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      多通道式化學(xué)濾材的制作方法

      文檔序號(hào):5054496閱讀:416來源:國(guó)知局
      專利名稱:多通道式化學(xué)濾材的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本發(fā)明涉及濾材,尤其涉及一種由多孔系吸附材直接制作成型出多孔道吸附單體,而把數(shù)多孔道吸附單體陣列定位在邊框內(nèi)部的多通道式化學(xué)濾材。
      背景技術(shù)
      用于凈化空氣分子污染物的化學(xué)濾材,常見的結(jié)構(gòu)型態(tài)如圖1所示的瓦楞紙式化學(xué)濾材10,其是以瓦楞紙板做為基體,再將吸附材粉末通過結(jié)合技術(shù)(如浸涂法)附著在瓦楞紙板上;然而,由于前述的瓦楞紙式化學(xué)濾材10,其單位體積的吸附材僅約占濾材整體的30%以下,再者其單位體積的重量也較小,也即短時(shí)間就會(huì)吸附飽和,導(dǎo)致濾材就必須頻繁地更換。其次,極低濃度(數(shù)ppt至ppb)的惡臭、有毒及腐蝕性氣體污染物,目前主要是以吸收塔、干式洗滌吸附器(dryscrubbing adsorptive)及化學(xué)吸附濾材予以去除,且大多有添加化學(xué)藥劑加強(qiáng)其凈化效率,以降低氣體中污染物濃度及增加處理量。而物理吸附、化學(xué)吸附及化學(xué)吸收為去除單元中的主要作用機(jī)制;其中,物理吸附為可逆反應(yīng),主要以介質(zhì)表面原有的官能基或孔洞性質(zhì)進(jìn)行污染物去除;化學(xué)吸附及化學(xué)吸收作用則在介質(zhì)中添加活性物質(zhì),使污染物與添加物產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)(例如酸堿中和),而對(duì)于所欲去除的污雜物的去除率及去除量做不同程度的改善。例如以活性碳為載體,將金屬鹽類含浸在活性碳上可去除二氧化硫及硫化氫,常使用的金屬鹽類有鉻鹽、銅鹽、銀鹽等;改質(zhì)過的活性碳吸附劑對(duì)于高濃度的污染物氣體具有相當(dāng)?shù)奈饺萘?,但其吸附容量?huì)隨污染物濃度下降而降低, 且當(dāng)線速度增加時(shí),去除效率及吸附容量都會(huì)大幅降低。再者,一般空氣分子的污染物(Airborne molecular contamination,AMC)包括硫化氫、二氧化硫、二甲基硫、氫氟酸、硝酸等有機(jī)與無機(jī)酸、氨氣、甲醛及異丙醇等化合物,大多存在于周圍環(huán)境中,主要由于交通污染、工地污染、農(nóng)業(yè)污染、動(dòng)植物氧化分解、生活污染物、工廠排放、空氣氣體置換等因素所造成。而近來,國(guó)際間對(duì)于環(huán)保議題及工業(yè)安全衛(wèi)生及高科技廠潔凈室分子污染物凈化的日益重視,考慮工業(yè)廢氣對(duì)環(huán)境及勞工以至于一般大眾身體產(chǎn)生的危害,故對(duì)于工業(yè)廢氣排放標(biāo)準(zhǔn)日趨嚴(yán)格,國(guó)內(nèi)外法規(guī)都已制定出相關(guān)的濃度及臭味的排放標(biāo)準(zhǔn)。另一方面,近來高科技廠的高階制程對(duì)于含硫化合物等有機(jī)與無機(jī)酸或堿及低沸點(diǎn)有機(jī)化合物等難處理的分子污染物,在外氣引入潔凈室前的凈化程度要求愈為嚴(yán)苛;例如在半導(dǎo)體晶圓制造廠及TFT-LCD面板光電制造業(yè)面板制程中,去光阻程序(stripping process)所使用的去光阻剝離液(stripper),主要成分為高沸點(diǎn)且?guī)缀跬耆苡谒挠袡C(jī)化合物,包括單乙醇胺(MEA)、二甲基亞砜(DMSO)以及乙二醇單丁醚(BDG)等;而在去光阻制程中,去光阻劑中的二甲基亞砜雖然是一種高沸點(diǎn)水溶性而且揮發(fā)性低的液體,但在處理過程中,極容易形成低沸點(diǎn)且惡臭的二甲基硫(dimethyl sulfide,DMS)和二甲基二硫 (dimethyl disulfide,DMDS)的氣態(tài)污染物。