專利名稱：液體循環(huán)攪拌裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
液體循環(huán)攪拌裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種液體循環(huán)攪拌裝置。
技術(shù)背景[0002]半導(dǎo)體制造工藝離不開化學(xué)品，這些化學(xué)品多為混合物，半導(dǎo)體制造公司先從工廠購得配制化學(xué)品的原料，再在進(jìn)入工藝前進(jìn)行配制，以化學(xué)機(jī)械研磨制程為例，研磨液是化學(xué)機(jī)械研磨制程中必不可少的化學(xué)品，研磨液系統(tǒng)包括原液桶、配液桶和供液桶，從工廠購得的配制研磨液的各種原料分別盛裝在各自的原液桶中，需要使用研磨液時(shí)，在配液桶中混合各種原料進(jìn)行研磨液配制，最后，配置好的研磨液由供液桶供應(yīng)到研磨裝置中。液體盛裝在桶中一段時(shí)間后會沉積和結(jié)晶，這些沉積物和結(jié)晶會在化學(xué)機(jī)械研磨制程中刮傷晶圓，為防止液體沉積和結(jié)晶，每個(gè)環(huán)節(jié)的研磨液都必須得到充分?jǐn)嚢琛0003]圖1所示為現(xiàn)有技術(shù)的液體循環(huán)攪拌裝置，所述液體循環(huán)攪拌裝置包括流體出桶管11、流體回流管12和泵13，待攪拌液體22盛裝在溶液桶21中，所述流體出桶管11的一端插入所述溶液桶21的液體22內(nèi)，所述流體出桶管11的另一端與所述泵13的輸入端連接，所述泵13的輸出端與所述流體回流管12的一端連接，所述流體回流管12的另一端插入所述溶液桶21的液體22內(nèi)，其中，所述流體回流管12插入液體22的部分為直管。在所述泵13的驅(qū)動作用下，液體22從所述溶液桶21進(jìn)入所述流體出桶管11，經(jīng)由所述泵13到所述流體回流管12，再由所述流體回流管12流回所述溶液桶21，通過液體22的循環(huán)流動達(dá)到攪拌目的。[0004]現(xiàn)有技術(shù)的液體循環(huán)攪拌裝置的缺點(diǎn)是，由于所述流體回流管12插入液體22的部分為直管，僅僅依靠液體循環(huán)流動來攪拌液體攪拌效果不好，特別是對大容量溶液桶來說ο實(shí)用新型內(nèi)容[0005]本實(shí)用新型的目的在于提供一種液體循環(huán)攪拌裝置，攪拌效果好。[0006]為了達(dá)到上述的目的，本實(shí)用新型提供一種液體循環(huán)攪拌裝置，包括依次連接的流體出桶管、泵和流體回流管，以及螺旋攪拌器，待攪拌液體盛裝在溶液桶中，所述流體出桶管的一端插入所述液體內(nèi)，所述螺旋攪拌器與所述流體回流管的一端連接，所述螺旋攪拌器插入所述液體內(nèi)。[0007]上述液體循環(huán)攪拌裝置，其中，所述螺旋攪拌器包括連接環(huán)、多根連接支架和螺旋槳；所述連接環(huán)與所述流體回流管的一端連接；所述連接支架的一端與所述連接環(huán)連接， 所述連接支架的另一端與所述螺旋槳活動連接。[0008]上述液體循環(huán)攪拌裝置，其中，所述螺旋攪拌器還包括放大器，所述放大器套接在所述流體回流管上，且位于所述連接環(huán)的上方。[0009]上述液體循環(huán)攪拌裝置，其中，所述放大器包括連接部件、主體和多片葉片；所述連接部件套接在所述流體回流管上；所述主體套在所述連接部件上，且與所述連接部件活動連接；所述多片葉片設(shè)置在所述主體的外側(cè)壁上。[0010]上述液體循環(huán)攪拌裝置，其中，所述連接部件呈環(huán)柱體狀；所述連接部件的內(nèi)側(cè)壁上設(shè)有內(nèi)螺紋，所述連接部件通過其內(nèi)螺紋與所述流體回流管螺紋連接；所述連接部件的兩端均向外翻折，形成第一環(huán)形槽和第二環(huán)形槽，所述主體呈環(huán)柱體狀，且所述主體的兩端分別卡在所述第一環(huán)形槽和第二環(huán)形槽內(nèi)。[0011]上述液體循環(huán)攪拌裝置，其中，所述葉片呈直角梯形狀，所述葉片的直角腰連接在所述主體的外側(cè)壁上，且所述葉片的直角腰與所述主體的母線平行，所述葉片的短底邊靠近所述連接環(huán)，所述葉片的長底邊遠(yuǎn)離所述連接環(huán)。