīng)的供給口73連通。并且，如圖10所示，共同供給通道47橫跨多個(gè)(本實(shí)施形態(tài)的情況下為4個(gè))第I氣體室48配置，與這些多個(gè)第I氣體室48連通。利用以上的結(jié)構(gòu)，提供給供給口 73的壓縮空氣通過共同供給通道47而提供給多個(gè)第I氣體室48。
[0095]另外，本實(shí)施形態(tài)中由于橫跨多個(gè)第I氣體室48而形成共同供給通道47，因此該共同供給通道47具有一定程度的長度。在假設(shè)將該共同供給通道47像圖11 (b)那樣作為一條縫隙而構(gòu)成的情況下，由于形成在第2金屬板52上的縫隙(共同供給通道)的長度變長，因此該第2金屬板52的剛性下降，在擴(kuò)散接合之際第2金屬板52容易變形。
[0096]因此，本實(shí)施形態(tài)中如圖11 (a)所示，設(shè)置將共同供給通道47在長度方向上間隔成多個(gè)的長度方向分隔部60。由此，共同供給通道47由沿長度方向排列的多個(gè)縫隙構(gòu)成。如例如圖6及圖11(a)所示，本實(shí)施形態(tài)的共同供給通道47由沿其長度方向排列的4個(gè)縫隙47a、47b、47c、47d構(gòu)成。這樣，通過將共同供給通道47沿長度方向分割變成多個(gè)縫隙，能夠縮短每個(gè)縫隙的長度。由此，由于能夠防止第2金屬板52的剛性下降，擴(kuò)散接合時(shí)第2金屬板52不容易變形，因此能夠精度良好地進(jìn)行擴(kuò)散接合。
[0097]另外，由于采用了將共同供給通道47間隔成多個(gè)縫隙的結(jié)構(gòu)，因此縫隙彼此之間不直接連通。因此，為了使壓縮空氣遍布共同供給通道47的全長，有必要另外設(shè)置將構(gòu)成該共同供給通道47的縫隙彼此連通的路徑。
[0098]因此，本實(shí)施形態(tài)如圖6所示與供給口 73或第I氣體室48相對應(yīng)地設(shè)置長度方向分隔部60。具體為，在厚度方向上覆蓋供給口 73和第I氣體室48地配置長度方向分隔部60，并且使長度方向分隔部60的寬度(長度方向分隔部60在共同供給通道47的長度方向上的尺寸)比對應(yīng)的供給口 73或第I氣體室48的直徑小。利用以上的結(jié)構(gòu)，能夠使長度方向上相鄰的縫隙彼此通過供給口 73或第I氣體室48間接地連通。如果更具體地以圖6為例進(jìn)行說明，則縫隙47b與縫隙47c通過供給口 73連通?？p隙47a與縫隙47b通過第I氣體室48間接地連通。并且，縫隙47c與縫隙47d通過第I氣體室48間接地連通。
[0099]利用以上的結(jié)構(gòu)，能夠使從供給口 73提供的壓縮空氣遍布共同供給通道47的全長。更具體地參照圖7進(jìn)行說明。圖7的例中，構(gòu)成共同供給通道47的4個(gè)縫隙47a、47b、47c、47d中縫隙47b與縫隙47c與供給口 73直接連通。因此，剩余的縫隙47a、47d與供給口 73不直接連通。來自供給口 73的壓縮空氣首先提供給縫隙47b和47c。提供給縫隙47b的壓縮空氣如圖7所示通過第I氣體室48鉆過長度方向分隔部60的下方地流動，被提供給縫隙47a。同樣，提供給縫隙47c的壓縮空氣如圖7所示通過第I氣體室48鉆過長度方向分隔部60的下方地流動，提供給縫隙47d。
[0100]由于像上述那樣能夠使從供給口 73提供的壓縮空氣遍布共同供給通道47的全長，因此能夠?qū)⑸鲜鰤嚎s空氣提供給與該共同供給通道47相對應(yīng)地設(shè)置的多個(gè)(本實(shí)施形態(tài)的情況下為4個(gè))第I氣體室48。
