專利名稱：一種提高制冷系統(tǒng)可靠性及效率的溫控裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種應(yīng)用于半導(dǎo)體制造業(yè)中光刻機的溫控系統(tǒng)，尤其涉及一種 能提高光刻機制冷系統(tǒng)可靠性及效率的溫控裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造生產(chǎn)線中，光刻機具有長時間處于工作或者處于待機狀態(tài)的 特點，這需要其內(nèi)部環(huán)境處于恒溫狀態(tài)，因此對于保證其內(nèi)部環(huán)境溫度的溫度控制系統(tǒng)(TCU)有嚴格的穩(wěn)定性與可靠性要求。 一般TCU主要是由加熱系統(tǒng) 與制冷系統(tǒng)構(gòu)成。其中，加熱系統(tǒng)是通過通電電阻加熱來實現(xiàn)的，其工作原理 簡單，加熱功率穩(wěn)定，可靠性高。因此，制冷系統(tǒng)則成了 TCU可靠性的關(guān)鍵。目前德國有使用的一種TCU，其采用壓縮機制冷方式。主要由壓縮機、冷 凝器、蒸發(fā)器、節(jié)流電磁閥組成，其中，壓縮機壓縮氣態(tài)冷凝劑，將其轉(zhuǎn)變成 液體狀態(tài)，并送入蒸發(fā)器與溫控對象進行熱交換氣化帶出熱量，從而實現(xiàn)制冷 功能，同時通過控制節(jié)流電磁閥的開關(guān)頻率來控制制冷量的大小。上述制冷系統(tǒng)的制冷方式控制方法簡單，技術(shù)成熟，但長時間運行后會有 制冷劑會產(chǎn)生泄漏的情況發(fā)生，從而影響制冷功率，并進一步影響溫度控制性 能。另外，由于長期的機械傳動與運動中產(chǎn)生的磨損會降低制冷系統(tǒng)的壽命。另外，目前在韓國也有使用的一種TCU,其為了提高制冷系統(tǒng)的可靠性， 釆用半導(dǎo)體制冷的方式。該TCU具有不需要制冷劑、無泄漏、沒有機械傳動、 無磨損、可靠性高等特點。這個TCU對于幾十瓦小功率的半導(dǎo)體制冷系統(tǒng)有很 好的使用效果和很廣泛的應(yīng)用范圍。但是，光刻機中需要幾千瓦的制冷效率， 由于大功率的半導(dǎo)體制冷技術(shù)尚不成熟，因此，光刻機中的制冷系統(tǒng)使用了兩 套半導(dǎo)體制冷機組。工作時一臺半導(dǎo)體制冷器制冷工作，另一臺不工作，僅作 為備用部件使用。當半導(dǎo)體制冷器發(fā)生故障時，自動切換到備用半導(dǎo)體制器制 冷。這種制冷方式解決了上述所說的壓縮機制冷的缺點，備用系統(tǒng)也提高了制冷系統(tǒng)的可靠性。然而，該TCU正常工作時，僅靠一臺半導(dǎo)體制冷器來承擔全部的制冷功率， 而備用半導(dǎo)體制冷器則長期處于閑置不工作狀態(tài)。因為制冷片工作電流較大， 則長期處于工作狀態(tài)的半導(dǎo)體制冷器的制冷片也長期處于高電流狀態(tài)，由此制 冷片容易燒壞，影響制冷器的壽命。而備用的半導(dǎo)體制冷器由于長期不使用， 其制冷性能會受到影響，制冷功率也會發(fā)生偏差，如果自動切換使用將涉及電 磁閥的切換，從而影響到電磁閥可靠性，進一步降低整個TCU的整體可靠性。 另外，半導(dǎo)體制冷器的制冷片在大功率容量情況下，其耗能大、效率低，因此 該制冷系統(tǒng)的制冷效率也較低。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的主要目的在于提供一種提高制冷系統(tǒng)可靠性及效率的溫控裝置， 同時在發(fā)生故障時能及時調(diào)整，保證制冷功率，不影響溫控效果。