專(zhuān)利名稱(chēng)：藥液供給裝置以及藥液供給方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及以所定量排出藥液等的液體的藥液供給裝置以及藥液供給方法，例如，有關(guān)為在半導(dǎo)體單晶片的表面，涂抹感光膠液，而使用的適合的藥液供給裝置以及藥液供給方法。
背景技術(shù)：
以半導(dǎo)體單晶片制造技術(shù)為首，在液晶基片制造技術(shù)、磁盤(pán)制造技術(shù)以及多層配線(xiàn)基片制造技術(shù)等的各種技術(shù)領(lǐng)域中的制造流程中，使用感光膠液、旋涂式玻璃液(スピニォンガラス液)、聚酰亞胺樹(shù)脂液、純水、腐蝕液、有機(jī)溶劑等的藥液，在涂抹這些藥液時(shí)，使用藥液供給裝置。
例如，在半導(dǎo)體單晶片的表面上，涂抹感光膠液的情況下，是以使半導(dǎo)體單晶片在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)為基礎(chǔ)，通過(guò)藥液供給裝置，將感光膠液一定量滴落到半導(dǎo)體單晶片的表面。
在排出感光膠液等的藥液時(shí)，若氣泡混入到裝置內(nèi)，則氣泡吸收欲將藥液壓出的壓力，從而使藥液的排出量不穩(wěn)定，使排出精度降低。因此，不能高品質(zhì)，高成品率地制造形成在半導(dǎo)體單晶片上的半導(dǎo)體集成電路。
為了捕捉藥液中的氣泡，在這樣的藥液供給裝置上設(shè)置了過(guò)濾器，藥液通過(guò)透過(guò)過(guò)濾器，來(lái)除去氣泡等的異物，從而提高了純凈度。滯留在過(guò)濾器容器內(nèi)的氣泡，通常，在與過(guò)濾器的排氣口連接的排氣流路上安裝除氣閥，通過(guò)開(kāi)放該除氣閥，排出到藥液供給裝置外。

發(fā)明內(nèi)容
但是，因?yàn)闅馀葜饾u附著在過(guò)濾器的表面，引起網(wǎng)眼阻塞，所以其氣泡捕捉能力逐漸降低。因此，用過(guò)濾器不能完全捕捉藥液中的氣泡，存在含有氣泡的藥液被排出到半導(dǎo)體單晶片的表面的情況，作為其結(jié)果，是不能提高半導(dǎo)體集成電路制造的成品率的。
象這樣，在過(guò)濾器中，除去氣泡，從過(guò)濾器排氣的原有的方法存在界限，為解決上述那樣的問(wèn)題，即使是在供給裝置內(nèi)的過(guò)濾器以外的位置，也需要適當(dāng)?shù)爻グ谒幰褐械臍馀?，將其排出到裝置外。
本發(fā)明的目的是使從藥液供給裝置中排出藥液的量穩(wěn)定，提高排出精度。
本發(fā)明的其他目的是可以高品質(zhì)，高成品率地制造半導(dǎo)體集成電路。
本發(fā)明的藥液供給裝置，其特征在于，具有有液體貯留室的緩沖罐部，該液體貯留室通過(guò)液體導(dǎo)入流路，與收納藥液的液體罐連通；過(guò)濾器部，該過(guò)濾器部具有過(guò)濾器入口和過(guò)濾器出口，上述過(guò)濾器入口與上述緩沖罐部的液體排出口連通；泵，該泵的入口與上述過(guò)濾器出口連接，泵出口介于液體排出流路，與排出噴嘴連接；返回流路，該返回流路連接在上述泵出口和上述緩沖罐部之間，使從上述泵排出的藥液返回到上述液體貯留室；排氣流路，該排氣流路與上述緩沖罐部連接，排出上述液體貯留室內(nèi)的空氣。
本發(fā)明的藥液供給裝置，也可以具有排氣流路，該排氣流路與上述過(guò)濾器部連接，排出上述過(guò)濾器部?jī)?nèi)的氣體。
