專利名稱：潔凈室的空氣調(diào)節(jié)、凈化系統(tǒng)流型的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)，具體地說是一種專用于潔凈室的空氣調(diào)節(jié)與凈化系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
隨著現(xiàn)代工業(yè)及科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展，為保證產(chǎn)品的高質(zhì)量、高精度、高純度和高成品率，需有高潔凈程度的生產(chǎn)環(huán)境。例如對(duì)食品加工、醫(yī)療衛(wèi)生設(shè)施、醫(yī)藥、微電子芯片等生產(chǎn)制造工藝都要求在恒溫恒濕且潔凈的環(huán)境中進(jìn)行。這種恒溫恒濕且高潔凈度的環(huán)境稱為潔凈室或潔凈廠房。為滿足潔凈室要求所配置的空氣調(diào)節(jié)、凈化系統(tǒng)稱為潔凈室空調(diào)、凈化系統(tǒng)。所謂的恒溫恒濕就是溫度和相對(duì)濕度是在一個(gè)很小的范圍內(nèi)變化。潔凈度是潔凈空間內(nèi)單位體積的空氣中懸浮粒子量的多少的程度。通?？諝庵泻瑝m濃度高，則空氣潔凈度低，含塵濃度低，則空氣潔凈度高。潔凈度等級(jí)劃分標(biāo)準(zhǔn)是以潔凈區(qū)域內(nèi)空氣中懸浮粒子大于或等于被考慮粒徑的粒子的最大濃度限值(個(gè)/立方米)來表示的，各國都相應(yīng)制定了潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。2001年國際標(biāo)準(zhǔn)化組織發(fā)布了ISO14644-1的潔凈室潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。
近幾年來，空氣調(diào)節(jié)技術(shù)、空氣凈化技術(shù)也在不斷飛速發(fā)展，特別是大規(guī)模集成電路生產(chǎn)廠房，對(duì)潔凈室的要求不斷提高，如Φ6英寸晶圓生產(chǎn)線的潔凈室的一般溫度、濕度要求為溫度23℃±0.5℃；相對(duì)濕度45％±5％；潔 凈 度顆粒(粒徑≥0.1μm)≤100個(gè)/立方英尺；顆粒(粒徑≥0.3μm)≤100個(gè)/立方英尺；顆粒(粒徑≥0.5μm)≤10000個(gè)/立方英尺等。
隨著晶圓片加工直徑的不斷增大，對(duì)潔凈室的潔凈度等級(jí)的要求將會(huì)越來越高。潔凈室的空氣調(diào)節(jié)、凈化系統(tǒng)流型對(duì)于能否滿足潔凈度等級(jí)要求是至關(guān)重要的。隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展，潔凈室的要求不斷提高，潔凈室的空氣調(diào)節(jié)、凈化系統(tǒng)流型也在不斷改進(jìn)和創(chuàng)新。
潔凈室的空氣凈化處理就是根據(jù)其不同的潔凈度等級(jí)要求，采用不同方式送入經(jīng)過處理的數(shù)量不等的清潔空氣，同時(shí)排走相應(yīng)數(shù)量的在室內(nèi)所產(chǎn)生的污染物質(zhì)沾污的臟空氣(稱為排風(fēng))，靠這樣的動(dòng)態(tài)平衡，使室內(nèi)環(huán)境維持在所需的空氣潔凈度等級(jí)。為簡單起見，以下潔凈室的空調(diào)、凈化系統(tǒng)流型中將排風(fēng)省略不提。潔凈空氣是經(jīng)過過濾而獲得的。由特殊濾料按不同形式組成，用來過濾空氣中的懸浮粒子和微生物的過濾裝置，稱為空氣過濾器?？諝膺^濾器按其在額定風(fēng)量下對(duì)大氣塵粒徑的計(jì)數(shù)效率可分為粗效過濾器(粒徑≥5μm，效率80％-20％)；中效過濾器(粒徑≥1.0μm，效率99％-20％)；亞高效過濾器(粒徑≥0.5μm，效率99.9％-95％)；高效過濾器(粒徑≥0.1μm，效率≥99.999％)。根據(jù)不同的潔凈度等級(jí)來選用不同的空氣過濾器。
