本申請(qǐng)實(shí)施例涉及硅料加工,特別是涉及一種進(jìn)料機(jī)構(gòu)及硅料加工設(shè)備。
背景技術(shù):
1、單晶硅在電子、光伏行業(yè)中被廣泛應(yīng)用,高純的單晶硅是重要的半導(dǎo)體材料,光伏、電子工業(yè)上使用的硅應(yīng)具有高純度和優(yōu)良的電學(xué)和機(jī)械等性能。
2、發(fā)明人在實(shí)現(xiàn)本申請(qǐng)的過(guò)程中,發(fā)現(xiàn):目前,進(jìn)料機(jī)構(gòu)包括連桿組件和承載盤,將硅料放置于承載盤中,再通過(guò)連桿組件進(jìn)行水平和豎直方向的移動(dòng)。但是連桿組件在運(yùn)動(dòng)的過(guò)程中,支撐點(diǎn)距離硅料較遠(yuǎn),硅料運(yùn)輸不穩(wěn)定,容易損壞硅料。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本申請(qǐng)實(shí)施例提供了一種進(jìn)料機(jī)構(gòu)及硅料加工設(shè)備,能夠改善目前連桿組件在運(yùn)動(dòng)的過(guò)程中,支撐點(diǎn)距離硅料較遠(yuǎn),硅料運(yùn)輸不穩(wěn)定,容易損壞硅料的現(xiàn)狀。
2、為解決上述技術(shù)問(wèn)題,本申請(qǐng)采用的一個(gè)技術(shù)方案是:提供了一種進(jìn)料機(jī)構(gòu),所述進(jìn)料機(jī)構(gòu)包括機(jī)架、平移載具組件和升降載具組件。所述機(jī)架沿第一方向依次設(shè)置有上料工位、轉(zhuǎn)載工位以及下料工位。所述平移載具組件沿所述第一方向可移動(dòng)地連接于所述機(jī)架,所述平移載具組件包括沿所述第一方向相連接的第一料盤和第二料盤,所述第一料盤和所述第二料盤可相對(duì)于所述機(jī)架同步移動(dòng)。所述升降載具組件沿第二方向可移動(dòng)地連接于所述機(jī)架。所述第一料盤移動(dòng)至所述轉(zhuǎn)載工位時(shí),所述第二料盤移動(dòng)至所述下料工位,所述升降載具組件沿所述第二方向移動(dòng)至所述轉(zhuǎn)載工位,所述升降載具組件用于承接所述第一料盤上的物料。所述第一料盤移動(dòng)至所述上料工位時(shí),所述第二料盤移動(dòng)至所述轉(zhuǎn)載工位,且所述升降載具組件朝遠(yuǎn)離所述轉(zhuǎn)載工位的方向移動(dòng),所述升降載具組件用于將物料轉(zhuǎn)載至所述第二料盤。其中,所述第一方向垂直于所述第二方向。
3、可選地,所述平移載具組件還包括連接于所述第一料盤和所述第二料盤之間的第三料盤。所述第一料盤移動(dòng)至所述轉(zhuǎn)載工位時(shí),所述升降載具組件用于承接所述第一料盤和所述第三料盤的物料。所述第一料盤移動(dòng)至所述上料工位時(shí),所述升降載具組件用于將物料轉(zhuǎn)載至所述第三料盤和所述第二料盤。
4、可選地,所述進(jìn)料機(jī)構(gòu)還包括第一驅(qū)動(dòng)件和第一安裝架,所述第一安裝架連接于所述第一驅(qū)動(dòng)件,所述第一料盤、所述第二料盤以及所述第三料盤分別安裝于所述第一安裝架,所述第一驅(qū)動(dòng)件可驅(qū)動(dòng)所述第一安裝架沿所述第一方向相對(duì)于所述機(jī)架移動(dòng)。
5、可選地,所述轉(zhuǎn)載工位包括第一轉(zhuǎn)載工位和第二轉(zhuǎn)載工位,所述第一轉(zhuǎn)載工位設(shè)置于所述上料工位和所述第二轉(zhuǎn)載工位之間。所述第一料盤可在所述上料工位和所述第一轉(zhuǎn)載工位之間移動(dòng),所述第三料盤可在所述第一轉(zhuǎn)載工位和所述第二轉(zhuǎn)載工位之間移動(dòng),所述第二料盤可在所述第二轉(zhuǎn)載工位和所述下料工位之間移動(dòng)。