為達上述目的，本發(fā)明提供一種提高制冷系統(tǒng)可靠性及效率的溫控裝置， 其包含依次連接的溫度采集模塊，控制器，功率驅(qū)動模塊和半導(dǎo)體制冷模塊； 特點是，所述的溫度采集模塊由溫度傳感器和激勵源組成；該溫度傳感器將檢測到 的控制對象的溫度值傳送至控制器；所述的半導(dǎo)體制冷模塊包含2個相同的、由若干制冷片機械連接構(gòu)成的半 導(dǎo)體制冷器；該半導(dǎo)體制冷器包含循環(huán)水通道和冷卻水通道；所述的控制器采用PLC控制器，其根據(jù)收到溫度傳感器檢測到的控制對象 的溫度值與溫度目標值作比較，并根據(jù)半導(dǎo)體制冷器當前的工作狀態(tài)，輸出相 應(yīng)的電流信號至功率驅(qū)動才莫塊，用以決定制冷輸出量的大?。凰龅墓β黍?qū)動模塊分別連接2個半導(dǎo)體制冷器，將控制器輸出的電流信 號轉(zhuǎn)化為半導(dǎo)體制冷器所需的工作電流，為其供電，并通過該提供給半導(dǎo)體制 冷器的工作電流實現(xiàn)對制冷量的控制調(diào)節(jié)。進一步，本發(fā)明還包含一檢測模塊，其輸入端分別連接2個半導(dǎo)體制冷器， 輸出端連接控制器。所述的檢測模塊由帶有輔助觸頭的起動器和漏電^r測繼電器組成；所述的漏電檢測繼電器與起動器能及時檢測并發(fā)現(xiàn)2個半導(dǎo)體制冷器在工作中的異常 故障情況，包括過流或漏電，并將該異常故障信號傳送至控制器，由控制器控 制該發(fā)生異常故障的半導(dǎo)體制冷器停止工作。本發(fā)明還包含一電磁閥裝置，其和控制器連接，控制半導(dǎo)體制冷器的供水； 當控制器檢測到某一個半導(dǎo)體制冷器故障時，將關(guān)閉控制該通道的電磁閥裝置 以切斷該回路的水流，確保循環(huán)水全部經(jīng)過正常工作的半導(dǎo)體制冷器冷卻，使 得發(fā)生切換過程時不影響制冷^i塊的制冷效果。所述的溫度傳感器為熱敏電阻，或者熱電偶，或者鉑電阻。所述的激勵源為恒壓源，或者恒流源。所述的2個半導(dǎo)體制冷器的循環(huán)水通道并聯(lián)連^^，或者串聯(lián)連接；用于對 光刻機內(nèi)部發(fā)熱元件進行冷卻的循環(huán)介質(zhì)進行制冷冷卻。所述的2個半導(dǎo)體制冷器的冷卻水通道串聯(lián)連接；用于對半導(dǎo)體制冷器內(nèi) 部熱量進行制冷冷卻。所述的半導(dǎo)體制冷器的額定制冷功率為本發(fā)明所述的溫控裝置的所需功率。所述的功率驅(qū)動模塊包含一角度繼電器，其輸出端分別連接2個帶觸頭起 動器，所述的2個的帶觸頭起動器分別依次連接漏電流繼電器、繼電器和整流 器；所述的角度繼電器將控制器輸出的電流信號轉(zhuǎn)化成電壓信號輸出，分別通 過2整流器轉(zhuǎn)化成直流電輸出至2個半導(dǎo)體制冷器；控制器通過控制繼電器實 現(xiàn)功率驅(qū)動^^莫塊的通斷。本發(fā)明提供的提高制冷系統(tǒng)可靠性及效率的溫控裝置，具有以下優(yōu)點1、 本發(fā)明正常工作時，2個半導(dǎo)體制冷器同時工作，同等制冷功率下每個 半導(dǎo)體制冷器能以一半功率運行，制冷片的工作電流也降^f氐至原先的一半左右， 這樣不易在制冷片的熱端積聚大量熱量，能延長每個制冷片的使用壽命，從而 提高整個溫控裝置的可靠性。2、 本發(fā)明具有自動備用功能，正常工作時兩臺半導(dǎo)體制冷器同時工作，但 當其中一臺半導(dǎo)體制冷器發(fā)生故障時，控制器會切斷其工作電路，并使循環(huán)介質(zhì)全部從另一臺半導(dǎo)體制冷器的循環(huán)通道流過。同時控制器通過對應(yīng)的功率驅(qū) 動裝置中的起動器斷開故障半導(dǎo)體制冷器的供電，并且通過調(diào)節(jié)輸出電流信號的大小使正常半導(dǎo)體制冷器的電流升高，使其制冷功率與兩臺同時工作時保持 相同，不影響溫度控制的效果。該自動備用功能使得一臺半導(dǎo)體制冷器故障時， 溫控裝置仍能正常工作，提高了溫控裝置的可靠性。3、本發(fā)明正常工作時為兩臺半導(dǎo)體制冷器同時工作，對比一臺半導(dǎo)體制冷 器制冷，其每片制冷片的制冷功率低，制冷效率得到提高，系統(tǒng)整體制冷效率 得到提高。