本發(fā)明的藥液供給方法是使用了藥液供給裝置的藥液供給方法，該藥液供給裝置具有液體貯留室，該液體貯留室介于液體導(dǎo)入流路，與收納藥液的液體罐連通；過(guò)濾器，該過(guò)濾器具有與上述液體貯留室的液體排出口連通的過(guò)濾器入口和過(guò)濾器出口；泵，該泵具有與上述過(guò)濾器出口連通的泵入口和介于液體排出流路，與排出噴嘴連通的泵出口；排出閥，該排出閥設(shè)置在上述液體排出流路上，控制上述泵出口與上述排出噴嘴之間的連通的開(kāi)閉；返回流路，該返回流路連接在上述泵出口和上述液體貯留室之間，使從上述泵排出的藥液返回到上述液體貯留室，其特征在于，具有如下工序吸入工序，該吸入工序使上述泵動(dòng)作，吸入來(lái)自上述液體貯留室，通過(guò)過(guò)濾器，過(guò)濾了的藥液；返回工序，該返回工序是在凈化藥液時(shí)，關(guān)閉上述排出閥，通過(guò)上述泵的排出動(dòng)作，介于上述返回流路，使藥液返回到上述液體貯留室；排出工序，該排出工序是在供給藥液時(shí)，開(kāi)啟上述排出閥，通過(guò)上述泵的排出動(dòng)作，介于上述液體排出流路，從上述排出噴嘴排出藥液，轉(zhuǎn)換上述排出閥的開(kāi)閉，從上述排出噴嘴排出循環(huán)過(guò)濾后的藥液。
本發(fā)明的藥液供給方法是使用了藥液供給裝置的藥液供給方法，該藥液供給裝置具有液體貯留室，該液體貯留室介于液體導(dǎo)入流路，與收納藥液的液體罐連通；泵，該泵具有與上述液體貯留室的液體排出口連通的泵入口和介于液體排出流路、與排出噴嘴連通的泵出口；排出閥，該排出閥設(shè)置在上述液體排出流路上，控制上述泵出口與上述排出噴嘴之間的連通的開(kāi)閉；返回流路，該返回流路連接在上述泵出口和上述液體貯留室之間，使從上述泵排出的藥液返回到上述液體貯留室；排氣流路，該排氣流路與上述液體貯留室連通，排出上述液體貯留室內(nèi)的空氣，其特征在于，具有如下工序吸入工序，該吸入工序使上述泵動(dòng)作，從上述液體貯留室吸入藥液；排氣工序，該排氣工序是在凈化藥液時(shí)，關(guān)閉上述排出閥，通過(guò)上述泵的排出動(dòng)作，介于上述返回流路，使藥液返回到上述液體貯留室，介于上述排氣流路，排出滯留在上述液體貯留室內(nèi)的空氣；排出工序，該排出工序是在供給藥液時(shí)，開(kāi)啟上述排出閥，通過(guò)上述泵的排出動(dòng)作，介于上述液體排出流路，從上述排出噴嘴排出藥液，轉(zhuǎn)換上述排出閥的開(kāi)閉，從上述排出噴嘴排出返回排氣后的藥液。


圖1是表示作為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的藥液供給裝置的概略的液體回路圖。
圖2是表示由圖1的液體回路圖所構(gòu)成的藥液供給裝置的詳細(xì)構(gòu)造的剖視圖。
圖3是表示圖2的泵的詳細(xì)的剖視圖。
具體實(shí)施例方式
下面，根據(jù)附圖，詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式。
圖1是表示作為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的藥液供給裝置的概略的液體回路圖。如圖1所示，該藥液供給裝置的緩沖罐部6在內(nèi)部設(shè)置有液體貯留室61，在頂壁部形成連接有液體導(dǎo)入流路42的液體流入口60a，和連接有返回流路48的液體流入口60b，及連接有排氣流路49的排氣口60c，連接有連通路43的液體排出口60d在底壁部形成。
在緩沖罐部6的液體流入口60a上，連接有液體導(dǎo)入流路42的一端，該液體導(dǎo)入流路42設(shè)置有用于開(kāi)閉流路的導(dǎo)入閥V1，該液體導(dǎo)入流路42的另一端配置為位于液體罐46的內(nèi)部。因此，緩沖罐部6和液體罐46介于液體導(dǎo)入流路42而連通。
