專利名稱：新風(fēng)過濾器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種過濾器。
背景技術(shù)：
目前，在半導(dǎo)體芯片廠(FAB)的空調(diào)系統(tǒng)通常采用新風(fēng)初效過濾器?，F(xiàn)有的新風(fēng) 初效過濾器，請參見圖1，包括機架1和用于過濾新風(fēng)的過濾棉2、主動軸3和被動軸4，所 述主動軸2和被動軸4分別樞接于所述機架1的兩側(cè)，所述過濾棉2的一端繞置在被動軸 4上，另一端繞置在用于回收過濾棉的主動軸3上。當(dāng)過濾棉2使用一段時間后，過濾棉2臟了以后，就需要人工手動轉(zhuǎn)動主動軸3，從 而將臟的過濾棉部分回收卷在主動軸上，使得干凈的過濾棉部分進(jìn)入過濾狀態(tài)。當(dāng)過濾棉 的所有部分臟了以后，該過濾棉就失效并需要更換新的過濾棉。如此，會造成材料及人力浪費。另外，由于現(xiàn)有的新風(fēng)初效過濾器的運行特點是一定周期(即從過濾棉開始使用 至過濾棉臟度到不能達(dá)到要求時)才更新，由于過濾棉先后清潔度的變化幅度很大，因而 會造成新風(fēng)風(fēng)量周期大幅波動，進(jìn)而影響FAB溫濕度的大幅波動，從而影響生產(chǎn)工藝，導(dǎo)致 產(chǎn)品良率下降。因此，如何提供一種減小過濾棉浪費的新風(fēng)過濾器是本領(lǐng)域亟待解決的一個技術(shù) 問題。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種新風(fēng)過濾器，可以減少過濾棉的使用量，從而減 少耗材消耗并有利于環(huán)境保護(hù)。為了達(dá)到上述的目的，本實用新型采用如下技術(shù)方案一種新風(fēng)過濾器，包括機架、用于過濾新風(fēng)的過濾棉、主動軸和被動軸，所述主動 軸和被動軸分別樞接于所述機架的兩側(cè)，所述過濾棉的一端繞置在被動軸上，另一端繞置 在主動軸上，所述機架上設(shè)有用于清潔過濾棉的真空抽吸裝置。在上述的新風(fēng)過濾器中，所述真空抽吸裝置包括驅(qū)動部件、真空吸槽和導(dǎo)軌，所述 真空吸槽外接真空源，所述導(dǎo)軌固設(shè)于機架上，所述驅(qū)動部件驅(qū)動真空吸槽沿所述導(dǎo)軌移 動。在上述的新風(fēng)過濾器中，所述導(dǎo)軌包括兩根，兩根導(dǎo)軌的上、下端分別通過上限位 支架和下限位支架固定于所述機架。在上述的新風(fēng)過濾器中，所述真空吸槽上設(shè)有抽吸口，所述抽吸口設(shè)于所述真空 吸槽靠近過濾棉的那側(cè)，所述抽吸口的周緣設(shè)有用于密封的軟性橡膠。在上述的新風(fēng)過濾器中，所述軟性橡膠的寬度在0. 5-2mm之間。在上述的新風(fēng)過濾器中，所述真空吸槽的長度大于所述過濾棉的寬度。在上述的新風(fēng)過濾器中，所述驅(qū)動部件包括手柄和齒輪，所述齒輪通過手柄帶動，所述導(dǎo)軌是齒條，所述齒輪和所述齒條嚙合，所述齒輪與真空吸槽固定連接。在上述的新風(fēng)過濾器中，所述驅(qū)動部件包括第一電機和齒輪，所述齒輪由第一電 機帶動，所述導(dǎo)軌是齒條，所述齒輪和所述齒條嚙合，所述齒輪與真空吸槽固定連接。在上述的新風(fēng)過濾器中，所述真空抽吸裝置還包括用于控制主動軸運動的總控制 器、用于控制第一電機的第一控制器、用于監(jiān)測過濾棉臟度的壓差傳感器和用于限制真空 吸槽移動位置的位置傳感器，所述總控制器設(shè)于機架上，所述第一控制器、壓差傳感器和位 置傳感器分別與所述總控制器連接。在上述的新風(fēng)過濾器中，所述機架上還設(shè)有報警裝置，所述報警裝置和所述總控 制器電連接。本實用新型的有益效果如下本實用新型新風(fēng)過濾器，結(jié)構(gòu)簡單、使用方便，通過在現(xiàn)有的新風(fēng)過濾器的機架上 設(shè)有用于清潔過濾棉的真空抽吸裝置，可以在一定程度上清潔過濾棉，延長過濾棉的使用 壽命。另外，通過將真空抽吸裝置設(shè)置成自動的真空抽吸裝置，不但可以減小操作人員的工 作量，提高工作效率，而且可以降低新風(fēng)風(fēng)量波動，從而降低新風(fēng)風(fēng)量波動對FAB溫濕度的 影響，保證生產(chǎn)工藝順利進(jìn)行。