然而,以傳統(tǒng)吸附法、冷凝法及吸收法并無法完全去除低沸點(diǎn)及低水溶性的DMS與DMDS,而且其在低濃度下即會(huì)產(chǎn)生惡臭,極易影響廠房周圍生活環(huán)境而引發(fā)民眾抗議,同時(shí)也影響到廠房周圍其他高科技廠高階制程的產(chǎn)品良率。另因DMS的性質(zhì)與一般含硫氣態(tài)分子污染物不太相同,DMS雖也屬于與甲硫醇等性質(zhì)相似的有機(jī)硫化物,但因其酸堿性質(zhì)不明顯且分子較小,性質(zhì)與硫化氫較接近但更不容易被氧化,故相當(dāng)不易處理;若欲在常溫下將DMS分解,幾乎是不可能的事,僅能將其吸附去除或氧化轉(zhuǎn)化成較易吸附的化合物。還有,空氣中常見的含硫氣態(tài)分子污染物為硫化氫和二氧化硫,去除的方式一般以強(qiáng)氧化劑如高錳酸鉀等為主,其反應(yīng)機(jī)制如下二氧化硫去除反應(yīng)機(jī)制3S02+2KMn04+4K0H — 3K2S04+2Mn02+2H20Mn02+S02+2K0H — K2S04+Mn0+H20Μη0+02 —2Mn02硫化氫去除反應(yīng)機(jī)制3H2S+2KMn04 — 3S+2Mn02+2K0H+2H20然而,一般會(huì)使用顆粒狀、粉狀、球狀、纖維狀等的吸附材經(jīng)改質(zhì)劑予以改質(zhì)而吸附去除硫化物,其改質(zhì)劑的活性組成一般主要為過渡金屬,使用方法有直接使用過渡金屬氧化物,或是將過渡金屬分散在如活性碳的多孔系載體表面,或是兩者相互混用。有關(guān)去除硫化物的改質(zhì)劑專利如下US4075282專利案在活性碳碳床上噴出溶液方式(碘、碘化鉀、硫化鈉、硫化氫鈉、水),可直接吸收二氧化硫、硫化氫;US4196183專利案則是在活性碳表面含浸氧化銅或三氧化二鐵,對(duì)于中濃度(20至250ppm)的硫化氫具有98%的去除率; US5063196專利案則是在活性碳表面含浸碳酸銅、氫氧化銅、碳酸鋅、硝酸銀、三乙基二胺 (TEDA)及有機(jī)酸(maleic and酒石酸),而能有效去除氰化氫、氯化氰(氯氣、氯化氫、二氧化硫)、甲醛及硫化氫,其最大特點(diǎn)是不含鉻化合物且加入堿性化合物用以吸收酸性氣體; US5496785專利案是以乙酸鋅、碳酸鉀作為活性碳的主要活性組成,可有效去除氰化氫、四氟化碳、二氧化硫、氯氣、氟化氫及硫化氫;而JP1996-323194中揭露一種將錳離子交換在 X型沸石上,可用于去除硫化氫及甲硫醇等sulfide化合物,在較低的空間流速(3000H!·—1) 下,其起始去除率可達(dá)99.9%。但是,對(duì)于如甲硫醇、硫化氫、二氧化硫、二甲基硫、氫氟酸、硝酸、醋酸等有機(jī)與無機(jī)酸、氨氣、甲醛、丙二醇甲醚醋酸酯及異丙醇等空氣分子污染物的去除,目前尚無較長(zhǎng)效且易更換的移除濾材。

      發(fā)明內(nèi)容
      本發(fā)明的主要目的在于克服現(xiàn)有產(chǎn)品存在的上述缺點(diǎn),而提供一種多通道式化學(xué)濾材,解決現(xiàn)有技術(shù)濾材必須頻繁更換及不易更換的問題,而具有增長(zhǎng)濾材使用壽命及方便更換的功效。本發(fā)明的另一目的在于提供一種多通道式化學(xué)濾材,具有利用濾材搭配改質(zhì)技術(shù)進(jìn)而具有有效去除甲硫醇、硫化氫、二氧化硫、二甲基硫、氫氟酸、硝酸、醋酸等有機(jī)與無機(jī)酸、氨氣、甲醛及異丙醇等空氣分子污染物的長(zhǎng)效凈化功效。