過(guò)濾器部4是由過(guò)濾器收納室40，及收納于此的過(guò)濾器41構(gòu)成，通過(guò)透過(guò)過(guò)濾器41，液體中的氣泡被捕捉到過(guò)濾器41的表面。
過(guò)濾器收納室40具有過(guò)濾器入口41a和過(guò)濾器出口41b，連通路43的一端連接在緩沖罐部6的液體排出口60d上，該連通路43的另一端連接在過(guò)濾器收納室40的過(guò)濾器入口41a上。因此，過(guò)濾器收納室40和緩沖罐部6介于連通路43連通。另外，過(guò)濾器41具有排氣口41c，排氣流路44與排氣口41c連接，該排氣流路44設(shè)置有用于開(kāi)閉流路的除氣閥V2，據(jù)此，可以將通過(guò)過(guò)濾器41被捕捉，滯留在過(guò)濾器收納室40內(nèi)的空氣，從排氣口41c，排出到過(guò)濾器41的外部。
在泵11的泵入口11a上，連接有泵入口側(cè)流路45的一端，該泵入口側(cè)流路45設(shè)置有用于開(kāi)閉流路的泵入口側(cè)閥V3，該泵入口側(cè)流路45的另一端連接在過(guò)濾器41的過(guò)濾器出口41b上。
泵11在泵室17擴(kuò)張時(shí)，將透過(guò)過(guò)濾器41的液體從泵入口11a吸入到泵室17的內(nèi)部，在收縮時(shí)，從泵出口11b排出。另外，在泵11的泵出口11b上，連接有液體排出流路47的一端，該液體排出流路47設(shè)置有用于開(kāi)閉流路的排出閥V4，將從泵11排出的液體引導(dǎo)至排出噴嘴50。
在液體排出流路47的泵出口11b和排出閥V4之間的位置，連接有返回流路48的一端，該返回流路48設(shè)置有用于開(kāi)閉流路的返回閥V5，該返回流路48的另一端與緩沖罐部6的液體流入口60b連接。因此，從泵11排出到液體排出流路47中的藥液，介于返回流路48，返回到緩沖罐部6的液體貯留室61。
排氣流路49設(shè)置有用于開(kāi)閉該流路的除氣閥V6，其一端與緩沖罐部6的排氣口60c連接，液體貯留室61內(nèi)的空氣從排氣流路49排出。在圖1所示的實(shí)施方式中，排氣流路49的另一端連接在排氣流路44上，也可以是不連接在排氣流路44上，為相互獨(dú)立的排氣構(gòu)造。
圖2是表示通過(guò)圖1的液體回路圖所構(gòu)成的藥液供給裝置的詳細(xì)構(gòu)造的剖視圖，圖3是表示圖2所示的泵的詳細(xì)的剖視圖。如圖2以及圖3所示，泵11具有可撓性?xún)?nèi)管13和波紋管14，該可撓性?xún)?nèi)管13是由彈性材料形成的，在徑向可自由彈性擴(kuò)張收縮，該波紋管14配置在其外側(cè)，同時(shí)也是由彈性材料形成的，在軸向可自由彈性變形。
可撓性?xún)?nèi)管13面向垂直方向配置，在其下端部安裝有第1轉(zhuǎn)接器15，在上端部安裝有第2轉(zhuǎn)接器16，在雙方的轉(zhuǎn)接器15、16之間中的可撓性?xún)?nèi)管13內(nèi)，為擴(kuò)張收縮的泵室17。
波紋管14如圖3所示，具有軸向中央部的作動(dòng)盤(pán)部21；具有有效徑d的小型波紋管部22；具有比有效徑d大的有效徑D的大型波紋管部23，雙方的波紋管部22、23介于作動(dòng)盤(pán)部21，成為一體。在波紋管14的兩端部，一體設(shè)置有固定盤(pán)部24、25，大型波紋管部23側(cè)的固定盤(pán)部24介于可撓性?xún)?nèi)管13，固定在第1轉(zhuǎn)接器15上，小型波紋管部22側(cè)的固定盤(pán)部25介于可撓性?xún)?nèi)管13，固定在第2轉(zhuǎn)接器16上。
