徑小的外徑，被從高壓容器2的內(nèi)周面向徑向的內(nèi)側(cè)隔開距離地配備。S卩，在外殼4的外周面和高壓容器2的內(nèi)周面之間形成間隙，該間隙構(gòu)成容許傳壓介質(zhì)氣體沿上下方向流通的外側(cè)流路12。
[0024]前述外殼主體13具有下側(cè)的開口，前述外殼底體14堵塞該外殼主體13的下側(cè)開口。在外殼主體13的前述上蓋部的中央形成有上開口部15，該上開口部15容許外殼4的內(nèi)側(cè)的傳壓介質(zhì)氣體穿過該上開口部15被從下向上引導(dǎo)來被引導(dǎo)至外殼4的外側(cè)。前述第I閥17將前述上開口部15開閉，由此，進(jìn)行容許傳壓介質(zhì)氣體從前述外殼4的內(nèi)側(cè)向外側(cè)的外側(cè)流路12流通的狀態(tài)和被截?cái)嗟臓顟B(tài)的切換。
[0025]此外，在外殼底體14上，形成有下開口部16和第2流通路24。下開口部16與上開口部15同樣地，形成于外殼底體14的中央部位，接收經(jīng)由前述外側(cè)流路12流入至外殼底體14的下側(cè)的傳壓介質(zhì)氣體。被該下開口部16接收的傳壓介質(zhì)氣體中，一部分傳壓介質(zhì)氣體穿過前述第2流通路24流至內(nèi)側(cè)流路22，剩余的傳壓介質(zhì)氣體穿過導(dǎo)管28被引導(dǎo)至熱區(qū)內(nèi)。此外，在下開口部16處，設(shè)置有促進(jìn)穿過該下開口部16被導(dǎo)入至外殼底體14內(nèi)的傳壓介質(zhì)氣體的循環(huán)的強(qiáng)制循環(huán)裝置25。
[0026]前述第2流通路24以將前述外殼底體14的上側(cè)和下側(cè)連結(jié)的方式形成于該殼底體14的內(nèi)部。第2流通路24容許被從設(shè)置于外殼底體14的下表面的入口、即前述下開口部16收進(jìn)的傳壓介質(zhì)氣體穿過設(shè)置于外殼底體14的上表面的出口返回至內(nèi)側(cè)流路22。
[0027]第I閥17是被設(shè)置于前述傳壓介質(zhì)氣體的路徑中用于進(jìn)行該路徑的開閉的機(jī)構(gòu)。該第1閥17具備栓部件18和移動(dòng)機(jī)構(gòu)19，所述栓部件18具有能夠?qū)⑶笆鐾鈿?的上開口部15堵塞的形狀，前述移動(dòng)機(jī)構(gòu)19使該栓部件18在上下方向上移動(dòng)。移動(dòng)機(jī)構(gòu)19被設(shè)置于前述高壓容器2的外側(cè)，使前述栓部件18上下移動(dòng)。借助該移動(dòng)，該栓部件18將前述上開口部15開閉，能夠任意地切換經(jīng)由該上開口部15的傳壓介質(zhì)氣體的流通和截?cái)唷?br>[0028]前述內(nèi)殼3是被配備于前述外殼4的內(nèi)側(cè)的箱體，與外殼4的外殼主體13相同地一體地具有周壁部和上蓋部。周壁部構(gòu)成為沿上下方向的大致圓筒狀，上蓋部堵塞周壁部的上端開口。內(nèi)殼3的周壁部具有比外殼4的外殼主體13的周壁部的內(nèi)徑小的外徑，從外殼主體13的內(nèi)周面向徑向內(nèi)側(cè)隔開距離地設(shè)置。即，內(nèi)殼3配置成，在其外側(cè)面和前述外殼4的外殼主體13的內(nèi)側(cè)面之間在徑向及上下方向二者上形成間隙。前述絕熱部件被設(shè)置于前述外殼4和前述內(nèi)殼3的前述間隙。該絕熱部件由具有氣體流通性的絕熱件料、例如加入碳素纖維的石墨質(zhì)材料和陶瓷纖維等多孔質(zhì)材料形成。
