一種防掉落的半導(dǎo)體清洗裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)和制造領(lǐng)域，更具體地說，涉及到一種防掉落的半導(dǎo)體清洗裝置。該防掉落的半導(dǎo)體清洗裝置包括：固定模組和噴頭，以及聲波發(fā)生器和位移探測器，其中，聲波發(fā)生器與噴頭搭配運作，該位移探測器包括固定端和測量端，其中位移探測器的固定端被固定在所述固定模組上，位移探測器的測量端為可伸縮的，聲波發(fā)生器壓緊位移探測器的測量端且與固定模組固定，該位移探測器感應(yīng)測量端的伸縮量以檢測所述聲波發(fā)生器是否松動。采用本發(fā)明提供的半導(dǎo)體清洗裝置，能夠防止其中的聲波發(fā)生裝置掉落，從而避免了晶圓被砸碎的情況發(fā)生。
【專利說明】
一種防掉落的半導(dǎo)體清洗裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)和制造領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種防掉落的半導(dǎo)體清洗
目.0
【背景技術(shù)】
[0002]隨著科技的發(fā)展，半導(dǎo)體行業(yè)的清洗技術(shù)也日臻成熟。與傳統(tǒng)的機械清洗不同的，半導(dǎo)體生產(chǎn)和加工設(shè)備的市場中出現(xiàn)了一大批采用更高新科技成果的清洗機臺和清洗裝置，其中的翹楚，當推超聲波或兆聲波清洗機臺。
[0003]超聲波或兆聲波清洗機臺的核心裝置是設(shè)置在機臺上的聲波發(fā)生器，為了達到理想的清洗效果，聲波清洗機臺所采用的聲波發(fā)生器通常以兆聲波發(fā)生器居多。兆聲波發(fā)生器搭配噴頭共同運作，在高頻振動效應(yīng)以及清洗液的化學(xué)反應(yīng)的作用下，清洗液分子隨聲波的推動高速且連續(xù)的沖擊半導(dǎo)體晶圓的表面，使晶圓表面附著的微小的污染物顆粒被強制去除并進入清洗液。
[0004]作為半導(dǎo)體清洗裝置的組件之一，兆聲波發(fā)生器的體積和重量都比較大，且通常會與一固定模組相固定，在清洗液中來回運動。在清洗過程中，兆聲波發(fā)生器基本都位于晶圓的上方，正對晶圓發(fā)射兆聲波。在長期的使用過程中，如果兆聲波發(fā)生器與固定模組連接的不牢，或發(fā)生松動，兆聲波發(fā)生器很有可能在工藝進行時發(fā)生掉落，砸碎位于兆聲波發(fā)生器下方的待清洗晶圓。而兆聲波發(fā)生器在清洗過程中持續(xù)的運動，更增加了這一風險。一片晶圓價值數(shù)千美金，工藝優(yōu)良的晶圓甚至可達上萬美金，如果類似的掉落事件不加以控制和預(yù)防，將會對半導(dǎo)體生產(chǎn)廠商造成較大損失。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明針對上述技術(shù)問題，給出了可行的解決方案，該方案主要涉及一種防掉落的半導(dǎo)體清洗裝置。為了防范于未然，本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體清洗裝置，能夠在兆聲波發(fā)生器掉落之前就對該情況有所預(yù)知，并及時的提醒操作人員停止清洗工藝，以便對松動的兆聲波發(fā)生器進行加固。
[0006]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了如下技術(shù)方案:
[0007]—種防掉落的半導(dǎo)體清洗裝置，包括固定模組和噴頭，所述半導(dǎo)體清洗裝置還包括聲波發(fā)生器和位移探測器，所述聲波發(fā)生器與所述噴頭搭配運作，所述位移探測器包括固定端和測量端，所述位移探測器的固定端被固定在所述固定模組上，所述位移探測器的測量端為可伸縮的，所述聲波發(fā)生器壓緊所述位移探測器的測量端且與所述固定模組固定，所述位移探測器感應(yīng)所述測量端的伸縮量以檢測所述聲波發(fā)生器是否松動。
[0008]進一步地，所述聲波發(fā)生器與所述固定模組通過螺絲/螺母固定。
[0009]優(yōu)選地，所述位移探測器被所述聲波發(fā)生器壓緊時所述測量端的伸縮量為零。
[0010]進一步地，所述位移探測器的精確度為0.0lmm或更高。
[0011]優(yōu)選地，所述聲波發(fā)生器是兆聲波發(fā)生器。
[0012]優(yōu)選地，所述位移探測器的固定端抵住所述固定模組并與之固定。
[0013]優(yōu)選地，所述半導(dǎo)體清洗裝置上設(shè)置有警報器，所述警報器與所述位移探測器相連。
[0014]優(yōu)選地，與所述位移探測器的測量端被壓緊的狀態(tài)相比，所述位移探測器感應(yīng)到的所述測量端的伸縮量超過所述測量端被壓緊的狀態(tài)時的伸縮量一預(yù)設(shè)閾值時，所述位移探測器觸發(fā)所述警報器。
[0015]進一步地，所述噴頭噴射時所述聲波發(fā)生器相應(yīng)的發(fā)射聲波。