[0101]另外，由于如上所述采用用一個(gè)共同供給通道47給多個(gè)第I氣體室48提供壓縮空氣的結(jié)構(gòu)，因此為了充分確保壓縮空氣的提供量，有必要使共同供給通道47的流路截面積足夠大。因此，考慮沿寬度方向?qū)挼匦纬晒餐┙o通道47。但是，在使該共同供給通道47的寬度寬的情況下，在將金屬板51?57疊起來進(jìn)行擴(kuò)散接合之際，在共同供給通道47的部分施加壓力變得困難，存在結(jié)合變得不完全的擔(dān)憂。
[0102]因此本實(shí)施形態(tài)中如圖11 (a)所示設(shè)置在寬度方向?qū)⒐餐┙o通道47間隔成多個(gè)的寬度方向分隔部61。由此，共同供給通道47由沿寬度方向排列的多個(gè)縫隙構(gòu)成。例如圖11 (a)所示，本實(shí)施形態(tài)的共同供給通道47由在其寬度方向上平行地排列的2條細(xì)長縫隙構(gòu)成。這樣，通過將共同供給通道47沿寬度方向分割、由多個(gè)縫隙構(gòu)成，能夠充分確保共同供給通道47整體的流量，并且能夠使每個(gè)縫隙的寬度變窄。由此，在將金屬板51?57疊起來進(jìn)行擴(kuò)散接合之際，壓力施加到共同供給通道47的部分變得容易，能夠防止結(jié)合變得不完全。
[0103]但是，為了充分確保壓縮空氣的流量，最好還增大共同供給通道47的厚度方向上的尺寸。因此本實(shí)施形態(tài)如圖10所示將多片(本實(shí)施形態(tài)的情況下為2塊)金屬板層疊構(gòu)成第2金屬板52。在各金屬板上貫穿形成相同形狀的共同供給通道47。這樣，通過將多片金屬板層疊而構(gòu)成第2金屬板52，由于能夠增大該第2金屬板52的厚度，因此能夠增大共同供給通道47的厚度方向上的尺寸。由此，由于能夠使該共同供給通道47的流路截面積足夠大，因此能夠充分確保壓縮空氣的流量。
[0104]構(gòu)成第2金屬板52的各片金屬板通過重合并擴(kuò)散接合進(jìn)行一體化，作為一片第2金屬板52處理就可以。但是，這種情況下需要將各金屬板重合形成第2金屬板52的擴(kuò)散接合和將第I?第7金屬板51、52、53、54、55、56、57重合形成吸引夾持器10的擴(kuò)散接合共計(jì)2次的擴(kuò)散接合。因此，如果沒有特別的作為一塊第2金屬板52來處理的必要的話，將構(gòu)成第2金屬板52的多片金屬板與第I金屬板51及第3?第7金屬板53、54、55、56、57一起重合進(jìn)行擴(kuò)散接合就可以。如果這樣，通過一次擴(kuò)散接合就能夠形成吸引夾持器10。
[0105]另外，雖然本實(shí)施形態(tài)中通過將多片金屬板疊起來增大第2金屬板52的厚度，但也可以考慮第2金屬板52作為單片金屬板而增大該單片金屬板自身的厚度這樣的途徑。但是，在金屬板具有厚度的情況下，通過刻蝕精度良好地形成貫穿該金屬板的細(xì)長縫隙狀的共同供給通道47變得困難。
[0106]本實(shí)施形態(tài)中，由于將多片金屬板疊起來構(gòu)成第2金屬板52，因此各金屬板沒有厚度的要求。因此，各金屬板的厚度只要能夠通過刻蝕精度良好地形成上述共同供給通道47的程度的厚度就可以。由此，能夠精度良好地形成共同供給通道47，而且通過將多片金屬板疊起來能夠?qū)⒐餐┙o通道47的厚度方向上的尺寸增大到足夠。
[0107]如圖9所示，第4金屬板54上形成有分配通道62。分配通道62與各第I氣體室48相對應(yīng)地設(shè)置。如圖9及圖12所示，分配通道62具備輸入部63、單獨(dú)供給通道64及輸出部65。
