專利名稱：光學元件用樹脂成型品、光學元件用樹脂成型品的制造方法、光學元件用樹脂成型品的制 ...的制作方法
技術(shù)領域：
本發(fā)明涉及光學元件用樹脂成型品、光學元件用樹脂成型品的制造方法、光學元件用樹脂成型品的制造裝置，以及掃描光學裝置，尤其涉及通過在被充填到模具腔中的樹脂中注入流體而形成了中空部的光學元件用樹脂成型品、光學元件用樹脂成型品的制造方法、光學元件用樹脂成型品的制造裝置，以及掃描光學裝置。
背景技術(shù)：
作為這種光學元件，一般知道有玻璃制、金屬制或陶瓷制的，近年來出于成型容易度、設計自由度或降低成本，開始采用樹脂制的。這種光學元件的使用用途多種多樣，作為一個例子，已知有對光源射出的光聚光、 使成像于記錄面等、進行記錄再生的裝置，例如光信息記錄再生裝置和光掃描裝置等。但是近年來由于要求高圖像質(zhì)量和高精細化，要求進一步提高上述裝置等的記錄密度。為了實現(xiàn)高精細化，自然要求各使用部件的高控制和精度，作為部件之一的光學元件，因為通過對光源照射的光進行透過、反射等使光束偏向、變形，所以光學面被進一步要求高面精度。尤其是最近，長壽命、能夠得到安定輸出的短波長藍色激光受到注目，因為其能形成更微小的聚光斑點，所以，要求光學元件有與其相應的高面精度。但是，隨著面精度要求的提高，以往幾乎不在乎的點也明顯作為較大的技術(shù)課題。 作為首要課題，有樹脂注射成型時樹脂固化收縮引起的翹曲和沉陷對光學面變形的影響。 尤其是使持有f θ特性的光學元件，對于掃描方向來說，翹曲的影響更明顯，用以往的注射成型現(xiàn)在已是難以確保這種高精度光學部件的質(zhì)量。另外如上所述，在激光是使用短波長、 例如藍色激光的情況時，樹脂透鏡的耐候性進一步成為維持高面精度的障礙。針對這一問題，本發(fā)明者考慮將中空注射成型的效果應用于光學部件。通過中空注射成型成型中空，成型物翹曲和沉陷之原因的樹脂收縮時的張力通過中空部釋放，以沉陷形式出現(xiàn)在中空部表面，能夠緩和出現(xiàn)在成型物表面的翹曲和沉陷。對此，作為在樹脂成型品中設中空部的方法，有下述方法在模具內(nèi)注射充填熔融樹脂、然后從設在注射噴嘴和模具腔內(nèi)的氣體注入噴嘴注入作為流體的壓縮氣體、通過注入的氣體得到中空成型品。但是，這種樹脂充填后的氣體注入時存在時滯，所以，熔融樹脂先端部的流動速度發(fā)生變化，有時由于停止而熔融樹脂先端部表面出現(xiàn)滯留痕跡等外觀異常，明顯降低表面精度。對此，以往的文獻(例如專利文獻1)中公開了一種技術(shù)，其中是從注射噴嘴充填樹脂，在幾乎充填好的狀態(tài)下從不同的澆口注入壓縮氣體。此時，使多余的樹脂從樹脂流出路流到流出樹脂接受部。由檢測裝置檢測氣體在到達樹脂流出路之前已到達所定的位置， 由開閉裝置關閉樹脂流出路，在加壓狀態(tài)下使樹脂固化制造成型品。然后，由開閉部件在模具內(nèi)切斷樹脂流出路和流出樹脂接受部。使不產(chǎn)生滯留痕跡等外觀異常。先行技術(shù)文獻
專利文獻專利文獻1 特開平11-138577號公報

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明欲解決的課題但是，該以往的技術(shù)中是設樹脂成型品不要的部分、即樹脂流出路及流出樹脂接受部等，對于發(fā)生滯留痕跡等外觀異常的部位，是直至樹脂到達流出路之后注入壓縮氣體， 使外觀異常部位形成在切斷處外側(cè)的不要的成型部位上，然后在該切斷處進行切斷。但是現(xiàn)在知道，這種成型后的不必要的切斷，難以應用于備有切斷周邊部被要求高面精度之光學面的掃描用光學元件，尤其難以應用于使用短波長進行高密度記錄再生的光學元件。并且，光學元件的情況時，還存在必須與滯留痕跡同時解決的技術(shù)性障礙。也就是說光學元件的情況時，必須對基材一部分上形成的光學面，確實解消上述樹脂固化收縮引起的問題，所以，必須在該光學面下某種程度控制中空部的形成區(qū)域。因為中空區(qū)域是在成型中途向腔內(nèi)注入流體，所以這意味著必須預先估計充填的樹脂被流體推入的區(qū)域。但是光學部件與其它成型部件不同，樹脂的充填位置和流體的注入位置都影響面精度，所以存在制約。因此，可以認為，樹脂充填位置和流體注入位置，最好是從光學面形成區(qū)域外側(cè)的腔的一端射出。因此，必須考慮光學部件的形狀，使得即使是從這種存在限制的位置充填樹脂、注入流體，也在光學面下形成某種程度的中空部，且滯留痕跡等外觀異常部位是不影響光學面的區(qū)域。本發(fā)明的目的在于解決上述課題，由此提供一種能夠有效地解消樹脂固化收縮引起的沉陷等問題帶來的面精度劣化和滯留痕跡等外觀異常形成部位問題的光學元件用樹脂成型品、其制造方法、制造裝置，以及掃描光學裝置。用來解決課題的手段為了解決上述課題，本發(fā)明的第1形態(tài)是一種光學元件用樹脂成型品，其在由樹脂成型的基材表面的一部分上具有第1表面部，且具有從外部向所述基材內(nèi)部注入流體而形成的中空部，光學元件用樹脂成型品的特征在于，當以所述基材的第1端部與離該第1端部近的第1表面部的端部之間的距離為A、不同于所述基材第1端部的端部、即隔著所述第 1表面部相反側(cè)的第2端部與離該第2端部近的所述第1表面部的端部之間的距離為B時， 滿足以下關系A > 0B > 0A < B。 本發(fā)明的第2形態(tài)是上述第1形態(tài)中的光學元件用樹脂成型品，其特征在于，所述第1表面部全部的表面粗糙度Ra為Ra < 5 (nm)。本發(fā)明的第3形態(tài)是上述第1形態(tài)中的光學元件用樹脂成型品，其特征在于，在第 1表面部上形成了鏡面部。本發(fā)明的第4形態(tài)是一種掃描光學裝置，其具有光源；使從該光源射出的出射光偏向的偏向手段；使從所述光源射出的光入射、聚光于所述偏向手段的聚光手段；使經(jīng)所述偏向手段偏向的光成像于被掃描面的成像光學系統(tǒng)；掃描光學裝置的特征在于，構(gòu)成所述成像光學系統(tǒng)的光學元件的至少一個光學元件，是在由樹脂成型的細長的基材表面的一部分上具有1表面部，且具有從外部向所述基材內(nèi)部注入流體而形成的中空部的光學元件，當以所述基材的第1端部與離該第1端部近的第1表面部的端部之間的距離為A、不同于所述基材第1端部的端部、即隔著所述第1表面部相反側(cè)的第2端部與離該第2端部近的所述第1表面部的端部之間的距離為B時，滿足以下關系A > 0B > 0A < B。