6、可選地,所述升降載具組件包括沿第一方向相連接的第一升降盤和第二升降盤,所述第一升降盤和所述第二升降盤可沿所述第二方向相對(duì)于所述機(jī)架同步移動(dòng)。所述第一料盤移動(dòng)至所述轉(zhuǎn)載工位時(shí),所述第一升降盤用于承接所述第一料盤的物料,所述第二升降盤用于承接所述第三料盤的物料。所述第一料盤移動(dòng)至所述上料工位時(shí),所述第一升降盤用于將物料轉(zhuǎn)載至所述第三料盤,所述第二升降盤用于將物料轉(zhuǎn)載至所述第二料盤。
7、可選地,所述進(jìn)料機(jī)構(gòu)還包括第二驅(qū)動(dòng)件和第二安裝架,所述第二安裝架連接于所述第二驅(qū)動(dòng)件,所述第一升降盤和所述第二升降盤分別安裝于所述第二安裝架,所述第二驅(qū)動(dòng)件可驅(qū)動(dòng)所述第二安裝架沿所述第二方向相對(duì)于所述機(jī)架移動(dòng)。
8、可選地,所述平移載具組件設(shè)置有第一避讓槽,所述第一避讓槽沿所述第二方向分別貫通設(shè)置于所述第一料盤、所述第二料盤以及所述第三料盤。所述升降載具組件設(shè)置有第二避讓槽,所述第二避讓槽沿所述第二方向分別貫通所述第一升降盤和所述第二升降盤。所述第一料盤、所述第二料盤以及所述第三料盤可插設(shè)于所述第二避讓槽內(nèi),所述第一升降盤和所述第二升降盤可插設(shè)于所述第一避讓槽內(nèi)。
9、可選地,所述機(jī)架還包括托舉工位,所述托舉工位與所述轉(zhuǎn)載工位沿所述第二方向間隔設(shè)置,且所述升降載具組件設(shè)置于所述托舉工位朝向所述轉(zhuǎn)載工位的一側(cè)。所述升降載具組件可朝向所述托舉工位的方向移動(dòng)至承接所述第一料盤上的物料,且所述升降載具組件可朝遠(yuǎn)離所述托舉工位的方向移動(dòng)至將物料轉(zhuǎn)載至所述第二料盤。
10、可選地,所述進(jìn)料機(jī)構(gòu)還包括限位檔桿,所述限位檔桿安裝于所述機(jī)架,所述限位檔桿設(shè)置于所述托舉工位背離所述轉(zhuǎn)載工位的一側(cè)。
11、為解決上述技術(shù)問(wèn)題,本申請(qǐng)采用的另一個(gè)技術(shù)方案是:提供了一種硅料加工設(shè)備,包括上述進(jìn)料機(jī)構(gòu)。
12、本申請(qǐng)實(shí)施例的有益效果是:區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)的情況,本申請(qǐng)實(shí)施例提供了一種進(jìn)料機(jī)構(gòu),所述進(jìn)料機(jī)構(gòu)包括機(jī)架、平移載具組件和升降載具組件。所述機(jī)架沿第一方向依次設(shè)置有上料工位、轉(zhuǎn)載工位以及下料工位。所述平移載具組件沿所述第一方向可移動(dòng)地連接于所述機(jī)架,所述平移載具組件包括沿所述第一方向相連接的第一料盤和第二料盤,所述第一料盤和所述第二料盤可相對(duì)于所述機(jī)架同步移動(dòng)。所述升降載具組件沿所述第二方向可移動(dòng)地連接于所述機(jī)架。所述第一料盤移動(dòng)至所述轉(zhuǎn)載工位時(shí),所述第二料盤移動(dòng)至所述下料工位,所述升降載具組件沿所述第二方向移動(dòng)至所述轉(zhuǎn)載工位,所述升降載具組件用于承接所述第一料盤上的物料。所述第一料盤移動(dòng)至所述上料工位時(shí),所述第二料盤移動(dòng)至所述轉(zhuǎn)載工位,且所述升降載具組件朝遠(yuǎn)離所述轉(zhuǎn)載工位的方向移動(dòng),所述升降載具組件用于將物料轉(zhuǎn)載至所述第二料盤。其中,所述第一方向垂直于所述第二方向。通過(guò)上述結(jié)構(gòu),平移載具組件和升降載具組件將物料以先平移再轉(zhuǎn)載再平移的形式,依次經(jīng)過(guò)上料工位和轉(zhuǎn)載工位到達(dá)下料工位,物料的支撐點(diǎn)均在于承托的料盤,且直線運(yùn)動(dòng),以使物料的運(yùn)輸穩(wěn)定,從而保護(hù)物料。
