05上的樹脂104之間接觸而造成樹脂104的狀態(tài)以一時間間隔變化的示意性平面圖。圖17是以時間序列的方式圖解了在上述壓印處理的一系列步驟中t旲具103、晶片105和晶片105上的樹脂104呈現(xiàn)的狀態(tài)(形狀)的不意性橫截面圖。坐標軸和箭頭方向的意義與第一實施例的坐標軸和箭頭的意義相同。圖16A圖解了模具103與樹脂104接觸之前的狀態(tài)。此時，如圖17A所示，模具形狀可變機構(gòu)114使得模具103變形為大體橢圓狀，所述大體橢圓狀朝向樹脂104凸出并且其主軸沿著圖16A中的Y方向延伸。與上述實施例不同，模具103沒有因其剛度差而變?yōu)閳A柱狀。
[0103]在本實施例中的模具103的四個側(cè)部中，沿著圖16A中的Y方向設置在兩個相互平行的相對的側(cè)部處的高剛度部分501中的每一個的尺寸均為厚度1mm而寬度30mm，而沿著圖16A中的X方向設置在相互平行的兩個相對側(cè)部處的高剛度部分501中的每一個的厚度均為1mm而寬度為10mm。模具103在Y方向上的外周剛度因X方向上的高剛度部分501和Y方向上的高剛度部分501之間的寬度差而高于在X方向上的外周剛度。注意的是，不存在第五實施例中那樣的剛度差。模具卡盤102是通過吸力保持高剛度部分501的真空卡盤?；蹇ūP106是具有圖9中示出的構(gòu)造的真空卡盤。
[0104]圖16B和17B是圖解了圖案部分103a開始與樹脂104接觸的狀態(tài)的簡圖。接觸區(qū)域201變?yōu)榇篌w橢圓狀，其主軸沿著圖16B中的Y方向延伸，使得樹脂填充從圖案部分103a的中央?yún)^(qū)域朝向外周區(qū)域各向同性地進展。圖16C和17C是圖解了樹脂104被完全填充在整個圖案部分103a上的狀態(tài)的簡圖。如上述實施例，在完成填充之后由紫外光照射固化樹脂104。繼而，模具形狀可變機構(gòu)114停止由此施加在模具103上的力。在迄今為止描述的步驟中，晶片105的整個后表面被吸到晶片卡盤106上。
[0105]圖16D和17D是圖解了模具釋放步驟處于進展過程中的狀態(tài)的簡圖。如圖17D所示，模具103變形為大體橢圓狀，當從樹脂104觀察時其凸出，并且模具釋放步驟進行，同時晶片105變形為沿著圖16D中的Y方向延伸的大體圓柱狀。此時，晶片形狀可變機構(gòu)115沿著Z軸方向?qū)⒘κ┘拥骄?05。由于其剛度不同而造成的模具103的變形量差被晶片105的變形量補充，在圖案部分103a和樹脂104之間產(chǎn)生剝離界面，所述剝離界面形成在兩條直線中并且沿著Y軸相互平行(如圖16D所示)，然后剝離進展，使得剝離界面變得更靠近彼此。圖16E和圖17E是圖解了模具釋放步驟完成的狀態(tài)的簡圖。失去了用于使得模具103變形而施加的模具釋放力，使得模具103的形狀回復成其原始狀態(tài)。具有上述構(gòu)造的壓印設備也提供了與上述實施例相同的效果。
[0106]在本實施例中，因為模具103的整個外周由高剛度部分501構(gòu)成，所以模具103整體呈現(xiàn)非常高的剛度。因此，當對于整個圖案特別需要高位置精度時，本實施例尤其適于因模具卡盤102的強保持力而導致模具103中的應變而引發(fā)問題的情況。
[0107]注意的是，可以選擇晶片105替代模具103作為具有剛度差異的構(gòu)件，或者可以模具103和晶片105 二者都具有剛度差異。當剝離界面不是足夠直的線時，模具103和晶片105還可以輔助變形。作為使得剛度有所不同的方法，可以結(jié)合調(diào)節(jié)由模具卡盤102產(chǎn)生的吸力的方法使用調(diào)節(jié)模具103厚度的方法(提供模具103的厚度分布的方法)。
[0108](廣品制造方法)