該可撓性?xún)?nèi)管13因?yàn)樗┙o的藥液是感光膠液，為不與藥液反應(yīng)，所以是由作為氟樹(shù)脂的四氟乙烯全氟烴基乙烯基醚共聚合體(PFA)(聚四氟乙烯)等的樹(shù)脂材料形成的，轉(zhuǎn)接器15、16也是由同樣的材料形成的。另外，波紋管14也是由同樣的材料，與盤(pán)部21、24、25和波紋管部22、23成為一體而形成的。但是，作為樹(shù)脂材料，并非僅限于PFA，只要是可彈性變形的材料，也可以使用其他的樹(shù)脂材料。另外，也可以使可撓性?xún)?nèi)管13和波紋管14一體形成，在該情況下，不需要轉(zhuǎn)接器15、16。進(jìn)一步，關(guān)于波紋管14，也可以是金屬制。
可撓性?xún)?nèi)管13與在其外側(cè)配置的波紋管14之間的空間為驅(qū)動(dòng)室26，液體等的非壓縮性媒質(zhì)27填充在該驅(qū)動(dòng)室26內(nèi)。因此，若波紋管14在其中央部分的作動(dòng)盤(pán)部21處向軸向彈性變形，則波紋管14的全長(zhǎng)沒(méi)有變化，只是小型波紋管部22和大型波紋管部23的內(nèi)側(cè)的容積變化。據(jù)此，介于非壓縮性媒質(zhì)27，可撓性?xún)?nèi)管13向徑向，即橫方向擴(kuò)張收縮，可撓性?xún)?nèi)管的泵室進(jìn)行泵動(dòng)作。如圖3所示的泵11的構(gòu)造，與本申請(qǐng)人所提出的在特開(kāi)平10-61558號(hào)公報(bào)中所記載的基本相同，作為可撓性?xún)?nèi)管13的截面形狀，如上述公報(bào)所記載，可以是長(zhǎng)方形、圓形、或者異形截面等的各種形狀。
將波紋管14通過(guò)各自的固定盤(pán)部24、25的部分，安裝在支撐臺(tái)30上，固定盤(pán)部24通過(guò)嵌入其中的固定支架31，安裝在支撐臺(tái)30上，固定盤(pán)部25通過(guò)嵌入其中的固定支架32，安裝在支撐臺(tái)30上。
為使作動(dòng)盤(pán)部21軸向位移，進(jìn)行泵動(dòng)作，嵌入作動(dòng)盤(pán)部21的作動(dòng)支架33連結(jié)在滾珠螺母35上，該滾珠螺母35螺合在與波紋管14平行延伸、可以自由旋轉(zhuǎn)地安裝在支撐臺(tái)30上的滾珠螺桿軸34上。滾珠螺母35相對(duì)于設(shè)置在支撐臺(tái)30上的導(dǎo)軌36，可自由滑動(dòng)地接觸，通過(guò)滾珠螺桿軸34的旋轉(zhuǎn)，在軸向被驅(qū)動(dòng)。為了旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)該滾珠螺桿軸34，在皮帶輪38與皮帶輪39之間安裝皮帶70，該皮帶輪38固定在安裝于支撐臺(tái)30的馬達(dá)37的軸上，該皮帶輪39固定在滾珠螺桿軸34上。
伴隨著泵11的泵動(dòng)作，通過(guò)進(jìn)行導(dǎo)入閥V1-除氣閥V6的開(kāi)閉，開(kāi)閉各自的流路，該藥液供給裝置為了涂抹感光膠液，可以進(jìn)行藥液排出供給動(dòng)作。另外，作為這些導(dǎo)入閥V1-除氣閥V6，可以使用基于電信號(hào)而動(dòng)作的電磁閥，或者基于氣壓而動(dòng)作的空氣控制閥等。
