噴嘴清潔設(shè)備的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種噴嘴清潔設(shè)備，其用于在不需要拆開噴嘴的情況下，快速并且流暢地清潔噴嘴，所述設(shè)備包括：噴嘴支撐件，噴嘴安裝在其上；清潔液供給單元，其通過供給管連接到噴嘴，并且將清潔液提供到噴嘴中；容器，其容納從噴嘴的出口排出的清潔液；以及阻塞單元，其阻塞噴嘴的出口。
【專利說明】
噴嘴清潔設(shè)備
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及一種用于自動清潔噴嘴的噴嘴清潔設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]通常，在制造液晶面板的過程中，為了防止設(shè)置在基板之間的液晶泄漏到外部，同時(shí)保持基板之間的間隔，將密封膠以預(yù)定模式應(yīng)用到至少一個(gè)基板上。
[0003]密封膠分配器用于在基板上形成密封膠模式。密封膠分配器包括:托臺，其設(shè)置在框架上，并且支撐基板；分配頭單元，其包括容納密封膠的注射器和與注射器連通的噴嘴；以及分配頭單元支撐框架，其支撐分配頭單元。
[0004]當(dāng)改變噴嘴和基板之間的相對位置時(shí)，密封膠分配器在基板上形成密封膠模式。換句話說，密封膠分配器在水平方向上移動噴嘴和/或基板，同時(shí)通過在豎直方向上移動安裝在分配頭單元中的噴嘴，精確地調(diào)整噴嘴和基板之間的間隙，并且從噴嘴排出密封膠，以在基板上形成密封膠模式。
[0005]在通過從噴嘴排出密封膠在基板上形成密封膠模式的過程中，密封膠可能粘附到噴嘴的內(nèi)部，或者密封膠可能附著到噴嘴的出口的外周。當(dāng)密封膠粘附到噴嘴的內(nèi)部，或者附著到噴嘴的出口的外周時(shí)，可能阻塞噴嘴的出口，從而不能順利地排出密封膠。
[0006]因此，為了平穩(wěn)地在基板上形成密封膠模式，需要清潔噴嘴。為此，在現(xiàn)有技術(shù)中，操作者完全拆開噴嘴并且手動擦拭噴嘴的組件以清潔噴嘴，因此，需要花費(fèi)大量時(shí)間清潔噴嘴，這導(dǎo)致了過程效率的降低。
[0007]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0008]專利文獻(xiàn)
[0009]韓國專利申請公開N0.10-2012-0069141。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]本發(fā)明致力于提供一種噴嘴清潔設(shè)備，其在不需要拆開噴嘴的情況下，能夠快速并且流暢地清潔噴嘴。
[0011]本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施方式提供了一種噴嘴清潔設(shè)備，包括:噴嘴支撐件，噴嘴安裝在其上；清潔液供給單元，其通過供給管連接到噴嘴，并且將清潔液提供到噴嘴中；容器，其容納從噴嘴的出口排出的清潔液；以及阻塞單元，其阻塞噴嘴的出口。
[0012]阻塞單元可以包括:阻塞構(gòu)件，其安裝為能夠在阻塞構(gòu)件接觸噴嘴出口的方向和阻塞構(gòu)件遠(yuǎn)離噴嘴出口的方向上移動；以及阻塞構(gòu)件驅(qū)動裝置，其連接到阻塞構(gòu)件，并且移動阻塞構(gòu)件，以便阻塞構(gòu)件阻塞噴嘴的出口。
[0013]噴嘴可以包括管筒和輸送螺桿，所述管筒具有出口，并且所述輸送螺桿以能夠旋轉(zhuǎn)的方式安裝在管筒中，并且噴嘴清潔設(shè)備可以包括噴嘴驅(qū)動單元，噴嘴驅(qū)動單元旋轉(zhuǎn)輸送螺桿以在噴嘴的內(nèi)部循環(huán)清潔液。