圖1是實現(xiàn)本發(fā)明提供的溫控裝置的實施例1的制冷系統(tǒng)管路原理圖；圖2是本發(fā)明提供的溫控裝置的控制原理框圖；圖3是本發(fā)明提供的溫控裝置的功率驅(qū)動模塊的電路圖；圖4是實現(xiàn)本發(fā)明提供的溫控裝置的實施例2的制冷系統(tǒng)管路原理圖。
具體實施方式
以下結(jié)合圖l-圖4，詳細說明本發(fā)明較佳的實施方式如圖2所示，本發(fā)明提供一種提高制冷系統(tǒng)可靠性及效率的溫控裝置，其 包含依次連接的溫度釆集模塊101，控制器102，功率驅(qū)動模塊104和半導(dǎo)體制 冷模塊105;特點是，所述的溫度采集模塊101由溫度傳感器和激勵源組成；該溫度傳感器將抬r 測到的控制對象的溫度值傳送至控制器102;所述的溫度傳感器為熱敏電阻，或 者熱電偶，或者鉑電阻；所述的激勵源為恒壓源，或者恒流源；本實施方式中，所述的溫度傳感器可以采用PT100柏電阻。所述的半導(dǎo)體制冷模塊105包含2個相同的、由若干制冷片機械連接構(gòu)成 的半導(dǎo)體制冷器9、 10;所述的半導(dǎo)體制冷器9、 IO的額定制冷功率為本發(fā)明所 述的溫控裝置的所需功率；所述的制冷片采用熱電制冷工作原理，直流電通過與金屬片接觸的P型半 導(dǎo)體材料與N型半導(dǎo)體材料時，由于載流子的勢能不同會在接觸點處發(fā)生能量 的傳遞與轉(zhuǎn)換，在制冷片的兩邊形成冷端與熱端；其冷熱端的溫差與其工作電 流有如下關(guān)系幾々+k-"》c-Q.5"4其中，7;為制冷片熱端溫度，7;為制冷片冷端溫度，x為導(dǎo)熱系數(shù)， 為P 型半導(dǎo)體材料的溫差電系數(shù)， 為N型半導(dǎo)體材料的溫差電系數(shù)，/為工作電 流，及為電熱元件電阻。該半導(dǎo)體制冷器9、 10包含循環(huán)水通道和冷卻水通道；所述的2個半導(dǎo)體 制冷器9、 10的循環(huán)水通道并聯(lián)連接，或者串聯(lián)連接；用于對光刻機內(nèi)部發(fā)熱 元件進行冷卻的循環(huán)介質(zhì)進行制冷冷卻；所述的2個半導(dǎo)體制冷器9、 10的冷 卻水通道串聯(lián)連接；用于對半導(dǎo)體制冷器9、0的內(nèi)部熱量進行制冷冷卻。所述的控制器102是本發(fā)明溫控裝置的核心模塊，采用PLC控制器，其根 據(jù)收到溫度傳感器檢測到的控制對象的溫度值與溫度目標值作比較，并根據(jù)半 導(dǎo)體制冷器9、 IO當前的工作狀態(tài)，輸出相應(yīng)的電流信號至功率驅(qū)動模塊104， 用以決定制冷輸出量的大小。如圖3所示，所述的功率驅(qū)動模塊104分別連接2個半導(dǎo)體制冷器9、 10， 將控制器102輸出的電流信號轉(zhuǎn)化為半導(dǎo)體制冷器9、 IO所需的工作電流，為 其供電，并通過該提供給半導(dǎo)體制冷器9、 10的工作電流實現(xiàn)對制冷量的控制 調(diào)節(jié)；由于控制器102輸出的電流信號的范圍是4 20mA,而半導(dǎo)體制冷器9、 10需要的是0-16A范圍內(nèi)的直流工作電流；故功率驅(qū)動模塊104進行相應(yīng)轉(zhuǎn)化 提供半導(dǎo)體制冷器9、 