本發(fā)明的第5形態(tài)是上述第4形態(tài)中的掃描光學裝置，其特征在于，所述第1表面部全部的表面粗糙度Ra為Ra < 5 (nm)。本發(fā)明的第6形態(tài)是上述第4或第5形態(tài)中的掃描光學裝置，其特征在于，在所述第1表面部上形成了使入射光反射的鏡面部。本發(fā)明的第7形態(tài)是上述第6形態(tài)中的掃描光學裝置，其特征在于，所述鏡面部的表面粗糙度Ra為Ra彡5 (nm)。本發(fā)明的第8形態(tài)是一種光學元件用樹脂成型品的制造方法，該光學元件用樹脂成型品在由樹脂成型的基材表面的一部分上具有第1表面部，且具有從外部向所述基材內(nèi)部注入流體而形成的中空部，當以所述基材的第1端部與離該第1端部近的第1表面部的端部之間的距離為A、不同于所述基材第1端部的端部、即隔著所述第1表面部相反側(cè)的第 2端部與離該第2端部近的所述第1表面部的端部之間的距離為B時，光學元件用樹脂成型品滿足以下關系A > 0B > 0A^B,光學元件用樹脂成型品制造方法的特征在于，具有下述工序準備工序，準備具有轉(zhuǎn)印所述第1表面部之轉(zhuǎn)印面的第1模具、及被對著所述第1模具設置的通過與所述第1 模具關模而形成腔的第2模具；注射工序，從所述腔端部一側(cè)向所述腔內(nèi)注射熔融樹脂；檢測工序，檢測由所述注射工序充填的樹脂的先端在所定位置；流體注入工序，根據(jù)所述檢測工序的檢測控制所述充填樹脂的充填，同時向所述腔內(nèi)注入流體在內(nèi)部形成中空部。本發(fā)明的第9形態(tài)是上述第8形態(tài)中的光學元件用樹脂成型品的制造方法，其特征在于，所述第1表面部的表面粗糙度Ra為Ra < 5 (nm)。本發(fā)明的第10形態(tài)是上述第8或第9形態(tài)中的光學元件用樹脂成型品的制造方法，其特征在于，包括在所述流體注入工序之后、在得到的樹脂成型品的第1表面部上形成鏡面部的鏡面部形成工序。本發(fā)明的第11形態(tài)是上述第8至第10的任何一項形態(tài)中的光學元件用樹脂成型品的制造方法，其特征在于，所述流體注入工序是在停止樹脂充填后經(jīng)過所定時間之后開始注入流體的。本發(fā)明的第12形態(tài)是一種光學元件用樹脂成型品的制造裝置，該光學元件用樹脂成型品在由樹脂成型的基材表面的一部分上具有第1表面部，且具有從外部向所述基材內(nèi)部注入流體而形成的中空部，當以所述基材的第1端部與離該第1端部近的第1表面部的端部之間的距離為A、不同于所述基材第1端部的端部、即隔著所述第1表面部相反側(cè)的第2端部與離該第2端部近的所述第1表面部的端部之間的距離為B時，光學元件用樹脂成型品滿足以下關系A > 0B > 0A 彡 B,光學元件用樹脂成型品制造裝置的特征在于，備有第1模具，具有轉(zhuǎn)印所述第1 表面部之轉(zhuǎn)印面；第2模具，被對著所述第1模具設置，通過與所述第1模具關模而形成腔； 充填手段，從所述腔端部一側(cè)向所述腔內(nèi)注射熔融樹脂材料；檢測手段，檢測由所述注射手段充填到所述腔內(nèi)的樹脂在所定位置；流體注入手段，向所述腔內(nèi)注入流體在內(nèi)部形成中空部；控制手段，根據(jù)由所述檢測手段檢測所述樹脂被充填到所定位置的檢測結(jié)果，控制所述充填手段的樹脂充填，同時控制所述流體注入手段向腔內(nèi)的流體注入。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明，通過上述結(jié)構(gòu)可以不用切斷除去滯留等外觀異常形成部位，而是有效地將其形成在光學面外側(cè)，且光學面本身不易受沉陷等固化收縮的影響，所以，能夠提供維持高面精度的光學元件用樹脂成型品及其制造方法、制造裝置，以及掃描光學裝置。


圖1 組裝了本發(fā)明第1實施方式光學元件的激光光束掃描光學裝置的說明圖。圖2 光學元件用樹脂成型品在長度方向截斷的截面示意圖。圖3 光學元件用樹脂成型品的平面圖。圖4 (a)用寬度方向二等分線所在的垂直面截斷的模具截面圖，(b)用長度方向二等分線所在的垂直面截斷的模具截面圖。圖5 備有檢測手段的注射成型機的功能方框圖。圖6 檢測溫度與壓縮氣體注入關系的時序圖。圖7 光學元件用樹脂成型品的制造工序流程圖。圖8 變形例注射成型機的功能方框圖。圖9 檢測溫度與壓縮氣體注入關系的時序圖。圖10 變形例光學元件用樹脂成型品的制造工序流程圖。圖11 其他變形例注射成型機的功能方框圖。圖12 其他變形例光學元件用樹脂成型品的制造工序流程圖。圖13 本發(fā)明第2實施方式光學元件用樹脂成型品的平面圖。圖14 光學元件用樹脂成型品的橫截面圖。
具體實施例方式第1實施方式MMl參照圖1，對本發(fā)明第1實施方式光學元件用樹脂成型品作說明。圖1是激光掃描光學裝置一例示意圖，其中組裝了光學元件用樹脂成型品。圖1中，激光掃描光學裝置包括光源單元1、圓柱面鏡2、作為偏向手段的多面鏡3、 托力克透鏡4、平面鏡5、6以及具備f θ特性的f θ面鏡10。從光源單元1射出的激光在準直透鏡(圖示省略)被收束為略平行光之后，在圓柱面鏡2被反射，其光束形狀被變?yōu)殚L度方向與主掃描方向平行的略直線狀，到達多面鏡 3。多面鏡3外周面有四個偏向面，被驅(qū)動而以一定速度在逆時針方向旋轉(zhuǎn)。激光由于多面鏡3旋轉(zhuǎn)而在主掃描方向被等角速度偏向，被導向托力克透鏡4時，托力克4透鏡在主掃描方向和副掃描方向具有不同焦強，通過在副掃描方向使激光聚光于被掃描面上，保持多面鏡3的偏向面與被掃描面為共軛關系，通過與圓柱面鏡2的組合，修正多面鏡3各偏向面的面偏向誤差。作為偏向手段這里以多面鏡為例作了說明，但并不局限于此。只要是能夠在不同方向偏向入射光的元部件即可，當然也可以使用檢流計面鏡等其他周知的偏向手段。透過托力克透鏡4的激光在平面鏡5、6被反射，進一步在f θ面鏡10被反射，然后聚光于感光體鼓7。f θ面鏡10對被多面鏡3以角速度一定偏向的激光進行速度變換， 使之在掃描面(感光體鼓7)上為線速度一定。感光體鼓7被驅(qū)動，以一定速度在逆時針方向旋轉(zhuǎn)，根據(jù)來自于多面鏡3的激光的主掃描、感光體鼓7的旋轉(zhuǎn)(副掃描)、被調(diào)制的激光輸出，在感光體鼓7上形成圖像。