[0014]噴嘴驅(qū)動單元可以包括驅(qū)動電機(jī)和連接連桿，所述驅(qū)動電機(jī)產(chǎn)生驅(qū)動力，并且所述連接連桿將驅(qū)動電機(jī)連接到輸送螺桿，并且連接連桿可以包括第一連桿部分、第二連桿部分和接合部分，所述第一連桿部分連接到輸送螺桿，所述第二連桿部分連接到驅(qū)動電機(jī)的驅(qū)動軸，并且所述接合部分以能夠旋轉(zhuǎn)的方式在第一連桿部分和第二連桿部分之間連接到第一連桿部分和第二連桿部分。
[0015]清潔液供給單元可以包括清潔液箱和液位傳感器，所述清潔液箱容納清潔液，并且通過供給管連接到噴嘴，并且所述液位傳感器安裝在清潔液箱中，并且檢測容納在清潔液箱中的清潔液的水平。
[0016]噴嘴清潔設(shè)備還可以包括氣體供給單元，其通過供給管連接到噴嘴，并且將氣體提供到噴嘴中。
[0017]根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式，通過在不需要拆開噴嘴的情況下，將清潔液提供到噴嘴中，能夠快速并且流暢地清潔噴嘴，由此提高將密封膠施加到基板上的過程的效率。
[0018]此外，根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式，能夠在用清潔液清潔噴嘴之后干燥噴嘴，以便可以快速清潔然后使用噴嘴。
【附圖說明】
[0019]圖1是示意性示出了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施方式的噴嘴清潔設(shè)備的視圖。
[0020]圖2是示意性示出了將要通過根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的噴嘴清潔設(shè)備清潔的噴嘴的分解視圖。
[0021]圖3是根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的噴嘴清潔設(shè)備的控制框圖。
[0022]圖4和圖5是示意性示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的噴嘴清潔設(shè)備的操作的立體圖。
[0023]圖6是示意性示出了根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)示例性實(shí)施方式的噴嘴清潔設(shè)備的視圖。
[0024]圖7是根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)示例性實(shí)施方式的噴嘴清潔設(shè)備的控制框圖。
【具體實(shí)施方式】
[0025]下文將參考附圖描述根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施方式的噴嘴清潔設(shè)備。
[0026]根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的噴嘴清潔設(shè)備可以用于清潔在本說明書的【背景技術(shù)】和韓國專利申請公開N0.10-2012-0069141中描述的密封膠分配器的噴嘴。此外，根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的噴嘴清潔設(shè)備可以獨(dú)立于密封膠分配器設(shè)置，或者安裝在密封膠分配器中。
[0027]如圖1至圖3所示，根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的噴嘴清潔設(shè)備可以包括:噴嘴支撐件20，密封膠分配器的噴嘴10安裝在其上；固定單元30，其安裝在噴嘴支撐件20上，并且將噴嘴10固定到噴嘴支撐件20 ;清潔液供給單元40，其將清潔液提供到噴嘴10中；噴嘴驅(qū)動單元50，其驅(qū)動噴嘴10以從噴嘴10的出口排出清潔液；容器60，其容納從噴嘴10的出口 11排出的清潔液；阻塞單元70，其阻塞噴嘴10的出口 11 ;以及控制單元80，其控制清潔液供給單元40、噴嘴驅(qū)動單元50和阻塞單元70。
