專利名稱：用于測(cè)試半導(dǎo)體裝置的機(jī)械手系統(tǒng)中的傳送帶裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于測(cè)試半導(dǎo)體裝置的機(jī)械手系統(tǒng)中的傳送帶裝置。
在電子行業(yè)，總是不斷地要求生產(chǎn)諸如集成電路或半導(dǎo)體晶片之類的成本低且尺寸小的電子裝置。增加這種電子裝置的產(chǎn)量，也即減少其單位成本的方法之一是借助于同時(shí)測(cè)試許多這樣的裝置而增加這些電子裝置的測(cè)試速度。
當(dāng)這些半導(dǎo)體裝置在一用于測(cè)試半導(dǎo)體裝置的機(jī)械手系統(tǒng)中進(jìn)行測(cè)試時(shí)，一個(gè)裝納許多半導(dǎo)體裝置的托盤(pán)被作為一個(gè)單元進(jìn)行傳送。此處，用戶用于輸入和輸出該半導(dǎo)體裝置的托盤(pán)稱之為用戶托盤(pán)，而用于機(jī)械手系統(tǒng)中的標(biāo)準(zhǔn)托盤(pán)稱之為測(cè)試托盤(pán)。為了便于供給和輸出這些被測(cè)試的半導(dǎo)體裝置，該半導(dǎo)體裝置從該用戶托盤(pán)傳送到該測(cè)試托盤(pán)或從測(cè)試托盤(pán)傳送到該用戶托盤(pán)。
美國(guó)專利US 5,307,011中公開(kāi)了一種用于測(cè)試置于該測(cè)試托盤(pán)上的半導(dǎo)體裝置的傳統(tǒng)的機(jī)械手系統(tǒng)。該機(jī)械手系統(tǒng)具有一個(gè)設(shè)置于一飽和測(cè)試室和一非飽和測(cè)試室之間的測(cè)試頭，并且裝載各半導(dǎo)體裝置的測(cè)試托盤(pán)由一傳送帶傳送裝置帶動(dòng)在該飽和室和非飽和室之間傳送。在該測(cè)試托盤(pán)被傳送的同時(shí)由測(cè)試頭對(duì)這些半導(dǎo)體裝置進(jìn)行測(cè)試。
該機(jī)械手系統(tǒng)中用的傳送帶式傳送裝置的詳細(xì)構(gòu)成及工作情況說(shuō)明如下

圖1至4示意性地表示出用于測(cè)試半導(dǎo)體裝置的傳統(tǒng)的機(jī)械手系統(tǒng)中使用的傳送帶式傳送裝置。
許多承載模塊115裝載于測(cè)試托盤(pán)111上，而欲被測(cè)試的各半導(dǎo)體裝置116裝載于這些承載模塊115上。帶有欲被測(cè)試的裝置116的測(cè)試托盤(pán)111設(shè)置于一支承件上，并且將這些欲被測(cè)試的裝置116在其處于測(cè)試托盤(pán)111上的同時(shí)供入一測(cè)試頭部件中。
該測(cè)試托盤(pán)111在一對(duì)由一電動(dòng)機(jī)117驅(qū)動(dòng)的傳送帶118上傳送，直到該托盤(pán)由該測(cè)試頭部件中的一止動(dòng)件119使其停止為止。測(cè)試托盤(pán)111由傳送帶118傳送至一腔室120。該腔室120的內(nèi)部設(shè)置為一特定溫度，該溫度適合于測(cè)試這些半導(dǎo)體，例如從-30℃到+125℃的溫度。
如圖2中詳細(xì)所示，用于測(cè)試半導(dǎo)體裝置的機(jī)械手系統(tǒng)中的傳送帶式傳送裝置由一對(duì)彼此相互平行地設(shè)置于一支承架121中的傳送帶118，及一個(gè)帶有一用于驅(qū)動(dòng)該傳送帶118的驅(qū)動(dòng)軸110的驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)114構(gòu)成。同時(shí)該支承架121由一組撐拉桿113支承，并且這些撐拉桿113延伸穿過(guò)由各傳送帶118形成的環(huán)路。撐拉桿113支承支承架121，所以兩傳送帶118之間的距離為常量。如圖3所示，該傳送裝置配裝有許多惰輥112。