如上所述，激光掃描光學裝置由各種光學元件構(gòu)成。尤其是因為平面鏡5、6及f θ 面鏡10等基材上設有細長板狀鏡面，該鏡面反射在長度方向所定范圍內(nèi)接到的激光，在感光體鼓7上形成圖像，所以，設有鏡面的光學元件的表面精度，直接影響圖像的質(zhì)量。接下去參照圖1至圖3，說明光學元件用樹脂成型品的詳細構(gòu)造。圖2是光學元件用樹脂成型品在長度方向截斷的截面示意圖，圖3是光學元件用樹脂成型品的平面圖。光學元件被嚴格要求鏡面性、尺寸精度、輕量性、安全性、耐久性、經(jīng)濟性。且光學元件適合于電氣電子部件、車輛部件、醫(yī)療用、保安用、建材用、家庭用品等多種用途。作為本發(fā)明光學元件的一例，如上所述，可以舉出被裝入激光打印機中的平面鏡 5、6以及f θ面鏡10。平面鏡5、6以及f θ面鏡10的各基材具有中空部，在高表面精度的表面外設有滯留痕跡。以下代表性說明面鏡10，省略對平面鏡5、6及其他光學元件的說明。f θ面鏡10具有第1表面部11和一對第2表面部12，第1表面部11上設有鏡面部13，其呈細長板狀，長度方向具有所定范圍Η1，反射在所定范圍Hl內(nèi)接到的光束；一對第 2表面部12被配置成從長度方向夾著第1表面部11。在圖2的紙面上，橫向為長度方向， 縱向為厚度方向，圖3的縱向為寬度方向。在長度方向上，使所定范圍Hl在鏡面部13區(qū)域以下，使鏡面部13區(qū)域在第1表面部11區(qū)域以下。圖2及圖3表示長度方向長度一致的鏡面部13區(qū)域和第1表面部11 區(qū)域。f θ面鏡10具有細長板狀基材和位于基材一表面上的鏡面部13及位于鏡面部13 鏡面背面基材內(nèi)部的中空部14，其中，中空部14在長度方向的長度長于鏡面部13在長度方向的長度，并且，將中空部14的兩端形成到鏡面部13長度方向兩端的外側(cè)，由此，樹脂固化時收縮引起產(chǎn)生的應力通過中空部14釋放，樹脂收縮時長度方向的翹曲在整個鏡面部13 得到緩和，面精度提高。以往技術(shù)中，由于樹脂收縮而成型品夾住模具，脫模阻力致使鏡面部13變形，但通過使鏡面部13在整個板面上在厚度方向突出于基材，這樣能夠抑制脫模阻力引起的鏡面部13變形。制作光學元件(樹脂成型品)時，有時由于修正鏡面部13、例如對鏡面部13 厚度部分或整體性地在厚度方向進行切削修正而鏡面部13形狀變化。即使是作為修正結(jié)果修正后鏡面部13板面會埋沒于基材，但此時也可以預計鏡面部13的修正量，事先調(diào)整鏡面部13長度使之突出于基材，這樣，能夠調(diào)整使鏡面部13板面在修正后也突出在基材板面上，由此能夠避免成型品夾住模具。本實施方式的樹脂成型品中，在以鏡面部13長度方向的長度為Li、寬度方向的長度為W1、中空部14長度方向的長度為L2、寬度方向的長度為W2、厚度方向的長度為D2、基材寬度方向的長度為W4、對于長度方向一側(cè)從鏡面部13邊端到基材部邊端的距離為L5時， 較優(yōu)選構(gòu)成對于長度方向一側(cè)從鏡面部13邊端到中空部14邊端的距離L3為0 < L3 <L5 ；對于寬度方向一側(cè)從鏡面部13邊端到中空部14邊端的距離W3滿足0<W3<W2/2。以第1表面部11端部與同側(cè)光學元件端部間的距離為A，且不同于第1表面部11 端部的端部、即隔著中空部14相反側(cè)的第1表面部11端部與同側(cè)光學元件端部間的距離為B時，光學元件形狀必須滿足A > 0、B > 0。并且，此時，為了確實將滯留等外觀異常形成部位排擠到第1表面部11外面，且將中空部14形成在相當于第1表面部11的區(qū)域下，在從A側(cè)的樹脂充填端J充填樹脂、注入流體時，必須是A彡B (從B側(cè)充填樹脂、注入流體時則是A彡B)。小型光學元件的情況時，更優(yōu)選A、B為3. 5彡A彡5. 0 ;3. 5彡B彡5. 0 ；同時滿足上述條件。另外，當以鏡面部13從基材板面突出的厚度方向的長度為Dl時，優(yōu)選Dl為 0. 1 (mm) < Dl < 3(mm)，考慮脫模，因為鏡面部13側(cè)面積大的話脫模阻力大周圍的鏡面精度下降，所以優(yōu)選滿足0. 1 (mm) < Dl彡0. 3 (mm)。另外，優(yōu)選寬度方向的鏡面部13長度Wl與中空部14長度W2之關系為0. 01彡W2/
Wl ^ Io圖1及圖2中，用與鏡面部13平行的直線形狀記載了被配置在寬度方向及厚度方向中心的中空部14，但這只不過是模式性說明，中空部14的形狀和位置關系并不局限于此。滯留痕跡HM形成在第2表面部12上。滯留痕跡HM可以形成在第2表面部12的長度方向長度內(nèi)的任意處，但優(yōu)選形成在盡量離開第1表面部11的位置上。上述第1實施方式中，作為細長板狀的光學元件樹脂用成型品，出示了 f θ面鏡 10，但板狀光學元件用樹脂成型品并不局限于細長的。也可以是圓形狀、橢圓形狀、略正方形狀的。此時，只要沿著第1表面部11、且在該沿著的方向上比第1表面部寬廣地形成中空部14即可。注射成型機接下去參照圖1到圖6，說明用來制造f θ面鏡10基材的注射成型機。圖4(a)是用寬度方向二等分線所在的垂直面截斷的模具截面圖，圖4(b)是用長度方向二等分線所在的垂直面截斷的模具截面圖，圖5是備有檢測手段33的注射成型機的功能方框圖，圖6 是檢測溫度與壓縮氣體注入關系的時序圖。注射成型機備有具有腔31的模具42 ；向腔31中充填樹脂的充填手段32 ；檢測樹脂先端部的檢測手段33 ；在被充填的樹脂中注入壓縮氣體的氣體注入手段34 ；控制樹脂充填、樹脂充填停止及壓縮氣體注入開始、壓縮氣體注入停止的控制手段35。腔31具有用來形成構(gòu)成光學元件用樹脂成型品外表面之第1表面部11及第2表面部12的內(nèi)表面。參照圖4說明模具的形狀。圖4(a)是用寬度方向二等分線所在的垂直面截斷的模具截面圖，圖4(b)是用長度方向二等分線所在的垂直面截斷的模具截面圖。腔 31內(nèi)表面具有用來形成第1表面部11的第1區(qū)域311和用來形成第2表面部12的第2區(qū)域312。圖4中，以樹脂充填側(cè)、流體注入側(cè)的腔端部與第1表面部11邊端之間的距離為 A，另一端部與第1表面部11邊端之間的距離為B。為了使鏡面形成部315達到例如波長500nm以下短波長用所采取的面精度，通過切削加工形，使表面粗糙度Ra在5nm以下。