幾種傳統(tǒng)的潔凈室空調(diào)、凈化系統(tǒng)流型如圖1的A、B、C、D所示其中圖1的A表明高效過濾器箱與潔凈室2相比為正壓，高效過濾器箱與高效過濾器1和頂板的密封為機(jī)械密封。此種形式的潔凈室潔凈度等級(jí)不會(huì)太高；圖1的B表明靜壓箱層9與潔凈室2相比為正壓，高效過濾器1與龍骨框架20的密封是液槽22的形式，只有灌密封膠23才能確保潔凈度；圖1的C表明靜壓箱層9與潔凈室2相比為正壓，高效過濾器1與龍骨框架20的密封同樣是液槽22的形式，只有灌密封膠23才能確保潔凈度；圖1的D表明全部采用FFU(即風(fēng)機(jī)與高效過濾器組成一個(gè)整體單元)形式，雖然靜壓箱層9與潔凈室2相比為負(fù)壓，但由于其風(fēng)機(jī)較小，風(fēng)量、風(fēng)壓受到局限，調(diào)節(jié)余地較小，影響高效過濾器1的使用壽命。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于設(shè)計(jì)一種潔凈室的空氣調(diào)節(jié)、凈化系統(tǒng)流型，利用這種系統(tǒng)流型來調(diào)節(jié)與凈化潔凈室的空氣時(shí)，效率與潔凈度都比較高。
按照本發(fā)明所提供的設(shè)計(jì)方案，在潔凈室與其下面的下夾層間設(shè)置帶孔的活動(dòng)地板隔開，潔凈室的上面為靜壓箱層，在潔凈室與靜壓箱層間即潔凈室的頂部布置裝有高效過濾器。潔凈室的兩側(cè)為回風(fēng)夾道，新風(fēng)由新風(fēng)空調(diào)機(jī)組送入回風(fēng)夾道并與回風(fēng)混合后(稱為循環(huán)風(fēng))進(jìn)入靜壓箱層，在靜壓箱層內(nèi)的自循環(huán)風(fēng)機(jī)(專門處理循環(huán)風(fēng)的裝置)的作用下，經(jīng)過高效過濾器送入潔凈室內(nèi)，在潔凈室內(nèi)形成由上而下的垂直層流，再穿過潔凈室活動(dòng)地板上的孔進(jìn)入下夾層內(nèi)，然后再從下夾層作為回風(fēng)進(jìn)入兩側(cè)的回風(fēng)夾道內(nèi)，與送入的新風(fēng)混合再進(jìn)入靜壓箱層內(nèi)，就這樣循環(huán)往復(fù)，使進(jìn)入潔凈室的空氣一次又一次的經(jīng)過調(diào)節(jié)、凈化，確保潔凈室的空氣達(dá)到潔凈要求。如圖5所示流程及圖7流型剖面示意圖所示。其特征是在潔凈室上面的靜壓箱層內(nèi)安裝若干臺(tái)自循環(huán)風(fēng)機(jī)，每臺(tái)自循環(huán)風(fēng)機(jī)依次設(shè)有中效過濾段、表冷段、風(fēng)機(jī)段及出風(fēng)段。其中，中效過濾段用于對(duì)循環(huán)風(fēng)進(jìn)行初步凈化處理。表冷段用于調(diào)節(jié)循環(huán)風(fēng)的溫度。風(fēng)機(jī)段用于對(duì)循環(huán)風(fēng)進(jìn)行增壓。出風(fēng)段利用風(fēng)管將處理后的風(fēng)分配給多個(gè)高效送風(fēng)口，然后，經(jīng)過高效過濾器進(jìn)入潔凈室。
每個(gè)高效送風(fēng)口由高效過濾器及扣置在其上方的外殼組成。在外殼上設(shè)置接風(fēng)口，以便連接風(fēng)管。在外殼內(nèi)設(shè)置均流板，以便送風(fēng)均勻地通過高效過濾器進(jìn)入潔凈室。這種流型其靜壓箱層相對(duì)于潔凈室為負(fù)壓。
本發(fā)明與傳統(tǒng)典型的潔凈空調(diào)系統(tǒng)流型相比較，在安裝結(jié)構(gòu)方面的主要區(qū)別在于靜壓箱層的送風(fēng)方式不同。