[0012]上述液體循環(huán)攪拌裝置，其中，所述連接支架呈曲帶狀。[0013]上述液體循環(huán)攪拌裝置，其中，從連接所述連接環(huán)的一端到連接所述螺旋槳的一端，所述連接支架的曲帶寬度由大變小。[0014]上述液體循環(huán)攪拌裝置，其中，所述所述螺旋槳包括轉(zhuǎn)轂和多片螺旋槳葉，在所述轉(zhuǎn)轂的外側(cè)壁上設(shè)有環(huán)形凹槽，所述連接支架的另一端卡在所述環(huán)形凹槽內(nèi)，所述多片螺旋槳葉的一端連接在所述轉(zhuǎn)轂上。[0015]上述液體循環(huán)攪拌裝置，其中，所述轉(zhuǎn)轂呈環(huán)狀，所述轉(zhuǎn)轂的直徑小于所述連接環(huán)的直徑。[0016]本實(shí)用新型的液體循環(huán)攪拌裝置在流體回流管的一端安裝螺旋攪拌器，從流體回流管流出的液體對螺旋攪拌器產(chǎn)生沖擊作用，使螺旋攪拌器自轉(zhuǎn)，達(dá)到攪拌目的，螺旋攪拌器的旋轉(zhuǎn)攪拌效果遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于從直管沖出液體的流動攪拌效果，可有效防止液體沉積和結(jié)
[0017]本實(shí)用新型的液體循環(huán)攪拌裝置由以下的實(shí)施例及附圖給出。[0018]圖1是現(xiàn)有技術(shù)的液體循環(huán)攪拌裝置的示意圖。[0019]圖2是本實(shí)用新型的液體循環(huán)攪拌裝置的示意圖。[0020]圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例一中螺旋攪拌器的示意圖。[0021]圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例一中螺旋槳的示意圖。[0022]圖5是本實(shí)用新型實(shí)施例二中螺旋攪拌器的示意圖。[0023]圖6是本實(shí)用新型實(shí)施例二中放大器的剖視圖。
具體實(shí)施方式
[0024]以下將結(jié)合圖2 圖6對本實(shí)用新型的液體循環(huán)攪拌裝置作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。[0025]參見圖2，本實(shí)用新型的液體循環(huán)攪拌裝置包括流體出桶管31、流體回流管32、泵 33和螺旋攪拌器40，待攪拌液體52盛裝在溶液桶51中，所述流體出桶管31的一端插入所述溶液桶51的液體52內(nèi)，所述流體出桶管31的另一端與所述泵33的輸入端連接，所述泵 33的輸出端與所述流體回流管32的一端連接，所述流體回流管32的另一端與所述螺旋攪拌器40連接，所述螺旋攪拌器40插入所述溶液桶51的液體52內(nèi)。[0026]在所述泵33的驅(qū)動作用下，液體52從所述溶液桶51進(jìn)入所述流體出桶管31，經(jīng)由所述泵33到所述流體回流管32，再由所述流體回流管32流出，從所述流體回流管32流出的液體產(chǎn)生一股沖力，沖擊著所述螺旋攪拌器40，所述螺旋攪拌器40在沖擊力的作用下旋轉(zhuǎn)，達(dá)到攪拌目的。所述螺旋攪拌器40的旋轉(zhuǎn)攪拌效果遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于從直管沖出液體的流動攪拌效果，可有效防止液體沉積和結(jié)晶。實(shí)施例一參見圖3，本實(shí)施例中，所述螺旋攪拌器40包括連接環(huán)41、多根連接支架42和螺旋槳43 ；所述連接環(huán)41與所述流體回流管32的一端連接，實(shí)現(xiàn)所述螺旋攪拌器40與所述流體回流管32的連接；所述連接支架42的一端與所述連接環(huán)41連接，所述連接支架42的另一端與所述螺旋槳43活動連接。較佳地，所述流體回流管32—端的內(nèi)側(cè)壁上設(shè)有內(nèi)螺紋，所述連接環(huán)41的外側(cè)壁上設(shè)有外螺紋(圖3中未示)，所述連接環(huán)41的外螺紋與所述流體回流管32的內(nèi)螺紋相匹配，所述連接環(huán)41通過其外螺紋與所述流體回流管32螺紋連接。