較優(yōu)選該表面粗糙度Ra在2 3nm以下。參照圖5，對注射成型機中模具周邊的結(jié)構(gòu)作說明。腔31中連續(xù)形成了澆口 321、 流道322及澆道323。沿著腔31、流道322及澆道(模具通路)323設有加熱器(省略圖示)。通過設加熱器，接觸腔31及模具通路的熔融樹脂受熱傳導，防止冷卻而失去流動性固化。也可以在模具中設溫度調(diào)節(jié)用的水路，以代替加熱器。圖5中，作為被充填到腔31中的 f θ面鏡(樹脂成型品)10的外形，出示了腔31的內(nèi)表面，同樣圖5中，作為流過澆口 321、 流道322及澆道323各部分的樹脂的外形，分別出示了澆口 321、流道322及澆道323。充填手段優(yōu)選充填手段32在模具中被配置成是從f θ面鏡10的寬度側(cè)向長度方向充填。 作為腔31的右端側(cè)，在圖5中出示f θ面鏡10的寬度側(cè)。充填手段32的噴嘴3Μ連通上述澆道323。充填手段32具有用來從噴嘴3Μ擠出熔融樹脂的螺桿(圖示省略)。螺桿使熔融樹脂從噴嘴3Μ經(jīng)過澆道323、流道322、澆口 321充填到腔31中。螺桿從移動開始位置起的距離或螺桿從移動開始起的經(jīng)過時間，與擠出熔融樹脂的量(注射量)相應。另外，從澆道323到澆口 321的模具通路的容積、以及在長度方向各位置的腔31的截面形狀，是已知的，所以，可以根據(jù)螺桿從移動開始位置起的距離或螺桿從移動開始起的經(jīng)過時間，求出充填到腔31中的熔融樹脂的先端部的位置。檢測手段檢測手段33是檢測腔31內(nèi)表面溫度的溫度傳感。一個或多個檢測手段33被配置在用來形成第2表面部12的腔31內(nèi)表面的包括第2區(qū)域312、長度方向具有與第2區(qū)域 312范圍相同范圍的腔31內(nèi)表面。在長度方向具有與第2區(qū)域312范圍相同范圍的腔31 內(nèi)表面是指，以長度方向與第2區(qū)域312范圍相同范圍繞周狀的腔31內(nèi)表面，以第2區(qū)域 312為頂面時是底面313及兩側(cè)壁面314。圖5中出示的檢測手段33，被配置在澆口側(cè)第2 區(qū)域312長度方向相反側(cè)的第2區(qū)域312 (頂面)對著的底面313上。作為檢測手段33，只要是能夠檢測向腔31內(nèi)注射時樹脂先端部的傳感，并不局限于溫度傳感，也可以是例如超聲波傳感和磁傳感。檢測手段33能夠檢測到達腔31第2區(qū)域312的樹脂先端部?？刂剖侄?5經(jīng)由接口 38從檢測手段33接受作為檢測信號的檢測溫度tl?？刂剖侄?5根據(jù)來自于檢測手段33的檢測溫度tl，控制充填手段32停止樹脂充填，控制氣體注入手段34開始壓縮氣體的注入。通過上述在包括第2區(qū)域312、長度方向具有與第2區(qū)域312范圍相同范圍的腔 31的內(nèi)表面上設檢測手段33，檢測手段33不會成為第1表面部11表面精度降低的原因。 另外，檢測手段33直接檢測到達第2區(qū)域312的樹脂先端部，接受其檢測信號，控制樹脂充填停止和壓縮氣體注入開始，所以，從樹脂先端部到達第2區(qū)域312，到停止樹脂充填開始注入壓縮氣體，時間上誤差少，能夠確實地將滯留痕跡HM形成在第2表面部12，防止第1表面部11的表面精度降低。氣體灃入手段氣體注入手段34具有存放壓縮氣體的氣箱(圖示省略)、電磁閥341、與腔31內(nèi)相通的射出口部342?？刂剖侄?5控制電磁閥341開閉。使用的壓縮氣體只要是不與樹脂反應、混合的氣體即可?？梢耘e出例如惰性氣體?？紤]安全面和成本面時，出于不燃性和中毒性還有可以用低成本方法來得到，優(yōu)選氮。射出口部342被設在底面313上，它是與腔 31內(nèi)表面第2區(qū)域312對應的區(qū)域。也就是說，被設在第1表面部端部與相當于光學元件端部之位置間的空間內(nèi)的底面部上。記憶手段記憶手段36記憶著必須與來自于檢測手段33的檢測溫度tl進行比較的預定基準溫度to。圖6中出示檢測溫度tl及基準溫度to。判斷手段判斷手段37比較檢測溫度tl與基準溫度t0，當檢測溫度tl超過基準溫度t0時， 向控制手段35輸出判斷結(jié)果。以熔融樹脂的先端部到達檢測手段33之位置時檢測手段33 檢測的檢測溫度tl為基準溫度to?？刂剖侄慰刂剖侄?5從檢測手段33接受檢測溫度tl，使判斷手段37比較檢測溫度與基準溫度，當判斷手段37判斷檢測溫度tl超過基準溫度t0時，便控制充填手段32，使停止向腔 31的樹脂充填，控制氣體注入手段34，使開始在被充填的樹脂中注入壓縮氣體。從開始注入壓縮氣體起經(jīng)過所定時間之后，控制手段35使壓縮氣體的注入停止。圖6中出示了當檢測溫度tl超過基準溫度to時使樹脂充填停止之動作以及使壓縮氣體注入開始之動作。通過在充填的樹脂中注入壓縮氣體，形成滯留等外觀異常形成部位的熔融樹脂被推到隔著第1表面部11與射出口部342相反側(cè)的相當于第2表面部12區(qū)域的持有與射出口部342側(cè)相同或以上長度的空間，所以，形成的中空部14足夠大地遍及在相當于第1表面部11的區(qū)域下。樹脂熱收縮的應力可以通過形成中空部14釋放，能夠降低第1表面部 11的翹曲。另外，通過直至相當于第2表面部12的區(qū)域地擴大形成該中空部14，能夠更確實地降低第1表面部11的翹曲，所以優(yōu)選。至于壓縮氣體的注入開始，如果考慮到在停止樹脂充填后的樹脂冷卻進展之前， 則優(yōu)選在停止的幾乎同時或樹脂充填后1 5秒以內(nèi)?？刂剖侄?5經(jīng)由接口 38接受操作手段41的操作時，調(diào)整預定時間，使記憶手段36記憶調(diào)整后的預定時間。通過調(diào)整預定時間，能夠調(diào)節(jié)滯留痕跡HM的位置。另外，控制手段35通過操作手段41接受指示，使記憶手段36記憶被變更的基準溫度to。調(diào)整樹脂充填停止及壓縮氣體注入開始時刻時，只要變更、調(diào)整基準溫度to即可。 基準溫度tO可以通過反復f θ面鏡10基材的制造實驗、測定評價制成的f θ面鏡10，根據(jù)經(jīng)驗定出?；鶞蕼囟萾O根據(jù)f θ面鏡10的基材材料、加熱汽缸的溫度以及每單位時間樹脂的充填量相對定出。光學元件用樹脂成型品的材料接下去說明f θ面鏡10的材料等。