本實用新型的新風(fēng)過濾器由以下的實施例及附圖給出。圖1是現(xiàn)有的新風(fēng)過濾器的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是實施例1的新風(fēng)過濾器的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是實施例2的新風(fēng)過濾器的底板的結(jié)構(gòu)示意圖；圖中，1-機架、2-過濾棉、3-主動軸、4-被動軸、51-手柄、51’ -第一電機、52-真 空吸槽、521-真空接口、53-齒條(或?qū)к?、54_第一控制器、55-壓差傳感器、56-位置傳 感器、61-上限位支架、62-下限位支架。
具體實施方式
以下將對本實用新型的新風(fēng)過濾器作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。下面將參照附圖對本實用新型進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實用新型的優(yōu)選 實施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實用新型而仍然實現(xiàn)本實用新型 的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對 本實用新型的限制。為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能 和結(jié)構(gòu)，因為它們會使本實用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實際實施例 的開發(fā)中，必須作出大量實施細(xì)節(jié)以實現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商 業(yè)的限制，由一個實施例改變?yōu)榱硪粋€實施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和 耗費時間的，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。為使本實用新型的目的、特征更明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對本實用新型的具體實 施方式作進(jìn)一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率， 僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。[0029]實施例1請參閱圖2，這種新風(fēng)過濾器，包括機架1、用于過濾新風(fēng)的過濾棉2、主動軸3和被 動軸4。所述主動軸3和被動軸4分別樞接于所述機架1的兩側(cè)。所述過濾棉2的一端繞 置在被動軸4上，另一端繞置在用于回收過濾棉的主動軸3上。所述機架1上設(shè)有用于清 潔過濾棉2的真空抽吸裝置。所述真空抽吸裝置包括驅(qū)動部件、真空吸槽52和導(dǎo)軌53，所 述真空吸槽52外接真空源，所述導(dǎo)軌53固設(shè)于機架1上。所述導(dǎo)軌53有兩根，左右對稱 設(shè)置，兩根導(dǎo)軌53的上端通過上限位支架61連接固定于機架1，兩根導(dǎo)軌的下端通過下限 位支架62連接固定于機架1。所述驅(qū)動部件驅(qū)動真空吸槽52沿導(dǎo)軌53移動。