自動(dòng)插片機(jī)的晶片盒夾持裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于晶棒切片輔助設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種自動(dòng)插片機(jī)的晶片盒夾持裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，在晶棒通過切片機(jī)切成硅晶片之后，需要對(duì)硅晶片進(jìn)行清洗，清洗后通過自動(dòng)插片機(jī)將清洗后的硅晶片插入到晶片盒中，以便進(jìn)行下一步的烘干處理。在通過自動(dòng)插片機(jī)插片的過程中，通過夾持裝置夾持晶片盒并移動(dòng)至插片位置，再通過自動(dòng)送片裝置將硅晶片插入晶片盒內(nèi)。現(xiàn)有自動(dòng)插片機(jī)的夾持裝置中大都采用氣動(dòng)裝置作為動(dòng)力來源，氣動(dòng)裝置固定的牢靠性會(huì)對(duì)夾持裝置的運(yùn)作產(chǎn)生直接影響，現(xiàn)有夾持裝置中大都存在氣動(dòng)裝置安裝牢固性較差及安裝操作繁瑣的問題亟待解決。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是，克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷，提供一種晶片盒夾持裝置，能夠?qū)鈩?dòng)裝置牢靠的固定在安裝架上。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提出一種自動(dòng)插片機(jī)的晶片盒夾持裝置，包括安裝架和左右對(duì)稱安裝在安裝架上的氣動(dòng)裝置，所述氣動(dòng)裝置的氣缸桿端部固定有適于夾持晶片盒的夾板，所述安裝架的上表面為平面，該平面上左右兩端分別設(shè)有用于安裝兩個(gè)氣動(dòng)裝置的安裝區(qū)，兩安裝區(qū)之間設(shè)有讓位區(qū)，所述安裝區(qū)上設(shè)有沿左右方向設(shè)置的燕尾凸臺(tái)或/和燕尾槽，所述氣動(dòng)裝置上設(shè)有適于與所述燕尾凸臺(tái)或/和燕尾槽配合的燕尾槽或/和燕尾凸臺(tái)，所述安裝架上設(shè)有用于對(duì)所述的各氣動(dòng)裝置軸向定位的定位結(jié)構(gòu)。
[0005]作為改進(jìn)，定位結(jié)構(gòu)包括設(shè)于所述安裝區(qū)的外側(cè)端的定位板，所述定位板通過至少一根螺栓與氣動(dòng)裝置連接。
[0006]作為改進(jìn)，定位結(jié)構(gòu)還包括成型于所述安裝區(qū)的安裝槽、設(shè)于所述安裝槽內(nèi)的限位件和設(shè)于所述安裝槽內(nèi)為所述限位件提供向上彈力的彈簧，所述限位件靠近讓位區(qū)的一側(cè)為斜面，遠(yuǎn)離讓位區(qū)的一側(cè)為阻擋面，所述氣動(dòng)裝置安裝到位時(shí)所述限位件的所述阻擋面抵在所述氣動(dòng)裝置的后端。
[0007]作為改進(jìn)，定位板內(nèi)側(cè)面上成型有定位凹槽或定位凸臺(tái)，所述氣動(dòng)裝置的前端面上成型有適于與所述定位凹槽或定位凸臺(tái)配合的定位凸臺(tái)或定位凹槽。
[0008]作為改進(jìn)，定位凹槽和所述定位凸臺(tái)為相匹配的環(huán)狀或矩形塊狀。
[0009]采用上述結(jié)構(gòu)后，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0010]1、在氣動(dòng)裝置安裝時(shí)，先將氣動(dòng)裝置置于讓位區(qū)內(nèi)，將氣動(dòng)裝置上燕尾凸臺(tái)或者燕尾槽與安裝區(qū)的燕尾凸臺(tái)或燕尾槽對(duì)準(zhǔn)后，推動(dòng)氣動(dòng)裝置使燕尾槽與對(duì)應(yīng)的燕尾凸臺(tái)形成配合，在氣動(dòng)裝置移動(dòng)到固定位置時(shí)通過所述定位結(jié)構(gòu)對(duì)氣動(dòng)裝置進(jìn)行軸向定位，從而將氣動(dòng)裝置固定在安裝架的安裝區(qū)內(nèi)，這樣就能夠?qū)鈩?dòng)裝置便捷且牢靠的固定在安裝架上。