10所需的0-16A的直流工作電流；所述的功率驅(qū)動模塊104包含一角度繼電器41,其輸出端分別連接2個帶 觸頭起動器42，所述的2個的帶觸頭起動器42分別依次連接漏電流繼電器43、 繼電器44和整流器45;所述的角度繼電器41將控制器102輸出的4~20mA的 電流信號相應(yīng)轉(zhuǎn)化成0-500VAC的電壓信號輸出，分別通過2整流器45轉(zhuǎn)化成 0-16A的直流電輸出至2個半導(dǎo)體制冷蒸9、 10;控制器102通過控制繼電器 44實現(xiàn)功率驅(qū)動模塊104的通斷。本發(fā)明還包含一檢測模塊106,其輸入端分別連接半導(dǎo)體制冷模塊105的2 個半導(dǎo)體制冷器9、 10，輸出端連接控制器102;所述的檢測模塊106由帶有輔助觸頭的起動器和漏電檢測繼電器組成；所 述的起動器和漏電檢測繼電器能及時檢測并發(fā)現(xiàn)2個半導(dǎo)體制冷器9、 10在工 作中的異常故障情況，包括過流或漏電，并將該異常故障信號傳送至控制器102，由控制器102控制該發(fā)生異常故障的半導(dǎo)體制冷器9或IO停止工作。本發(fā)明還包含一電磁閥裝置103，其和控制器102連接，控制半導(dǎo)體制冷器 9和10的供水；當控制器102檢測到某一個半導(dǎo)體制冷器故障時，將關(guān)閉控制 該通道的電磁閥裝置103以切斷該回路的水流，確保循環(huán)水全部經(jīng)過正常工作 的半導(dǎo)體制冷器冷卻，使得發(fā)生切換過程時不影響制冷模塊的制冷效果。 實施例1如圖1所示，是實現(xiàn)本發(fā)明提供的溫控裝置的實施例1的制冷系統(tǒng)管路原理圖；其中兩臺半導(dǎo)體制冷器9和IO的循環(huán)水通道以并聯(lián)方式連接，循環(huán)介質(zhì)冷卻光刻機內(nèi)部發(fā)熱元件后通過進水接口 8流入，經(jīng)一個三通閥11分流成兩路 流入兩個半導(dǎo)體制冷器9與IO進行制冷，冷卻后的循環(huán)介質(zhì)通過三通閥14集 流后，通過出水接口 5送入水箱進入下一步控制。同時，兩臺半導(dǎo)體制冷器9和10的冷卻水通道采用串聯(lián)方式連接，冷卻水 供應(yīng)裝置1通過進7K接口 2將冷卻水先送入半導(dǎo)體制冷器10,帶出其內(nèi)部轉(zhuǎn)移 與產(chǎn)生的熱量，然后進入半導(dǎo)體制冷器9,其內(nèi)部轉(zhuǎn)移與產(chǎn)生的熱量，最后通過 回水接口 13排出，回到冷卻水供應(yīng)裝置l;其中，電磁閥4用來控制冷卻水的 通斷，流量開關(guān)3用來監(jiān)測冷卻水回路是否有流量。另外，電磁閥7與12分別控制半導(dǎo)體制冷器10與9的供水，正常工作時， 電磁閥7與12導(dǎo)通能夠保證兩個半導(dǎo)體制冷器10與9同時工作，但是當本發(fā) 明的溫控裝置的檢測模塊106檢測到其中一個半導(dǎo)體制冷器(如9)發(fā)生故障， 即控制器102控制其相應(yīng)的電磁閥12關(guān)合，以阻止循環(huán)介質(zhì)從該方向流走，同 時保證另一個半導(dǎo)體制冷器IO與電磁閥7的正常工作狀態(tài)。實施例2如圖4所示，是實現(xiàn)本發(fā)明提供的溫控裝置的實施例2的制冷系統(tǒng)管路原 理圖；其中，兩臺半導(dǎo)體制冷器9與IO的循環(huán)水通道以串聯(lián)方式連接，循環(huán)介 質(zhì)冷卻光刻機內(nèi)部發(fā)熱元件后通過進7K接口 8流入，先經(jīng)半導(dǎo)體制冷器9制冷 后再經(jīng)過半導(dǎo)體制冷器IO制冷，通過出水接口 5送入水箱進入下一步控制。