過(guò)濾器部4和緩沖罐部6可自由拆裝地安裝在第1轉(zhuǎn)接器15的底面部。在緩沖罐部6上，設(shè)置有固定在支架上、作為液體檢測(cè)手段的傳感器20和作為最低液位檢測(cè)手段的傳感器21。傳感器20配置在液面最高的位置，該液面為供給到液體貯留室61的內(nèi)部的感光膠液的液面，傳感器21配置在液面最低的位置，該液面為供給到液體貯留室61的內(nèi)部的感光膠液的液面。因此，通過(guò)傳感器20、21，可以檢測(cè)收納在液體貯留室61的內(nèi)部的感光膠液的最高液面和最低液面。
在本實(shí)施方式中，傳感器20、21分別配置在感光膠液的液面最高或者最低的位置，但并非僅限于此，也可以設(shè)置在這些的中間位置。另外，這些傳感器20、21是基于光的透過(guò)或者遮斷進(jìn)行檢測(cè)的，但并非僅限于此，也可以使用檢測(cè)光的折曲率型，或者檢測(cè)靜電容量的變化，或者檢測(cè)超音波的變化的傳感器等。進(jìn)一步，在本實(shí)施方式中，傳感器20、21設(shè)置在緩沖罐部6的外部，也可以設(shè)置在緩沖罐部6的內(nèi)部，在該情況下，也可以使用利用浮力的檢測(cè)手段。
如圖2以及圖3所示，因?yàn)樵诘?轉(zhuǎn)接器15上形成泵入口側(cè)流路45和液體排出側(cè)流路47，在第2轉(zhuǎn)接器16上形成返回流路48，由于與藥液一起從泵入口側(cè)流路45流入到泵室17的氣泡與藥液相比比重低，所以不會(huì)回流到液體排出流路47，而是逐漸在泵室17內(nèi)上升，向返回流路48移動(dòng)。
在圖2所示的實(shí)施方式中，這些液體導(dǎo)入流路42、連通路43、排氣流路44、泵入口側(cè)流路45、液體排出流路47、返回流路48以及排氣流路49是成型于板塊中，也可以由軟管等形成。該板塊是由上述PFA等的樹(shù)脂，與第2轉(zhuǎn)接器16等共同一體成型的。
作為過(guò)濾器41，可以使用由中空絲膜形成的過(guò)濾器，或者由薄片狀的膜形成的過(guò)濾器，只要是可以過(guò)濾藥液，并非僅限于此。
接著，就該藥液供給裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。
首先，在液體罐46和液體貯留室內(nèi)裝滿(mǎn)感光膠液，作為隨著傳感器20、21，檢測(cè)感光膠液的初始狀態(tài)。在該狀態(tài)下，開(kāi)啟導(dǎo)入閥V1和泵入口側(cè)閥V3，使除氣閥V2、V6和排出閥V4及返回閥V5為關(guān)閉狀態(tài)，使泵11進(jìn)行吸入動(dòng)作。通過(guò)該泵11的吸入動(dòng)作，使收納在液體罐46內(nèi)的感光膠液，在經(jīng)液體導(dǎo)入流路42，供給到液體貯留室61后，經(jīng)液體排出流路43，供給到過(guò)濾器部4后，通過(guò)過(guò)濾器41過(guò)濾，進(jìn)而，經(jīng)泵入口流路45，被吸入到泵室17。
完成吸入動(dòng)作后，開(kāi)啟排出閥V4，使泵入口側(cè)閥V3和返回閥V5為關(guān)閉狀態(tài)，使泵11進(jìn)行排出動(dòng)作。通過(guò)該泵11的排出動(dòng)作，收納在泵室17的內(nèi)部的感光膠液，經(jīng)液體排出流路47，從排出噴嘴50排出，被涂抹到半導(dǎo)體單晶片的表面。通過(guò)交互進(jìn)行象這樣的吸入動(dòng)作和排出動(dòng)作，該藥液供給裝置可以進(jìn)行藥液排出供給動(dòng)作。