[0028]噴嘴10可以包括管筒12、輸送螺桿13以及連接構(gòu)件14，所述管筒12設(shè)置有出口11，所述輸送螺桿以能夠旋轉(zhuǎn)的方式安裝在管筒12中，并且所述連接構(gòu)件14連接到輸送螺桿13的一個(gè)端部并且連接到噴嘴驅(qū)動單元50。
[0029]通過其從外部提供密封膠的入口 15形成在管筒12的一側(cè)處，并且從中排出密封膠的出口 11形成在管筒12的下端部處。在將要清潔的噴嘴10安裝在噴嘴清潔設(shè)備的噴嘴支撐件20上的情況下，入口 15可以通過供給管41連接到清潔液供給單元40。然后，可以從出口 11排出清潔液。
[0030]以具有多個(gè)螺紋的方式形成輸送螺桿13，并且旋轉(zhuǎn)輸送螺桿13以排出密封膠，所述密封膠通過管筒12的入口 15，通過出口 11提供。在將要清潔的噴嘴10安裝在噴嘴清潔設(shè)備的噴嘴支撐件20上的情況下，輸送螺桿13在噴嘴10內(nèi)部循環(huán)通過入口 15提供的清潔液，同時(shí)通過噴嘴驅(qū)動單元50的操作旋轉(zhuǎn)輸送螺桿13。通過這個(gè)過程，可以通過清潔液清潔噴嘴10的內(nèi)部。
[0031]在將輸送螺桿13插入到管筒12中的狀態(tài)下，連接構(gòu)件14暴露到管筒12的外部，并且用于將動力傳遞到輸送螺桿13。在連接構(gòu)件14連接到輸送螺桿13的狀態(tài)下，連接構(gòu)件14可以與輸送螺桿13—起運(yùn)輸。例如，連接構(gòu)件14可以與輸送螺桿13形成為一體。連接構(gòu)件14可以由工程塑料(例如，聚醚醚酮(PEEK))制成，以便使得在通過連接構(gòu)件14傳遞動力的過程中，由于摩擦造成的雜質(zhì)產(chǎn)生最小化。
[0032]噴嘴支撐件20可以安裝在獨(dú)立于密封膠分配器設(shè)置的裝置或者空間中。如另一個(gè)實(shí)例，噴嘴支撐件20可以安裝在密封膠分配器中。在這種情況下，噴嘴支撐件20可以安裝在分配頭單元支撐框架處，所述分配頭單元支撐框架支撐分配頭單元，以便分配頭單元是能夠移動的。在噴嘴支撐件20安裝在密封膠分配器中的情況下，操作者可以通過在將噴嘴10從分配頭單元中分離之后，立刻將噴嘴10安裝到噴嘴支撐件20上來清潔噴嘴10，由此提高加工效率。
[0033]固定單元30可以是一個(gè)閂鎖，其通過按壓噴嘴10的前端部，將噴嘴10固定到噴嘴支撐件20。然而，本發(fā)明不局限于固定單元30的配置，但是作為固定單元30，可以使用各種配置，例如包括通過液壓或氣壓操作的夾具的裝置，或者包括通過電力操作的螺線管的裝置。
[0034]清潔液供給單元40可以包括清潔液箱42和閥門45，所述清潔液箱42容納清潔液，并且通過供給管41連接到噴嘴10，所述閥門45通過供給管41提供清潔液，或者阻塞清潔液提供。丙酮可以用作清潔液。
[0035]例如，清潔液箱42設(shè)置在高于噴嘴10的位置處，以便可以通過重力將在清潔液箱42中的清潔液提供到噴嘴10。作為另一個(gè)實(shí)例，清潔液供給單元40還可以包括用于按壓在清潔液箱42中的清潔液的裝置(例如，連接到清潔液箱42的壓力發(fā)生器)，或者用于栗送在清潔液箱42中的清潔液的裝置(例如，栗)，以便可以通過供給管41從清潔液箱42中強(qiáng)制地將清潔液提供到噴嘴10。
[0036]閥門45可以是通過控制單元80控制以調(diào)整流經(jīng)供給管41的清潔液的流量的控制閥。
[0037]與此同時(shí)，清潔液供給單元40還可以包括液位傳感器43，其安裝在清潔液箱42中，以檢測容納在清潔液箱42中的清潔液的水平。作為液位傳感器43，可以使用典型的電子或機(jī)械液位傳感器?？刂茊卧?0可以基于通過液位傳感器43測量的清潔液的水平中的變化，計(jì)算清潔液的供應(yīng)量。因此，控制單元80可以控制清潔液供給單元40、噴嘴驅(qū)動單元50和阻塞單元70，以便在清潔噴嘴10的過程中使用的清潔液的供應(yīng)量在參考量之內(nèi)，由此防止清潔液不必要的浪費(fèi)。