[0016]進一步地，所述半導(dǎo)體清洗裝置與一擺臂相連，所述擺臂帶動所述半導(dǎo)體清洗裝置移動。
[0017]本發(fā)明提供的半導(dǎo)體清洗裝置，能夠在長期使用的過程中監(jiān)測到兆聲波發(fā)生器的松動情況，當松動達到預(yù)設(shè)的條件下自動地提醒操作人員，對兆聲波發(fā)生器進行加固，從而避免了意外的掉落事件發(fā)生，保護晶圓在清洗過程中不會被砸碎。
【附圖說明】
[0018]圖1是本發(fā)明半導(dǎo)體清洗裝置的立體圖。
[0019]圖2是本發(fā)明半導(dǎo)體清洗裝置去除掉固定模組后的立體圖。
[0020]圖3是本發(fā)明半導(dǎo)體清洗裝置的另一立體圖。
[0021]圖4是本發(fā)明半導(dǎo)體清洗裝置去除掉聲波發(fā)生器后的立體圖。
[0022]圖5是本發(fā)明半導(dǎo)體清洗裝置的位移探測器的示意圖。
[0023]圖6是本發(fā)明半導(dǎo)體清洗裝置的聲波發(fā)生器的示意圖。
【具體實施方式】
[0024]公眾及技術(shù)人員可以參考本發(fā)明申請的附圖，并結(jié)合具體實施例對本方案進行理解，并期待眾位在本發(fā)明申請為基礎(chǔ)專利的態(tài)勢下浮現(xiàn)出相應(yīng)更多的衍生專利，以造福社會，進一步促進社會生產(chǎn)力向前發(fā)展。
[0025]圖1-圖6是本發(fā)明具體實施例的示意圖。
[0026]圖1和圖3是本發(fā)明半導(dǎo)體清洗裝置的立體圖，兩幅視圖分別從斜上方向和斜下方向兩個角度展示了該半導(dǎo)體清洗裝置的結(jié)構(gòu)特征。從圖中可以看到，本實施例中的半導(dǎo)體清洗裝置包括固定模組101和噴頭102。固定模組101的頂部設(shè)置有警報器104，固定模組101的底部設(shè)置有兆聲波發(fā)生器106，該兆聲波發(fā)生器106大致呈扇形。噴頭102設(shè)置在固定模組101的一端并位于兆聲波發(fā)生器106的前面。
[0027]如果將固定模組101去除，如圖2所示，由此可以看到該半導(dǎo)體清洗裝置的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。該半導(dǎo)體清洗裝置具有一個位移探測器105，位移探測器105設(shè)置在固定模組101和兆聲波發(fā)生器106之間并與警報器104相連。半導(dǎo)體清洗裝置與一擺臂103固定連接，在晶圓清洗過程中，半導(dǎo)體清洗裝置隨擺臂103在晶圓上方移動。
[0028]由于傳統(tǒng)的清洗裝置要么采用機械式的清洗方式，要么雖然采用了聲波發(fā)生器的結(jié)構(gòu)，但卻沒有設(shè)置防掉落的部件，所以均存在一定的缺陷。而本發(fā)明的半導(dǎo)體清洗裝置，由于安裝了位移探測器105，能夠及時的預(yù)知可能發(fā)生的掉落危險，從而起到了很好的保護晶圓的作用。位移探測器105設(shè)置在該半導(dǎo)體清洗裝置的內(nèi)部、固定模組101和兆聲波發(fā)生器106之間，位置關(guān)系如圖4所示。而如圖5所示的，該位移探測器105具有兩個端，分別為上方的固定端107和下方的測量端108，其中的測量端108為一個可伸縮的接觸式探頭。
[0029]其具體工作原理在于，固定端107被固定，通常情況下抵住固定模組101并與固定模組101固定為一體，以限制位移探測器105自身發(fā)生位移影響測量結(jié)果；而下方的測量端108則被兆聲波發(fā)生器106抵住并壓緊，通常情況下，將處于壓緊狀態(tài)下的位移探測器105的讀數(shù)設(shè)定為0，以方便控制和讀數(shù)，此時測量端108的伸縮量即為O。兆聲波發(fā)生器106與固定模組101固定在一起，作為一種可選且簡單可靠的方式，通常會采取螺絲/螺母固定的方式將二者螺接在一起。由于兆聲波發(fā)生器106在清洗過程中長期浸泡在清洗液中，并時常在清洗液中移動，隨著時間的推移，個別螺絲或螺母會發(fā)生松動，并有可能最終脫落而導(dǎo)致兆聲波發(fā)生器106掉落并砸毀晶圓。而如果采用本發(fā)明的設(shè)計，由于兆聲波發(fā)生器106和固定模組101緊密的固定在一起，并共同壓緊位移探測器105，所以當松動情況發(fā)生時，位移探測器105的測量端108會產(chǎn)生一定的伸縮量并被位移探測器105所探測感應(yīng)，從而能夠提早的預(yù)警和防范兆聲波發(fā)生器106的掉落。這種位移探測器105的靈敏度非常之高，通常能夠達到0.0lmm的精確度，即即使兆聲波發(fā)生器106松動而導(dǎo)致位移探測器105的測量端108僅產(chǎn)生了 0.0lmm的伸縮，也能夠被位移探測器105準確的探測和度量，從而保證了預(yù)警效果。根據(jù)實際的使用情況，發(fā)現(xiàn)一般將預(yù)警的臨界值設(shè)置為伸縮量超過壓緊狀態(tài)下的伸縮量0.1Omm采取措施對兆聲波發(fā)生器106進行緊固較為合理，能夠確保兆聲波發(fā)生器106不會發(fā)生掉落。即如果壓緊狀態(tài)下位移探測器105的讀數(shù)為0，而經(jīng)過一段時間的使用之后，位移探測器105的讀數(shù)上升至0.1Omm及以上時，說明測量端108產(chǎn)生的伸縮量已經(jīng)比較大了，兆聲波發(fā)生器106存在掉落的風險，此時位移探測器105即可發(fā)出信號傳遞至警報器104報警，以提醒操作人員對兆聲波發(fā)生器106加以緊固。