[0108]輸入部63作為在厚度方向上貫穿第4金屬板54的圓孔而構(gòu)成。并且，該輸入部63使軸心與對應(yīng)的第I氣體室48 —致地配置著，與該第I氣體室48連通。并且，使圓孔狀的輸入部63的直徑與第I氣體室48的直徑一致。由此，輸入部63與第I氣體室48連通，形成圓柱狀的空間。
[0109]如圖9所示，單獨(dú)供給通道64作為細(xì)長縫隙狀的流路而形成在第4金屬板54上。并且，該單獨(dú)供給通道64在厚度方向上貫穿第4金屬板而形成。該單獨(dú)供給通道64為對各吸引單元所具備的多個(gè)噴嘴44分配壓縮空氣的通道，與各噴嘴44相對應(yīng)地設(shè)置。本實(shí)施形態(tài)中由于一個(gè)吸引單元具備3個(gè)噴嘴44，因此各分配通道62也具備3個(gè)單獨(dú)供給通道64。
[0110]如圖12所示，分配通道62所具備的多個(gè)單獨(dú)供給通道64從輸入部63的軸心(圖12中用標(biāo)記C表示)成放射狀地配置。各單獨(dú)供給通道64為互相相等的長度并且具有相等的流路截面積。而且如圖12所示，多個(gè)單獨(dú)供給通道64以輸入部63的軸心C為中心在圓周方向上等間隔(等角度)配置。例如，本實(shí)施形態(tài)中由于各分配通道62具備3個(gè)單獨(dú)供給通道64，因此各單獨(dú)供給通道64以120°間隔配置。
[0111]這樣，分配通道62所具備的多個(gè)單獨(dú)供給通道64互相以相同的條件形成。由此，能夠?qū)⑻峁┙o輸入部63的壓縮空氣平等地對多個(gè)(本實(shí)施形態(tài)的情況下為3個(gè))單獨(dú)供給通道64進(jìn)行分配。
[0112]如圖9及圖12所示，各單獨(dú)供給通道64的一端側(cè)與輸入部63連接，另一端側(cè)與輸出部65連接。輸出部65作為在厚度方向上貫穿第4金屬板54的圓孔而構(gòu)成。該輸出部65針對各單獨(dú)供給通道64而設(shè)置。因此，本實(shí)施形態(tài)的分配通道62具備3個(gè)輸出部65。各輸出部65以互相相同的直徑形成。由此，各輸出部65具有互相相等的空間體積。
[0113]在第5金屬板55上形成有第2氣體室46。如圖8所示，第2氣體室46作為在厚度方向上貫穿第5金屬板55的圓孔而形成。第2氣體室46將各吸引單元的噴嘴44的端部(被供給部35)與對應(yīng)的分配通道62的輸出部65連通地配置。第2氣體室46使軸線與對應(yīng)的輸出部65—致地配置。并且，各第2氣體室46以互相相同的直徑形成。由此，各第2氣體室46具有互相相等的空間體積。另外，第2氣體室46與輸出部65以相同的直徑形成。由此，通過輸出部65與第2氣體室46連通，形成圓柱上的空間。
[0114]如上所述，形成在各噴嘴44的端部的被供給部35作為圓孔而構(gòu)成。該各被供給部35使軸線與對應(yīng)的第2氣體室46及輸出部65 —致地配置。并且，各被供給部35以互相相同的直徑形成。由此，各被供給部35具有互相相同的空間體積。另外，被供給部35的直徑比第2氣體室46及輸出部65的直徑稍小地形成。
[0115]像上述那樣，從各單獨(dú)供給通道64到噴嘴44的空氣的流路由輸出部65、第2氣體室46及被供給部35形成。與3個(gè)噴嘴44相對應(yīng)形成的3個(gè)輸出部65、3個(gè)第2氣體室46及3個(gè)被供給部35分別以互相相同的條件(相同的空間體積)形成。即，從分配通道62到各噴嘴44的空氣的流路以互相相同的條件形成。由此，能夠?qū)ξ龁卧邆涞?個(gè)噴嘴44平等地提供壓縮空氣。由此，由于能夠從多個(gè)噴嘴44均等地噴出壓縮空氣，因此能夠不偏離噴出口 41的中心附近地產(chǎn)生負(fù)壓，并且能夠從該噴出口 41向其周圍均等地排出壓縮空氣。