[0011]2、通過燕尾槽和對(duì)應(yīng)的燕尾凸臺(tái)配合后，實(shí)現(xiàn)了氣動(dòng)裝置在除其軸向以外的其它方向上的定位，只需要使用螺栓(最少可使用一根螺栓)將定位板與氣動(dòng)裝置固定，即可實(shí)現(xiàn)軸向定位，進(jìn)一步為了加強(qiáng)軸向定位效果，在氣動(dòng)裝置后端設(shè)置了限位件，在氣動(dòng)裝置安裝到位時(shí)，通過限位件的阻擋面抵住氣動(dòng)裝置的后端，從而有效確保氣動(dòng)裝置固定的牢靠性，并且結(jié)構(gòu)簡化合理，氣動(dòng)裝置拆裝便捷。
[0012]3、進(jìn)一步，在定位板的內(nèi)側(cè)與氣動(dòng)裝置的前端分別設(shè)置相配的環(huán)狀定位凹槽或定位凸臺(tái)，進(jìn)行輔助定位，增加氣動(dòng)裝置與定位板之間的定位可靠性。
【附圖說明】
[0013]圖1為本實(shí)用新型一種自動(dòng)插片機(jī)的晶片盒夾持裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖2為本實(shí)用新型一種自動(dòng)插片機(jī)的晶片盒夾持裝置安裝架的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]圖3為本實(shí)用新型一種自動(dòng)插片機(jī)的晶片盒夾持裝置的氣動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖4為本實(shí)用新型一種自動(dòng)插片機(jī)的晶片盒夾持裝置的限位件的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]圖中所示，1、氣動(dòng)裝置，2、安裝架，3、夾板，4、燕尾凸臺(tái)，5、燕尾槽，6、定位板，7、安裝區(qū)，8、讓位區(qū)，9、限位件，10、彈簧，11、定位凹槽，12、定位凸臺(tái)，13、斜面，14、通孔，15、螺栓。
【具體實(shí)施方式】
[0018]下面對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明:
[0019]本實(shí)用新型一種自動(dòng)插片機(jī)的晶片盒夾持裝置，如圖1所示，其包括安裝架2和左右對(duì)稱安裝在安裝架2上的氣動(dòng)裝置I，所述氣動(dòng)裝置I的氣缸桿端部固定有適于夾持晶片盒的夾板3，安裝架2的上表面為平面，該平面上左右兩端分別設(shè)有用于安裝兩個(gè)氣動(dòng)裝置I的安裝區(qū)7，兩安裝區(qū)7之間設(shè)有讓位區(qū)8，所述安裝區(qū)7上設(shè)有沿左右方向(即氣動(dòng)裝置軸線方向)設(shè)置的燕尾凸臺(tái)4或/和燕尾槽5，所述氣動(dòng)裝置I上設(shè)有適于與所述燕尾凸臺(tái)4或/和燕尾槽5配合的燕尾槽5或/和燕尾凸臺(tái)4，所述安裝架2上設(shè)有用于對(duì)所述的各氣動(dòng)裝置I軸向定位的定位結(jié)構(gòu)。采用上述結(jié)構(gòu)，在氣動(dòng)裝置I安裝時(shí)，推動(dòng)氣動(dòng)裝置I使燕尾槽5與對(duì)應(yīng)的燕尾凸臺(tái)4形成配合，在氣動(dòng)裝置I移動(dòng)到固定位置時(shí)通過所述定位結(jié)構(gòu)對(duì)氣動(dòng)裝置I進(jìn)行軸向定位，從而使氣動(dòng)裝置I可靠的固定在安裝架2的安裝區(qū)7內(nèi)，這樣就能夠?qū)鈩?dòng)裝置I便捷且牢靠的固定在安裝架2上。實(shí)踐操作中，所述燕尾槽5可設(shè)置在所述安裝區(qū)7與所述氣動(dòng)裝置I中的一個(gè)上，將對(duì)應(yīng)的燕尾凸臺(tái)4設(shè)置在所述安裝區(qū)7與所述氣動(dòng)裝置I中的另一個(gè)上，當(dāng)然，也可在所述氣動(dòng)裝置I上同時(shí)設(shè)置燕尾槽5和燕尾凸臺(tái)4，并在安裝區(qū)7設(shè)置與之對(duì)應(yīng)的燕尾凸臺(tái)4和燕尾槽5。
