專利名稱：一種氮氣甩干機的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及硅片甩干機設(shè)備領(lǐng)域，具體來說是一種氮氣甩干機。
背景技術(shù)：
目前，市場上硅片甩干機多數(shù)使用的是空壓氣進行甩干，硅片在機器內(nèi)甩干時分兩步，第一步為低速噴水清洗，第二部為高速噴出空壓氣進行甩干。然而空壓氣內(nèi)水分過多，且機器運轉(zhuǎn)時有噴水的環(huán)節(jié)，造成加溫速度過慢，硅片甩干周期過長，效率低，氣體消耗量大等一系列問題。再者，在進行甩干的時候，一方面有低速噴水清洗的過程，另一方面空壓氣內(nèi)含有水分，兩者的水分都容易殘留在硅片表面形成水印片，這種水印片需要二次返工，增大生產(chǎn) 的成本，達不到實用的效果。因此，特別需要一種氮氣甩干機，以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中空壓氣內(nèi)水分過多所導致加溫速度慢，硅片甩干周期過長，效率低下，氣體消耗量大，以及會形成水印片的問題，提供一種氮氣甩干機來解決上述問題。為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型的技術(shù)方案如下—種氮氣甩干機，包括腔體、設(shè)置在腔體內(nèi)的旋轉(zhuǎn)體和硅片花籃承載器，所述硅片花籃承載器設(shè)置在旋轉(zhuǎn)體內(nèi)部的底部，所述腔體上設(shè)置有蓋板，其特在在于，還包括氮氣噴頭，所述氮氣噴頭包含噴灑端和氮氣輸入端，所述氮氣噴頭的噴灑端通過蓋板上的開口設(shè)置在腔體內(nèi)。在本實用新型中，還包括氮氣加熱桶，所述氮氣加熱桶上設(shè)置有用于輸入氮氣的進氣口和輸出氮氣的出氣口，所述氮氣的出氣口通過管道連通氮氣噴頭的氮氣輸入端。在本實用新型中，所述氮氣噴頭與氮氣加熱桶相連通的管道上設(shè)置有用于過濾氣體的過濾閥。在本實用新型中，所述蓋板設(shè)置在腔體的上部。在本實用新型中，所述腔體底部的四個角分別設(shè)置有支撐柱。本實用新型的一種氮氣甩干機，與現(xiàn)有技術(shù)相比，通過油加熱桶首先對氮氣進行加熱，再通過氮氣噴頭均勻噴灑在工作腔內(nèi)，使硅片在甩干的時候，達到加溫速度快，縮短硅片的旋轉(zhuǎn)周期，減少氣體消耗量的效果，同時還避免了原有空壓氣內(nèi)水分殘留在硅片表面會形成水印片的問題，結(jié)構(gòu)簡單，十分實用，實現(xiàn)本實用新型的目的。

圖I為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實用新型旋轉(zhuǎn)體位置結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
為使對本實用新型的結(jié)構(gòu)特征及所達成的功效有更進一步的了解與認識，用以較佳的實施例及附圖配合詳細的說明，說明如下參見圖I，一種氮氣甩干機，包括腔體100、設(shè)置在腔體100內(nèi)起甩干作用的旋轉(zhuǎn)體200和起支撐作用的硅片花籃承載器300，硅片花籃承載器300設(shè)置在旋轉(zhuǎn)體200內(nèi)部的底部，腔體100上設(shè)置有蓋板400，氮氣甩干機，還包括氮氣噴頭500，氮氣噴頭500包含噴灑端和氮氣輸入端，氮氣噴頭500的噴灑端通過蓋板400上的開口設(shè)置在腔體100內(nèi)。氮氣甩干機，還包括氮氣加熱桶700，氮氣加熱桶700上設(shè)置有用于輸入氮氣的進氣口和輸出氮氣的出氣口，氮氣的出氣口通過管道600連通氮氣噴頭的氮氣輸入端。在本實用新型中，所述氮氣噴頭與氮氣加熱桶相連通的管道上設(shè)置有用于500過濾氣體的過濾閥900。 