新流型采用若干臺(tái)自循環(huán)風(fēng)機(jī)分別作為氣流循環(huán)的動(dòng)力，取代了FFU系統(tǒng)中的小風(fēng)機(jī)，自循環(huán)風(fēng)機(jī)則安裝吊掛于靜壓箱層內(nèi)。自循環(huán)風(fēng)機(jī)具有功能段依次為中效過濾段、表冷段、風(fēng)機(jī)段和出風(fēng)段。其中的風(fēng)機(jī)采用直聯(lián)式無蝸殼風(fēng)機(jī)，不易產(chǎn)塵，噪聲小。并配有變頻器，可以調(diào)節(jié)風(fēng)機(jī)的轉(zhuǎn)速，從而調(diào)節(jié)風(fēng)機(jī)的風(fēng)量、風(fēng)壓。
新風(fēng)、回風(fēng)混合后經(jīng)過自循環(huán)風(fēng)機(jī)中效過濾段凈化處理后，又經(jīng)過表冷段溫度處理(根據(jù)潔凈室內(nèi)的溫度傳感器發(fā)出信號(hào)來調(diào)節(jié)冷水閥門開度，從而調(diào)節(jié)送風(fēng)溫度)，再經(jīng)過風(fēng)機(jī)加壓后通過一段送風(fēng)風(fēng)管分別送至若干臺(tái)高效送風(fēng)口(安裝在龍骨框架上)。每個(gè)高效送風(fēng)口由高效過濾器及扣置在其上方的外殼組成。在外殼上設(shè)置接風(fēng)口，以便連接風(fēng)管。在外殼內(nèi)設(shè)置均流板，以便送風(fēng)均勻地通過高效過濾器進(jìn)入潔凈室。這樣的高效送風(fēng)口，可以滿布，也可間隔布置(根據(jù)下部潔凈室的潔凈要求而定)。每臺(tái)自循環(huán)風(fēng)機(jī)的風(fēng)量、風(fēng)壓、表冷器的大小，供幾個(gè)高效送風(fēng)口都可根據(jù)需要來設(shè)計(jì)、配置。
本發(fā)明的流型與傳統(tǒng)空調(diào)系統(tǒng)流型相比較具有如下特點(diǎn)(1)自循環(huán)風(fēng)機(jī)采用無蝸殼直聯(lián)式變頻風(fēng)機(jī)，不易產(chǎn)塵，噪聲小。通過變頻可調(diào)節(jié)風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速，從而調(diào)節(jié)風(fēng)量、風(fēng)壓，調(diào)節(jié)余量較大。確保流過高效過濾器的斷面風(fēng)速，從而確保潔凈度(FFU系統(tǒng)中由于風(fēng)機(jī)小，因此在風(fēng)量、風(fēng)壓方面有局限性)。由于自循環(huán)風(fēng)機(jī)的風(fēng)量、風(fēng)壓較大，又可調(diào)節(jié)，從而充分發(fā)揮高效過濾器的潛力，節(jié)約運(yùn)行成本；(2)可根據(jù)潔凈室不同的要求，配置自循環(huán)風(fēng)機(jī)及高效過濾器的數(shù)量，以達(dá)到不同的潔凈度等級(jí)；(3)靜壓箱層相對(duì)于潔凈室為負(fù)壓，實(shí)現(xiàn)了負(fù)壓密封，有利于潔凈室的潔凈度。同時(shí)也簡化了高效過濾器與龍骨框架的密封形式，使更換高效過濾器更加方便快捷；(4)自循環(huán)風(fēng)機(jī)吸口裝有中效過濾器，進(jìn)一步保護(hù)了高效過濾器；延長其使用壽命。
(5)自循環(huán)風(fēng)機(jī)帶有表冷器，可以根據(jù)潔凈室要求調(diào)節(jié)冷水量，從而調(diào)節(jié)送風(fēng)溫度，調(diào)節(jié)潔凈室溫度。比表冷器放在回風(fēng)區(qū)調(diào)節(jié)溫度更有針對(duì)性，效果更好。
(6)每個(gè)高效送風(fēng)口由高效過濾器及扣置在其上方的外殼組成。在外殼上不但有連接風(fēng)管的風(fēng)口，內(nèi)部還設(shè)有均流板，提高了高效過濾器送風(fēng)均勻性。


圖1中的A、B、C、D分別為4種傳統(tǒng)的潔凈室空調(diào)、凈化系統(tǒng)流型剖面示意圖。
圖2為傳統(tǒng)的高效過濾器的安裝示意圖。
圖3為傳統(tǒng)的FFU的安裝示意圖。
圖4為傳統(tǒng)典型的潔凈空氣調(diào)節(jié)、凈化流程。