構(gòu)成f θ面鏡10基材的樹脂材料，可以舉出例如聚碳酸酯、聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚甲基丙烯酸甲酯、環(huán)烯聚合物，或由上述二種以上組成的樹脂。其中，尤其優(yōu)選在f θ面鏡10中使用聚碳酸酯、環(huán)烯聚合物。鏡面部材料接下去說明構(gòu)成f θ面鏡10鏡面部13的材料等。作為構(gòu)成鏡面部13的材料，可以舉出例如一氧化硅、二氧化硅、氧化鋁。成膜方法可以采用真空鍍氣法、飛濺法、離子電鍍法等周知的成膜方法。制造方法接下去參照圖7說明f θ面鏡10的制造方法。圖7是f θ面鏡10的制造工序流程示意圖。向模具腔31中充填樹脂之前，充填手段32的汽缸(沒有圖示)被設定在使樹脂達到所定的熔融溫度。另外，控制手段35使電磁閥341關閉?？刂剖侄?5控制充填手段 32，使螺桿旋轉(zhuǎn)，使熔融樹脂從噴嘴3Μ射出，流過澆道323、流道322及澆口 321，充填到腔 31中(步驟S101)。使熔融樹脂進一步充填到腔31中。檢測手段33檢測到達第2表面部12的熔融樹脂的先端部。當判斷手段37判斷檢測手段33的檢測溫度tl超過基準溫度tO時(步驟 S102 ；Y)，控制手段35控制充填手段32，使停止向腔31的樹脂充填(步驟S10!3)。接下去控制手段35控制氣體注入手段34，使電磁閥341開放。由此，使氣箱(省略圖示)內(nèi)的壓縮氣體從射出口部；342向腔31內(nèi)噴出。射出口部342被配置在對著第2區(qū)域312的底面313上，并且射出口部342向著長度方向開口，這樣壓縮氣體被向著長度方向注入被充填的樹脂中(步驟S104)。由此， 能夠在樹脂中形成延伸在長度方向的中空部。因為是在熔融樹脂的先端部到達第2表面部 12時使樹脂充填停止、向樹脂中注入壓縮氣體，所以滯留痕跡形成在第2表面部12，因為不形成在第1表面部11，所以不會降低第1表面部11的表面精度。接下去通過與模具的熱傳導使熔融樹脂固化、冷卻。在固化冷卻期間保持中空部4 為所定壓力(步驟S105)。通過保持壓力，將第1表面部11推到第1區(qū)域311，這樣能夠提高第1表面部11的面轉(zhuǎn)印性。從壓縮氣體注入工序(步驟S104)到保壓工序(步驟S105) 中，第1表面部11上被形成鏡面部13。接下去除去中空部14內(nèi)的壓縮氣體，打開模具，取出f θ面鏡(樹脂成型品)10 (步驟S106)。上述步驟S102中，是控制手段35從檢測手段33接受為檢測信號的檢測溫度tl， 當判斷手段37判斷檢測溫度tl超過基準溫度時，停止樹脂的充填開始壓縮氣體的注入。由上述可知，設在第2區(qū)域312對面底面313等(包括側(cè)壁面314)上的檢測手段33的個數(shù)是一個。也可以在第2區(qū)域312對面的底面313等上設多個檢測手段33。設多個檢測手段33時，樹脂的充填停止以及壓縮氣體的注入開始如下進行?？梢允孪仍O定控制手段35在第幾個檢測手段33的檢測溫度tl超過基準溫度t0時、控制充填手段32及氣體注入手段，并使記憶手段36記憶設定的所述檢測手段33。然后，控制手段 35在所定的檢測手段33的檢測溫度tl超過基準溫度t0時，控制手段35控制充填手段32 使樹脂的充填停止，控制氣體注入手段34，控制壓縮氣體的注入開始。通過設多個檢測手段33，能夠提高使樹脂充填停止、使壓縮氣體注入開始的時期的正確性，使滯留痕跡HM確實形成在第2表面部12。上述第1實施方式中說明的是在包括第2區(qū)域312、長度方向具有與第2區(qū)域312 范圍相同范圍的腔31內(nèi)表面設檢測手段33，當檢測手段33的檢測溫度超過基準溫度時控制手段控制充填手段32及氣體注入手段34。接下去參照圖8、圖9，說明第1實施方式變形例的制造裝置。圖8是備有檢測手段33及計時器39的注射成型機的功能方框圖，圖9是檢測溫度與壓縮氣體注入開始之關系的時序圖。通過備有計時器39，能夠在第1區(qū)域311設檢測手段33。當判斷手段37判斷檢測手段33的檢測溫度tl超過基準溫度t0時，控制手段35 使計時器39測量從超過時起的經(jīng)過時間，當判斷手段37判斷經(jīng)過時間超過預定時間時，控制手段35控制充填手段32使停止樹脂的充填，控制氣體注入手段34使開始壓縮氣體的注入，從開始壓縮氣體注入起經(jīng)過所定時間后，使壓縮氣體的注入停止。圖9中分別出示檢測溫度tl超過基準溫度to時使計數(shù)經(jīng)過時間之動作、經(jīng)過時間超過預定時間時使停止樹脂充填之動作、使開始壓縮氣體注入之動作。一個或多個檢測手段被配置在除了用來形成第1表面部11的第1區(qū)域311、在長度方向具有與第1區(qū)域311范圍相同范圍的腔31內(nèi)表面。圖8中表示被配置在第1區(qū)域 311(頂面)對面底面313上的檢測手段33。所謂在長度方向具有與第1區(qū)域311范圍相同范圍的腔31內(nèi)表面，在以第1區(qū)域311為頂面時，是底面313及兩側(cè)壁面314。因為檢測手段33被配置在底面313，所以不會成為降低第1表面部11表面精度的主要原因。當推定熔融樹脂的先端部從第1區(qū)域311到達第2區(qū)域312時，控制手段35停止樹脂充填，開始壓縮氣體注入。這樣能夠使滯留痕跡HM形成在第2表面部12。有時，由于例如檢測手段33設置空間的限制，或f θ面鏡10(樹脂成型品)形狀的限制，不能在包括第2區(qū)域312、長度方向具有與第2區(qū)域312范圍相同范圍的腔31內(nèi)表面設置檢測手段33。此時，可以設在長度方向具有與第1區(qū)域311范圍相同范圍的腔31 內(nèi)表面的底面313或側(cè)壁面314。這樣可以提高檢測手段33的設置自由度。上述預定時間是例如通過實驗，分所定次數(shù)多次測量從判斷手段37判斷檢測手段33的檢測溫度tl超過基準溫度t0起到樹脂先端部到達第2區(qū)域為止的時間，從實際測量值近似計算樹脂先端部的移動(在腔31內(nèi)的擴展、向長度方向的移動)，根據(jù)計算結(jié)果求得的時間?？刂剖侄?5使記憶手段36記憶求得的預定時間。另外，受理操作手段41的操作，控制手段35調(diào)整預定時間，使記憶手段36記憶。由此能夠減少求得的預定時間與到樹脂先端部到達第2區(qū)域312的實際時間之間的誤差。