同時，兩臺半導(dǎo)體制冷器9和10的冷卻水通道也采用串聯(lián)方式連接，冷卻 水供應(yīng)裝置1通過進水接口 2將冷卻水先送入半導(dǎo)體制冷器10，帶出其內(nèi)部轉(zhuǎn) 移與產(chǎn)生的熱量，然后進入半導(dǎo)體制冷器9，帶出其內(nèi)部轉(zhuǎn)移與產(chǎn)生的熱量，最后通過回水接口 13排出，回到冷卻水供應(yīng)裝置1;其中，圖中電磁閥4用來控 制冷卻水的通斷，流量開關(guān)3用來監(jiān)測冷卻水回路是否有流量。另外，電磁閥7控制半導(dǎo)體制冷器9、 10的供水，正常工作時，電磁閥7 導(dǎo)通兩個半導(dǎo)體制冷器9、 10同時制冷工作；當本發(fā)明的溫控裝置的檢測模塊 106檢測到其中一個半導(dǎo)體制冷器(如9)發(fā)生故障，另一個半導(dǎo)體制冷器10 繼續(xù)制冷工作，但是控制器102不切斷電磁閥7,保持其工作狀態(tài)不變。根據(jù)上述，本發(fā)明提供的提高制冷系統(tǒng)可靠性及效率的溫控裝置，具有以 下優(yōu)點1、 由于半導(dǎo)體制冷器是將制冷片的冷熱端緊貼冷熱腔體，然后密封，并采 用熱電制冷工作原理，即當工作電流增大時，制冷片兩端溫差將增大，相同傳 熱結(jié)構(gòu)下其積聚熱量會增多、長期在該狀態(tài)下運行會降低制冷片的使用壽命，嚴重會導(dǎo)致燒片現(xiàn)象；但是本發(fā)明正常工作時，2個半導(dǎo)體制冷器同時工作，同 等制冷功率下每個半導(dǎo)體制冷器能以一半功率運行，制冷片的工作電流也降低至原先的一半左右，導(dǎo)致制冷片冷熱端的溫差將減小，這樣不易在制冷片的熱 端積聚大量熱量，能延長每個制冷片的使用壽命，從而提高整個溫控裝置的可 靠性。2、 本發(fā)明具有自動備用功能，正常工作時兩臺半導(dǎo)體制冷器同時工作，但 當其中一臺半導(dǎo)體制冷器發(fā)生故障時，控制器會切斷其工作電路，使循環(huán)介質(zhì)全部從另一臺半導(dǎo)體制冷器的循環(huán)通道流過。同時控制器通過對應(yīng)的功率驅(qū)動 裝置中的起動器斷開故障半導(dǎo)體制冷器的供電，并且通過調(diào)節(jié)輸出電流信號的 大小使正常半導(dǎo)體制冷器的電流升高，使其制冷功率與兩臺同時工作時保持相 同，不影響溫度控制的效果。該自動備用功能使得一臺半導(dǎo)體制冷器故障時， 溫控裝置仍能正常工作，提高了溫控裝置的可靠性。3、 由于制冷片在大容量的情況下，耗能大，效率低，但是如果降低其制冷 功率控制在一定范圍內(nèi)，就可以提高制冷效率；本發(fā)明正常工作時為兩臺半導(dǎo)體制冷器同時工作，對比一臺半導(dǎo)體制冷器制冷，其每片制冷片的制冷功率低， 制冷效率得到提高，從而系統(tǒng)整體制冷效率得到提高。
權(quán)利要求
1.一種提高制冷系統(tǒng)可靠性及效率的溫控裝置，包含依次連接的溫度采集模塊，控制器，功率驅(qū)動模塊和半導(dǎo)體制冷模塊；其特征在于，所述的溫度采集模塊由溫度傳感器和激勵源組成；該溫度傳感器將檢測到的控制對象的溫度值傳送至控制器；所述的半導(dǎo)體制冷模塊包含2個相同的、由若干制冷片機械連接構(gòu)成的半導(dǎo)體制冷器；該半導(dǎo)體制冷器包含循環(huán)水通道和冷卻水通道；所述的控制器采用PLC控制器，其根據(jù)收到溫度傳感器檢測到的控制對象的溫度值與溫度目標值作比較，并根據(jù)半導(dǎo)體制冷器當前的工作狀態(tài)，輸出相應(yīng)的電流信號至功率驅(qū)動模塊，用以決定制冷輸出量的大??；所述的功率驅(qū)動模塊分別連接2個半導(dǎo)體制冷器，將控制器輸出的電流信號轉(zhuǎn)化為半導(dǎo)體制冷器所需的工作電流，為其供電，并通過該提供給半導(dǎo)體制冷器的工作電流實現(xiàn)對制冷量的控制調(diào)節(jié)。