圖5為本發(fā)明的潔凈空氣調(diào)節(jié)、凈化流程。
圖6為組合式新風(fēng)空調(diào)機(jī)組各功能段圖。
圖7為本發(fā)明的潔凈室空調(diào)、凈化系統(tǒng)流型剖面示意圖。
圖8為本發(fā)明的潔凈室頂部高效送風(fēng)口安裝示意圖。
具體實(shí)施例方式
1、高效過濾器，2、潔凈室，3、回風(fēng)口，4、回風(fēng)，5、新風(fēng)空調(diào)機(jī)組，6、新風(fēng)，7、循環(huán)風(fēng)機(jī)，8、進(jìn)風(fēng)，9、靜壓箱層，10、下夾層，11、自循環(huán)風(fēng)機(jī)，12、帶孔的活動(dòng)地板，14、設(shè)備區(qū)或回風(fēng)區(qū)，15、回風(fēng)夾道，16、表冷器，17、吊桿，18、壁板，19、潔凈照明燈，20、龍骨框架，22、液槽，23、密封膠，25、風(fēng)口，26、風(fēng)機(jī)，27、風(fēng)管，28、外殼，29、密封墊。
如圖7所示在潔凈室2與其下面的下夾層10間設(shè)置帶孔的活動(dòng)地板12隔開，潔凈室2的上面為靜壓箱層9，在潔凈室2與靜壓箱層9間即潔凈室2的頂部布置有高效過濾器1。潔凈室2的兩側(cè)為回風(fēng)夾道15，新風(fēng)6由新風(fēng)空調(diào)機(jī)組5送入回風(fēng)夾道15，并與回風(fēng)4混合后(稱為循環(huán)風(fēng))進(jìn)入靜壓箱層9，在靜壓箱層9內(nèi)的自循環(huán)風(fēng)機(jī)11(一種專門處理循環(huán)風(fēng)的裝置)的作用下，經(jīng)過高效過濾器1送入潔凈室2內(nèi)，在潔凈室2內(nèi)形成由上而下的垂直層流，再穿過潔凈室2下的帶孔的活動(dòng)地板12上的孔進(jìn)入下夾層11內(nèi)，然后再從下夾層11作為回風(fēng)4進(jìn)入兩側(cè)的回風(fēng)夾道15內(nèi)，與送入的新風(fēng)6混合后再進(jìn)入靜壓箱層9內(nèi)，就這樣循環(huán)往復(fù)，使進(jìn)入潔凈室2的空氣一次又一次的經(jīng)過調(diào)節(jié)、凈化，確保潔凈室2的空氣達(dá)到潔凈要求。在潔凈室2上面的靜壓箱層9內(nèi)安裝若干臺(tái)自循環(huán)風(fēng)機(jī)11，每臺(tái)自循環(huán)風(fēng)機(jī)11依次設(shè)有中效過濾段、表冷段、風(fēng)機(jī)段及出風(fēng)段。其中，中效過濾段用于對(duì)循環(huán)風(fēng)進(jìn)行初步凈化處理；表冷段用于調(diào)節(jié)循環(huán)風(fēng)的溫度；風(fēng)機(jī)段用于對(duì)循環(huán)風(fēng)進(jìn)行增壓；出風(fēng)段利用風(fēng)管27將處理后的風(fēng)分配給多個(gè)高效送風(fēng)口。
靜壓箱層9相對(duì)于潔凈室2為負(fù)壓，實(shí)現(xiàn)了負(fù)壓密封，有利于潔凈室2的潔凈度，同時(shí)也簡化了高效過濾器1與龍骨框架20的密封形式，使更換高效過濾器1時(shí)更加方便快捷。
自循環(huán)風(fēng)機(jī)11采用無蝸殼直聯(lián)式變頻風(fēng)機(jī)，不易產(chǎn)塵，噪聲小。通過變頻可調(diào)節(jié)風(fēng)機(jī)的轉(zhuǎn)速，從而調(diào)節(jié)風(fēng)量、風(fēng)速，調(diào)節(jié)范圍較大，確保流過高效過濾器1的斷面風(fēng)速，從而確保潔凈度。同時(shí)也充分發(fā)揮高效過濾器1的潛力，節(jié)約運(yùn)行成本。
在自循環(huán)風(fēng)機(jī)11的吸口設(shè)置中效過濾器，形成中效過濾段。以進(jìn)一步保護(hù)高效過濾器1，延長其使用壽命。