然而，這種傳統(tǒng)的機(jī)械手系統(tǒng)中使用的傳送帶式傳送裝置存在如下問(wèn)題即，由于該傳送帶118在溫度從-30℃變化到+125℃的室中工作，因此，由于傳送帶的強(qiáng)度降低，從而傳送帶118常常斷裂，所以要經(jīng)常更換傳送帶。然而，由于驅(qū)動(dòng)軸110和撐拉桿113都延伸穿過(guò)由該傳送帶118形成的環(huán)路，因此必須將驅(qū)動(dòng)軸110和各撐拉桿113從該支承架121上卸下，這樣的話，換上一新的傳送帶就需要花費(fèi)大約2或3個(gè)小時(shí)，因而增加了維修成本。
為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的上述問(wèn)題，提出了本發(fā)明，因此本發(fā)明的目的之一是提供一種用于測(cè)試半導(dǎo)體裝置的機(jī)械手系統(tǒng)中用的傳送帶式傳送裝置，該裝置可方便地更換傳送帶。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種用于測(cè)試半導(dǎo)體裝置的機(jī)械手系統(tǒng)。該機(jī)械手系統(tǒng)包括一支承架，一對(duì)裝在該支承架上的傳送帶，該對(duì)傳送帶在相對(duì)這些傳送帶的傳送方向的橫向相互隔開(kāi)。提供一驅(qū)動(dòng)電機(jī)用于驅(qū)動(dòng)這些傳送帶。該支承架包括若干在每條傳送帶的前端和后端之間的各位置處沿傳送帶的傳送方向的橫向延伸的撐拉桿。該系統(tǒng)之改進(jìn)包括若干裝在該支承架上用于使每條傳送帶繞各撐拉桿偏轉(zhuǎn)的張緊輥，此時(shí)這些撐拉桿處于由傳送帶形成的環(huán)路之外。這就使得可以將該傳送帶從該支承上卸下而不需卸開(kāi)各撐拉桿。
各張緊輥?zhàn)詈迷O(shè)置于每條傳送帶的下支帶的下方，從而使下支帶從各撐拉桿頂部越過(guò)朝下偏轉(zhuǎn)。
最好一驅(qū)動(dòng)軸設(shè)置得使該驅(qū)動(dòng)電機(jī)和傳送帶保持工作式連接。以便將驅(qū)動(dòng)扭矩傳送給該傳送帶。每個(gè)驅(qū)動(dòng)軸都在每條傳送帶的前后端之間的位置處沿與傳送帶傳送方向的橫向延伸。驅(qū)動(dòng)軸的相對(duì)兩端延伸穿過(guò)由各傳送帶形成的環(huán)路。該驅(qū)動(dòng)軸包括兩個(gè)半軸件。該兩半軸由一可拆卸的聯(lián)軸器于該驅(qū)動(dòng)軸的相對(duì)兩端的中部處相互連接起來(lái)，因此，該兩半軸件可相互分開(kāi)，所以在安裝及卸除傳送帶期間可允許傳送帶從它們之間穿過(guò)。
從以下結(jié)合附圖的說(shuō)明中可更好地理解本發(fā)明，并且本發(fā)明的其它各種目的及優(yōu)點(diǎn)也可更全面地得到理解。其中圖1是一傳統(tǒng)的機(jī)械手系統(tǒng)中使用的傳送帶式傳送裝置的示意圖；圖2是圖1所示傳送帶式傳送裝置的放大平面圖；圖3是圖2的側(cè)剖視圖；圖4是圖2的局部放大透視圖；圖5是本發(fā)明的機(jī)械手系統(tǒng)中使用的傳送帶式傳送裝置的平面圖；圖6是圖5的側(cè)剖視圖；圖7是圖5的局部放大透視圖。
下面將參照各附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明。
圖5至7表示一種按照本發(fā)明的機(jī)械手系統(tǒng)中的傳送帶式傳送裝置。該傳送帶式傳送裝置包括一對(duì)相互平行設(shè)置并裝在一支承架3的各自側(cè)部3a，3b上的傳送帶1。一驅(qū)動(dòng)電機(jī)4具有一個(gè)用于驅(qū)動(dòng)這些傳送帶1的驅(qū)動(dòng)軸。許多惰輥7安裝于該支承架3上。這些惰輥7支承著這些傳送帶1。