蓋板400設(shè)置在腔體100的上部，方便了工作時候的使用。腔體100底部的四個角分別設(shè)置有支撐柱800，工作時候達到牢固支撐的效果。在使用的時候，將硅片放入硅片花籃承載器300上，氮氣輸入到氮氣加熱桶700中，氮氣加熱桶700上的油加熱器通過導熱油對氮氣進行加熱，氮氣再通過管道600輸送到氮氣噴頭500處，氮氣噴頭500進行均勻噴灑氮氣，過濾閥900對管道600起到了保護的作用，旋轉(zhuǎn)體200通電開始旋轉(zhuǎn)，帶動硅片花籃承載器300上的硅片旋轉(zhuǎn)，從而達到硅片甩干的目的。本實用新型的一種氮氣甩干機，與現(xiàn)有技術(shù)相比，通過油加熱桶700首先對氮氣進行加熱，再通過氮氣噴頭500均勻噴灑在工作腔內(nèi)，使硅片在甩干的時候，達到加溫速度快，縮短硅片的旋轉(zhuǎn)周期，減少氣體消耗量的效果，同時還避免了原有空壓氣內(nèi)水分殘留在硅片表面會形成水印片的問題，結(jié)構(gòu)簡單，十分實用，實現(xiàn)本實用新型的目的。以上顯示和描述了本實用新型的基本原理、主要特征和本實用新型的優(yōu)點。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型的范圍內(nèi)。本實用新型要求的保護范圍由所附的權(quán)利要求書及其等同物界定。
權(quán)利要求1.一種氮氣甩干機，包括腔體、設(shè)置在腔體內(nèi)的旋轉(zhuǎn)體和硅片花籃承載器，所述硅片花籃承載器設(shè)置在旋轉(zhuǎn)體內(nèi)部的底部，所述腔體上設(shè)置有蓋板，其特在在于，還包括氮氣噴頭，所述氮氣噴頭包含噴灑端和氮氣輸入端，所述氮氣噴頭的噴灑端通過蓋板上的開口設(shè)置在腔體內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種氮氣甩干機，其特征在于，還包括氮氣加熱桶，所述氮氣加熱桶上設(shè)置有用于輸入氮氣的進氣口和輸出氮氣的出氣口，所述氮氣的出氣口通過管道連通氮氣噴頭的氮氣輸入端。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種氮氣甩干機，其特征在于所述氮氣噴頭與氮氣加熱桶相連通的管道上設(shè)置有用于過濾氣體的過濾閥。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種氮氣甩干機，其特征在于所述蓋板設(shè)置在腔體的上部。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種氮氣甩干機，其特征在于所述腔體底部的四個角分別設(shè)置有支撐柱。
專利摘要一種氮氣甩干機，包括腔體、設(shè)置在腔體內(nèi)的旋轉(zhuǎn)體和硅片花籃承載器，硅片花籃承載器設(shè)置在旋轉(zhuǎn)體內(nèi)部的底部，腔體上設(shè)置有蓋板，氮氣甩干機，還包括氮氣噴頭，氮氣噴頭包含噴灑端和氮氣輸入端，氮氣噴頭的噴灑端通過蓋板上的開口設(shè)置在腔體內(nèi)。本實用新型通過油加熱桶首先對氮氣進行加熱，再通過氮氣噴頭均勻噴灑在工作腔內(nèi)，使硅片在甩干的時候，達到加溫速度快，縮短硅片的旋轉(zhuǎn)周期，減少氣體消耗量的效果，同時還避免了原有空壓氣內(nèi)水分殘留在硅片表面會形成水印片的問題，結(jié)構(gòu)簡單，十分實用。
文檔編號F26B5/08GK202549809SQ20122013430
公開日2012年11月21日 申請日期2012年3月31日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月31日
發(fā)明者唐旭輝, 王蔥蔥 申請人:江蘇聚能硅業(yè)有限公司