在自循環(huán)風(fēng)機(jī)11內(nèi)設(shè)置表冷器16，表冷器16內(nèi)通有冷水，可以根據(jù)潔凈室2內(nèi)的溫度要求調(diào)節(jié)冷水量，以調(diào)節(jié)送風(fēng)溫度。這種方式與將表冷器16放在回風(fēng)夾道15內(nèi)的方式相比，其調(diào)節(jié)溫度時(shí)更有針對(duì)性，效果更好。
每個(gè)高效送風(fēng)口由高效過濾器1及扣置在其上方的外殼28組成。在外殼28上不但設(shè)置有連接風(fēng)管的風(fēng)口25，在外殼28內(nèi)還設(shè)置均流板，以提高送風(fēng)的均勻性。
要建造一個(gè)滿足恒溫恒濕且潔凈要求的潔凈室2，要從建筑結(jié)構(gòu)、空氣調(diào)節(jié)、空氣凈化等幾方面來綜合考慮，現(xiàn)分述如下
1、潔凈室2的構(gòu)成，為了確保達(dá)到高潔凈度、恒溫恒濕的環(huán)境要求，必須建造一個(gè)密封區(qū)域，在此區(qū)域內(nèi)，門、窗都應(yīng)能關(guān)嚴(yán)密，既能做到空氣的凈化，又能合理組織氣流循環(huán)，確保溫度、濕度的調(diào)節(jié)。如圖7所示潔凈室2四周都用特制的壁板18圍成，包括門、窗都是將玻璃直接密封嵌在壁板18上的。這種壁板18是用不產(chǎn)塵的雙面彩鋼板(有的有防靜電要求)、中間夾有保溫層并且具有一定強(qiáng)度的骨架組合而成的，這樣的壁板18拼裝成潔凈室2的四壁。
在本發(fā)明中，潔凈室2的頂部安裝多個(gè)長×寬×高為1200mm×600mm×250mm的高效送風(fēng)口。每只高效送風(fēng)口由高效過濾器1及扣置在其上方的外殼28組成，在外殼28上設(shè)置風(fēng)口25。如圖8所示。根據(jù)潔凈度要求，可以滿布，也可以間隔布置。這些高效送風(fēng)口安裝在特制的鋁合金龍骨框架20上，而鋁合金龍骨框架20又吊掛固定在建筑物的梁上。靜壓箱層9相對(duì)于潔凈室2為負(fù)壓時(shí)，靜壓箱層9的空氣不會(huì)漏入潔凈室2，高效過濾器1的邊框與鋁合金龍骨框架20之間，只要有密封墊29密封即可，這種密封比較簡單，不會(huì)影響潔凈室2的潔凈度，且更換也方便。因此在潔凈室2頂部實(shí)現(xiàn)負(fù)壓密封這種流型是比較先進(jìn)的。
圖2所示為傳統(tǒng)流型中潔凈室2頂部的結(jié)構(gòu)，是靜壓箱層9相對(duì)于潔凈室2為正壓時(shí)的情形。為防止靜壓箱9的空氣不經(jīng)過高效過濾器1漏入潔凈室2，高效過濾器1與龍骨框架20之間的密封必須采用液槽22的形式。在液槽22內(nèi)灌注密封膠23，高效過濾器1的邊框插入液槽22內(nèi)，從而達(dá)到密封的效果。這種密封形式比較繁瑣，對(duì)密封膠23的要求高，配制難。在更換高效過濾器1時(shí)，還要重新灌注密封膠23。
圖3所示為另一種傳統(tǒng)的潔凈室2的頂部結(jié)構(gòu)，是靜壓箱層9相對(duì)于潔凈室2為負(fù)壓時(shí)的情形。靜壓箱層9的空氣不會(huì)漏入潔凈室2內(nèi)。這里采用的FFU與龍骨框架20之間只要有密封墊29密封即可，不會(huì)影響潔凈室2的潔凈度。這種密封比較簡單，更換也方便。但FFU系統(tǒng)的風(fēng)機(jī)在風(fēng)量、風(fēng)壓方面相對(duì)本發(fā)明中應(yīng)用的自循環(huán)風(fēng)機(jī)11來說有很大的局限性。
圖7中，潔凈室2的地面是用600mm×600mm的鋁合金壓鑄板拼裝而成的帶孔活動(dòng)地板12。表面貼有1mm厚的防靜電PVC板，為了能讓氣流順利通過，在每塊帶孔活動(dòng)地板12上開有占總面積17％-25％的圓孔。每塊帶孔活動(dòng)地板12下部安裝支架立柱固定。帶孔的活動(dòng)地板12承重可達(dá)1000kg/m2，甚至更大，支架承重2000kg/單柱。支架立柱安裝在下部的鋼筋混凝土的網(wǎng)格梁上，氣流可以從帶孔活動(dòng)地板12的圓孔中穿過，再穿過網(wǎng)格梁進(jìn)入下夾層13。