該支承架3由一組撐拉桿5支承，這些撐拉桿5每一個(gè)都在傳送方向的橫向在側(cè)部3a，3b之間延伸。每個(gè)撐拉桿都處于這些傳送帶的前端F和后端R之間。若干張緊輥6裝在支承架3上，處于每條傳送帶1的下支帶1a之下。張緊輥6可直接設(shè)置于每個(gè)撐拉桿5的前方和后方，并且各張緊輥6的最上部分設(shè)置得比各自的撐拉桿5的最上部分高。因此該下支帶1a的下表面(即傳送帶1的外表面)跨壓在這些張緊輥上并且繞過(guò)這些撐拉桿5。因此，傳送帶1的外表面由張緊輥6朝內(nèi)(朝上)推，所以傳送帶1如圖6和7所示那樣朝內(nèi)(朝上)彎曲。所以，這些撐拉桿不穿過(guò)由各傳送帶形成的各環(huán)路。傳送帶1的張緊是由各張緊輥6保持的。
用于將驅(qū)動(dòng)電機(jī)4的驅(qū)動(dòng)力傳遞給傳送帶1的驅(qū)動(dòng)軸2分成兩個(gè)半軸件，并且該兩半軸件由一聯(lián)軸器8相互連接，該聯(lián)軸器8用于使該分開(kāi)的兩軸件相互隔開(kāi)。聯(lián)軸器8由一單獨(dú)的固定裝置，如一螺栓固定到該驅(qū)動(dòng)軸2上，因此兩半軸件由該聯(lián)軸器8相互固定連接起來(lái)。
根據(jù)本發(fā)明的用于測(cè)試半導(dǎo)體裝置的機(jī)械手系統(tǒng)的傳送帶式傳送裝置的這種結(jié)構(gòu)可知，當(dāng)傳送帶1斷裂時(shí)，可容易地用一新的傳送帶換上，而不必卸掉各撐拉桿5和驅(qū)動(dòng)軸2。也即，操作人員首先拆開(kāi)聯(lián)軸器8，然而沿該驅(qū)動(dòng)軸2的一部分使該聯(lián)軸器8運(yùn)動(dòng)。然后操作人員通過(guò)該驅(qū)動(dòng)軸2的分開(kāi)的兩半軸件拆除損壞的傳送帶1，并裝上一新的傳送帶，使各惰輥7處于該傳送帶形成的環(huán)路的內(nèi)側(cè)而各撐拉桿5處于該環(huán)路的外側(cè)(下方)。然后操作人員移動(dòng)該聯(lián)軸器8使該驅(qū)動(dòng)軸2的兩半軸件相互牢固地連接起來(lái)，并由張緊輥6調(diào)節(jié)該傳送帶1的張緊力。
因此，當(dāng)傳送帶1損壞時(shí)，可方便地?fù)Q上一新的傳送帶而不必將驅(qū)動(dòng)軸2及各撐拉桿5從支承架上卸下，所以修理所消耗的時(shí)間縮短了。
在該實(shí)施例中，驅(qū)動(dòng)軸2由兩個(gè)相互連接的部分構(gòu)成。然而，也可如現(xiàn)有技術(shù)那樣將驅(qū)動(dòng)軸2構(gòu)成為單一整體件。在這種情況下，為了更換傳送帶1驅(qū)動(dòng)軸2必須先被卸下。該新的傳送帶1必須在驅(qū)動(dòng)軸2處于卸下?tīng)顩r期間裝上，并且在傳送帶1完全安裝好后再裝驅(qū)動(dòng)軸2。即使在為了更換傳送帶1需要卸下驅(qū)動(dòng)軸2時(shí)，各撐拉桿5也沒(méi)必要卸下，所以容易修理的優(yōu)點(diǎn)得到保留。
如上所述，本發(fā)明提供了一種用在機(jī)械手系統(tǒng)中的傳送帶式傳送裝置系統(tǒng)，其可方便地更換傳送帶。
盡管已對(duì)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)說(shuō)明并在圖中示出，但應(yīng)清楚地看到該實(shí)施例及各附圖只是為了解釋本發(fā)明，并不能限制本發(fā)明，因此本發(fā)明的實(shí)質(zhì)及范圍只由所附的權(quán)利要求書(shū)中的各權(quán)利要求限定。
權(quán)利要求
1.一種用于測(cè)試半導(dǎo)體裝置的機(jī)械手系統(tǒng)，其包括一支承架，一對(duì)安裝于該支承架上的傳送帶，該對(duì)傳送帶在相對(duì)這些傳送帶的傳送方向的橫向相互隔開(kāi)；一用于驅(qū)動(dòng)這些傳送帶的驅(qū)動(dòng)電機(jī)；該支承架包括若干在每條傳送帶的前端和后端之間的各位置處布置的沿傳送帶的傳送方向的橫向延伸的撐拉桿，改進(jìn)處包括，若干裝在該支承架上用于使每條傳送帶繞各撐拉桿偏轉(zhuǎn)的張緊輥，其中這些撐拉桿處于由傳送帶形成的環(huán)路之外，從而使得可將該傳送帶從該支承架上卸下而不需要從該支承架上卸開(kāi)各撐拉桿。