也可以進一步設多個檢測手段33，根據(jù)來自于多個檢測手段33的各檢測溫度 tl，求樹脂先端部在長度方向的移動速度。此時，根據(jù)該求得的移動速度修正預定時間，使記憶手段36記憶修正后的預定時間。判斷手段37比較從判斷手段37判斷所述檢測手段 33的檢測溫度tl超過基準溫度t0起的經(jīng)過時間，與上述修正后的預定時間(樹脂先端部到達第2區(qū)域的預計時間)?？刂剖侄?5在判斷手段37判斷上述經(jīng)過時間超過上述修正后的預定時間時，控制充填手段32及氣體注入手段34。接下去參照圖10，說明變形例f θ面鏡10基材的制造方法。圖10是f θ面鏡10 的制造工序流程示意圖?？刂剖侄?5控制充填手段32，使螺桿旋轉(zhuǎn)，使熔融樹脂從噴嘴3Μ射出，流過澆道 323、流道322及澆口 321，充填到腔31中(步驟S201)。使熔融樹脂進一步充填到腔31中。檢測手段33檢測到達第1表面部11的熔融樹脂的先端部。當判斷手段37判斷檢測手段33的檢測溫度tl超過基準溫度t0時(步驟 S202 ；Y)，控制手段35使計時器39測量從判斷起的經(jīng)過時間(步驟S20!3)。當判斷手段37 判斷測量的經(jīng)過時間超過預定時間時(步驟S204 ；Y)，控制手段35控制充填手段32，使停止向腔31的樹脂充填(步驟S2(^)。接下去控制手段35控制氣體注入手段34使電磁閥 341開放。由此使氣箱(省略圖示)內(nèi)的壓縮氣體從射出口部342向腔31內(nèi)噴出。此時， 熔融樹脂的先端部達到第2表面部12。射出口部342被配置在對著第2區(qū)域312的底面313上，并且射出口部342向著長度方向開口，這樣壓縮氣體被向著長度方向注入被充填的樹脂中(步驟S206)。由此，能夠在樹脂中形成延伸在長度方向的中空部14。因為是在判斷到上述測量到的經(jīng)過時間超過預定時間時(熔融樹脂的先端部到達第2表面部12時)控制手段35使樹脂充填停止、向樹脂中注入壓縮氣體，所以滯留痕跡被形成在第2表面部12。然后通過與模具的熱傳導使熔融樹脂固化、冷卻。在固化冷卻期間保持中空部4 在所定壓力(步驟S207)。通過保持壓力，將第1表面部11推到第1區(qū)域311，這樣能夠提高第1表面部11的面轉(zhuǎn)印性。接下去除去中空部14內(nèi)的壓縮氣體，打開模具取出f θ面鏡(樹脂成型品)10 (步驟S208)。第1實施方式變形例的注射成型機中，是備有檢測手段33及計時器39，在判斷手段37判斷檢測手段33的檢測溫度tl超過基準溫度t0時，使計時器39測量從該判斷起的經(jīng)過時間，根據(jù)測量結(jié)果，控制手段35控制充填手段32及氣體注入手段34。接下去參照圖11，說明第1實施方式其他變形例的制造裝置。圖11是備有計時器 39的注射成型機的功能方框圖?？刂剖侄?5接受計時器39測量的經(jīng)過時間，控制充填手段32使停止樹脂充填，控制氣體注入手段34使開始壓縮氣體的注入。本變形例注射成型機中，是在從開始樹脂充填起的經(jīng)過時間超過預定時間時，控制手段35控制充填手段32及氣體注入手段34。由此，能夠在第2表面部12形成滯留痕跡 HM。樹脂充填的開始，可以是啟動充填手段32螺桿(圖示省略)時，也可以是控制手段35指示充填手段32充填開始時。計時器39測量經(jīng)過時間。判斷手段37判斷測量到的經(jīng)過時間是否超過預定時間。控制手段35接受經(jīng)過時間超過預定時間之判斷手段37的判斷，控制充填手段32及氣體注入手段34。因為不需要溫度傳感等檢測手段33，所以能夠降低成本。接下去參照圖12，說明其他變形例f θ面鏡10基材的制造方法。圖12是f θ面鏡10的制造工序流程示意圖?？刂剖侄?5控制充填手段32，使螺桿旋轉(zhuǎn)，使熔融樹脂從噴嘴3M射出，流過澆道 323、流道322及澆口 321，充填到腔31中(步驟S301)。計時器39測量從開始樹脂充填起的經(jīng)過時間(步驟S3(^)。進一步使熔融樹脂逐漸充填到腔31中。判斷手段37判斷測量到的經(jīng)過時間是否超過預定時間。當判斷手段 37判斷測量到的經(jīng)過時間超過預定時間時(步驟S303 ；Y)，控制手段35控制充填手段32 使停止向腔31的樹脂充填(步驟S304)。接下去控制手段35控制氣體注入手段34使電磁閥341開放。由此，使氣箱(省略圖示)內(nèi)的壓縮氣體從射出口部342向腔31內(nèi)噴出。此時，熔融樹脂的先端部到達第2表面部12。射出口部342被配置在對著第2區(qū)域312的底面313上，并且射出口部342向著長度方向開口，這樣壓縮氣體被向著長度方向注入被充填的樹脂中(步驟S305)。由此，能夠在樹脂中形成延伸在長度方向的中空部14。因為是在判斷手段37判斷到上述測量到的經(jīng)過時間超過預定時間時(熔融樹脂的先端部到達第2表面部12時)控制手段35使樹脂充填停止、向樹脂中注入壓縮氣體，所以滯留痕跡被形成在第2表面部12。然后通過與模具的熱傳導使熔融樹脂固化、冷卻。在固化冷卻期間保持中空部4 在所定壓力(步驟S306)。通過保持壓力，將第1表面部11推到第1區(qū)域311，這樣能夠提高第1表面部11的面轉(zhuǎn)印性。接下去除去中空部14內(nèi)的壓縮氣體，打開模具取出f θ面鏡(樹脂成型品)10 (步驟S307)。第2實施方式接下去參照圖13、圖14，說明本發(fā)明第2實施方式的光學元件用樹脂成型品。圖 13是光學元件用樹脂成型品的平面圖，圖14是光學元件用樹脂成型品的橫截面圖。有關上述第1實施方式的光學元件用樹脂成型品，代表性說明了 f θ面鏡10，對于第2實施方式的光學元件用樹脂成型品，代表性說明f θ透鏡20。f θ透鏡20與f θ面鏡10 —樣被設置在激光掃描光學裝置中。f θ面鏡10是具有使激光反射的鏡面部13，而f θ透鏡20具有使激光透過的光學面23，這一點不同。具有光學面23的f θ透鏡20也具有與f θ面鏡10相同的功能，對被多面鏡3以角速度一定偏向的激光進行速度變換，使在掃描面上(感光體鼓7上)線速度一定。該激光是氮化鎵類半導體激光，振蕩波長為408nm。f θ透鏡20具有第1表面部21，其上設有呈細長板狀的、在長度方向具有所定范圍Η2的、透過在所定范圍Η2內(nèi)接到的光束的光學面部23 ；第2表面部22，被配置在第1表面部21周邊；中空部Μ，被設置在內(nèi)部。