[0116]并且，各單獨(dú)供給通道64的流路截面積比各噴嘴44的流路截面積大地形成。據(jù)此，能夠?qū)Ω鲊娮?4提供足夠流量的壓縮空氣。
[0117]如果參照圖7簡單地說明像上述那樣構(gòu)成的吸引夾持器10中的壓縮空氣的流動，則如下。
[0118]由圖示省略的壓縮空氣源(壓縮機(jī)等)生成的壓縮空氣通過配管72及接頭71被提供給主體11的供給口 73。
[0119]提供給供給口 73的壓縮空氣通過共同供給通道47提供給多個(gè)(本實(shí)施形態(tài)的情況下為4個(gè))第I氣體室48。[0120]提供給第I氣體室48的壓縮空氣被提供給分配通道62的輸入部63。該壓縮空氣被分配給多個(gè)(本實(shí)施形態(tài)的情況下為3個(gè))單獨(dú)供給通道64。被分配給各單獨(dú)供給通道64的壓縮空氣通過形成在每個(gè)單獨(dú)供給通道64端部的輸出部65被提供給對應(yīng)的第2氣體室46。
[0121]提供給第2氣體室46的壓縮空氣被提供給與各個(gè)第2氣體室46相對應(yīng)的噴嘴44的端部(被供給部35)。提供給噴嘴44的壓縮空氣噴出到圓柱狀空間45的內(nèi)部。
[0122]像上述那樣通過將提供給第I氣體室48的壓縮空氣用分配通道62分歧成多個(gè)(本實(shí)施形態(tài)的情況下為3個(gè))，能夠?qū)嚎s空氣提供給對應(yīng)的多個(gè)噴嘴44。由于向各噴嘴44的壓縮空氣的分配由分配通道62進(jìn)行，因此共同供給通道47上不需要向噴嘴44的分配結(jié)構(gòu)。由此，能夠?qū)⒐餐┙o通道47的配設(shè)路徑簡單化。
[0123]并且，由于能夠這樣簡單地構(gòu)成共同供給通道47的配設(shè)路徑，因此能夠提高排氣孔42的配置自由度。即，由于排氣孔42沿厚度方向貫穿主體11地形成，因此不得不避開形成在各金屬板上的空氣的流路地形成。因此，假設(shè)共同供給通道47被復(fù)雜地布下，則能夠形成排氣孔42的位置被限制了。該排氣孔42的配置自由度變低。這一點(diǎn)，如果根據(jù)本實(shí)施形態(tài)的結(jié)構(gòu)，由于能夠簡單地形成共同供給通道47，因此排氣孔42布局的自由度提高。由此，由于能夠?qū)⑴艢饪?2配置在最合適的位置，因此能夠效率良好地將相對面31與工件90之間的空氣排出。由此，能夠防止吸引力的下降、能夠提高吸引夾持器10的吸引效率。
[0124]如以上說明過的那樣，本實(shí)施形態(tài)的吸引夾持器10具備具有與工件90相對的相對面31的平板狀的主體11。在主體11上形成從相對面31噴出空氣的多個(gè)吸引單元、對各吸引單元提供壓縮空氣的供給通道、以及沿厚度方向貫穿主體11的多個(gè)排氣孔42。各個(gè)吸引單元具備具有在相對面31上開口的圓形噴出口 41的圓柱狀空間45、開口在圓柱狀空間45內(nèi)周壁上的多個(gè)噴嘴44。供給通道具備將壓縮空氣分配給多個(gè)噴嘴44的每一個(gè)的分配通道62、將壓縮空氣提供給分配通道62的共同供給通道47。并且，吸引單元、分配通道62及共同供給通道47形成在互相不同的金屬板上。
[0125]S卩，從共同供給通道47對分配通道62提供壓縮空氣，從該分配通道62對各噴嘴44分配壓縮空氣。由于對各噴嘴的壓縮空氣的分配由分配通道62進(jìn)行，因此共同供給通道47只要對分配通道62提供壓縮空氣就可以。因此，即使吸引單元具備多個(gè)噴嘴44，共同供給通道47的配設(shè)路徑也不會變復(fù)雜。由此，由于能夠使共同供給通道47的配設(shè)路徑簡化，因此整體布局的自由度提聞。