[0020]所述定位結(jié)構(gòu)包括設(shè)于所述安裝區(qū)7的外側(cè)端的定位板6，所述定位板6通過至少一根螺栓15與氣動(dòng)裝置I連接，在通過燕尾槽5和對(duì)應(yīng)的燕尾凸臺(tái)4配合后，實(shí)現(xiàn)了氣動(dòng)裝置I在除軸向以外的其它方向上的定位，這樣只需要使用螺栓15(最少可使用一根螺栓15)將定位板6與氣動(dòng)裝置I固定，即可實(shí)現(xiàn)軸向定位;進(jìn)一步為了加強(qiáng)軸向定位效果，在氣動(dòng)裝置I后端設(shè)置了限位件9，在氣動(dòng)裝置I安裝到位時(shí)，通過限位件9的阻擋面抵住氣動(dòng)裝置I的后端，從而有效確保氣動(dòng)裝置I固定的牢靠性，并且結(jié)構(gòu)簡化合理，氣動(dòng)裝置拆裝便捷，所述限位件9靠近讓位區(qū)8的一側(cè)為斜面13，遠(yuǎn)離讓位區(qū)8的一側(cè)為阻擋面，所述阻擋面與所述安裝區(qū)表面垂直，所述氣動(dòng)裝置I安裝到位時(shí)所述限位件9的所述阻擋面抵在所述氣動(dòng)裝置I的后端，在氣動(dòng)裝置I安裝時(shí)，限位件9通過斜面13受力，壓縮所述彈簧10，在氣動(dòng)裝置I安裝到位后，彈簧10產(chǎn)生向上的復(fù)位彈力使限位件9彈起，阻擋面抵住氣動(dòng)裝置I的后端，進(jìn)一步有效的限制了氣動(dòng)裝置I的軸向運(yùn)動(dòng)方向，拆卸氣動(dòng)裝置I時(shí)，先拆除螺栓15，再通過手指或工具將限位件9向下按壓，至安裝槽內(nèi)，然后推動(dòng)氣動(dòng)裝置I沿左右方向移動(dòng)至讓位區(qū)8內(nèi)即可完成氣動(dòng)裝置I的拆卸，在拆換氣動(dòng)裝置I時(shí)操作尤為便捷。
[0021]更進(jìn)一步，定位板6內(nèi)側(cè)面上成型有定位凹槽11或定位凸臺(tái)12，所述氣動(dòng)裝置I的前端面上成型有適于與所述定位凹槽11或定位凸臺(tái)12配合的定位凸臺(tái)12或定位凹槽11，通過在定位板6內(nèi)側(cè)和氣動(dòng)裝置I前端設(shè)置定位凹槽11或定位凸臺(tái)12，使其在完成安裝后，定位凹槽11和定位凸臺(tái)12配合，用于進(jìn)一步限制氣動(dòng)裝置I軸向的移動(dòng)，同時(shí)提高了安裝時(shí)的精度和安裝完成后定位的牢固和可靠性。本實(shí)施例中的所述定位凹槽11和所述定位凸臺(tái)12為相匹配的環(huán)狀，實(shí)踐操作中，所述定位凹槽11和所述定位凸臺(tái)12也可加工成相匹配的矩形塊狀。
[0022]本實(shí)施例中的氣動(dòng)裝置I優(yōu)選雙桿氣缸，雙桿氣缸的氣缸桿穿過定位板6上的通孔14后連接夾板3，兩夾板3可在氣缸桿的帶動(dòng)下相離或相向移動(dòng)。
[0023]本實(shí)施例中，所述夾板3的下端還具有和晶片盒上對(duì)應(yīng)凹槽配合的凸條，從而提高夾持晶片盒時(shí)的可罪性及穩(wěn)定性。
[0024]以上所述僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施方式，故凡依本專利申請(qǐng)范圍所述的構(gòu)造、特征及原理所做的等效變化或修飾，均包括于本實(shí)用新型專利申請(qǐng)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種自動(dòng)插片機(jī)的晶片盒夾持裝置，包括安裝架(2)和左右對(duì)稱安裝在安裝架(2)上的氣動(dòng)裝置(I)，所述氣動(dòng)裝置(I)的氣缸桿端部固定有適于夾持晶片盒的夾板(