[0109]用于將裝置(半導體集成電路元件、液晶顯示元件或類似物)制造為產(chǎn)品的方法可以包括以下步驟:使用上述壓印設備在基板(晶片、玻璃板、膜狀基板或類似物)上形成圖案。另外，制造方法可以包括蝕刻其上已經(jīng)形成有圖案的基板的步驟。當制造諸如帶圖案介質(zhì)(存儲介質(zhì))、光學元件或類似物的產(chǎn)品時，制造方法可以替代蝕刻步驟包括處理其上已經(jīng)形成有圖案的基板的另外的步驟。與傳統(tǒng)方法相比，本實施例的裝置制造方法的優(yōu)勢在于產(chǎn)品的性能、質(zhì)量、生產(chǎn)率和生產(chǎn)成本中的至少一項。
[0110]盡管已經(jīng)參照示例性實施例描述了本發(fā)明，但是應當理解的是本發(fā)明并不局限于公開的示例性實施例。應當給予以下權(quán)利要求的范圍以最寬泛的理解，以便涵蓋所有修改以及等效結(jié)構(gòu)和功能。
[0111]本申請要求在2014年11月11日提交的日本專利申請N0.2014-229177以及在2015年9月I日提交的日本專利申請N0.2015-172018的權(quán)益，其全部內(nèi)容在此以援引的方式并入本發(fā)明。
【主權(quán)項】
1.一種用于利用模具在施加到基板上的壓印材料上形成圖案的壓印方法，所述壓印方法包括以下步驟: 從所述壓印材料釋放所述模具，使得基于模具被從壓印材料剝離的邊界是直線的假設，兩條相對的邊界相互靠近同時在壓印材料固化之后保持直線狀態(tài)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印方法，其中，在步驟中，模具變形，使得當從所述邊界中的軸線的方向觀察時，模具沿著圓柱狀并且朝向所述基板變形為凸狀，所述圓柱狀具有平行于模具的平面延伸的軸線。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓印方法，其中，在步驟中，基板變形，使得當從基板觀察時，基板變形為從模具下凹成凹狀，以便對應于模具的凸出的變形部分。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印方法，其中，在步驟中，基板變形，使得當從所述邊界中的軸線的方向觀察時，基板沿著圓柱狀并且朝向所述模具變形為凸狀，所述圓柱狀具有平行于基板的平面延伸的軸線。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的壓印方法，其中，在步驟中，模具變形，使得當從模具觀察時，模具變形為從基板下凹成凹狀，以便對應于模具的凸出的變形部分。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印方法，其中，在步驟中，通過調(diào)節(jié)所述模具的剛度使得所述模具變形，以便從所述壓印材料釋放模具。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印方法，其中，在步驟中，通過使用流體壓力使得模具或者基板中的至少一個變形，以便將模具從壓印材料釋放。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印方法，其中，在步驟中，通過使用由接觸產(chǎn)生的外力而使得模具或者基板中的至少一個變形，以便將模具從壓印材料釋放。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印方法，在步驟中，通過使用由電場或者磁場產(chǎn)生的遠程力而使得模具或者基板中的至少一個變形，以便將模具從壓印材料釋放。10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的壓印方法，其中，通過調(diào)節(jié)用于保持模具的模具保持件的吸力來調(diào)節(jié)模具的剛度。11.根據(jù)權(quán)利要求6所述的壓印方法，其中，通過調(diào)節(jié)模具的厚度來調(diào)節(jié)模具的剛度。12.