[0126]并且，在本實(shí)施形態(tài)的吸引夾持器10中，供給通道具備供給口 73和第I氣體室48。壓縮空氣提供給供給口 73。第I氣體室48與分配通道62連通。共同供給通道47橫跨多個(gè)第I氣體室48設(shè)置，并且連接在供給口 73上。并且，該吸引夾持器10具備形成了供給口 73的第I金屬板51、形成了共同供給通道47的第2金屬板52及形成了第I氣體室48的第3金屬板53。
[0127]據(jù)此，通過對一個(gè)供給口 73提供壓縮空氣，通過共同供給通道47能夠?qū)嚎s空氣提供給多個(gè)第I氣體室48。
[0128]并且，在本實(shí)施形態(tài)的吸引夾持器10中，共同供給通道47作為沿厚度方向貫穿第2金屬板52的細(xì)長縫隙而構(gòu)成。并且,第2金屬板52層疊多片金屬板而形成。
[0129]從充分確保共同供給通道47的流路面積的觀點(diǎn)出發(fā)，最好增大共同供給通道47的厚度方向上的尺寸。但是，由于具有厚度的金屬板上難以形成細(xì)長縫隙，因此像上述那樣在多片金屬板上分別形成縫隙，將它們層疊作為第2金屬板52。由于通過層疊金屬板作為第2金屬板52能夠使該第2金屬板變厚，因此能夠確保該第2金屬板上形成的縫隙(共同供給通道)的厚度方向上的尺寸。
[0130]并且，本實(shí)施形態(tài)的吸引夾持器10如下地構(gòu)成。即，共同供給通道47作為互相間隔的多個(gè)細(xì)長縫隙而形成在第2金屬板52上。多個(gè)細(xì)長縫隙中的一部分直接與供給口 73連通。另一方面，多個(gè)細(xì)長縫隙的剩余部分通過第I氣體室48而間接與供給口 73連通。
[0131]通過將共同供給通道47分割成多個(gè)縫隙，能夠減小每個(gè)縫隙的開口面積。由此，擴(kuò)散接合之際容易施加壓力，并且第2金屬板52不容易變形。分割的縫隙彼此通過第I氣體室48而能夠互相連通。由此，能夠?qū)Ω骺p隙提供壓縮空氣。
[0132]并且，本實(shí)施形態(tài)的吸引夾持器10具備第4金屬板54、第5金屬板55。在第4金屬板54上形成分配通道62。在第5金屬板55上形成第2氣體室46。該第2氣體室46與各吸引單元所具備的多個(gè)噴嘴44相對應(yīng)地設(shè)置，使該對應(yīng)的噴嘴44與分配通道62連通。
[0133]利用該結(jié)構(gòu)，能夠?qū)⑻峁┙o分配通道62的壓縮空氣通過第2氣體室46提供給各噴嘴44。
[0134]并且，本實(shí)施形態(tài)的吸引夾持器具備第6金屬板56、第7金屬板57。在第6金屬板56上形成圓柱狀空間45的一部分，并且形成與該圓柱狀空間45連通的多個(gè)上述噴嘴44。在第7金屬板57上形成噴出口 41。
[0135]能夠從這樣形成的噴嘴44將壓縮空氣噴出到圓柱狀空間45的內(nèi)部。
[0136]并且，本實(shí)施形態(tài)的吸引夾持器10在依次將第I到第7金屬板51、52、53、54、55、56,57層疊后擴(kuò)散接合而構(gòu)成。
[0137]通過這樣擴(kuò)散接合，能夠一次使多片金屬板一體化而形成吸引夾持器10。