較佳地，所述連接支架42呈曲帶狀，從連接所述連接環(huán)41的一端到連接所述螺旋槳43的一端，曲帶的寬度由大變小，可增大液體沖擊力；本實(shí)施例中，所述螺旋攪拌器40包含三根連接支架42，所述三根連接支架42的一端沿所述連接環(huán)41的圓周均勻分布，且連接在所述連接環(huán)41上。參見圖4，較佳地，所述螺旋槳43包括轉(zhuǎn)轂431和多片螺旋槳葉432，所述轉(zhuǎn)轂431 呈環(huán)狀，且所述轉(zhuǎn)轂431的直徑小于所述連接環(huán)41的直徑，在所述轉(zhuǎn)轂431的外側(cè)壁上設(shè)有環(huán)形凹槽433，所述三根連接支架42的另一端卡在所述環(huán)形凹槽433內(nèi)，所述轉(zhuǎn)轂431可相對所述三根連接支架42轉(zhuǎn)動，實(shí)現(xiàn)所述連接支架42與所述螺旋槳43的活動連接，所述多片螺旋槳葉432的一端連接在所述轉(zhuǎn)轂431上。從所述流體回流管32流出的液體經(jīng)過中空的所述連接環(huán)41后流向所述連接支架 42，所述連接支架42的曲帶寬度由大變小，增大了液體沖向所述螺旋槳43的沖擊力，所述螺旋槳43在液體沖擊力的作用下自轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)的螺旋槳葉432攪動所述溶液桶51內(nèi)的液體 52，帶動液體52 —起旋轉(zhuǎn)，從而達(dá)到攪拌目的，能有效防止液體沉積和結(jié)晶。實(shí)施例二參見圖5，實(shí)施例二與實(shí)施例一的區(qū)別在于，所述螺旋攪拌器40還包括一放大器 60，所述放大器60套接在所述流體回流管32上，且所述放大器60位于所述溶液桶51的液體52內(nèi)，所述連接環(huán)41的上方。參見圖6，所述放大器60包括連接部件61、主體62和多片葉片63 ；所述連接部件61套接在所述流體回流管32上，實(shí)現(xiàn)所述放大器60與所述流體回流管32的連接；所述主體62套在所述連接部件61上，且與所述連接部件61活動連接，即所述主體62可繞所述連接部件61轉(zhuǎn)動；所述多片葉片63設(shè)置在所述主體62的外側(cè)壁上，所述主體62可帶動所述多片葉片63 —起轉(zhuǎn)動。如圖5所示，在所述螺旋槳葉432的旋轉(zhuǎn)作用下，所述螺旋槳葉432周圍的液體向上、向外擴(kuò)散，向上擴(kuò)散的液體遇到所述放大器50，在所述放大器50的放大作用下形成整個(gè)溶液桶51的渦輪，從而達(dá)到充分?jǐn)嚢璧哪康模瑘D5中的箭頭表示液體的流動方向。[0042]繼續(xù)參見圖6，較佳地，所述流體回流管32的外側(cè)壁上設(shè)有外螺紋，所述連接部件 61呈環(huán)柱體狀，所述連接部件61的內(nèi)側(cè)壁上設(shè)有內(nèi)螺紋(圖6中未示)，所述連接部件61 的內(nèi)螺紋與所述流體回流管32的外螺紋相匹配，所述連接部件61套在所述流體回流管32 的外側(cè)壁上，且通過其內(nèi)螺紋與所述流體回流管32螺紋連接；[0043]較佳地，所述連接部件61的兩端均向外翻折，形成第一環(huán)形槽611和第二環(huán)形槽 612，所述主體62呈環(huán)柱體狀，所述主體62套在所述連接部件61的外側(cè)壁上，且所述主體 62的兩端分別卡在所述第一環(huán)形槽611和第二環(huán)形槽612內(nèi)，所述主體62的兩端可分別在所述第一環(huán)形槽611和第二環(huán)形槽612內(nèi)轉(zhuǎn)動，實(shí)現(xiàn)所述主體62與所述連接部件61的活動連接；[0044]較佳地，所述多片葉片63沿所述主體62的圓周均勻分布；[0045]較佳地，所述葉片63呈直角梯形狀，所述葉片63的直角腰連接在所述主體62的外側(cè)壁上，且所述葉片63的直角腰與所述主體62的母線平行，所述葉片63的短底邊631 靠近所述連接環(huán)41，所述葉片63的長底邊632遠(yuǎn)離所述連接環(huán)41。[0046]向上擴(kuò)散的液體碰撞所述葉片63，產(chǎn)生推動所述葉片63轉(zhuǎn)動的推力，使所述多片葉片63與主體62 —起繞所述連接部件61轉(zhuǎn)動，放大螺旋槳葉432的攪動作用，在整個(gè)溶液桶51內(nèi)形成大渦輪，從而充分?jǐn)嚢枰后w。