其中，所述 驅(qū)動部件包括手柄51和齒輪(圖中未示意)，所述齒輪通過手柄51帶動，所述導(dǎo)軌是齒條 53，所述齒輪和所述齒條53嚙合，所述齒輪與真空吸槽52固定連接。所述真空吸槽是一矩 形框。為了使真空吸槽52能夠清潔過濾棉2的左右邊緣，所述真空吸槽52的長度應(yīng)大于 所述過濾棉2的寬度。即所述矩形框的長邊大于所述過濾棉2的寬度(即橫向?qū)挾?。所 述真空吸槽52上設(shè)有抽吸口，所述抽吸口設(shè)于所述真空吸槽52靠近過濾棉2的那側(cè)，所述 抽吸口的周緣設(shè)有密封用的軟性橡膠。所述軟性橡膠的寬度在0. 5-2mm之間，也就是說當(dāng) 真空吸槽工作的時候，所述真空吸槽52和所述過濾棉2之間的距離在0. 5-2mm為宜。本實 施例中，所述軟性橡膠的寬度是1. 5mm。所述真空吸槽52上還設(shè)有用于外接真空源的真空 接口 521。使用時，請參閱圖2，當(dāng)操作人員看見過濾棉2的進(jìn)行過濾的部分比較臟時，將真 空吸槽52接通外部的真空源。同時，通過手柄51正向轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)動齒輪或反向轉(zhuǎn)動齒輪，使得 來帶動真空吸槽52向上或向下運動，從而在真空吸槽52移動的過程中抽吸過濾棉2，實現(xiàn) 清潔的功能，從而一定程度上延長過濾棉2的使用壽命。另外，由于可以及時用真空吸槽抽 吸過濾棉，使過濾棉的清潔度的保持在一定范圍內(nèi)，因而，可以有效降低新風(fēng)風(fēng)量波動，從 而降低新風(fēng)風(fēng)量波動對FAB溫濕度的影響，保證生產(chǎn)工藝順利進(jìn)行。實施例2請參閱圖3，本實施例與實施例1的區(qū)別在于所述真空抽吸裝置是自動真空抽吸 裝置。所述驅(qū)動部件包括第一電機51’和齒輪(圖中未示意)，所述齒輪由第一電機51’帶 動，所述導(dǎo)軌是齒條53，所述齒輪和所述齒條53嚙合，所述齒輪與真空吸槽52固定連接。 所述自動真空抽吸裝置還包括用于控制主動軸3運動的總控制器(圖中未示意)、用于控制 第一電機51’的第一控制器M、用于監(jiān)測過濾棉2臟度的壓差傳感器55和用于限制真空吸 槽52移動位置的位置傳感器56，所述第一控制器M、壓差傳感器55和位置傳感器56分別 與所述總控制器連接。所述總控制器設(shè)于機架1上。所述位置傳感器56共兩個，分別設(shè)于 所述上限位支架61和下限位支架62上。所述壓差傳感器55設(shè)于所述真空吸槽52靠近過 濾棉2的那一端。使用方法如下請參閱圖3，首先，壓差傳感器55實施監(jiān)測過濾棉2臟度，并將該 信息傳遞到總控制器進(jìn)行處理。如果過濾棉2臟度達(dá)到一定程度，則真空吸槽52連通真空 源；同時總控制器命令第一控制器M驅(qū)動第一電機51’，使得第一電機51’帶動真空吸槽 52沿導(dǎo)軌向上或向下移動，直到過濾棉2的清潔度達(dá)標(biāo)。如果真空吸槽52在上、下限位支 架61、62之間往返三次后，過濾棉2的清潔度還未達(dá)標(biāo)，則總控制器將自動通過其對應(yīng)的電 機驅(qū)動主動軸3，回收該段過濾棉2并釋放新過濾棉2。所述機架1上還設(shè)有報警裝置(圖中未示意)，所述報警裝置也和總控制器電連接。當(dāng)上述某個環(huán)節(jié)未執(zhí)行或出現(xiàn)異常情況 時，報警裝置報警，以便及時通知操作人員進(jìn)行檢修。通過將真空抽吸裝置設(shè)置成自動的真 空抽吸裝置，不但可以減小操作人員的工作量，提高工作效率，由于可以及時用真空吸槽抽 吸過濾棉，使過濾棉的清潔度的保持在一定范圍內(nèi)，因而，可以有效降低新風(fēng)風(fēng)量波動，從 而降低新風(fēng)風(fēng)量波動對FAB溫濕度的影響，保證生產(chǎn)工藝順利進(jìn)行。 顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本實用新型進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本實用 新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權(quán)利要求及 其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種新風(fēng)過濾器，包括機架、用于過濾新風(fēng)的過濾棉、主動軸和被動軸，所述主動軸 和被動軸分別樞接于所述機架的兩側(cè)，所述過濾棉的一端繞置在被動軸上，另一端繞置在 主動軸上，其特征在于，所述機架上設(shè)有用于清潔過濾棉的真空抽吸裝置。
2.如權(quán)利要求1所述的新風(fēng)過濾器，其特征在于，所述真空抽吸裝置包括驅(qū)動部件、真 空吸槽和導(dǎo)軌，所述真空吸槽外接真空源，所述導(dǎo)軌固設(shè)于機架上，所述驅(qū)動部件驅(qū)動真空 吸槽沿所述導(dǎo)軌移動。
3.如權(quán)利要求2所述的新風(fēng)過濾器，其特征在于，所述導(dǎo)軌包括兩根，兩根導(dǎo)軌的上、 下端分別通過上限位支架和下限位支架固定于所述機架。
4.如權(quán)利要求2所述的新風(fēng)過濾器，其特征在于，所述真空吸槽上設(shè)有抽吸口，所述抽 吸口設(shè)于所述真空吸槽靠近過濾棉的那側(cè)，所述抽吸口的周緣設(shè)有用于密封的軟性橡膠。
5.如權(quán)利要求4所述的新風(fēng)過濾器，其特征在于，所述軟性橡膠的寬度在0.5-2mm之間。
6.如權(quán)利要求2所述的新風(fēng)過濾器，其特征在于，所述真空吸槽的長度大于所述過濾 棉的寬度。
7.如權(quán)利要求2所述的新風(fēng)過濾器，其特征在于，所述驅(qū)動部件包括手柄和齒輪，所述 齒輪通過手柄帶動，所述導(dǎo)軌是齒條，所述齒輪和所述齒條嚙合，所述齒輪與真空吸槽固定 連接。
8.如權(quán)利要求2所述的新風(fēng)過濾器，其特征在于，所述驅(qū)動部件包括第一電機和齒輪， 所述齒輪由第一電機帶動，所述導(dǎo)軌是齒條，所述齒輪和所述齒條嚙合，所述齒輪與真空吸 槽固定連接。
9.如權(quán)利要求8所述的新風(fēng)過濾器，其特征在于，所述真空抽吸裝置還包括用于控制 主動軸運動的總控制器、用于控制第一電機的第一控制器、用于監(jiān)測過濾棉臟度的壓差傳 感器和用于限制真空吸槽移動位置的位置傳感器，所述總控制器設(shè)于機架上，所述第一控 制器、壓差傳感器和位置傳感器分別與所述總控制器連接。
10.如權(quán)利要求9所述的新風(fēng)過濾器，其特征在于，所述機架上還設(shè)有報警裝置，所述 報警裝置和所述總控制器電連接。
專利摘要本實用新型涉及一種過濾器。這種新風(fēng)過濾器，包括機架和用于過濾新風(fēng)的過濾棉、主動軸和被動軸，所述主動軸和被動軸分別樞接于所述機架的兩側(cè)，所述過濾棉的一端繞置在被動軸上，另一端繞置在用于回收過濾棉的主動軸上，所述機架上設(shè)有用于清潔過濾棉的真空抽吸裝置。本實用新型新風(fēng)過濾器，結(jié)構(gòu)簡單、使用方便，通過在現(xiàn)有的新風(fēng)過濾器的機架上設(shè)有用于清潔過濾棉的真空抽吸裝置，可以在一定程度上清潔過濾棉，延長過濾棉的使用壽命。另外，通過將真空抽吸裝置設(shè)置成自動的真空抽吸裝置，不但可以減小操作人員的工作量，提高工作效率，而且可以降低新風(fēng)風(fēng)量波動，從而降低新風(fēng)風(fēng)量波動對FAB溫濕度的影響，保證生產(chǎn)工藝順利進(jìn)行。
文檔編號B01D46/18GK201840951SQ20102051688
公開日2011年5月25日 申請日期2010年9月3日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月3日
發(fā)明者崔津生 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司