2.如權(quán)利要求1所述的機(jī)械手系統(tǒng)，其特征在于，各張緊輥定位得可使每條傳送帶的下支帶偏轉(zhuǎn)跨過(guò)各撐拉桿的頂部。
3.如權(quán)利要求2所述的機(jī)械手系統(tǒng)，還包括一個(gè)與驅(qū)動(dòng)電機(jī)和傳送帶工作式相連的驅(qū)動(dòng)軸，用于將驅(qū)動(dòng)扭矩傳送給這些傳送帶，每個(gè)驅(qū)動(dòng)軸都在每條傳送帶的前后端之間的位置處沿傳送帶的傳送方向的橫向延伸，驅(qū)動(dòng)軸的相對(duì)兩端延伸穿過(guò)由各傳送帶形成的環(huán)路，該驅(qū)動(dòng)軸包括兩個(gè)半軸件，該兩半軸件由一可拆卸的聯(lián)軸器于該驅(qū)動(dòng)軸的相對(duì)兩端的中部處相互連接起來(lái)，因此，在裝卸該傳送帶期間，卸開(kāi)該聯(lián)軸器就可使傳送帶穿過(guò)兩半軸件之間。
4.如權(quán)利要求1所述的機(jī)械手系統(tǒng)，還包括一個(gè)與該驅(qū)動(dòng)電機(jī)的傳送帶工作式相連的驅(qū)動(dòng)軸，用于將驅(qū)動(dòng)扭矩傳送給這些傳送帶的帶，每個(gè)驅(qū)動(dòng)軸都在每條傳送帶前后端之間的各位置處沿與傳送帶的傳送方向的橫向延伸，驅(qū)動(dòng)軸的相對(duì)兩端穿過(guò)由各傳送帶形成的環(huán)路，該驅(qū)動(dòng)軸包括兩個(gè)半軸件，該兩半軸件由一可拆卸的聯(lián)軸器于該驅(qū)動(dòng)軸的相對(duì)兩端的中部處相互連接起來(lái)，因此，在裝卸該傳送帶期間，卸開(kāi)該聯(lián)軸器就可使傳送帶穿過(guò)該兩半軸件之間。
5.一種用于測(cè)試半導(dǎo)體裝置的機(jī)械手系統(tǒng)，其包括一支承架；一對(duì)裝在該支承架的各自側(cè)部并被驅(qū)動(dòng)的傳送帶，且該對(duì)傳送帶在沿該傳送帶的傳送方向的橫向相互隔開(kāi)；一個(gè)橫向件，該橫向件具有兩個(gè)端部，該兩端部穿過(guò)由各相應(yīng)傳送帶形成的環(huán)路并連接到該支承架側(cè)部相應(yīng)處，該橫向件在每條傳送帶前后端之間的各位置處沿傳送帶傳送方向的橫向延伸，該橫向件包括兩個(gè)由一個(gè)可拆卸的聯(lián)軸器于該橫向件的相對(duì)兩端的中部處相互連接起來(lái)的部件，因此，在裝卸該傳送帶期間，卸開(kāi)該聯(lián)軸器就可使傳送帶穿過(guò)該橫向件的兩部件之間。
6.如權(quán)利要求5所述機(jī)械手系統(tǒng)，其特征在于該橫向件包括一個(gè)用于驅(qū)動(dòng)各傳送帶的驅(qū)動(dòng)軸。
全文摘要
一種測(cè)試半導(dǎo)體裝置的機(jī)械手系統(tǒng),包括:支承架;裝在其上并在傳送方向的橫向相互隔開(kāi)的傳送帶;用于驅(qū)動(dòng)傳送帶的驅(qū)動(dòng)電機(jī);支承架包括若干在每條傳送帶的前端和后端之間的各位置處沿與傳送帶傳送方向的橫向延伸的撐拉桿;裝在該支承架上用于使每條傳送帶繞各撐拉桿偏轉(zhuǎn)的張緊輥,這些撐拉桿處于由傳送帶形成的環(huán)路之外;使得可以將傳送帶從該支承架上卸下而不需卸開(kāi)各撐拉桿;及由可使一傳送帶穿過(guò)其間的兩半軸件構(gòu)成的驅(qū)動(dòng)軸。
文檔編號(hào)B65G23/44GK1194230SQ9810578
公開(kāi)日1998年9月30日 申請(qǐng)日期1998年3月25日 優(yōu)先權(quán)日1998年3月25日
發(fā)明者沈載均 申請(qǐng)人:三星電子株式會(huì)社