[0038]噴嘴驅(qū)動單元50可以包括驅(qū)動電機(jī)51和連接連桿52，所述驅(qū)動電機(jī)51產(chǎn)生驅(qū)動力，并且所述連接連桿52將驅(qū)動電機(jī)51連接到噴嘴10。
[0039]驅(qū)動電機(jī)51可以是用于向前和向后旋轉(zhuǎn)連接到驅(qū)動電機(jī)51的驅(qū)動軸(未示出)的電機(jī)。
[0040]連接連桿52可以包括:第一連桿部分521，其連接到噴嘴10 ;第二連桿部分522，其連接到驅(qū)動電機(jī)51的驅(qū)動軸；以及接合部分523，其以能夠旋轉(zhuǎn)的方式在第一連桿部分521和第二連桿部分522之間，連接到第一連桿部分521和第二連桿部分522。第一連桿部分521可以通過連接構(gòu)件14連接到輸送螺桿13。連接連桿52可以配置為萬向接頭，接合部分523在其中以能夠旋轉(zhuǎn)的方式連接到第一連桿部分521和第二連桿部分522。此外，連接連桿52可以是柔性聯(lián)軸器，其中第一連桿部分521、第二連桿部分522和接合部分523中的至少一個(gè)由例如橡膠的彈性材料制成。因此，即使噴嘴10的輸送螺桿13和驅(qū)動電機(jī)51的驅(qū)動軸沒有對齊，并且在噴嘴10的輸送螺桿13和驅(qū)動電機(jī)51的驅(qū)動軸之間存在偏心和傾斜，驅(qū)動電機(jī)51的驅(qū)動力仍然可以順暢地通過連接連桿52傳遞到輸送螺桿13。此夕卜，能夠防止如下問題:例如當(dāng)噴嘴10的輸送螺桿13借助于剛性軸連接到驅(qū)動電機(jī)51的驅(qū)動軸時(shí)，可能產(chǎn)生的例如因摩擦造成的剛性軸的偏轉(zhuǎn)和產(chǎn)生雜質(zhì)。
[0041]容器60直接安裝在噴嘴10的出口 11下面，并且用作容納通過噴嘴10的出口 11排出的清潔液。
[0042]阻塞單元70可以包括阻塞構(gòu)件71和阻塞構(gòu)件驅(qū)動裝置72，所述阻塞構(gòu)件71安裝為能夠在阻塞構(gòu)件71接觸噴嘴10的出口 11方向上和阻塞構(gòu)件71遠(yuǎn)離噴嘴10的出口 11的方向上水平地移動，并且所述阻塞構(gòu)件驅(qū)動裝置72連接到阻塞構(gòu)件71，并且移動阻塞構(gòu)件71，以便阻塞構(gòu)件71阻塞噴嘴10的出口 11。
[0043]為了防止當(dāng)阻塞構(gòu)件71與噴嘴10接觸時(shí)，噴嘴10損壞，與噴嘴10的出口 11接觸的阻塞構(gòu)件71的一部分可以由彈性材料制成。
[0044]阻塞構(gòu)件驅(qū)動裝置72用作水平地移動阻塞構(gòu)件71，并且可以配置為直線運(yùn)動機(jī)構(gòu)，例如通過氣壓或液壓操作的致動器、滾珠螺桿裝置或線性電動機(jī)。
[0045]下文將參考圖4和圖5描述根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的噴嘴清潔設(shè)備的操作。
[0046]首先，將要清潔的噴嘴10與密封膠分配器的分配頭單元分離，然后通過使用固定單元30安裝到噴嘴支撐件20上。
[0047]在這種情況下，噴嘴10處于輸送螺桿13整體連接到管筒12，并且管筒12和輸送螺桿13不需要彼此分離以清潔噴嘴10的狀態(tài)。此外，可以在連接構(gòu)件14連接到輸送螺桿13的狀態(tài)下運(yùn)輸噴嘴10。與此同時(shí)，用于將密封膠提供到噴嘴10的注射器接附到噴嘴10，并且在將噴嘴10安裝在噴嘴支撐20上之前，將注射器從噴嘴10上移除。