[0029]內(nèi)殼3附設(shè)有與外殼4相同的耐熱材料，向下方開口，被設(shè)置于比上述外殼底體14的上表面稍靠上方的位置。因此，在該內(nèi)殼3的下端和前述外殼底體14的上表面之間確保上下方向的間隙。該間隙構(gòu)成流通路23，所述流通路23容許位于內(nèi)殼3的內(nèi)側(cè)的傳壓介質(zhì)氣體流通至該內(nèi)殼3的外側(cè)的內(nèi)側(cè)流路22。
[0030]前述加熱部7及前述整流筒8被設(shè)置于前述內(nèi)殼3的內(nèi)部，加熱部7位于整流筒8的徑向外側(cè)。前述熱區(qū)形成于前述整流筒8的內(nèi)側(cè)。
[0031 ] 接著，對(duì)內(nèi)殼3的內(nèi)部的構(gòu)造進(jìn)行說明。
[0032]前述加熱部7具有多個(gè)(在圖1所示的例中為2個(gè))加熱器元件，這些加熱器元件配置成在上下方向上排列。加熱部7配備成從內(nèi)殼3的內(nèi)周面向徑向內(nèi)側(cè)隔開距離，前述整流筒8配備成從該加熱部7向徑向內(nèi)側(cè)進(jìn)一步隔開距離。
[0033]在前述加熱部7的內(nèi)側(cè)和外側(cè)，分別形成有外側(cè)氣體流通路20及內(nèi)側(cè)氣體流通路21，所述外側(cè)氣體流通路20及內(nèi)側(cè)氣體流通路21容許傳壓介質(zhì)氣體在上下方向上流通。詳細(xì)地說，前述外側(cè)氣體流通路20是在前述內(nèi)殼3的周壁部的內(nèi)周面和前述加熱部7之間形成的流路，沿該內(nèi)殼3的內(nèi)周面在上下方向上延伸。前述內(nèi)側(cè)氣體流通路21是在前述內(nèi)殼3的周壁部的內(nèi)周面和前述整流筒8之間形成的流路，沿整流筒8的內(nèi)周面在上下方向上延伸，在前述內(nèi)側(cè)氣體流通路21上，在該外側(cè)氣體流通路20流通的傳壓介質(zhì)氣體大部分流入至在之后詳細(xì)說明的冷卻促進(jìn)流路44。在該內(nèi)側(cè)氣體流通路21流通的傳壓介質(zhì)氣體的大部分分別流入至冷卻促進(jìn)流路44和形成于整流筒8的多個(gè)氣體導(dǎo)入孔26。
[0034]整流筒8由不透氣的板材構(gòu)成。整流筒8構(gòu)成為圓筒狀，朝向上方和下方二者開口。整流筒8的上端位于前述內(nèi)殼3的上蓋部的下表面的稍下方。這樣，在整流筒8的上端和內(nèi)殼3的上蓋部的下表面之間形成有上下方向的間隙，該間隙能夠使得位于整流筒8的內(nèi)側(cè)(熱區(qū)內(nèi))的傳壓介質(zhì)氣體穿過該間隙被引導(dǎo)至被設(shè)置于整流筒8的外側(cè)的氣體流通路(內(nèi)側(cè)氣體流通路21或外側(cè)氣體流通路20的某一個(gè))。
[0035]前述成品臺(tái)6被設(shè)于前述整流筒8的下側(cè)。該成品臺(tái)6由容許傳壓介質(zhì)氣體的流通的部件、例如多孔板構(gòu)成，前述傳壓介質(zhì)氣體能夠透過該成品臺(tái)6從下側(cè)向上側(cè)被引導(dǎo)。前述被處理物W被載置于前述成品臺(tái)6上。該載置為，使間隔件介于該成品臺(tái)6和該被處理物W之間，由此呈該被處理物W不直接接觸于該成品臺(tái)6的上表面的狀態(tài)(被架高狀態(tài))。
[0036]前述各氣體導(dǎo)入孔26形成在前述整流筒8中的位于比前述成品臺(tái)6靠下側(cè)的位置的部位。這些氣體導(dǎo)入孔26將整流筒8的側(cè)壁內(nèi)外貫通，由此能夠使得在內(nèi)側(cè)氣體流通路21中流動(dòng)的傳壓介質(zhì)氣體穿過該氣體導(dǎo)入孔26被導(dǎo)入至整流筒8的內(nèi)側(cè)。這樣，穿過前述氣體導(dǎo)入孔26被導(dǎo)入至整流筒8的內(nèi)部的傳壓介質(zhì)氣體透過上述成品臺(tái)6，流入至成品臺(tái)6的上方，被供給于在形成在成品臺(tái)6的上方的熱區(qū)上進(jìn)行的HIP處理。