1.一種進(jìn)料機(jī)構(gòu),其特征在于,包括:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的進(jìn)料機(jī)構(gòu),其特征在于,所述平移載具組件還包括連接于所述第一料盤和所述第二料盤之間的第三料盤;
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的進(jìn)料機(jī)構(gòu),其特征在于,所述進(jìn)料機(jī)構(gòu)還包括第一驅(qū)動(dòng)件和第一安裝架,所述第一安裝架連接于所述第一驅(qū)動(dòng)件,所述第一料盤、所述第二料盤以及所述第三料盤分別安裝于所述第一安裝架,所述第一驅(qū)動(dòng)件可驅(qū)動(dòng)所述第一安裝架沿所述第一方向相對(duì)于所述機(jī)架移動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的進(jìn)料機(jī)構(gòu),其特征在于,所述轉(zhuǎn)載工位包括第一轉(zhuǎn)載工位和第二轉(zhuǎn)載工位,所述第一轉(zhuǎn)載工位設(shè)置于所述上料工位和所述第二轉(zhuǎn)載工位之間;
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的進(jìn)料機(jī)構(gòu),其特征在于,所述升降載具組件包括沿第一方向相連接的第一升降盤和第二升降盤,所述第一升降盤和所述第二升降盤可沿所述第二方向相對(duì)于所述機(jī)架同步移動(dòng);
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的進(jìn)料機(jī)構(gòu),其特征在于,所述進(jìn)料機(jī)構(gòu)還包括第二驅(qū)動(dòng)件和第二安裝架,所述第二安裝架連接于所述第二驅(qū)動(dòng)件,所述第一升降盤和所述第二升降盤分別安裝于所述第二安裝架,所述第二驅(qū)動(dòng)件可驅(qū)動(dòng)所述第二安裝架沿所述第二方向相對(duì)于所述機(jī)架移動(dòng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的進(jìn)料機(jī)構(gòu),其特征在于,所述平移載具組件設(shè)置有第一避讓槽,所述第一避讓槽沿所述第二方向分別貫通設(shè)置于所述第一料盤、所述第二料盤以及所述第三料盤;
8.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的進(jìn)料機(jī)構(gòu),其特征在于,所述機(jī)架還包括托舉工位,所述托舉工位與所述轉(zhuǎn)載工位沿所述第二方向間隔設(shè)置,且所述升降載具組件設(shè)置于所述托舉工位朝向所述轉(zhuǎn)載工位的一側(cè);
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的進(jìn)料機(jī)構(gòu),其特征在于,所述進(jìn)料機(jī)構(gòu)還包括限位檔桿,所述限位檔桿安裝于所述機(jī)架,所述限位檔桿設(shè)置于所述托舉工位背離所述轉(zhuǎn)載工位的一側(cè)。
10.一種硅料加工設(shè)備,其特征在于,包括如權(quán)利要求1-9中任意一項(xiàng)所述進(jìn)料機(jī)構(gòu)。