下夾層13有建筑的立柱、網(wǎng)格梁、地面、回風(fēng)夾道15兩側(cè)的墻面等。都要求防塵處理，使其不產(chǎn)塵。靜壓箱層9及回風(fēng)夾道15的頂部也要用特制的壁板作為頂板鋪滿，并密封好。使整個(gè)室內(nèi)的氣流不能外流，以減少損失。
這樣整個(gè)建筑是個(gè)密封的區(qū)域，區(qū)域內(nèi)部又能形成空氣的流通。另外潔凈室2還要考慮合理的人流、物流路線，消防、安全設(shè)施等。在這里不再累述。
2、潔凈室2氣流的循環(huán)流向。一般由上而下送入潔凈室2的空氣稱為送風(fēng)。流出潔凈室2至下夾層13、回風(fēng)夾道15、靜壓箱層9的空氣稱為回風(fēng)4。經(jīng)過新風(fēng)空調(diào)機(jī)組5處理后的空氣，稱為新風(fēng)6。
新風(fēng)6由新風(fēng)空調(diào)機(jī)組5通過風(fēng)管27進(jìn)入潔凈室2內(nèi)，在回風(fēng)夾道15或靜壓箱內(nèi)9與回風(fēng)4混合后，由自循環(huán)風(fēng)機(jī)11將其初步凈化、調(diào)節(jié)溫度、加壓后，送至潔凈室2頂部的高效送風(fēng)口，通過高效過濾器1將空氣進(jìn)一步凈化后，送入潔凈室2。潔凈室2內(nèi)的送風(fēng)是由上而下的垂直層流。潔凈室2內(nèi)放置設(shè)備，還有操作人員，當(dāng)然這些設(shè)備都是潔凈的。人員穿潔凈衣服工作。照明燈19也是潔凈燈，不產(chǎn)塵，外形不能影響垂直層流。垂直向下的送風(fēng)確保設(shè)備工作面及以上部分是潔凈的。使工藝操作及產(chǎn)品形成、產(chǎn)品流通始終在滿足潔凈要求的空氣中進(jìn)行。但經(jīng)過設(shè)備、人員后空氣會(huì)受到一定的污染。這時(shí)氣流穿過帶孔的活動(dòng)地板12、網(wǎng)格梁進(jìn)入下夾層13。下夾層13的空氣已是回風(fēng)4，其潔凈度已低了一些，但可以放置對(duì)潔凈度要求較低的設(shè)備以及敷設(shè)動(dòng)力管線等。回風(fēng)4從下夾層13兩側(cè)進(jìn)入回風(fēng)夾道15及靜壓箱層9，與新風(fēng)6混合后再由自循環(huán)風(fēng)機(jī)11將其初步凈化、調(diào)節(jié)溫度、加壓后，經(jīng)高效過濾器1凈化后又送入潔凈室2。就這樣循環(huán)往復(fù)，使進(jìn)入潔凈室2的空氣一次又一次的經(jīng)過高效過濾器1得到凈化，確保潔凈室2的空氣達(dá)到潔凈要求。如圖7所示。
整個(gè)封閉區(qū)域利用調(diào)節(jié)送入新風(fēng)6的數(shù)量相對(duì)于外界保持處于正壓，即空氣只能從封閉區(qū)域向外流，外界的臟空氣不能流入。在這封閉區(qū)域內(nèi)部，潔凈度要求高的區(qū)域相對(duì)于潔凈度要求低的區(qū)域也要保持正壓，使得潔凈度要求低的區(qū)域的空氣不能流入潔凈度要求高的區(qū)域。
3、空氣調(diào)節(jié)及凈化系統(tǒng)。從圖6中所示組合式新風(fēng)空調(diào)機(jī)組5的各功能段可以看出，室外空氣依次經(jīng)過初效過濾器、用來吸附空氣中的有機(jī)元素及異味的活性碳過濾器、中效過濾器、亞高效過濾器后，已得到了必要的凈化。再經(jīng)過自循環(huán)風(fēng)機(jī)11的中效過濾器、潔凈室頂部的高效過濾器1，將空氣進(jìn)一步凈化，使送入潔凈室2的空氣滿足其潔凈度要求。根據(jù)不同的潔凈要求，可以選擇不同規(guī)格的過濾器來滿足。
此外，新風(fēng)空調(diào)機(jī)組5的其他各功能段的作用為預(yù)熱器主要功能是對(duì)冬天零度以下的冷空氣進(jìn)行預(yù)熱處理，防止表冷段凍壞；1級(jí)、2級(jí)表冷器16的主要功能是將空氣冷卻降溫，使空氣的溫度降至露點(diǎn)以下，這時(shí)空氣中的水分凝結(jié)成水滴而排出，成為干燥的冷空氣；再熱器的主要功能是將經(jīng)過表冷器16后的干燥冷空氣再加熱到露點(diǎn)以上所需要的溫度；加濕器的主要功能是對(duì)一定溫度的干空氣用蒸汽加濕到所需的濕度。