[0037]在涉及該實(shí)施方式的HIP裝置1中，作為將熱區(qū)內(nèi)冷卻的方式，進(jìn)行如下所示的第1冷卻和第2冷卻。
[0038]前述傳壓介質(zhì)氣體以形成第1循環(huán)流41的方式在高壓容器2內(nèi)循環(huán)，由此來進(jìn)行前述第1冷卻。形成該第1循環(huán)流41的傳壓介質(zhì)氣體以下述方式循環(huán):在內(nèi)側(cè)流路22中從下向上流動(dòng)，穿過外殼4的上開口部15被引導(dǎo)至外側(cè)流路12，沿外側(cè)流路12從上向下被引導(dǎo)并且與高壓容器2的容器壁接觸，由此被冷卻，穿過外殼4的第2流通路24回到內(nèi)側(cè)流路22，所述內(nèi)側(cè)流路22形成于上述外殼4和內(nèi)殼3之間。
[0039]傳壓介質(zhì)氣體以形成第2循環(huán)流42的方式循環(huán)，由此來進(jìn)行前述第2冷卻。在該第2循環(huán)流42中以下述方式循環(huán):熱區(qū)內(nèi)的傳壓介質(zhì)氣體的一部分被引導(dǎo)至熱區(qū)的外側(cè)，與在前述第1冷卻部中以形成前述第1循環(huán)流41的方式被強(qiáng)制循環(huán)的傳壓介質(zhì)氣體在內(nèi)側(cè)流路22的下端合流，由此被冷卻，這樣地被冷卻的傳壓介質(zhì)氣體的一部分回到熱區(qū)。由上述第1冷卻部冷卻的傳壓介質(zhì)氣體的一部分在外殼4的外側(cè)被冷卻后，從熱區(qū)的上部借助氣體導(dǎo)入機(jī)構(gòu)27被導(dǎo)入至熱區(qū)內(nèi)。
[0040]該HIP裝置1進(jìn)而具備作為節(jié)流部的多個(gè)第2閥34。這些第2閥34借助驅(qū)動(dòng)器33被驅(qū)動(dòng)，由此使上述外殼14的下開口部16和第2流通路24之間的流路的面積變化，由此能夠調(diào)整在第2流通路24中流通的傳壓介質(zhì)氣體的流量(在第1循環(huán)流41中流動(dòng)的傳壓介質(zhì)氣體的流量)和穿過氣體導(dǎo)入機(jī)構(gòu)27在熱區(qū)內(nèi)流通的傳壓介質(zhì)氣體的流量(在第2循環(huán)流42中流動(dòng)的傳壓介質(zhì)氣體的流量)的比率。具體地，在底殼底體14的內(nèi)部上，形成有位于前述下開口部16的上側(cè)的空間即送風(fēng)機(jī)容納部32、和能夠?qū)⒃撍惋L(fēng)機(jī)容納部32與底殼底體14的上側(cè)的空間連通來使得該送風(fēng)機(jī)容納部32內(nèi)的傳壓介質(zhì)氣體被送入至氣體導(dǎo)入機(jī)構(gòu)27的多個(gè)連通孔，上述第2閥34能夠通過將前述連通孔關(guān)閉或敞開來調(diào)整從送風(fēng)機(jī)容納部32流入至氣體導(dǎo)入機(jī)構(gòu)27側(cè)的傳壓介質(zhì)氣體的流量。該第2閥34能夠任意改變?cè)诘?循環(huán)流41中流動(dòng)的傳壓介質(zhì)氣體的流量和在第2循環(huán)流42中流動(dòng)的傳壓介質(zhì)氣體的流量的比例(流量比)，由此，能夠更精密地控制HIP裝置11的冷卻速度。
[0041]前述氣體導(dǎo)入機(jī)構(gòu)27具有前述導(dǎo)管28和前述強(qiáng)制循環(huán)裝置25。導(dǎo)管28從前述熱區(qū)的下方延伸至該熱區(qū)的上部，并且在該熱區(qū)的上部被敞開。前述強(qiáng)制循環(huán)裝置25將在前述殼的外側(cè)被冷卻的傳壓介質(zhì)氣體沿導(dǎo)管28引導(dǎo)至熱區(qū)的上部。<