第1表面部21分別被設在圖14紙面的上面?zhèn)群拖旅鎮(zhèn)?。上面?zhèn)鹊牡?表面部21是在寬度方向具有所定曲面形狀的凸面。下面?zhèn)鹊牡? 表面部21是在寬度方向具有所定曲面形狀的凹面。有關長度方向的長度，使所定范圍在光學面部23區(qū)域以下，使光學面23區(qū)域在第 1表面部21區(qū)域以下。圖13中表示長度方向長度一致的光學面部23區(qū)域和第1表面部 21區(qū)域。圖13中，Rl表示寬度方向第1表面部21的范圍，R2表示寬度方向第2表面部 22的范圍。f θ透鏡20具有細長板狀的基材和位于基材上面?zhèn)群拖旅鎮(zhèn)缺砻娴墓鈱W面部23及在長度方向沿著光學面部23位于基材內(nèi)部的中空部24，其中，中空部24在長度方向的長度，比光學面部23在長度方向的長度長，并且，將中空部24兩端形成到光學面部23長度方向兩端的外側(cè)，由此，樹脂固化時收縮引起產(chǎn)生的應力通過中空部24釋放，樹脂收縮時長度方向的翹曲在整個光學面部23得到緩和，面精度提高。 本實施方式的樹脂成型品中，在以光學面部23長度方向的長度為Li、寬度方向的長度為W1、中空部24長度方向的長度為L2、寬度方向的長度為W2、基材寬度方向的長度為 W4、對于長度方向一側(cè)從光學面部23邊端到基材邊端的距離為L5時，較優(yōu)選構(gòu)成對于長度方向一側(cè)從光學面部23邊端到中空部24邊端的距離L3為0 < L3 < L5 ；對于寬度方向一側(cè)從光學面部23邊端到中空部24邊端的距離W3滿足0 < W3 < W2/2。另外，優(yōu)選寬度方向的光學面部23的長度W1，與中空部24的長度W2之關系為 0. 01 ^ W2/W1 ^ 1。另外，f θ透鏡20具有作為其表面含有第1表面部21的第1成型部25 ；作為其表面含有第2表面部22、框狀包圍第1成型部25的第2成型部26。第2成型部26具有肋 27及邊框部28。肋27此第1成型部25厚，在垂直于長度方向的寬度方向沿著長度方向形成在第1成型部25兩側(cè)。邊框部28形成在第1成型部25兩端連著第1成型部25，厚度與第1成型部25幾乎相同。因此，被配置在第1表面部21周邊的第2表面部22包括肋 27的表面(上面及下面)；在長度方向配置在第1表面部21兩側(cè)的邊框部28的表面(上面及下面)。通過沿著第1表面部21設肋27，能夠提高f θ透鏡20整體的剛性。另外，通過沿著第1表面部21設肋27，可以不受第1成型部25形狀等的制約，決定肋27的形狀，所以能夠提高肋27形狀的自由度。由此，可以使中空部24為容易形成的形狀地用例如所定的厚度及所定寬度方向的寬度成型肋27。并且，因為在長度方向直線狀地形成肋27，中空部24 也在長度方向直線狀地形成，所以中空部24的形成容易。并且通過在肋27內(nèi)部設中空部24，能夠降低肋27的翹曲，進而言之，也能夠降低第1成型部25的翹曲，由此，能夠防止設在第1成型部25的第1表面部21的光學面部23 的表面精度降低。滯留痕跡HM被形成在為第2表面部22的肋27的表面及邊框部28的表面。第2 實施方式中因為也將滯留痕跡HM形成在第2表面部22，所以能夠防止設光學面部23的第 1表面部21的外觀異常。接下去對制造f θ透鏡20基材的注射成型機作說明。該注射成型機的基本結(jié)構(gòu)與上述fe面鏡 ο的注射成型機相同，省略說明。以下對不同的結(jié)構(gòu)作說明。檢測手段優(yōu)選一個或多個檢測手段33被配置在用來形成邊框部28的腔31內(nèi)表面。通過在該位置上配置檢測手段33，能夠直接檢測越過第1表面部21的熔融樹脂的先端，能夠使滯留痕跡HM確實地形成在第2表面部22 (邊框部28的表面)。并且，通過在上述位置上配置多個檢測手段33，能夠提高將滯留痕跡HM形成在第2表面部22的可靠性。檢測手段33 也可以配置在與用來形成邊框部28的腔31內(nèi)表面范圍具有相同范圍的腔31內(nèi)表面(用來形成肋27的腔31內(nèi)表面)。也可以將檢測手段33配置在與用來形成第1表面部21的腔31內(nèi)表面范圍具有相同范圍的腔31內(nèi)表面(用來形成肋27的腔31內(nèi)表面)。此時，當判斷手段37判斷檢測手段33的檢測溫度tl超過基準溫度tO時，控制手段35使計時器39測量從該判斷起的經(jīng)過時間，接受判斷手段37經(jīng)過時間超過預定時間之判斷，控制充填手段32及氣體注入手段 34。f θ誘鏡的材料 接下去說明f θ透鏡20的材料等。構(gòu)成f θ透鏡20基材的樹脂材料，可以舉出例如聚碳酸酯、聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚甲基丙烯酸甲酯、環(huán)烯聚合物，或由上述二種以上組成的樹脂。其中，尤其優(yōu)選在f θ面鏡10中也使用聚碳酸酯、環(huán)烯聚合物。制造方法用以上制造裝置及材料等制造f θ透鏡20基材。f θ透鏡20的制造方法與第1 實施方式的制造方法基本相同，省略說明。上述實施方式中對光學元件用樹脂成型品作了說明，但并不局限于光學元件用樹脂成型品。當然可以應用于下述樹脂成型品例如，內(nèi)部設有中空部，具有所定表面精度的表面和低于所定表面精度的表面，在低于所定表面精度的平面上形成滯留痕跡。實施例以下根據(jù)優(yōu)選實施例說明本發(fā)明。實施例中制造的樹脂成型品是f θ面鏡10的基材。比較例中同樣也是f θ面鏡10的基材。采用上述制造裝置、制造方法，腔形狀是圖3所示的類型，用下述2種類型的模具， 分別成型制造。類型1A = B = 5.0mm評價成型得到的2個f θ面鏡，2個都確認到整個第1表面部上沉陷等引起的形狀劣化得到抑制，得到了高面精度的面鏡形狀。另外，通過將該面鏡用于使用波長408nm激光的掃描光學裝置中，確認到斑點高度聚光，能夠進行高精細的圖像形成。類型2作為比較例，采用第1表面部與光學元件端部是一致的腔形狀的模具，同樣成型制造了 ·θ面鏡，但在第1表面部上確認到滯留痕跡引起的外觀異常，還確認到一部分沉陷引起的形狀劣化，明確了在上述掃描光學裝置中不能進行滿意的圖像形成。符號說明HM滯留痕跡tl 檢測溫度tO基準溫度10 f θ 面鏡11 第1表面部12 第2表面部13 鏡面部14 中空部20 f θ 透鏡
