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      硅晶圓線切割液回收過(guò)程中失效離子交換樹脂再利用的方法

      文檔序號(hào):4922176閱讀:182來(lái)源:國(guó)知局
      硅晶圓線切割液回收過(guò)程中失效離子交換樹脂再利用的方法
      【專利摘要】一種硅晶圓線切割液回收過(guò)程中失效離子交換樹脂再利用方法,屬于硅晶圓線切割領(lǐng)域,主要包括1)水沖洗;2)酸液浸泡;3)混合試劑浸泡;4)氧化劑浸泡;5)水養(yǎng)備用這五個(gè)步驟;解決了硅晶圓線切割液回收行業(yè)樹脂失效后難復(fù)蘇等問(wèn)題。本發(fā)明引進(jìn)的強(qiáng)氧化劑NaClO將雜質(zhì)中大分子有機(jī)物氧化成小分子有機(jī)物,在高速攪拌的情況下,使其更容易與樹脂分離。由于接觸時(shí)間短,溫度控制合理,對(duì)樹脂的本體及交換基團(tuán)無(wú)損壞。本發(fā)明針對(duì)由金屬離子、可溶性金屬絡(luò)合物、可溶性硅化物、有機(jī)物等引起的離子交換樹脂失效,復(fù)蘇后離子交換能力均能明顯恢復(fù)。通過(guò)實(shí)驗(yàn)檢測(cè)和現(xiàn)場(chǎng)實(shí)踐,復(fù)蘇后離子交換樹脂,其性能未發(fā)生改變,交換容量基本達(dá)到新樹脂的水平。
      【專利說(shuō)明】硅晶圓線切割液回收過(guò)程中失效離子交換樹脂再利用的方法
      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本發(fā)明屬于硅晶圓線切割領(lǐng)域,具體涉及一種硅晶圓線切割液回收過(guò)程中失效離子交換樹脂再利用方法。
      【背景技術(shù)】
      [0002]硅晶圓線切割液的主要成分是聚乙二醇200,簡(jiǎn)稱PEG,在光伏行業(yè)的主要作用是,與硬度較高的SIC顆粒、有機(jī)物添加劑按照一定比例混合后得到硅晶圓線切割砂漿,此砂漿吸附在鋼絲線上,隨著鋼絲線的高速運(yùn)動(dòng)而形成很強(qiáng)的切削能力,對(duì)硅晶圓進(jìn)行多線切割,從而得到太陽(yáng)能用的單晶硅片或多晶硅片。
      [0003]如上所述的硅晶圓切割砂漿,經(jīng)過(guò)多線切割后混入了硅晶圓切割下來(lái)的微小硅粉、鋼線磨損下的鐵離子、鋼線上電鍍的銅離子、鉻離子、碳化硅帶入的各種無(wú)機(jī)離子、切割過(guò)程高溫分解PEG小分子等雜質(zhì),此砂漿即是行業(yè)所說(shuō)的回收砂漿,經(jīng)過(guò)回收處理得到的液體即是硅晶圓切割回收液,可以循環(huán)使用。此砂漿經(jīng)過(guò)前工段物理、化學(xué)方法處理后,得到的回收液所含的雜質(zhì)物質(zhì)主要是,大分子有機(jī)物、金屬陽(yáng)離子、可溶性金屬絡(luò)合物、可溶性硅化物、有機(jī)小分子、有機(jī)酸等,此類物質(zhì)對(duì)成品線切割液的物化性質(zhì)有很大的影響。需要經(jīng)過(guò)離子交換樹脂去除,否則回收的切割液不能達(dá)到使用要求,通常處理50-120倍樹脂體積的回收液就需要對(duì)樹脂進(jìn)行再生使樹脂恢復(fù)到正常工作水平,但是由于回收液所含的雜質(zhì)物質(zhì)經(jīng)過(guò)一定時(shí)期的積累后,會(huì)使樹脂交換容量降低無(wú)法再生恢復(fù),使得離子交換樹脂失效。尤其是陰樹脂,凝膠樹脂外觀變黑或變深、大孔樹脂外觀變灰基本無(wú)交換能力,影響成品線切割液指標(biāo),從而對(duì)硅片切割產(chǎn)生影響。然而相關(guān)資料上記載的樹脂再生及復(fù)蘇方法,操作步驟繁瑣而且對(duì)此行業(yè)失效的樹脂,復(fù)蘇后效果甚微,通常6-10個(gè)月就需要更換樹脂,會(huì)加大企業(yè)的采購(gòu)成本,同時(shí)造成環(huán)境污染。

      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0004]本發(fā)明的目的在于克服上述問(wèn)題,提供一種硅晶圓線切割液回收過(guò)程中失效離子交換樹脂再利用方法。