[0030]當然的，雖然本實施例中警報器104設(shè)置在該半導(dǎo)體清洗裝置上，而實際上該警報器104也可以設(shè)置在整個清洗機臺的其他位置，具體視方便而定。另外，可以發(fā)現(xiàn)的是，本實施例的聲波發(fā)生器雖以兆聲波發(fā)生器106為例，但如果換做其他類型的聲波發(fā)生器，也并不影響整個半導(dǎo)體清洗裝置的防掉落功能的實現(xiàn)。
[0031]選用兆聲波發(fā)生器106是以為兆聲波相較于其他頻率的聲波具有更好的清洗效果，圖6是本發(fā)明具體實施例中兆聲波發(fā)生器106的結(jié)構(gòu)示意圖，在清洗過程中，兆聲波發(fā)生器106通常與噴頭102 —起配合，同時使用。
[0032]以上實施例旨在示例性的說明本發(fā)明的原理及功效，并非用于限制本發(fā)明的技術(shù)方案，本領(lǐng)域及相關(guān)領(lǐng)域的從業(yè)技術(shù)人員可在不違背本發(fā)明的精神及范疇下，對上述實施例進行修飾或改變，但仍然歸屬于本發(fā)明的發(fā)明構(gòu)思之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種防掉落的半導(dǎo)體清洗裝置，包括固定模組和噴頭，其特征在于，所述半導(dǎo)體清洗裝置還包括聲波發(fā)生器和位移探測器，所述聲波發(fā)生器與所述噴頭搭配運作，所述位移探測器包括固定端和測量端，所述位移探測器的固定端被固定在所述固定模組上，所述位移探測器的測量端為可伸縮的，所述聲波發(fā)生器壓緊所述位移探測器的測量端且與所述固定模組固定，所述位移探測器感應(yīng)所述測量端的伸縮量以檢測所述聲波發(fā)生器是否松動。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防掉落的半導(dǎo)體清洗裝置，其特征在于，所述聲波發(fā)生器與所述固定模組通過螺絲/螺母固定。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防掉落的半導(dǎo)體清洗裝置，其特征在于，所述位移探測器被所述聲波發(fā)生器壓緊時所述測量端的伸縮量為零。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防掉落的半導(dǎo)體清洗裝置，其特征在于，所述位移探測器的精確度為0.0lmm或更高。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防掉落的半導(dǎo)體清洗裝置，其特征在于，所述聲波發(fā)生器是兆聲波發(fā)生器。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防掉落的半導(dǎo)體清洗裝置，其特征在于，所述位移探測器的固定端抵住所述固定模組并與之固定。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防掉落的半導(dǎo)體清洗裝置，其特征在于，所述半導(dǎo)體清洗裝置上設(shè)置有警報器，所述警報器與所述位移探測器相連。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的防掉落的半導(dǎo)體清洗裝置，其特征在于，與所述位移探測器的測量端被壓緊的狀態(tài)相比，所述位移探測器感應(yīng)到的所述測量端的伸縮量超過所述測量端被壓緊的狀態(tài)時的伸縮量一預(yù)設(shè)閾值時，所述位移探測器觸發(fā)所述警報器。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防掉落的半導(dǎo)體清洗裝置，其特征在于，所述噴頭噴射時所述聲波發(fā)生器相應(yīng)的發(fā)射聲波。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防掉落的半導(dǎo)體清洗裝置，其特征在于，所述半導(dǎo)體清洗裝置與一擺臂相連，所述擺臂帶動所述半導(dǎo)體清洗裝置移動。
【文檔編號】H01L21/67GK105983552SQ201510081989
【公開日】2016年10月5日
【申請日】2015年2月15日
【發(fā)明人】吳均, 程成, 王暉
【申請人】盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司