權(quán)利要求1.一種液體循環(huán)攪拌裝置，包括依次連接的流體出桶管、泵和流體回流管，待攪拌液體盛裝在溶液桶中，所述流體出桶管的一端插入所述液體內(nèi)，其特征在于，所述液體循環(huán)攪拌裝置還包括螺旋攪拌器，所述螺旋攪拌器與所述流體回流管的一端連接，所述螺旋攪拌器插入所述液體內(nèi)。
2.如權(quán)利要求1所述的液體循環(huán)攪拌裝置，其特征在于，所述螺旋攪拌器包括連接環(huán)、 多根連接支架和螺旋槳；其中，所述連接環(huán)與所述流體回流管的一端連接；所述連接支架的一端與所述連接環(huán)連接，所述連接支架的另一端與所述螺旋槳活動連接。
3.如權(quán)利要求2所述的液體循環(huán)攪拌裝置，其特征在于，所述螺旋攪拌器還包括放大器，所述放大器套接在所述流體回流管上且位于所述連接環(huán)的上方。
4.如權(quán)利要求3所述的液體循環(huán)攪拌裝置，其特征在于，所述放大器包括連接部件、主體和多片葉片；其中，所述連接部件套接在所述流體回流管上；所述主體套在所述連接部件上，且與所述連接部件活動連接；所述多片葉片設(shè)置在所述主體的外側(cè)壁上。
5.如權(quán)利要求4所述的液體循環(huán)攪拌裝置，其特征在于，所述連接部件呈環(huán)柱體狀； 所述連接部件的內(nèi)側(cè)壁上設(shè)有內(nèi)螺紋，所述連接部件通過其內(nèi)螺紋與所述流體回流管螺紋連接；所述連接部件的兩端均向外翻折，形成第一環(huán)形槽和第二環(huán)形槽，所述主體呈環(huán)柱體狀，且所述主體的兩端分別卡在所述第一環(huán)形槽和第二環(huán)形槽內(nèi)。
6.如權(quán)利要求4或5所述的液體循環(huán)攪拌裝置，其特征在于，所述葉片呈直角梯形狀， 所述葉片的直角腰連接在所述主體的外側(cè)壁上，且所述葉片的直角腰與所述主體的母線平行，所述葉片的短底邊靠近所述連接環(huán)，所述葉片的長底邊遠(yuǎn)離所述連接環(huán)。
7.如權(quán)利要求2或3所述的液體循環(huán)攪拌裝置，其特征在于，所述連接支架呈曲帶狀。
8.如權(quán)利要求7所述的液體循環(huán)攪拌裝置，其特征在于，從連接所述連接環(huán)的一端到連接所述螺旋槳的一端，所述連接支架的曲帶寬度由大變小。
9.如權(quán)利要求2或3所述的液體循環(huán)攪拌裝置，其特征在于，所述所述螺旋槳包括轉(zhuǎn)轂和多片螺旋槳葉，在所述轉(zhuǎn)轂的外側(cè)壁上設(shè)有環(huán)形凹槽，所述連接支架的另一端卡在所述環(huán)形凹槽內(nèi)，所述多片螺旋槳葉的一端連接在所述轉(zhuǎn)轂上。
10.如權(quán)利要求9所述的液體循環(huán)攪拌裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)轂呈環(huán)狀，所述轉(zhuǎn)轂的直徑小于所述連接環(huán)的直徑。
專利摘要本實(shí)用新型的液體循環(huán)攪拌裝置包括依次連接的流體出桶管、泵和流體回流管，以及螺旋攪拌器，待攪拌液體盛裝在溶液桶中，所述流體出桶管的一端插入所述液體內(nèi)，所述螺旋攪拌器與所述流體回流管的一端連接，所述螺旋攪拌器插入所述液體內(nèi)。本實(shí)用新型的液體循環(huán)攪拌裝置攪拌效果好，可有效防止液體沉積和結(jié)晶。
文檔編號B01F7/24GK202237839SQ201120374959
公開日2012年5月30日 申請日期2011年9月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月30日
發(fā)明者余文軍, 柴求軍 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司, 武漢新芯集成電路制造有限公司