本發(fā)明的目的是由以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的。本發(fā)明多通道式化學(xué)濾材,其特征在于,包括有一邊框;以及數(shù)多孔道吸附單體,由多孔系吸附材直接制作成型,而陣列定位在該邊框內(nèi)部。前述的多通道式化學(xué)濾材,其中多孔道吸附單體的單位面積孔道數(shù)為50至 1600PPI。前述的多通道式化學(xué)濾材,其中多孔道吸附單體的單位面積孔道數(shù)較佳為150至 400PPI間,且孔道型式為蜂巢狀。前述的多通道式化學(xué)濾材,其中邊框在內(nèi)部設(shè)置有格架且在前后端設(shè)置有格網(wǎng)。前述多通道式化學(xué)濾材,其中多孔系吸附材包括活性碳、沸石與氧化鋁。前述的多通道式化學(xué)濾材,其中活性碳多孔道吸附單體可由煤粉、乳化煤焦油、水溶性粘合劑、潤(rùn)滑劑和水,經(jīng)過原料粉碎、配料、捏合、擠出成型、干燥、碳化和活化而得到。前述的多通道式化學(xué)濾材,其中進(jìn)一步以所述多孔道吸附單體為載體并合成或含浸有改質(zhì)劑。前述的多通道式化學(xué)濾材,其中改質(zhì)劑包括KMn04、Cu-EDTA, Ag或Cu。本發(fā)明多通道式化學(xué)濾材的有益效果,包括有一邊框;以及數(shù)多孔道吸附單體, 由多孔系吸附材直接制作成型,而陣列定位于該邊框內(nèi)部。然而,該多孔道吸附單體的單位面積孔道數(shù)為50至1600PPI (Poles per squareinch ;每英寸孔道數(shù));其中較佳為150至 400PPI間,且孔道型式為蜂巢狀。此外,該邊框在內(nèi)部設(shè)置有格架且在前后端設(shè)置有格網(wǎng)。再者,該多孔系吸附材包括活性碳、沸石與氧化鋁;其中,該活性碳多孔道吸附單體可由煤粉、乳化煤焦油、水溶性粘合劑、潤(rùn)滑劑和水,經(jīng)過原料粉碎、配料、捏合、擠出成型,干燥、碳化和活化而得到。另,進(jìn)一步以該多孔道吸附單體為載體并合成或含浸有改質(zhì)劑,而該改質(zhì)劑包括KMn04、Cu-EDTA、Ag 或Cu。具有增長(zhǎng)濾材使用壽命及方便更換的功效。其利用濾材搭配改質(zhì)技術(shù)進(jìn)而具有有效去除甲硫醇、硫化氫、二氧化硫、二甲基硫、氫氟酸、硝酸、醋酸等有機(jī)與無機(jī)酸、氨氣、甲醛及異丙醇等空氣分子污染物的長(zhǎng)效凈化功效。


      圖1為現(xiàn)有瓦楞紙式化學(xué)濾材結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本發(fā)明的分解結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本發(fā)明組合結(jié)構(gòu)示意圖。圖中主要標(biāo)號(hào)說明10瓦楞紙式化學(xué)濾材、20邊框、21格架、22格網(wǎng)、30多孔道吸附單體。
      具體實(shí)施例方式首先,如圖2、圖3所示,本發(fā)明包括有一邊框20,內(nèi)部設(shè)置有格架21 ;以及數(shù)多孔道吸附單體30,陣列定位于該邊框20內(nèi)部,而該多孔道吸附單體30是由多孔系吸附材直接制作成型,該多孔系吸附材包括活性碳(A.C.)、沸石(Zeolite)與氧化鋁(Al2O3);其中, 該活性碳多孔道吸附單體30可由煤粉、乳化煤焦油、水溶性粘合劑、潤(rùn)滑劑和水,經(jīng)過原料粉碎、配料、捏合、擠出成型、干燥、碳化和活化而得到。