[0048]當(dāng)將噴嘴10安裝到噴嘴支撐件20上時(shí)，噴嘴10的輸送螺桿13通過連接構(gòu)件14和連接連桿52連接到驅(qū)動電機(jī)51。連接連桿52配置為柔性聯(lián)軸器，以便噴嘴10的輸送螺桿13可以容易地連接到驅(qū)動電機(jī)51的驅(qū)動軸。
[0049]然后，可以將噴嘴10通過供給管41連接到清潔液供給單元40的清潔液箱42。供給管41的一個(gè)端部連接到入口 15，注射器可以在所述入口處連接到噴嘴10。
[0050]當(dāng)將噴嘴10連接到清潔液供給單元40時(shí)，在初始階段，將預(yù)定量的清潔液從清潔液供給單元40提供到噴嘴10。在這種情況下，直到少量的清潔液從噴嘴10的出口 11排出才提供清潔液。通過基于由液位傳感器43檢測到的水平，計(jì)算清潔液的供應(yīng)量，可以預(yù)先確定清潔液的初始供應(yīng)量，并且控制單元80可以根據(jù)預(yù)定的清潔液的初始供應(yīng)量，控制清潔液供給單元40提供清潔液。因此，能夠防止清潔液不必要的浪費(fèi)。
[0051]然后，如圖4所示，當(dāng)直到少量的清潔液從噴嘴10的出口 11排出才提供清潔液時(shí)，阻塞構(gòu)件71通過阻塞構(gòu)件驅(qū)動裝置72的操作，移動以與噴嘴10的出口 11接觸，以便阻塞出口 11。因此，噴嘴10中的清潔液停止流動。
[0052]在這種狀態(tài)下，可以以列舉的順序或者相反的順序進(jìn)行以下步驟，并且可以在不考慮列舉的順序的情況下，重復(fù)進(jìn)行至少兩個(gè)步驟。
[0053](I)在阻塞出口 11的狀態(tài)下，清潔液可以在旋轉(zhuǎn)輸送螺桿13時(shí)在噴嘴10的內(nèi)部循環(huán)。在這種情況下，輸送螺桿13可以向前或者向后旋轉(zhuǎn)，或者重復(fù)地向前并且向后旋轉(zhuǎn)。
[0054](2)在阻塞構(gòu)件71與噴嘴10間隔開，以便打開出口 11的狀態(tài)下，可以將清潔液從清潔液供給單元40提供到噴嘴10，并且在噴嘴10的內(nèi)部循環(huán)，然后從出口 11排出。在這種情況下，可以旋轉(zhuǎn)輸送螺桿13。從出口 11排出的清潔液可以收集到容器60中，然后廢棄或者回收(參見圖5)。
[0055](3)在打開出口 11并且連續(xù)地提供清潔液的狀態(tài)下，輸送螺桿13可以停止，或者重復(fù)地旋轉(zhuǎn)并停止(參見圖5)。
[0056](4)在連續(xù)地提供清潔液的狀態(tài)下，可以重復(fù)地打開并阻塞出口 11。
[0057]因此，當(dāng)在噴嘴10的內(nèi)部循環(huán)時(shí)，清潔液可以清潔管筒12的內(nèi)表面和輸送螺桿13的外表面，特別是清潔輸送螺桿13的螺紋之間的部分，然后與雜質(zhì)一起排出到外部。
[0058]在執(zhí)行操作之后，在切斷清潔液的供應(yīng)的狀態(tài)下，打開出口 11以從噴嘴10完全地排出清潔液。然后，以與將噴嘴10安裝在噴嘴支撐件20上的順序相反的順序，將噴嘴10與噴嘴支撐件20分離，并且將噴嘴10安裝在密封膠分配器的分配頭單元上。
[0059]根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的噴嘴清潔設(shè)備可以通過在不需要拆開噴嘴10的情況下，將清潔液提供到噴嘴10中，快速并且流暢地清潔噴嘴10，由此提高將密封膠施加到基板上的過程的效率。
[0060]下文將參考圖6和圖7描述根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)示例性實(shí)施方式的噴嘴清潔設(shè)備。相同的參考標(biāo)記表示與之前的示例性實(shí)施方式相同的部件，并且將省略其詳細(xì)說明。