潔凈室2內(nèi)安裝有溫度、相對(duì)濕度的傳感器，它能根據(jù)潔凈室2內(nèi)的溫度、相對(duì)濕度發(fā)出電信號(hào)，通過自動(dòng)控制系統(tǒng)，調(diào)節(jié)新風(fēng)空調(diào)機(jī)組5的表冷器、加熱器、加濕器的冷水、蒸汽閥門開度，從而調(diào)節(jié)進(jìn)入表冷器的冷水量、進(jìn)入加熱器、加濕器的蒸汽量。以此達(dá)到預(yù)先設(shè)定的滿足潔凈室2要求的溫度和相對(duì)濕度。
潔凈室2的相對(duì)濕度是靠新風(fēng)空調(diào)機(jī)組5來調(diào)節(jié)控制的。由于潔凈室2、下夾層13放置的設(shè)備、工作人員都會(huì)發(fā)出較多的熱量。潔凈室2的溫度僅有新風(fēng)空調(diào)機(jī)組5的調(diào)節(jié)還不夠，在自循環(huán)風(fēng)機(jī)11內(nèi)設(shè)置表冷器16，仍由對(duì)應(yīng)的潔凈室2內(nèi)的溫度傳感器發(fā)出的電信號(hào)來調(diào)節(jié)其冷水閥門的開度，從而調(diào)節(jié)送入潔凈室2的送風(fēng)溫度，確保潔凈室2的溫度控制在要求的范圍內(nèi)。
以上就是潔凈室2的空氣凈化與調(diào)節(jié)的整個(gè)過程。
權(quán)利要求
1.潔凈室的空氣調(diào)節(jié)、凈化系統(tǒng)流型，在潔凈室與其下面的下夾層間利用帶孔的活動(dòng)地板隔開，潔凈室的上面為靜壓箱層，在潔凈室與靜壓箱層間布置高效過濾器，潔凈室的兩側(cè)為回風(fēng)夾道，新風(fēng)由新風(fēng)空調(diào)機(jī)組送入回風(fēng)夾道與回風(fēng)混合后進(jìn)入靜壓箱層，在靜壓箱層內(nèi)的自循環(huán)風(fēng)機(jī)的作用下，經(jīng)過高效過濾器進(jìn)入潔凈室內(nèi)，在潔凈室內(nèi)形成由上而下的垂直層流，再穿過活動(dòng)地板上的孔進(jìn)入下夾層內(nèi)，然后再從下夾層作為回風(fēng)進(jìn)入兩側(cè)的回風(fēng)夾道內(nèi)，與新進(jìn)入的新風(fēng)混合后再進(jìn)入靜壓箱層內(nèi)，循環(huán)往復(fù)，其特征是在潔凈室上面的靜壓箱層內(nèi)安裝若干臺(tái)自循環(huán)風(fēng)機(jī)，每臺(tái)自循環(huán)風(fēng)機(jī)依次設(shè)有中效過濾段、表冷段、風(fēng)機(jī)段及出風(fēng)段，其中，中效過濾段用于對(duì)循環(huán)風(fēng)進(jìn)行初步凈化處理，表冷段用于調(diào)節(jié)循環(huán)風(fēng)的溫度，風(fēng)機(jī)段用于對(duì)循環(huán)風(fēng)進(jìn)行增壓，出風(fēng)段利用管道將處理后的風(fēng)分配給多個(gè)高效送風(fēng)口，然后，經(jīng)過高效過濾器進(jìn)入潔凈室。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述潔凈室的空氣調(diào)節(jié)、凈化系統(tǒng)流型，其特征是靜壓箱層相對(duì)于潔凈室為負(fù)壓。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述潔凈室的空氣調(diào)節(jié)、凈化系統(tǒng)流型，其特征是自循環(huán)風(fēng)機(jī)為無蝸殼直聯(lián)式變頻風(fēng)機(jī)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述潔凈室的空氣調(diào)節(jié)、凈化系統(tǒng)流型，其特征是在自循環(huán)風(fēng)機(jī)的吸口設(shè)置中效過濾器，形成中效過濾段。