21第1表面部22第2 表面部23光學面部24中空部25第1成型部26第2成型部27肋28邊框部31腔32充填手段33檢測手段34氣體注入手段35控制手段36記憶手段37判斷手段38接口39計時器41操作手段42模具311第 1 區(qū)域312第 2 區(qū)域313底面314側(cè)壁面315鏡面形成部341電磁閥342射出口部
權(quán)利要求
1.一種光學元件用樹脂成型品，其在由樹脂成型的基材表面的一部分上具有第1表面部，且具有從外部向所述基材內(nèi)部注入流體而形成的中空部，光學元件用樹脂成型品的特征在于，當以所述基材的第1端部與離該第1端部近的第1表面部的端部之間的距離為A、不同于所述基材第1端部的端部、即隔著所述第1表面部相反側(cè)的第2端部與離該第2端部近的所述第1表面部的端部之間的距離為B時，滿足以下關系 A > 0 B > 0 A彡B。
2.如權(quán)利要求1中記載的光學元件用樹脂成型品，其特征在于，所述第1表面部全部的表面粗糙度Ra為Ra彡5 (nm)。
3.如權(quán)利要求1中記載的光學元件用樹脂成型品，其特征在于，在光學元件用樹脂成型品的第1表面部上形成了鏡面部。
4.一種掃描光學裝置，其具有光源；使從該光源射出的出射光偏向的偏向手段；使從所述光源射出的光入射、聚光于所述偏向手段的聚光手段；使經(jīng)所述偏向手段偏向的光成像于被掃描面的成像光學系統(tǒng)；掃描光學裝置的特征在于，構(gòu)成所述成像光學系統(tǒng)的光學元件的至少一個光學元件， 是在由樹脂成型的細長的基材表面的一部分上具有1表面部，且具有從外部向所述基材內(nèi)部注入流體而形成的中空部的光學元件，當以所述基材的第1端部與離該第1端部近的第 1表面部的端部之間的距離為A、不同于所述基材第1端部的端部、即隔著所述第1表面部相反側(cè)的第2端部與離該第2端部近的所述第1表面部的端部之間的距離為B時，滿足以下關系 A > 0 B > 0 A彡B。
5.如權(quán)利要求4中記載的掃描光學裝置，其特征在于，所述第1表面部全部的表面粗糙度 Ra 為Ra 彡 5 (nm)。
6.如權(quán)利要求4或5中記載的掃描光學裝置，其特征在于，在所述第1表面部上形成了使入射光反射的鏡面部。
7.如權(quán)利要求6中記載的掃描光學裝置，其特征在于，所述鏡面部的表面粗糙度Ra為 Ra ^ 5 (nm)。
8.一種光學元件用樹脂成型品的制造方法，該光學元件用樹脂成型品在由樹脂成型的基材表面的一部分上具有第1表面部，且具有從外部向所述基材內(nèi)部注入流體而形成的中空部，當以所述基材的第1端部與離該第1 端部近的第1表面部的端部之間的距離為A、不同于所述基材第1端部的端部、即隔著所述第1表面部相反側(cè)的第2端部與離該第2端部近的所述第1表面部的端部之間的距離為B 時，光學元件用樹脂成型品滿足以下關系 A > 0 B > 0A彡B，光學元件用樹脂成型品制造方法的特征在于，具有下述工序 準備工序，準備具有轉(zhuǎn)印所述第1表面部之轉(zhuǎn)印面的第1模具、及被對著該第1模具設置的通過與所述第1模具關模而形成腔的第2模具；注射工序，從所述腔端部一側(cè)向所述腔內(nèi)注射熔融樹脂； 檢測工序，檢測由所述注射工序充填的樹脂的先端在所定位置； 流體注入工序，根據(jù)所述檢測工序的檢測，控制所述充填樹脂的充填，同時，向所述腔內(nèi)注入流體在內(nèi)部形成中空部。
9.如權(quán)利要求8中記載的光學元件用樹脂成型品的制造方法，其特征在于，所述第1表面部的表面粗糙度Ra為Ra彡5 (nm)。
10.如權(quán)利要求8或9中記載的光學元件用樹脂成型品的制造方法，其特征在于，包括 在所述流體注入工序之后、在得到的樹脂成型品的第1表面部上形成鏡面部的鏡面部形成工序。
11.如權(quán)利要求8至10的任何一項中記載的光學元件用樹脂成型品的制造方法，其特征在于，所述流體注入工序是在停止樹脂充填后經(jīng)過所定時間之后開始注入流體的。
12.一種光學元件用樹脂成型品的制造裝置，該光學元件用樹脂成型品在由樹脂成型的基材表面的一部分上具有第1表面部，且具有從外部向所述基材內(nèi)部注入流體而形成的中空部，當以所述基材的第1端部與離該第 1端部近的第1表面部的端部之間的距離為A、不同于所述基材第1端部的端部、即隔著所述第1表面部相反側(cè)的第2端部與離該第2端部近的所述第1表面部的端部之間的距離為 B時，光學元件用樹脂成型品滿足以下關系 A > 0 B > 0 A彡B，光學元件用樹脂成型品制造裝置的特征在于，備有 第1模具，具有轉(zhuǎn)印所述第1表面部之轉(zhuǎn)印面；第2模具，被對著所述第1模具設置，通過與所述第1模具關模而形成腔； 充填手段，從所述腔端部一側(cè)向所述腔內(nèi)注射熔融樹脂材料； 檢測手段，檢測由所述注射手段充填到所述腔內(nèi)的樹脂在所定位置； 流體注入手段，向所述腔內(nèi)注入流體在內(nèi)部形成中空部；控制手段，根據(jù)由所述檢測手段檢測所述樹脂被充填到所定位置的檢測結(jié)果，控制所述充填手段的樹脂充填，同時控制所述流體注入手段向腔內(nèi)的流體注入。
全文摘要
為了不用切斷除去滯留等外觀異常形成部位，也能夠有效地將其形成在光學面外側(cè)，且光學面本身不易受沉陷等固化收縮的影響，提供一種能夠維持高面精度的光學元件用樹脂成型品及其制造方法、制造裝置，以及掃描光學裝置。光學元件用樹脂成型品在由樹脂成型的基材表面的一部分上具有第1表面部，且具有從外部向所述基材內(nèi)部注入流體而形成的中空部，當以所述基材的第1端部與離該第1端部近的第1表面部的端部之間的距離為A、不同于所述基材第1端部的端部、即隔著所述第1表面部相反側(cè)的第2端部與離該第2端部近的所述第1表面部的端部之間的距離為B時，滿足(A＞0、B＞0、A≤B)之關系。
文檔編號B29C45/00GK102361738SQ20108001329
公開日2012年2月22日 申請日期2010年2月10日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月27日
發(fā)明者原新一朗, 松本安弘, 真島利行 申請人:柯尼卡美能達精密光學株式會社