此外,該邊框20的前后端設(shè)置有定位該多孔道吸附單體30的格網(wǎng)22 ;另外,進(jìn)一步以該多孔道吸附單體30為載體并合成或含浸有改質(zhì)劑,該改質(zhì)劑包括Cu-EDTA、Ag或Cu, 借以有效移除DMS、H2S及SO2等污染物?;谇笆龅臉?gòu)成,本發(fā)明是由多孔系吸附材直接制作成型出多孔道吸附單體30, 再將數(shù)多孔道吸附單體30陣列于邊框20內(nèi)部,且搭配格架21與格網(wǎng)22而把多孔道吸附單體30陣列定位;于是,因該多孔道吸附單體30是由多孔系吸附材直接制作成型,也即濾材整體都是具有吸附功能的吸附材,相較于現(xiàn)有的瓦楞紙式化學(xué)濾材10,單位體積的吸附材僅約占濾材整體的30%,本發(fā)明吸附飽和的時(shí)間可提升至三倍以上,且因?qū)⒍嗫紫滴讲闹苯又谱鞒梢子诟鼡Q的單體態(tài)樣,而具有增長(zhǎng)濾材使用壽命及方便更換的功效。又, 另因以該多孔道吸附單體30為載體并合成或含浸有改質(zhì)劑,則具有有效去除甲硫醇、硫化氫、二氧化硫、二甲基硫、氫氟酸、硝酸等有機(jī)與無機(jī)酸、氨氣、甲醛、丙二醇甲醚醋酸酯及異丙醇等空氣分子的污染物的功效。借此,本發(fā)明對(duì)于濃度為0. OOOlppm至IOOppm(0. IPPb 至lOOOOOPPb)的空氣分子污染物,具有極為優(yōu)異的長(zhǎng)效凈化功效,尤其是對(duì)于濃度為 0. OOlppm至IOOppm(IPin3至IOOOPPb)的空氣分子污染物,具有更加優(yōu)異的長(zhǎng)效凈化功效。然而,再將改質(zhì)劑的合成方式說明如下(a) (KMn04+K0H) /A. C.取高錳酸鉀79克與氫氧化鉀56克加入1000ml水后充分?jǐn)嚢柚敝粮咤i酸鉀完全溶解,將溶液1000毫升倒入含有500克活性碳充分混合,靜置1小時(shí)后,將樣品以120°C烘干,可得樣品5;34克。(b) Cu-EDTA/A. C.取含結(jié)晶水的硝酸銅36克加入500ml水后充分?jǐn)嚢柚敝料跛徙~完全溶解,將硝酸銅溶液250毫升倒入含有200克活性碳多孔道吸附單體的圓形瓶中,以旋轉(zhuǎn)揮發(fā)儀將水分去除后,再加入剩下的250毫升硝酸銅溶液,再以旋轉(zhuǎn)揮發(fā)儀將水分去除;續(xù)取乙二胺四乙酸(EDTA EthylenediamineTetraacetic Acid) 0. 7克分散于200毫升水中,后加入含有硝酸銅的活性碳多孔道吸附單體中,再以旋轉(zhuǎn)揮發(fā)儀將水分去除;將樣品以120°C烘干,可得樣品234.2克。(c)5wt% Ag/A. C.取硝酸銀結(jié)晶0. 3758克加水10克使其完全溶解,將硝酸銀溶液緩慢滴入含有5g 活性碳的多孔道吸附單體的燒杯中,邊加邊攪拌,待充份攪拌后置于150°C烘箱中干燥。(d) 5wt% Ag/Zeolite取含有30% Y型沸石(CBV-100)的多孔道蜂巢狀吸附單體IOOg加入92. 4ml水后充分?jǐn)嚢璨⑸郎刂?0°C,取硝酸銀結(jié)晶2. 4139克加水15克使其完全溶解,將硝酸銀溶液緩慢滴入含有沸石多孔道蜂巢狀吸附單體的溶液中,攪拌1小時(shí)后過濾并水洗,80°C干燥后以400°C燒結(jié)2小時(shí),可得5% Ag/沸石多孔道蜂巢狀吸附單體。(e) CuAl2O3取含結(jié)晶水的硝酸銅36克加入500ml水后充分?jǐn)嚢柚敝料跛徙~完全溶解,將硝酸銅溶液250毫升倒入含有200克Al2O3多孔道吸附單體的圓形瓶中,以旋轉(zhuǎn)揮發(fā)儀將水分去除后,再加入剩下的250毫升硝酸銅溶液,再以旋轉(zhuǎn)揮發(fā)儀將水分去除。另,DMS移除率的測(cè)試方法(1)將欲測(cè)試的吸附劑在烘箱中烘干(90至100°C,4hr)后取出,置于干燥皿中待冷卻,秤重所需的樣品(Wl)。(2)將吸附測(cè)試管的兩蓋口互合后以長(zhǎng)尾夾固定,先調(diào)整浮子流量計(jì)至所需的流量,尾端以干式流量計(jì)及濕度計(jì)進(jìn)行氣體流量及濕度測(cè)量,再開啟氣體質(zhì)量流量計(jì)并將尾氣接至總硫分析儀進(jìn)行總硫濃度分析,直至所需的濃度。(3)將吸附劑裝置在測(cè)試管中,并打開恒溫循環(huán)水槽通入恒溫水于恒溫槽夾層中。(4)將測(cè)試管裝至吸附系統(tǒng)上,開始進(jìn)行反應(yīng),直至尾氣濃度至所設(shè)定為止(時(shí)間為t)。(5)將吸附床取下倒出樣品秤重(W2)。又,飽和吸附量的計(jì)算方法秤重吸附量吸附量wt% (g DMS/g 吸附劑)=(W2-W1)/W1X100%計(jì)算吸附量吸附量wt % (g DMS/g吸附劑)= C X 10-6 X 流量(L/min) XtX 62/24. 5/ffl X 100其中,C為 DMS 濃度(ppm)低濃度吸附測(cè)試結(jié)果如下表1所示