[0138]并且，在本實(shí)施形態(tài)的吸引夾持器10中，第I氣體室48為圓柱狀的空間。第I氣體室48和與該第I氣體室48相對應(yīng)的吸引單元的圓柱狀空間45被配置在同一軸心上。分配通道62具備輸入部63和單獨(dú)供給通道64。上述輸入部63與第I氣體室48連通。上述單獨(dú)供給通道64與該分配通道62對應(yīng)的吸引單元所具備的多個(gè)噴嘴44分別相對應(yīng)地設(shè)置，將該對應(yīng)的噴嘴44與輸入部63連通。上述輸入部63與第I氣體室48配置在同一軸心C上。并且，各單獨(dú)供給通道64從軸心C成放射狀地配置。各單獨(dú)供給通道64為互相相等的長度、并且具有相等的流路截面積。而且，各單獨(dú)供給通道64以軸心C為中心以等間隔地配置。
[0139]通過這樣地構(gòu)成分配通道62，能夠?qū)Χ鄠€(gè)噴嘴44均勻地分配壓縮空氣。
[0140]并且，在本實(shí)施形態(tài)的吸引夾持器10中，單獨(dú)供給通道64的流路截面積比噴嘴44的流路截面積大。
[0141]由此，能夠充分確保對各噴嘴44提供的氣體的流量。
[0142]并且，在本實(shí)施形態(tài)的吸引夾持器10中，噴出口 41、噴嘴44、分配通道62及共同供給通道47通過在對應(yīng)的金屬板上刻蝕而形成。
[0143]通過這樣地通過刻蝕進(jìn)行的加工形成噴出口和噴嘴等，小并且高精度地形成吸引
單元變得容易。
[0144]雖然以上說明了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施形態(tài)，但上述結(jié)構(gòu)能夠例如如下地變更。[0145]雖然吸引夾持器10能夠搭載在上述那樣的并聯(lián)機(jī)構(gòu)式移載機(jī)械手I上，但并不局限于此，能夠應(yīng)用于例如水平多關(guān)節(jié)臂式的移載機(jī)械手。
[0146]上述實(shí)施形態(tài)中吸引夾持器10的相對面31的形狀為矩形狀，但并不局限于此，能夠采用適當(dāng)?shù)男螤?。但是，如果吸引夾持器10的相對面31的形狀與處理的工件90的形狀為大致全等的形狀，并且比工件稍微大地構(gòu)成的話，則由于能夠使吸引力不會浪費(fèi)均勻地作用于工件90的表面，因此較佳。
[0147]對于形成在相對面31上的噴出口 41的數(shù)量及配置能夠與工件90的重量及大小等相對應(yīng)而適當(dāng)變更。
[0148]雖然在上述實(shí)施形態(tài)中提供給吸引單元的氣體采用了壓縮空氣，但也可以提供例如氮?dú)獾绕渌臍怏w。
[0149]各吸引單元所具備的噴嘴44的數(shù)量并不局限于3個(gè)，也可以采用4個(gè)以上。當(dāng)然，即使是各吸引單元具備2個(gè)噴嘴44的結(jié)構(gòu)的吸引夾持器(例如圖14)也能夠應(yīng)用本申請發(fā)明的結(jié)構(gòu)。
[0150]在上述實(shí)施形態(tài)中，形成在金屬板上的縫隙及孔采用了貫穿該金屬板形成的結(jié)構(gòu)。但并不局限于此，噴嘴44、共同供給通道47、分配通道62等也可以將其一部分作為例如圖15所示的供給通道83那樣不貫穿金屬板的溝槽狀的流路而構(gòu)成。
【權(quán)利要求】
1.一種吸引夾持器，具備平板狀的主體，該平板狀的主體具有與工件相對的相對面；在上述主體上形成有:從上述相對面噴出氣體的多個(gè)吸引單元、對各吸引單元提供上述氣體的供給通道、以及沿厚度方向貫穿上述主體的多個(gè)排氣孔；其特征在于， 每個(gè)上述吸引單元具備:具有在上述相對面上開口的圓形噴出口的圓柱狀空間，以及在上述噴出口的內(nèi)周壁上開口的多個(gè)噴嘴； 上述供給通道具備:將上述氣體分配給上述多個(gè)噴嘴的每一個(gè)的分配通道，以及給上述分配通道提供上述氣體的共同供給通道； 上述吸引單元、上述分配通道及上述共同供給通道被形成在上述主體的厚度方向上的不同位置上。