[0061]如圖6和圖7所示，根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)示例性實(shí)施方式的噴嘴清潔設(shè)備可以包括氣體供給單元90，其通過供給管41連接到噴嘴10，并且將氣體提供給噴嘴10。
[0062]氣體供給單元90可以通過壓縮機(jī)或者鼓風(fēng)機(jī)配置。通過氣體供給單元90提供的氣體可以是不含有水氣的干燥氣體。
[0063]與此同時(shí)，氣體供給單元90和清潔液供給單元40可以通過使用一個(gè)供給管41連接到噴嘴10。在這種情況下，供給管41設(shè)置有三通閥46，以通過供給管41僅提供清潔液和氣體中的一種。閥門46可以是通過控制單元80控制的控制閥。
[0064]在完成了噴嘴10內(nèi)部循環(huán)清潔液并且從噴嘴10排出清潔液的操作之后，氣體供給單元90通過供給管41將氣體提供到噴嘴10。因此，可以通過提供到噴嘴10中的氣體的流動，將可能殘留在噴嘴10中的清潔液排出到外部，從而可以干燥噴嘴10的內(nèi)部。
[0065]根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的噴嘴清潔設(shè)備可以在用清潔液清潔噴嘴10之后干燥噴嘴10，從而可以快速清潔然后使用噴嘴10。
[0066]為了說明的目的，已經(jīng)描述了本發(fā)明的示例性實(shí)施方式。然而，應(yīng)當(dāng)理解的是，本發(fā)明的范圍不局限于具體的示例性實(shí)施方式，并且可以在不背離所附權(quán)利要求中限定的范圍的情況下，做出各種修改。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種噴嘴清潔設(shè)備，包括: 噴嘴支撐件，噴嘴安裝在其上； 清潔液供給單元，其通過供給管連接到噴嘴，并且將清潔液提供到噴嘴中； 容器，其容納從噴嘴的出口排出的清潔液；以及 阻塞單元，其阻塞噴嘴的出口。2.如權(quán)利要求1所述的噴嘴清潔設(shè)備，其中，所述阻塞單元包括: 阻塞構(gòu)件，其安裝為能夠在阻塞構(gòu)件接觸噴嘴出口的方向和阻塞構(gòu)件遠(yuǎn)離噴嘴出口的方向上移動；以及 阻塞構(gòu)件驅(qū)動裝置，其連接到阻塞構(gòu)件，并且移動所述阻塞構(gòu)件，以便阻塞構(gòu)件阻塞噴嘴的出口。3.如權(quán)利要求1所述的噴嘴清潔設(shè)備，其中，所述噴嘴包括管筒和輸送螺桿，所述管筒具有出口，并且所述輸送螺桿以能夠旋轉(zhuǎn)的方式安裝在管筒中，并且所述噴嘴清潔設(shè)備包括噴嘴驅(qū)動單元，所述噴嘴驅(qū)動單元旋轉(zhuǎn)輸送螺桿，以在噴嘴的內(nèi)部循環(huán)清潔液。4.如權(quán)利要求3所述的噴嘴清潔設(shè)備，其中，所述噴嘴驅(qū)動單元包括驅(qū)動電機(jī)和連接連桿，所述驅(qū)動電機(jī)產(chǎn)生驅(qū)動力，并且所述連接連桿將驅(qū)動電機(jī)連接到輸送螺桿，并且所述連接連桿包括第一連桿部分、第二連桿部分和接合部分，所述第一連桿部分連接到輸送螺桿，所述第二連桿部分連接到驅(qū)動電機(jī)的驅(qū)動軸，并且所述接合部分以能夠旋轉(zhuǎn)的方式在第一連桿部分和第二連桿部分之間連接到第一連桿部分和第二連桿部分。5.如權(quán)利要求1所述的噴嘴清潔設(shè)備，其中，所述清潔液供給單元包括清潔液箱和液位傳感器，所述清潔液箱容納清潔液，并且通過供給管連接到噴嘴，并且所述液位傳感器安裝在清潔液箱中，并且檢測容納在清潔液箱中的清潔液的水平。6.如權(quán)利要求1所述的噴嘴清潔設(shè)備，還包括: 氣體供給單元，其通過供給管連接到噴嘴，并且將氣體提供到噴嘴中。
【文檔編號】B08B3/10GK105935675SQ201510706321
【公開日】2016年9月14日
【申請日】2015年10月27日
【發(fā)明人】千周弘, 李光淵
【申請人】塔工程有限公司