本技術涉及化學藥劑輸送，特別涉及一種化學藥劑輸送設備。

背景技術：

1、目前，在半導體芯片、載板、光伏電子元件等行業(yè)領域中，其生產(chǎn)車間中會用到多種的化學藥劑，一般都采用化學藥劑輸送設備實現(xiàn)運輸化學藥劑，并且，為了方便對設備內(nèi)的藥劑樣品進行實驗測試，現(xiàn)有的化學藥劑輸送設備通常布置有取樣裝置，取樣裝置可以取出設備內(nèi)的藥劑樣品，在實際的生產(chǎn)車間中，通常具有多臺化學藥劑輸送設備，由于目前的化學藥劑輸送設備不具有防呆功能，工作人員多次取樣后，容易混淆藥劑，造成實驗測試錯誤。

技術實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的在于至少解決現(xiàn)有技術中存在的技術問題之一。為此，本實用新型提供一種化學藥劑輸送設備，可以起到防呆保護作用，降低拿錯藥劑的概率，保證工作人員可以正確取樣，保證實驗測試結(jié)果正確。

2、根據(jù)本實用新型實施例的化學藥劑輸送設備，包括：柜體；輸藥系統(tǒng)，設于所述柜體內(nèi)，所述輸藥系統(tǒng)包括儲存罐、動力元件和輸藥管路，所述輸藥管路與所述儲存罐連接，所述動力元件用于將所述儲存罐內(nèi)的藥劑抽出至所述輸藥管路；取樣系統(tǒng)，包括取樣裝置，所述取樣裝置與所述輸藥管路連接，所述取樣裝置用于抽取所述輸藥管路內(nèi)的藥劑；掃碼防呆系統(tǒng)，包括掃碼槍和控制裝置，所述控制裝置能夠獲取所述掃碼槍掃取的二維碼，所述控制裝置與所述取樣裝置電連接，所述控制裝置配置為：根據(jù)所述掃碼槍掃取的二維碼，控制所述取樣裝置打開或關閉。

3、根據(jù)本實用新型實施例的化學藥劑輸送設備，至少具有如下有益效果：通過設置掃碼防呆系統(tǒng)，工作人員每次取出藥劑樣品時都需要提供二維碼給掃碼槍掃取，具體地，一個二維碼可以對應一種藥劑，工作人員提供的二維碼與輸藥系統(tǒng)的藥劑所對應的二維碼匹配正確后，取樣裝置才可打開，實現(xiàn)取出輸藥管路內(nèi)的藥劑，如果上述的二維碼匹配不正確，取樣裝置則關閉，無法取出輸藥管路內(nèi)的藥劑，起到防呆保護作用，保證工作人員可以正確取樣，降低拿錯藥劑的概率，保證實驗測試結(jié)果正確。

4、根據(jù)本實用新型的一些實施例，所述化學藥劑輸送設備包括沖洗系統(tǒng)，所述沖洗系統(tǒng)包括輸水管路、控制閥和取水槍，所述輸水管路用于輸送清水，所述取水槍與所述輸水管路，所述輸水管路與所述輸藥管路連接，所述控制閥設于所述輸水管路，以控制所述輸水管路與所述輸藥管路連通或斷開。

5、根據(jù)本實用新型的一些實施例，所述沖洗系統(tǒng)包括輸?shù)獨夤苈泛偷獨鈽?，所述輸?shù)獨夤苈酚糜谳斔偷獨?，所述氮氣槍與所述輸?shù)獨夤苈愤B接。

6、根據(jù)本實用新型的一些實施例，所述輸藥系統(tǒng)包括過濾器和壓力傳感器，所述過濾器設于所述輸藥管路，所述化學藥劑輸送設備包括自控系統(tǒng)，所述自控系統(tǒng)包括報警裝置，所述壓力傳感器與所述報警裝置電連接，所述壓力傳感器用于檢測所述過濾器的輸入端與所述過濾器的輸出端之間的壓力差。

7、根據(jù)本實用新型的一些實施例，所述動力元件與所述過濾器之間設有阻尼器，所述阻尼器用于降低所述輸藥管路內(nèi)的藥劑的壓力。

8、根據(jù)本實用新型的一些實施例，所述柜體設有排氣口，所述排氣口用于與廢棄處理裝置連接，所述柜體設有負壓傳感器，所述負壓傳感器用于檢測所述柜體內(nèi)的負壓，所述化學藥劑輸送設備包括自控系統(tǒng)，所述自控系統(tǒng)包括報警裝置，所述負壓傳感器與所述報警裝置電連接。

9、根據(jù)本實用新型的一些實施例，所述化學藥劑輸送設備包括泄漏檢測系統(tǒng)，所述泄漏檢測系統(tǒng)包括檢漏裝置，所述柜體的底部設有積水槽，所述檢漏裝置用于檢測所述積水槽內(nèi)的液體，所述化學藥劑輸送設備包括自控系統(tǒng)，所述自控系統(tǒng)包括報警裝置，所述檢漏裝置與所述報警裝置電連接。