該藥液供給裝置為了提高感光膠液的純凈度，可以進(jìn)行藥液的循環(huán)過(guò)濾。循環(huán)過(guò)濾為開(kāi)啟導(dǎo)入閥V1和泵入口側(cè)閥V3，使除氣閥V2、V6和排出閥V4及返回閥V5為關(guān)閉狀態(tài)，在進(jìn)行將感光膠液吸入泵室17的內(nèi)部的吸入動(dòng)作后，開(kāi)啟返回閥V5，使泵入口側(cè)閥V3和排出閥V4為關(guān)閉狀態(tài)，開(kāi)啟導(dǎo)入閥V1，進(jìn)行使泵11進(jìn)行排出動(dòng)作的返回動(dòng)作。通過(guò)進(jìn)行該返回動(dòng)作，被吸入到泵室17的內(nèi)部的感光膠液，在排出到液體排出流路47后，經(jīng)返回流路48，返回到緩沖罐部6的液體貯留室61。返回到緩沖罐部6的液體是已經(jīng)透過(guò)過(guò)濾器41的液體，由于過(guò)濾器41的脫氣，純凈度高。因?yàn)樵摷儍舳雀叩囊后w再次透過(guò)過(guò)濾器41，吸入到泵11，所以可以排出供給純凈度更高的感光膠液。
該藥液供給裝置為了將在收納于液體罐46內(nèi)的液體中所包含的氣泡排出到外部，可以進(jìn)行排氣動(dòng)作。排氣動(dòng)作是在循環(huán)過(guò)濾的返回動(dòng)作中，使感光膠液返回到液體貯留室61后，再次進(jìn)行與上述相同的吸入動(dòng)作，開(kāi)啟返回閥V5和除氣閥V6，使導(dǎo)入閥V1和泵入口側(cè)閥V3及排出閥V4為關(guān)閉狀態(tài)，使泵11進(jìn)行排出動(dòng)作。通過(guò)進(jìn)行該動(dòng)作，可以從排氣流路49排出滯留在液體貯留室61內(nèi)的空氣。因此，即使透過(guò)過(guò)濾器41，也無(wú)法排凈的液體內(nèi)的氣泡，通過(guò)實(shí)行循環(huán)過(guò)濾以及排氣動(dòng)作，可以從與緩沖罐部6的液體貯留室61連通的排氣流路49排出到外部。
在將新的液體罐46裝填到藥液供給裝置時(shí)，反復(fù)進(jìn)行所定次數(shù)的上述循環(huán)過(guò)濾以及排氣動(dòng)作，可以準(zhǔn)備到進(jìn)行涂抹液體動(dòng)作的狀態(tài)。
本發(fā)明并非僅限于上述的實(shí)施方式，在不脫離其主旨的范圍內(nèi)，不用說(shuō)可以進(jìn)行各種變更。例如，在以上的說(shuō)明中，就將藥液供給裝置用于在半導(dǎo)體單晶片上涂抹感光膠液來(lái)使用的情況進(jìn)行了說(shuō)明，但并非僅限于感光膠液，本發(fā)明可以適用于供給各種液體，特別是在用于使容易產(chǎn)生氣泡的液體透過(guò)過(guò)濾器41而排出的情況下，很有效。另外，作為泵11的形式，只要是容積變化式的泵，也可以是隔膜式的泵。
產(chǎn)業(yè)上利用的可能性如以上那樣，有關(guān)本發(fā)明的藥液供給裝置以及藥液供給方法是，以半導(dǎo)體單晶片制造技術(shù)為首，在液晶基片制造技術(shù)、磁盤(pán)制造技術(shù)以及多層配線(xiàn)基片制造技術(shù)等的各種技術(shù)領(lǐng)域中的制造流程中，適合于要求了感光膠液、旋涂式玻璃液、聚酰亞胺樹(shù)脂液、純水、腐蝕液、有機(jī)溶劑等的潔凈性的藥液的供給。
權(quán)利要求
1.一種藥液供給裝置，其特征在于，具有有液體貯留室的緩沖罐部，該液體貯留室通過(guò)液體導(dǎo)入流路，與收納藥液的液體罐連通；過(guò)濾器部，該過(guò)濾器部具有過(guò)濾器入口和過(guò)濾器出口，上述過(guò)濾器入口與上述緩沖罐部的液體排出口連通；泵，該泵的入口與上述過(guò)濾器出口連接，泵出口介于液體排出流路，與排出噴嘴連接；返回流路，該返回流路連接在上述泵出口和上述緩沖罐部之間，使從上述泵排出的藥液返回到上述液體貯留室；排氣流路，該排氣流路與上述緩沖罐部連接，排出上述液體貯留室內(nèi)的空氣。
