本發(fā)明涉及機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種硅片翻轉(zhuǎn)沖洗裝置。

背景技術(shù)：

隨著大規(guī)模集成電路的發(fā)展、集成電路的集成度不斷提高、線寬不斷減小，集成電路對硅片表面的潔凈度、表面化學(xué)態(tài)、氧化膜厚度的要求也越來越高。半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中的硅片必須經(jīng)嚴(yán)格清洗，否則即使微量污染也會導(dǎo)致器件失效。

清洗的目的在于清除表面污染雜質(zhì)，包括無機(jī)物和有機(jī)物。這些雜質(zhì)有的以原子狀態(tài)或離子狀態(tài)，有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面。有機(jī)污染物包括光刻膠、有機(jī)溶劑殘留物、合成蠟和人接觸器件、工具、器皿帶來的油脂或纖維。無機(jī)污染物包括重金屬金、銅、鐵、鉻等，嚴(yán)重影響少數(shù)載流子壽命和表面電導(dǎo)；堿金屬和鈉等會引起嚴(yán)重漏電。顆粒污染包括硅渣、塵埃、細(xì)菌、微生物、有機(jī)膠體纖維等會導(dǎo)致各種缺陷。

現(xiàn)有的硅片沖洗裝置在清洗過程中硅片表面水噴淋不均勻，導(dǎo)致硅片表面有大量的藥液殘留，清洗效果不佳，工作效率低，用水量大，并且清洗后還需要取出烘干，浪費時間。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種硅片翻轉(zhuǎn)沖洗裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的噴淋不均勻，導(dǎo)致硅片表面有大量的藥液殘留，清洗效果不佳，工作效率低，用水量大，并且清洗后還需要取出烘干，浪費時間的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種硅片翻轉(zhuǎn)沖洗裝置，包括沖洗箱、沖洗箱門、電動機(jī)箱、控制面板、沖洗箱門鎖扣、電動機(jī)、傳動帶、支撐架、集水箱、出水口、二號轉(zhuǎn)軸、清洗液箱、抽水管、噴水管、一號轉(zhuǎn)軸、噴氣盒、熱風(fēng)機(jī)、噴嘴和水泵，所述沖洗箱上設(shè)置有一個沖洗箱門，所述沖洗箱的一側(cè)設(shè)置有一個電動機(jī)箱，所述電動機(jī)箱的外側(cè)安裝有一個控制面板，所述沖洗箱門上設(shè)置有一個沖洗箱門鎖扣，所述電動機(jī)箱內(nèi)安裝有一個電動機(jī)，所述電動機(jī)的一側(cè)設(shè)置有一根二號轉(zhuǎn)軸，所述電動機(jī)箱的底部安裝有兩根支撐架，所述沖洗箱的底部設(shè)置有一個出水口，所述出水口的底部設(shè)置有一個集水箱，所述沖洗箱的另一側(cè)設(shè)置有一個清洗液箱，所述清洗液箱的底部安裝有兩根支撐架，所述抽水管的一側(cè)嵌入清洗液箱內(nèi)部，所述抽水管的另一側(cè)與水泵連接，所述噴水管的一側(cè)與水泵連接，所述噴水管的另一側(cè)嵌入到?jīng)_洗箱內(nèi)部，且噴水管的另一側(cè)管壁上設(shè)置有若干個噴嘴，所述沖洗箱內(nèi)部還安裝有一個一號轉(zhuǎn)軸，所述一號轉(zhuǎn)軸和二號轉(zhuǎn)軸通過傳動帶傳動連接，所述沖洗箱的頂部安裝有一個熱風(fēng)機(jī)，所述熱風(fēng)機(jī)通過管道與沖洗箱頂部內(nèi)側(cè)的噴氣盒連接。

優(yōu)選的，所述沖洗箱的底部為一個漏斗狀結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選的，所述清洗液箱上設(shè)置有一個觀察窗。

優(yōu)選的，所述一號轉(zhuǎn)軸和二號轉(zhuǎn)軸上設(shè)置有夾子。

優(yōu)選的，所述噴氣盒的底部設(shè)置有若干個透氣小孔。

優(yōu)選的，所述集水箱為可移動裝置，底部安裝有四個萬向輪。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：該硅片翻轉(zhuǎn)沖洗裝置設(shè)有兩個轉(zhuǎn)軸，可以安裝更多的硅片，并且清洗箱內(nèi)部的噴頭分布較均勻，清洗效果較好，工作效率高，用水量少，清洗箱頂部還安裝有一個熱風(fēng)機(jī)，熱風(fēng)機(jī)和清洗箱內(nèi)部的噴氣盒連接，噴氣盒上設(shè)置有若干個小孔，噴氣范圍較廣，烘干效果較好，使用方便，設(shè)計較為人性化。

附圖說明

圖1為本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明沖洗箱俯視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明噴氣盒俯視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：沖洗箱-1；沖洗箱門-2；電動機(jī)箱-3；控制面板-4；沖洗箱門鎖扣-5；電動機(jī)-6；傳動帶-7；支撐架-8；集水箱-9；出水口-10；二號轉(zhuǎn)軸-11；清洗液箱-12；抽水管-13；噴水管-14；一號轉(zhuǎn)軸-15；噴氣盒-16；熱風(fēng)機(jī)-17；噴嘴-18；水泵-19。