      [0005]為達(dá)到上述目的,本發(fā)明所采用的技術(shù)方案包括以下步驟:
      [0006]I)將待復(fù)蘇離子交換樹脂裝入復(fù)蘇桶內(nèi),并向其中加水?dāng)嚢瑁扑榈臉渲?;然后將?fù)蘇桶內(nèi)的水排凈;
      [0007]2)向復(fù)蘇桶中加入質(zhì)量濃度為5?15%的無(wú)機(jī)酸溶液,使待復(fù)蘇離子交換樹脂浸泡在無(wú)機(jī)酸溶液中,去除待復(fù)蘇離子交換樹脂內(nèi)部的金屬離子;
      [0008]3)將無(wú)機(jī)酸溶液排凈,用水沖洗經(jīng)步驟2)處理后的待復(fù)蘇離子交換樹脂,使排放口排出的水為中性;然后,取待復(fù)蘇離子交換樹脂體積I?5倍的復(fù)蘇液,先用一半復(fù)蘇液對(duì)待復(fù)蘇離子交換樹脂正向流動(dòng)沖洗,再將沖洗后的待復(fù)蘇離子交換樹脂浸泡在剩余的復(fù)蘇液中,充分反應(yīng)后,將復(fù)蘇液排凈,用水沖洗至排出液澄清透明;[0009]4)將經(jīng)步驟3)處理后的待復(fù)蘇離子交換樹脂中的水排凈,再將待復(fù)蘇離子交換樹脂浸泡在質(zhì)量濃度為5%?20%的NaClO溶液中,浸泡2?60分鐘;
      [0010]5)經(jīng)過(guò)步驟4)處理后,將NaClO溶液排凈,用水沖洗至排出液成中性,然后加水?dāng)嚢杵扑榈臉渲?,再進(jìn)行水養(yǎng),即完成離子交換樹脂的復(fù)蘇。
      [0011]所述的待復(fù)蘇離子交換樹脂為強(qiáng)酸性陽(yáng)樹脂或強(qiáng)堿性陰樹脂。
      [0012]所述的強(qiáng)酸性陽(yáng)樹脂為001X7凝膠型強(qiáng)酸性苯乙烯系陽(yáng)樹脂或DOOl強(qiáng)酸性大孔型苯乙烯系陽(yáng)樹脂;強(qiáng)堿性陰樹脂為201X7凝膠型強(qiáng)堿性苯乙烯系陰樹脂或D396大孔型陰樹脂。
      [0013]所述步驟2)中,若待復(fù)蘇離子交換樹脂為強(qiáng)堿性陰樹脂,則需要在加無(wú)機(jī)酸溶液前先將其轉(zhuǎn)化為氯型樹脂。
      [0014]所述步驟2)中,酸溶液的加入量為待復(fù)蘇離子交換樹脂體積的I?5倍,浸泡時(shí)間為4?8小時(shí),每小時(shí)攪拌一次,每次攪拌的時(shí)間為5?30min。
      [0015]所述步驟2)中,酸溶液為鹽酸溶液或硫酸溶液。
      [0016]所述步驟3)中,待復(fù)蘇離子交換樹脂浸泡在復(fù)蘇液中的時(shí)間為6?48小時(shí),溫度保持在20?60°C,每4小時(shí)攪拌一次,每次攪拌的時(shí)間為10?30min。
      [0017]所述步驟3)中,復(fù)蘇液由NaCl、NaOH, Na3PO4以及水組成,且NaCl的質(zhì)量濃度為I?20%、NaOH的質(zhì)量濃度為I?10%、Na3PO4的質(zhì)量濃度為0.5?20%。
      [0018]所述步驟4)中,NaClO溶液的體積為待復(fù)蘇離子交換樹脂的I?3倍。
      [0019]所述步驟4)中,控制NaClO溶液浸泡過(guò)程的溫度不超過(guò)60°C。
      [0020]與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明具有以下有益效果:
      [0021]本發(fā)明引進(jìn)的強(qiáng)氧化劑NaClO可將雜質(zhì)中大分子有機(jī)物氧化成小分子有機(jī)物,在高速攪拌的情況下,使其更容易與樹脂分離。而且由于接觸時(shí)間短,溫度控制合理,對(duì)樹脂的本體及交換基團(tuán)無(wú)損壞。對(duì)由金屬離子、可溶性金屬絡(luò)合物、可溶性硅、有機(jī)物等引起的離子交換樹脂失效,復(fù)蘇后離子交換能力均能明顯恢復(fù)。通過(guò)實(shí)驗(yàn)檢測(cè)和現(xiàn)場(chǎng)實(shí)踐,復(fù)蘇后離子交換樹脂,其性能未發(fā)生改變,交換容量基本達(dá)到新樹脂的水平。