10、根據(jù)本實用新型的一些實施例，所述輸藥系統(tǒng)包括流量計，所述流量計設于所述輸藥管路。

11、根據(jù)本實用新型的一些實施例，所述動力元件包括第一動力泵和第二動力泵，所述儲存罐包括第一罐體和第二罐體，所述輸藥管路包括第一段管路和第二段管路，所述第一段管路的輸入端與所述第一罐體連接，所述第一段管路的輸出端與所述第二罐體連接，所述第一動力泵設于所述第一段管路，以將所述第一罐體內(nèi)的藥劑抽取至所述第二罐體內(nèi)，所述第二段管路的輸入端與所述第二罐體連接，所述第二動力泵設于所述第二段管路，以將所述第二罐體內(nèi)的藥劑抽取至所述第二段管路外。

12、根據(jù)本實用新型的一些實施例，所述柜體采用聚丙烯材料制成。

13、本實用新型的附加方面和優(yōu)點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本實用新型的實踐了解到。

技術特征：

1.化學藥劑輸送設備，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權利要求1所述的化學藥劑輸送設備，其特征在于，所述化學藥劑輸送設備包括沖洗系統(tǒng)，所述沖洗系統(tǒng)包括輸水管路、控制閥和取水槍，所述輸水管路用于輸送清水，所述取水槍與所述輸水管路，所述輸水管路與所述輸藥管路連接，所述控制閥設于所述輸水管路，以控制所述輸水管路與所述輸藥管路連通或斷開。

3.根據(jù)權利要求2所述的化學藥劑輸送設備，其特征在于，所述沖洗系統(tǒng)包括輸?shù)獨夤苈泛偷獨鈽?，所述輸?shù)獨夤苈酚糜谳斔偷獨?，所述氮氣槍與所述輸?shù)獨夤苈愤B接。

4.根據(jù)權利要求1所述的化學藥劑輸送設備，其特征在于，所述輸藥系統(tǒng)包括過濾器和壓力傳感器，所述過濾器設于所述輸藥管路，所述化學藥劑輸送設備包括自控系統(tǒng)，所述自控系統(tǒng)包括報警裝置，所述壓力傳感器與所述報警裝置電連接，所述壓力傳感器用于檢測所述過濾器的輸入端與所述過濾器的輸出端之間的壓力差。

5.根據(jù)權利要求4所述的化學藥劑輸送設備，其特征在于，所述動力元件與所述過濾器之間設有阻尼器，所述阻尼器用于降低所述輸藥管路內(nèi)的藥劑的壓力。

6.根據(jù)權利要求1所述的化學藥劑輸送設備，其特征在于，所述柜體設有排氣口，所述排氣口用于與廢棄處理裝置連接，所述柜體設有負壓傳感器，所述負壓傳感器用于檢測所述柜體內(nèi)的負壓，所述化學藥劑輸送設備包括自控系統(tǒng)，所述自控系統(tǒng)包括報警裝置，所述負壓傳感器與所述報警裝置電連接。

7.根據(jù)權利要求1所述的化學藥劑輸送設備，其特征在于，所述化學藥劑輸送設備包括泄漏檢測系統(tǒng)，所述泄漏檢測系統(tǒng)包括檢漏裝置，所述柜體的底部設有積水槽，所述檢漏裝置用于檢測所述積水槽內(nèi)的液體，所述化學藥劑輸送設備包括自控系統(tǒng)，所述自控系統(tǒng)包括報警裝置，所述檢漏裝置與所述報警裝置電連接。

8.根據(jù)權利要求1所述的化學藥劑輸送設備，其特征在于，所述輸藥系統(tǒng)包括流量計，所述流量計設于所述輸藥管路。

9.根據(jù)權利要求1所述的化學藥劑輸送設備，其特征在于，所述動力元件包括第一動力泵和第二動力泵，所述儲存罐包括第一罐體和第二罐體，所述輸藥管路包括第一段管路和第二段管路，所述第一段管路的輸入端與所述第一罐體連接，所述第一段管路的輸出端與所述第二罐體連接，所述第一動力泵設于所述第一段管路，以將所述第一罐體內(nèi)的藥劑抽取至所述第二罐體內(nèi)，所述第二段管路的輸入端與所述第二罐體連接，所述第二動力泵設于所述第二段管路，以將所述第二罐體內(nèi)的藥劑抽取至所述第二段管路外。

10.根據(jù)權利要求1所述的化學藥劑輸送設備，其特征在于，所述柜體采用聚丙烯材料制成。

技術總結(jié)
本技術公開了一種化學藥劑輸送設備，包括柜體、輸藥系統(tǒng)、取樣系統(tǒng)、掃碼防呆系統(tǒng)，輸藥系統(tǒng)設于柜體內(nèi)，輸藥系統(tǒng)包括儲存罐、動力元件和輸藥管路，輸藥管路與儲存罐連接，動力元件用于將儲存罐內(nèi)的藥劑抽出至輸藥管路，取樣系統(tǒng)包括取樣裝置，取樣裝置與輸藥管路，取樣裝置用于抽取輸藥管路內(nèi)的藥劑，掃碼防呆系統(tǒng)包括掃碼槍和控制裝置，控制裝置能夠獲取掃碼槍掃取的二維碼，控制裝置與取樣裝置電連接，控制裝置配置為根據(jù)掃碼槍掃取的二維碼，控制取樣裝置打開或關閉。本技術可以起到防呆保護作用，保證工作人員可以正確取樣，降低拿錯藥劑的概率，保證實驗測試結(jié)果正確。

技術研發(fā)人員：彭軍,蔡癸林,陳愷翊
受保護的技術使用者：廣州興森快捷電路科技有限公司
技術研發(fā)日：20240104
技術公布日：2024/12/19