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      基板搬送小車的控制系統(tǒng)的制作方法

      文檔序號:9061210閱讀:143來源:國知局
      基板搬送小車的控制系統(tǒng)的制作方法
      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本實用新型涉及真空鍍膜領(lǐng)域,尤其是基板搬送小車的控制系統(tǒng)。
      【背景技術(shù)】
      [0002]目前,通常采用搬送小車來將基板搬送至真空鍍膜室內(nèi)以進(jìn)行后續(xù)鍍膜作業(yè),但搬送小車會因為損壞、陳舊或其他一些設(shè)備問題而需要更替或換用。此時,由于每輛搬送小車的零件在加工和組裝時的誤差不同,因此小車的搬送精度也就帶來了一定的偏差,該偏差會對后續(xù)設(shè)備的運行產(chǎn)生不良影響,容易造成設(shè)備過載報警及硬件損傷,大大降低了設(shè)備自動化效率。

      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0003]本實用新型的目的是根據(jù)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供了基板搬送小車的控制系統(tǒng),通過對基板搬送小車的前后位置進(jìn)行檢測并依此對基板搬送位置進(jìn)行補償,從而解決搬送小車共用性問題。
      [0004]本實用新型目的實現(xiàn)由以下技術(shù)方案完成:
      [0005]一種基板搬送小車的控制系統(tǒng),所述基板搬送小車用于將基板搬送到機(jī)械臂的抓取位置處,其特征在于:所述系統(tǒng)包括光纖傳感器和控制器,所述光纖傳感器固定設(shè)置于所述機(jī)械臂的抓取位置之前,所述控制器與所述光纖傳感器之間構(gòu)成數(shù)據(jù)連接,所述控制器連接控制所述機(jī)械臂。
      [0006]所述控制器連接控制所述基板搬送小車的驅(qū)動裝置。
      [0007]所述基板搬送小車的驅(qū)動裝置指的是,可控制所述基板搬送小車運行速度的變速驅(qū)動裝置。
      [0008]本實用新型的優(yōu)點是:能自動修正基板搬送小車的搬送位置,以保證后續(xù)設(shè)備的正常運行,避免設(shè)備過載報警及硬件損傷;提高了設(shè)備自動化效率;結(jié)構(gòu)簡單合理,實用性強,適于推廣。
      【附圖說明】
      [0009]圖1為本實用新型的使用結(jié)構(gòu)示意圖。
      【具體實施方式】
      [0010]以下結(jié)合附圖通過實施例對本實用新型特征及其它相關(guān)特征作進(jìn)一步詳細(xì)說明,以便于同行業(yè)技術(shù)人員的理解:
      [0011]如圖1所示,圖中標(biāo)記1-6分別為:基板搬送小車1、基板2、基板搬送小車原點3、光纖傳感器4、導(dǎo)軌5、機(jī)械臂6。
      [0012]實施例:如圖1所示,本實施例中基板搬送小車控制系統(tǒng)通過對基板搬送小車的前后位置進(jìn)行檢測并依此對基板搬送位置進(jìn)行補償?;灏崴托≤?可通過驅(qū)動裝置在導(dǎo)軌5上運行以將其承載的若干基板2搬送到機(jī)械臂6的抓取位置處。
      [0013]基板搬送控制系統(tǒng)包括光纖傳感器4和控制器,兩者之間構(gòu)成數(shù)據(jù)連接。光纖傳感器4設(shè)置在機(jī)械臂6的前方。通過將光纖傳感器4與基板搬送小車1的馬達(dá)的位置結(jié)合作為測距裝置使用;當(dāng)基板搬送小車1從其原點位置到光纖傳感器4的設(shè)置位置時,光纖傳感器4傳送開關(guān)量信號給控制器,控制器對當(dāng)前基板搬送小車1的馬達(dá)行駛坐標(biāo)進(jìn)行記錄并與原點位置的基板搬送小車1的馬達(dá)坐標(biāo)進(jìn)行比較,從而計算出基板搬送小車1的行駛距離??刂破饔糜诮邮展饫w傳感器4的開關(guān)量信號,并將測量數(shù)據(jù)與基準(zhǔn)數(shù)據(jù)相比較,得到的差值補償修正基板搬送位置的實際坐標(biāo),從而解決搬送小車的共用性問題。
      [0014]本實施例在具體使用時具有如下過程:
      [0015](1)計算作為基準(zhǔn)的基板搬送小車1從基板搬送小車原點3位置到光纖傳感器4位置之間的距離,并以坐標(biāo)形式對其進(jìn)行記錄,并記錄保存基準(zhǔn)坐標(biāo)設(shè)定值。作為基準(zhǔn)的基板搬送小車1符合設(shè)計圖紙要求尺寸誤差,并在當(dāng)前機(jī)臺搬送正常。
      [0016](2):對其他基板搬送小車從基板搬送小車原點3到光纖傳感器4位置之間的距離進(jìn)行測量并記錄,同樣以坐標(biāo)形式進(jìn)行記錄,并將當(dāng)前數(shù)據(jù)與基準(zhǔn)坐標(biāo)進(jìn)行比較。
      [0017](3)將比較的差值對搬送數(shù)據(jù)進(jìn)行自動補償基板坐標(biāo)位置,即對基板搬送坐標(biāo)進(jìn)行修正,得到實際的基板搬送坐標(biāo)。
      [0018]本實施例在具體實施時:為提高效率,在基板搬送小車1的偏差檢測過程中實現(xiàn)了變速運動,才得以同時滿足了對補償過程的時間要求及對光纖傳感器4測量精度的雙重要求。具體過程為,利用控制器連接控制基板搬送小車1的驅(qū)動裝置以對其在導(dǎo)軌5上的運行速度進(jìn)行調(diào)控。例如,基板搬送小車1在接近光纖傳感器4之前以50mm/s的速度高速運行,經(jīng)過光纖傳感器4時以lmm/s的速度低速運行,之后再次以50mm/s的速度高速運行至機(jī)械臂6的抓取位置并高速返回至基板搬送小車原點3。上述運動過程避免了基板搬送小車1為保證檢測精度而以單一低速運行的弊病,同時實現(xiàn)了本實施例對時間和測量精度的雙重要求?;灏崴托≤?0mm/s的高速和lmm/s的低速都是根據(jù)小車本身的性能以及實際工作中的各因素所進(jìn)行的選擇;在具體使用時,高速和低速都可根據(jù)實際設(shè)計進(jìn)行選擇。
      [0019]雖然以上實施例已經(jīng)參照附圖對本實用新型目的的構(gòu)思和實施例做了詳細(xì)說明,但本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以認(rèn)識到,在沒有脫離權(quán)利要求限定范圍的前提條件下,仍然可以對本實用新型作出各種改進(jìn)和變換,如:光纖傳感器的種類、基板搬送小車1的結(jié)構(gòu)、大小等,故在此不--贅述。
      【主權(quán)項】
      1.一種基板搬送小車的控制系統(tǒng),所述基板搬送小車用于將基板搬送到機(jī)械臂的抓取位置處,其特征在于:所述系統(tǒng)包括光纖傳感器和控制器,所述光纖傳感器固定設(shè)置于所述機(jī)械臂的抓取位置之前,所述控制器與所述光纖傳感器之間構(gòu)成數(shù)據(jù)連接,所述控制器連接控制所述機(jī)械臂。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基板搬送小車的控制系統(tǒng),其特征在于:所述控制器連接控制所述基板搬送小車的驅(qū)動裝置。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種基板搬送小車的控制系統(tǒng),其特征在于:所述基板搬送小車的驅(qū)動裝置指的是,可控制所述基板搬送小車運行速度的變速驅(qū)動裝置。
      【專利摘要】本實用新型涉及真空鍍膜領(lǐng)域,尤其是基板搬送小車的控制系統(tǒng),其特征在于:所述系統(tǒng)包括光纖傳感器和控制器,所述光纖傳感器固定設(shè)置于所述機(jī)械臂的抓取位置之前,所述控制器與所述光纖傳感器之間構(gòu)成數(shù)據(jù)連接,所述控制器連接控制所述機(jī)械臂。本實用新型的優(yōu)點是:能自動修正基板搬送小車的搬送位置,以保證后續(xù)設(shè)備的正常運行,避免設(shè)備過載報警及硬件損傷;提高了設(shè)備自動化效率;結(jié)構(gòu)簡單合理,實用性強,適于推廣。
      【IPC分類】B65G43/00, B65G47/90
      【公開號】CN204713967
      【申請?zhí)枴緾N201520356856
      【發(fā)明人】王德智, 余正權(quán), 余海春, 張奇, 展大偉
      【申請人】光馳科技(上海)有限公司
      【公開日】2015年10月21日
      【申請日】2015年5月29日
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