2. 如權(quán)利要求1所述的提高制冷系統(tǒng)可靠性及效率的溫控裝置，其特征在于， 還包含一檢測模塊，其輸入端分別連接2個半導(dǎo)體制冷器，輸出端連接控制 器。
3. 如權(quán)利要求2所述的提高制冷系統(tǒng)可靠性及效率的溫控裝置，其特征在于， 所述的檢測模塊由帶有輔助觸頭的起動器和漏電檢測繼電器組成；該漏電檢測繼電器和起動器檢測出2個半導(dǎo)體制冷器在工作中的過流或 漏電異常故障情況，并將該異常故障信號傳送至控制器，由控制器控制該發(fā) 生異常故障的半導(dǎo)體制冷器停止工作。
4. 如權(quán)利要求1所述的提高制冷系統(tǒng)可靠性及效率的溫控裝置，其特征在于， 還包含一電磁閥裝置，其和控制器連接，控制半導(dǎo)體制冷器的供水；當控制 器檢測到某一個半導(dǎo)體制冷器故障時，將關(guān)閉控制該通道的電磁閥裝置以切 斷該回if各的水流。
5. 如權(quán)利要求1所述的提高制冷系統(tǒng)可靠性及效率的溫控裝置，其特征在于， 所述的溫度傳感器為熱敏電阻，或者熱電偶，或者鉑電阻。
6. 如權(quán)利要求1所述的提高制冷系統(tǒng)可靠性及效率的溫控裝置，其特征在于，所述的激勵源為恒壓源，或者恒流源。
7. 如權(quán)利要求1所述的提高制冷系統(tǒng)可靠性及效率的溫控裝置，其特征在于， 所述的半導(dǎo)體制冷器的額定制冷功率為所述的溫控裝置的所需功率。
8. 如權(quán)利要求1所述的提高制冷系統(tǒng)可靠性及效率的溫控裝置，其特征在于， 所述的2個半導(dǎo)體制冷器的循環(huán)水通道并聯(lián)連接，或者串聯(lián)連接；用于對光 刻機內(nèi)部發(fā)熱元件進4亍冷卻的循環(huán)介質(zhì)進行制冷冷卻。
9. 如權(quán)利要求1所述的提高制冷系統(tǒng)可靠性及效率的溫控裝置，其特征在于， 所述的2個半導(dǎo)體制冷器的冷卻水通道串聯(lián)連接；用于對半導(dǎo)體制冷器內(nèi)部 熱量進行制冷冷卻。
10. 如權(quán)利要求1所述的提高制冷系統(tǒng)可靠性及效率的溫控裝置，其特征在于， 所述的功率驅(qū)動模塊包含一角度繼電器，其輸出端分別連接2個帶觸頭起動 器，所述的2個的帶觸頭起動器分別依次連接漏電流繼電器、繼電器和整流 器；所述的角度繼電器將控制器輸出的電流信號轉(zhuǎn)化成電壓信號輸出，分別 通過2整流器轉(zhuǎn)化成直流電輸出至2個半導(dǎo)體制冷器；控制器通過控制繼電 器實現(xiàn)功率驅(qū)動模塊的通斷。
全文摘要
本發(fā)明提供一種提高制冷系統(tǒng)可靠性及效率的溫控裝置，其包含依次連接的溫度采集模塊，控制器，功率驅(qū)動模塊和半導(dǎo)體制冷模塊；該溫度采集模塊由溫度傳感器和激勵源組成；該半導(dǎo)體制冷模塊包含2個相同的、由若干制冷片機械連接構(gòu)成的半導(dǎo)體制冷器；該控制器采用PLC控制器；該功率驅(qū)動模塊分別連接2個半導(dǎo)體制冷器。本發(fā)明可提高制冷系統(tǒng)的可靠性和制冷效率，同時在發(fā)生故障時能及時調(diào)整，保證制冷功率，不影響溫控效果。
文檔編號F25B49/00GK101221006SQ20081003326
公開日2008年7月16日 申請日期2008年1月30日 優(yōu)先權(quán)日2008年1月30日
發(fā)明者斌 余, 李志科, 束劍平, 汪德剛, 晉 羅, 聶宏飛, 杰 陳, 陳勇輝 申請人:上海微電子裝備有限公司