3)，其特征在于，所述安裝架(2)的上表面為平面，該平面上左右兩端分別設(shè)有用于安裝兩個(gè)氣動(dòng)裝置(I)的安裝區(qū)(7)，兩安裝區(qū)(7)之間設(shè)有讓位區(qū)(8)，所述安裝區(qū)(7)上設(shè)有沿左右方向設(shè)置的燕尾凸臺(tái)(4)或/和燕尾槽(5)，所述氣動(dòng)裝置(I)上設(shè)有適于與所述燕尾凸臺(tái)(4)或/和燕尾槽(5)配合的燕尾槽(5)或/和燕尾凸臺(tái)(4)，所述安裝架(2)上設(shè)有用于對(duì)所述的各氣動(dòng)裝置(I)軸向定位的定位結(jié)構(gòu)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)插片機(jī)的晶片盒夾持裝置，其特征在于，所述定位結(jié)構(gòu)包括設(shè)于所述安裝區(qū)(7)的外側(cè)端的定位板(6)，所述定位板(6)通過至少一根螺栓(15)與氣動(dòng)裝置(I)連接。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的自動(dòng)插片機(jī)的晶片盒夾持裝置，其特征在于，所述定位結(jié)構(gòu)還包括成型于所述安裝區(qū)(7)的安裝槽、設(shè)于所述安裝槽內(nèi)的限位件(9)和設(shè)于所述安裝槽內(nèi)為所述限位件(9)提供向上彈力的彈簧(10)，所述限位件(9)靠近讓位區(qū)(8)的一側(cè)為斜面(13)，遠(yuǎn)離讓位區(qū)(8)的一側(cè)為阻擋面，所述氣動(dòng)裝置(I)安裝到位時(shí)所述限位件(9)的所述阻擋面抵在所述氣動(dòng)裝置(I)的后端。4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的自動(dòng)插片機(jī)的晶片盒夾持裝置，其特征在于，所述定位板(6)內(nèi)側(cè)面上成型有定位凹槽或定位凸臺(tái)，所述氣動(dòng)裝置(I)的前端面上成型有適于與所述定位凹槽或定位凸臺(tái)配合的定位凸臺(tái)或定位凹槽。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的自動(dòng)插片機(jī)的晶片盒夾持裝置，其特征在于，所述定位凹槽(II)和所述定位凸臺(tái)(12)為相匹配的環(huán)狀或塊狀。
【專利摘要】本實(shí)用新型提出一種自動(dòng)插片機(jī)的晶片盒夾持裝置，包括安裝架和安裝在安裝架上的氣動(dòng)裝置，氣動(dòng)裝置的氣缸桿端部固定有夾板，安裝架上設(shè)有安裝區(qū)，兩安裝區(qū)之間設(shè)有讓位區(qū)，安裝區(qū)上設(shè)有燕尾凸臺(tái)或/和燕尾槽，氣動(dòng)裝置上設(shè)有適于與燕尾凸臺(tái)或/和燕尾槽配合的燕尾槽或/和燕尾凸臺(tái)，安裝架上設(shè)有定位結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型的氣動(dòng)裝置安裝時(shí)，先將氣動(dòng)裝置置于讓位區(qū)內(nèi)，將其上燕尾凸臺(tái)或者燕尾槽與安裝區(qū)的燕尾凸臺(tái)或燕尾槽對(duì)準(zhǔn)后，推動(dòng)氣動(dòng)裝置使燕尾槽與對(duì)應(yīng)的燕尾凸臺(tái)形成配合，在氣動(dòng)裝置移動(dòng)到固定位置時(shí)通過定位結(jié)構(gòu)對(duì)氣動(dòng)裝置進(jìn)行軸向定位，這樣就能夠?qū)鈩?dòng)裝置便捷且牢靠的固定在安裝架上。
【IPC分類】B65G49/07, B65G47/90
【公開號(hào)】CN205187337
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201521014153
【發(fā)明人】蔣軍
【申請(qǐng)人】海寧光泰太陽能工業(yè)有限公司
【公開日】2016年4月27日
【申請(qǐng)日】2015年12月9日