具體實施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

請參閱圖1-3，本發(fā)明提供一種技術(shù)方案：一種硅片翻轉(zhuǎn)沖洗裝置，包括沖洗箱1、沖洗箱門2、電動機(jī)箱3、控制面板4、沖洗箱門鎖扣5、電動機(jī)6、傳動帶7、支撐架8、集水箱9、出水口10、二號轉(zhuǎn)軸11、清洗液箱12、抽水管13、噴水管14、一號轉(zhuǎn)軸15、噴氣盒16、熱風(fēng)機(jī)17、噴嘴18和水泵19，沖洗箱1上設(shè)置有一個沖洗箱門2，沖洗箱1的一側(cè)設(shè)置有一個電動機(jī)箱3，電動機(jī)箱3的外側(cè)安裝有一個控制面板4，沖洗箱門2上設(shè)置有一個沖洗箱門鎖扣5，電動機(jī)箱3內(nèi)安裝有一個電動機(jī)6，電動機(jī)6的一側(cè)設(shè)置有一根二號轉(zhuǎn)軸11，電動機(jī)箱3的底部安裝有兩根支撐架8，沖洗箱1的底部設(shè)置有一個出水口10，出水口10的底部設(shè)置有一個集水箱9，沖洗箱1的另一側(cè)設(shè)置有一個清洗液箱12，清洗液箱12的底部安裝有兩根支撐架8，抽水管13的一側(cè)嵌入清洗液箱12內(nèi)部，抽水管13的另一側(cè)與水泵19連接，噴水管14的一側(cè)與水泵19連接，噴水管14的另一側(cè)嵌入到?jīng)_洗箱1內(nèi)部，且噴水管14的另一側(cè)管壁上設(shè)置有若干個噴嘴18，沖洗箱1內(nèi)部還安裝有一個一號轉(zhuǎn)軸15，一號轉(zhuǎn)軸15和二號轉(zhuǎn)軸11通過傳動帶7傳動連接，沖洗箱1的頂部安裝有一個熱風(fēng)機(jī)17，熱風(fēng)機(jī)17通過管道與沖洗箱1頂部內(nèi)側(cè)的噴氣盒16連接。

上述實施例中，具體的，沖洗箱1的底部為一個漏斗狀結(jié)構(gòu)，漏斗狀結(jié)構(gòu)便于水流向下流出；

上述實施例中，具體的，清洗液箱12上設(shè)置有一個觀察窗，方便觀察內(nèi)部清洗液余量，及時添加清洗液；

上述實施例中，具體的，一號轉(zhuǎn)軸15和二號轉(zhuǎn)軸11上設(shè)置有夾子，可以將硅片夾住，使用方便；

上述實施例中，具體的，噴氣盒16的底部設(shè)置有若干個透氣小孔，噴氣壓力增大，并且使噴氣范圍更廣；

上述實施例中，具體的，集水箱9為可移動裝置，底部安裝有四個萬向輪，便于移動清理集水箱9內(nèi)的使用過的清洗液。

工作原理：使用時先將沖洗箱門2打開，將要沖洗的硅片用夾子固定在一號轉(zhuǎn)軸15和二號轉(zhuǎn)軸11上，關(guān)閉沖洗箱門2，接通外部電源，使用控制面板4控制電動機(jī)6和水泵19開始運行，電動機(jī)6直接帶動二號轉(zhuǎn)軸11轉(zhuǎn)動，二號轉(zhuǎn)軸11通過傳動帶7帶動一號轉(zhuǎn)軸15轉(zhuǎn)動，水泵19將清洗液箱12內(nèi)的清洗液輸送到噴水管14，并從噴水管14上的噴嘴18噴向一號轉(zhuǎn)軸15和二號轉(zhuǎn)軸11上的硅片，達(dá)到清洗的目的，落下的清洗液從出水口10流入集水箱9，清洗完成后，使用控制面板4控制熱風(fēng)機(jī)17運行，熱風(fēng)從噴氣盒16底部的小孔吹向硅片，將硅片烘干，烘干后可將硅片取出，進(jìn)而完成一系列的操作流程。

綜上所述，盡管參照前述實施例對本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說明，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，其依然可以對前述各實施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換,凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。

技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種硅片翻轉(zhuǎn)沖洗裝置，包括沖洗箱、噴氣盒和熱風(fēng)機(jī)，所述沖洗箱上設(shè)置有一個沖洗箱門，所述沖洗箱的一側(cè)設(shè)置有一個電動機(jī)箱，所述電動機(jī)箱的外側(cè)安裝有一個控制面板，所述沖洗箱的底部設(shè)置有一個出水口，所述噴水管的一側(cè)與水泵連接，所述噴水管的另一側(cè)嵌入到?jīng)_洗箱內(nèi)部，且噴水管的另一側(cè)管壁上設(shè)置有若干個噴嘴，所述沖洗箱內(nèi)部還安裝有一個一號轉(zhuǎn)軸，所述一號轉(zhuǎn)軸和二號轉(zhuǎn)軸通過傳動帶傳動連接，所述沖洗箱的頂部安裝有一個熱風(fēng)機(jī)，所述熱風(fēng)機(jī)通過管道與沖洗箱頂部內(nèi)側(cè)的噴氣盒連接。該硅片翻轉(zhuǎn)沖洗裝置設(shè)有兩個轉(zhuǎn)軸，可以安裝更多的硅片，并且清洗箱內(nèi)部的噴頭分布較均勻，清洗效果較好，工作效率高，用水量少。

技術(shù)研發(fā)人員：袁西冰;趙馴峰;李長虹
受保護(hù)的技術(shù)使用者：貴州大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.27
技術(shù)公布日：2017.07.14