一種用于利用模具在施加到基板上的壓印材料上形成圖案的壓印設備，所述壓印設備包括: 模具保持件，所述模具保持件構(gòu)造成保持模具； 基板保持件，所述基板保持件構(gòu)造成保持基板； 模具形狀可變單元，所述模具形狀可變單元構(gòu)造成使得由模具保持件保持的模具變形； 基板形狀可變單元，所述基板形狀可變單元構(gòu)造成使得由基板保持件保持的基板變形；以及 控制器，所述控制器構(gòu)造成事先控制模具保持件、模具形狀可變單元或者基板形狀可變單元中的至少一個，使得基于模具被從壓印材料剝離的邊界是直線的假設，兩條相對的邊界相互靠近同時在模具從壓印材料釋放時保持直線狀態(tài)。13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的壓印設備，其中，所述控制器控制模具保持件或者模具形狀可變單元中的至少一個，使得在模具從壓印材料釋放時當從所述邊界中的軸線方向觀察時，模具沿著圓柱狀并且朝向所述基板變形為凸狀，所述圓柱狀具有平行于模具的平面延伸的軸線。14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的壓印設備，其中，控制器控制基板形狀可變單元，使得當從基板觀察時，基板變形為從模具下凹成凹狀，以便對應于模具的凸出的變形部分。15.根據(jù)權(quán)利要求12所述的壓印設備，其中，控制器控制模具保持件或者基板形狀可變單元中的至少一個，使得在將模具從壓印材料釋放時當從所述邊界中的軸線方向觀察時，基板沿著圓柱狀并且朝向模具變形為凸狀，所述圓柱狀具有平行于基板的平面延伸的軸線。16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的壓印設備，其中，控制器控制模具保持件或者模具形狀可變單元中的至少一個，使得當從模具觀察時，模具變形為從基板下凹成凹狀，以便對應于模具的凸出的變形部分。17.根據(jù)權(quán)利要求12所述的壓印設備，其中，控制器通過調(diào)節(jié)用于保持模具的模具保持件的吸力而使得模具變形。18.根據(jù)權(quán)利要求12所述的壓印設備，其中，模具形狀可變單元或者基板形狀可變單元是流體壓力施加單元，所述流體壓力施加單元構(gòu)造成使用流體壓力使得模具或者基板變形。19.根據(jù)權(quán)利要求12所述的壓印設備，其中，模具形狀可變單元或者基板形狀可變單元是驅(qū)動單元，所述驅(qū)動單元構(gòu)造成使用通過接觸而產(chǎn)生的外力使得模具或者基板變形。20.根據(jù)權(quán)利要求12所述的壓印設備，其中，模具形狀可變單元或者基板形狀可變單元是遠程力施加單元，所述遠程力施加單元構(gòu)造成使用由電場或者磁場產(chǎn)生的遠程力而使得模具或者基板變形。21.—種在壓印設備中使用的模具，所述壓印設備用于使用模具在施加到基板的壓印材料上形成圖案， 其中，所述模具所具有的厚度分布使得基于模具被從所述壓印材料剝離的邊界是直線的假設，兩條相對的邊界相互靠近同時在模具從壓印材料釋放時保持直線狀態(tài)。22.一種制造產(chǎn)品的方法，所述方法包括以下步驟: 使用根據(jù)權(quán)利要求1至11中的任意一項所述的壓印方法或者使用根據(jù)權(quán)利要求12至20中的任意一項所述的壓印設備或者使用根據(jù)權(quán)利要求21所述的模具在基板上形成圖案；和 處理在成形過程中已經(jīng)在其上實施了圖案成形的所述基板。
【專利摘要】提供了一種壓印方法，其通過形成在模具上的圖案部分模制施加到基板的未固化的樹脂并且固化未固化的樹脂，以便形成固化在基板上的樹脂的圖案。壓印方法包括從樹脂釋放圖案部分的步驟，使得基于圖案部分被從樹脂剝離的邊界是直線的假設，兩條相對的邊界相互靠近以使剝離進展同時在樹脂固化之后保持平行狀態(tài)。
【IPC分類】B29C33/00, B29C59/02, G03F7/00
【公開號】CN105584030
【申請?zhí)枴緾N201510760851
【發(fā)明人】關(guān)淳一, 沖仲元毅
【申請人】佳能株式會社
【公開日】2016年5月18日
【申請日】2015年11月10日
【公告號】US20160129612