2.如權(quán)利要求1所述的藥液供給裝置，其特征在于，具有排氣流路，該排氣流路與上述過(guò)濾器部連接，排出上述過(guò)濾器部?jī)?nèi)的氣體。
3.一種藥液供給方法，使用了藥液供給裝置，該藥液供給裝置具有液體貯留室，該液體貯留室介于液體導(dǎo)入流路，與收納藥液的液體罐連通；過(guò)濾器，該過(guò)濾器具有與上述液體貯留室的液體排出口連通的過(guò)濾器入口和過(guò)濾器出口；泵，該泵具有與上述過(guò)濾器出口連通的泵入口和介于液體排出流路，與排出噴嘴連通的泵出口；排出閥，該排出閥設(shè)置在上述液體排出流路上，控制上述泵出口與上述排出噴嘴之間的連通的開(kāi)閉；返回流路，該返回流路連接在上述泵出口和上述液體貯留室之間，使從上述泵排出的藥液返回到上述液體貯留室，其特征在于，具有如下工序吸入工序，該吸入工序使上述泵動(dòng)作，吸入來(lái)自上述液體貯留室并通過(guò)過(guò)濾器過(guò)濾了的藥液；返回工序，該返回工序是在凈化藥液時(shí)，關(guān)閉上述排出閥，通過(guò)上述泵的排出動(dòng)作，介于上述返回流路，使藥液返回到上述液體貯留室；排出工序，該排出工序是在供給藥液時(shí)，開(kāi)啟上述排出閥，通過(guò)上述泵的排出動(dòng)作，介于上述液體排出流路，從上述排出噴嘴排出藥液，轉(zhuǎn)換上述排出閥的開(kāi)閉，從上述排出噴嘴排出循環(huán)過(guò)濾后的藥液。
4.一種藥液供給方法，使用了藥液供給裝置，該藥液供給裝置具有液體貯留室，該液體貯留室介于液體導(dǎo)入流路，與收納藥液的液體罐連通；泵，該泵具有與上述液體貯留室的液體排出口連通的泵入口和介于液體排出流路，與排出噴嘴連通的泵出口；排出閥，該排出閥設(shè)置在上述液體排出流路上，控制上述泵出口與上述排出噴嘴之間的連通的開(kāi)閉；返回流路，該返回流路連接在上述泵出口和上述液體貯留室之間，使從上述泵排出的藥液返回到上述液體貯留室；排氣流路，該排氣流路與上述液體貯留室連通，排出上述液體貯留室內(nèi)的空氣，其特征在于，具有如下工序吸入工序，該吸入工序使上述泵動(dòng)作，從上述液體貯留室吸入藥液；排氣工序，該排氣工序是在凈化藥液時(shí)，關(guān)閉上述排出閥，通過(guò)上述泵的排出動(dòng)作，介于上述返回流路，使藥液返回到上述液體貯留室，介于上述排氣流路，排出滯留在上述液體貯留室內(nèi)的空氣；排出工序，該排出工序是在供給藥液時(shí)，開(kāi)啟上述排出閥，通過(guò)上述泵的排出動(dòng)作，介于上述液體排出流路，從上述排出噴嘴排出藥液，轉(zhuǎn)換上述排出閥的開(kāi)閉，從上述排出噴嘴排出返回排氣后的藥液。
全文摘要
緩沖罐部(6)有通過(guò)液體導(dǎo)入流路(42)與收納藥液的液體罐(46)連通的液體貯留室(61)。過(guò)濾器部(4)具有過(guò)濾器入口(41a)和過(guò)濾器出口(41b)，過(guò)濾器入口(41a)與緩沖罐部(6)的液體排出口(60d)連通。泵(11)，其泵入口(11a)與過(guò)濾器出口(41b)連接，泵出口(11b)介于液體排出流路(47)與排出噴嘴(50)連接。返回流路(48)連接在泵出口(11b)和緩沖罐部(6)之間，使從泵(11)排出的藥液返回到液體貯留室(61)。排氣流路(49)與緩沖罐部(6)連接，排出液體貯留室(61)內(nèi)的空氣。
文檔編號(hào)B01D19/00GK1509199SQ02809898
公開(kāi)日2004年6月30日 申請(qǐng)日期2002年12月6日 優(yōu)先權(quán)日2001年12月28日
發(fā)明者矢島丈夫 申請(qǐng)人:株式會(huì)社小金井