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述潔凈室的空氣調(diào)節(jié)、凈化系統(tǒng)流型，其特征是在自循環(huán)風(fēng)機(jī)內(nèi)設(shè)置表冷器，在表冷器內(nèi)通有冷水。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述潔凈室的空氣調(diào)節(jié)、凈化系統(tǒng)流型，其特征是每個(gè)高效送風(fēng)口由高效過濾器及扣置在其上方的外殼組成，在外殼上設(shè)置連接風(fēng)管的風(fēng)口，在外殼內(nèi)設(shè)置均流板。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述潔凈室的空氣調(diào)節(jié)、凈化系統(tǒng)流型，其特征是潔凈室的四壁用壁板圍成，潔凈室的門、窗由玻璃直接密封嵌在壁板上形成；壁板由雙面彩鋼板、位于雙面彩鋼板中間的保溫層及骨架組合而成。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述潔凈室的空氣調(diào)節(jié)、凈化系統(tǒng)流型，其特征是潔凈室內(nèi)安裝有溫度與相對(duì)濕度的傳感器。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述潔凈室的空氣調(diào)節(jié)、凈化系統(tǒng)流型，其特征在于，新風(fēng)空調(diào)機(jī)組依次具有如下功能段過濾器、預(yù)熱器、1級(jí)與2級(jí)表冷器、再熱器、加濕器；各功能段的作用為過濾器包括初效過濾器、活性碳過濾器、中效過濾器、亞高效過濾器，用于對(duì)進(jìn)入新風(fēng)空調(diào)機(jī)組的空氣進(jìn)行過濾；預(yù)熱器用于對(duì)冬天零度以下的冷空氣進(jìn)行預(yù)熱處理，防止表冷段凍壞；1級(jí)與2級(jí)表冷器用于將空氣冷卻降溫，使空氣的溫度降至露點(diǎn)以下，這時(shí)空氣中的水分凝結(jié)成水滴而排出，成為干燥的冷空氣；再熱器用于將表冷器后的干燥冷空氣再加熱到露點(diǎn)以上所需要的溫度；加濕器用于對(duì)一定溫度的干空氣用蒸汽加濕到所需的濕度。
全文摘要
潔凈室的空氣調(diào)節(jié)、凈化系統(tǒng)流型，涉及空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)，具體地說是一種專用于潔凈室的空氣調(diào)節(jié)與凈化系統(tǒng)。按照本發(fā)明所提供的設(shè)計(jì)方案，在潔凈室與其下面的下夾層間設(shè)置帶孔的活動(dòng)地板隔開，潔凈室的上面為靜壓箱層，在潔凈室與靜壓箱層間即潔凈室的頂部布置裝有高效過濾器。潔凈室的兩側(cè)為回風(fēng)夾道，其特征是在潔凈室上面的靜壓箱層內(nèi)安裝若干臺(tái)自循環(huán)風(fēng)機(jī)，每臺(tái)自循環(huán)風(fēng)機(jī)依次設(shè)有中效過濾段、表冷段、風(fēng)機(jī)段及出風(fēng)段。出風(fēng)段利用風(fēng)管將處理后的風(fēng)分配給多個(gè)高效送風(fēng)口，然后，經(jīng)過高效過濾器進(jìn)入潔凈室。每個(gè)高效送風(fēng)口由高效過濾器及扣置在其上方的外殼組成。在外殼上設(shè)置接風(fēng)口，以便連接風(fēng)管。在外殼內(nèi)設(shè)置均流板，以便送風(fēng)均勻地通過高效過濾器進(jìn)入潔凈室。
文檔編號(hào)F24F3/16GK1731032SQ200510094009
公開日2006年2月8日 申請(qǐng)日期2005年8月22日 優(yōu)先權(quán)日2005年8月22日
發(fā)明者李曙光, 鄒宗騏, 顧振建, 周偉民 申請(qǐng)人:無錫華潤微電子有限公司