      表1為低濃度DMS吸附測(cè)試結(jié)果
      權(quán)利要求
      1.一種多通道式化學(xué)濾材,其特征在于,包括有一邊框;數(shù)多孔道吸附單體,由多孔系吸附材直接制作成型,而陣列定位在該邊框內(nèi)部。
      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多通道式化學(xué)濾材,其特征在于,所述多孔道吸附單體的單位面積孔道數(shù)為50至1600PPI。
      3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多通道式化學(xué)濾材,其特征在于,所述多孔道吸附單體的單位面積孔道數(shù)較佳為150至400PPI間,且孔道型式為蜂巢狀。
      4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多通道式化學(xué)濾材,其特征在于,所述邊框在內(nèi)部設(shè)置有格架且在前后端設(shè)置有格網(wǎng)。
      5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的多通道式化學(xué)濾材,其特征在于,所述多孔系吸附材包括活性碳、沸石與氧化鋁。
      6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的多通道式化學(xué)濾材,其特征在于,所述活性碳多孔道吸附單體可由煤粉、乳化煤焦油、水溶性粘合劑、潤(rùn)滑劑和水,經(jīng)過原料粉碎、配料、捏合、擠出成型、干燥、碳化和活化而得到。
      7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的多通道式化學(xué)濾材,其特征在于,進(jìn)一步以所述多孔道吸附單體為載體并合成或含浸有改質(zhì)劑。
      8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的多通道式化學(xué)濾材,其特征在于,所述改質(zhì)劑包括KMn04、 Cu-EDTA、Ag 或 Cu。
      全文摘要
      本發(fā)明提供一種多通道式化學(xué)濾材,其特征在于,包括有一邊框;以及數(shù)多孔道吸附單體,由多孔系吸附材直接制作成型,而陣列定位在該邊框內(nèi)部;利用濾材搭配改質(zhì)技術(shù)進(jìn)而具有有效去除甲硫醇、硫化氫、二氧化硫、二甲基硫、氫氟酸、硝酸、醋酸等有機(jī)與無機(jī)酸、氨氣、甲醛及異丙醇等空氣分子污染物的長(zhǎng)效凈化功效,還具有增長(zhǎng)濾材使用壽命及方便更換的功效。
      文檔編號(hào)B01J20/08GK102233262SQ20101015336
      公開日2011年11月9日 申請(qǐng)日期2010年4月23日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月23日
      發(fā)明者張豐堂 申請(qǐng)人:張豐堂, 杰智環(huán)境科技股份有限公司
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