2.如權(quán)利要求1所述的吸引夾持器，其特征在于，上述供給通道具備:提供上述氣體的供給口 ；以及，與上述分配通道連通的第I氣體室； 上述共同供給通道橫跨多個(gè)上述第I氣體室地設(shè)置，并且與上述供給口連接； 該吸引夾持器具備:形成了上述供給口的第I金屬板、形成了上述共同供給通道的第2金屬板、以及形成了上述第I氣體室的第3金屬板。
3.如權(quán)利要求2所述的吸引夾持器，其特征在于，上述共同供給通道作為沿厚度方向貫穿上述第2金屬板形成的細(xì)長縫隙而構(gòu)成； 上述第2金屬板層疊多片金屬板而構(gòu)成。
4.如權(quán)利要求2所述的吸引夾持器，其特征在于，上述共同供給通道作為互相間隔的多個(gè)細(xì)長縫隙而被形成在上述第2金屬板上； 上述多個(gè)細(xì)長縫隙中的一部分直接與上述供給口連通； 上述多個(gè)細(xì)長縫隙的剩余部分通過上述第I氣體室間接地與上述供給口連通。
5.如權(quán)利要求2所述的吸引夾持器，其特征在于，具備:形成了上述分配通道的第4金屬板、以及形成了第2氣體室的第5金屬板，該第2氣體室與各吸引單元所具備的上述多個(gè)噴嘴相對應(yīng)地設(shè)置、使該對應(yīng)的噴嘴與上述分配通道連通。
6.如權(quán)利要求5所述的吸引夾持器，其特征在于，具備:形成上述圓柱狀空間的一部分、并且形成了與該圓柱狀空間連通的多個(gè)上述噴嘴的第6金屬板；以及，形成了上述噴出口的第7金屬板。
7.如權(quán)利要求6所述的吸引夾持器，其特征在于，在依次將上述第I金屬板、上述第2金屬板、上述第3金屬板、上述第4金屬板、上述第5金屬板、上述第6金屬板、以及上述第7金屬板層疊后擴(kuò)散接合而構(gòu)成。
8.如權(quán)利要求2所述的吸引夾持器，其特征在于，上述第I氣體室為圓柱狀的空間； 上述第I氣體室和與該第I氣體室相對應(yīng)的吸引單元的上述圓柱狀空間被配置在同一軸心上； 上述分配通道具備:與上述第I氣體室連通的輸入部，以及與該分配通道所對應(yīng)的吸引單元所具備的多個(gè)上述噴嘴分別相對應(yīng)地設(shè)置、將該對應(yīng)的噴嘴與上述輸入部連通的單獨(dú)供給通道； 各單獨(dú)供給通道從上述軸心成放射狀地配置。
9.如權(quán)利要求8所述的吸引夾持器，其特征在于，各單獨(dú)供給通道為互相相等的長度、并且具有相等的流路截面積。
10.如權(quán)利要求8所述的吸引夾持器，其特征在于，各單獨(dú)供給通道以上述軸心為中心以等間隔配置。
11.如權(quán)利要求8所述的吸引夾持器，其特征在于，上述單獨(dú)供給通道的流路截面積與上述噴嘴的流路截面積相等或者比它大。
12.如權(quán)利要求1所述的吸引夾持器，其特征在于，上述噴出口、上述噴嘴、上述分配通道及上述共同供給通道通過刻蝕而被形成在對應(yīng)的金屬板上。
13.如權(quán)利要求1所述的吸引夾持器，其特征在于，上述噴出口、上述噴嘴、上述分配通道及上述共同供給通道通過機(jī)械加工而被形成在對應(yīng)的金屬板上。
14.一種移載裝置，其特征在于，具備:權(quán)利要求1所述的吸引夾持器，以及，能夠使上述吸引夾持器在規(guī)定的范圍內(nèi)三維移動的并聯(lián)機(jī)構(gòu)。
【文檔編號】B65H3/08GK103662884SQ201310349342
【公開日】2014年3月26日 申請日期:2013年8月12日 優(yōu)先權(quán)日:2012年9月13日
【發(fā)明者】高島弘樹, 中西秀明 申請人:村田機(jī)械株式會社