      [0022]進(jìn)一步的,本發(fā)明所采用的復(fù)蘇液由NaCl、NaOH, Na3PO4和水混合而成,復(fù)蘇液配制簡(jiǎn)單,方法操作方便,適合于硅晶圓線切割液回收行業(yè),所涉及到凝膠型、大孔型各種類型的尚子交換樹脂。
      [0023]進(jìn)一步的,本發(fā)明適合不同類型的樹脂,復(fù)蘇后,樹脂的外觀恢復(fù)到新樹脂的程度。通過(guò)檢測(cè)及實(shí)驗(yàn)論證,復(fù)蘇后樹脂的工作能力達(dá)到新樹脂的工作水平。
      [0024]進(jìn)一步的,本發(fā)明在復(fù)蘇強(qiáng)堿性陰樹脂時(shí),在加無(wú)機(jī)酸溶液前先將其轉(zhuǎn)化為氯型樹脂,防止用無(wú)機(jī)酸溶液復(fù)蘇時(shí)發(fā)生中和反應(yīng)時(shí)放熱而損壞樹脂。
      【具體實(shí)施方式】
      [0025]本發(fā)明方法不局限于以下所列舉的【具體實(shí)施方式】,還包括【具體實(shí)施方式】間的任意組合。
      [0026]本發(fā)明的具體步驟及原理:
      [0027]I)去除破碎樹脂:
      [0028]將需要復(fù)蘇的離子交換樹脂,轉(zhuǎn)移到復(fù)蘇桶內(nèi)。加水后高速攪拌,使樹脂之間相互分散。停止攪拌后,加水溢流,漂除破碎的樹脂。其中,待復(fù)蘇離子交換樹脂為強(qiáng)酸性陽(yáng)樹脂或強(qiáng)堿性陰樹脂;強(qiáng)酸性陽(yáng)樹脂為001X7凝膠型強(qiáng)酸性苯乙烯系陽(yáng)樹脂或DOOl強(qiáng)酸性大孔型苯乙烯系陽(yáng)樹脂,強(qiáng)堿性陰樹脂為201 X 7凝膠型強(qiáng)堿性苯乙烯系陰樹脂或D396大孔型陰樹脂。
      [0029]2)去除金屬離子及其絡(luò)合物對(duì)樹脂的影響:
      [0030]由于溶液中金屬陽(yáng)離子形成高價(jià)化合物牢固地沉積在陽(yáng)樹脂內(nèi)部和表面,堵塞了樹脂孔,影響陽(yáng)樹脂交換能力。部分金屬離子和有機(jī)物絡(luò)合成可溶性金屬絡(luò)合物吸附在陰樹脂表面造成陰樹脂交換能力下降;因此本發(fā)明用高濃度的鹽酸溶液,溶解附著在樹脂表面和內(nèi)部金屬離子及其絡(luò)合物。具體方法為:排凈復(fù)蘇桶內(nèi)的水,加入質(zhì)量濃度為5%?15%的鹽酸或硫酸溶液,加入酸的量為待復(fù)蘇離子交換樹脂體積的I?5倍,浸泡4?8小時(shí),每小時(shí)高速攪拌一次,攪拌時(shí)間5?30min。此過(guò)程提高溶液溫度能加快樹脂的復(fù)蘇速度,考慮到不同型號(hào)的樹脂耐溫情況不同,此過(guò)程控制溫度在30?60°C為宜。對(duì)于強(qiáng)堿性陰樹脂需要在加酸前先將其轉(zhuǎn)化為氯型樹脂,防止用酸液復(fù)蘇時(shí)發(fā)生中和反應(yīng)時(shí)放熱而損壞樹脂。
      [0031]3)去除有機(jī)物和可溶性硅化物對(duì)樹脂的影響:
      [0032]硅晶圓線切割液回收液中含有大量的Si粉及高分子有機(jī)物,Si粉在強(qiáng)堿性條件下反應(yīng)生成可溶解的硅酸鹽,隨著量的累積水解聚合成膠體硅化物。聚乙二醇和其它有機(jī)添加劑,能在一定條件下氧化成帶電基團(tuán)的物質(zhì)。此兩種物質(zhì)能覆蓋樹脂表面,從而影響樹脂的交換能力。此步主要是去除樹脂表面的附著的膠體硅化物和有機(jī)物。具體方法為:用水沖洗上步處理過(guò)的樹脂,自排放口排出的水接近中性。配制含NaCl、NaOH、Na3PO4以及水的混合復(fù)蘇液,其中,NaCl的質(zhì)量濃度為I?20%、Na0H的質(zhì)量濃度為I?10%、Na3P04的質(zhì)量濃度為0.5?20% ;混合復(fù)蘇液的量為樹脂體積的I?5倍,將配好的復(fù)蘇液取其一半對(duì)待復(fù)蘇離子交換樹脂進(jìn)行正向流動(dòng)沖洗,沖洗速度保持0.5?2h用完,之后將復(fù)蘇液排凈,再將待復(fù)蘇離子交換樹脂浸泡在剩余的混合試劑中,浸泡6?48小時(shí),溫度保持在20?60°C左右,每4小時(shí)高速攪拌一次,攪拌時(shí)間10?30min。然后將復(fù)蘇液排凈,用水沖洗至排出液澄清透明。
      [0033]4)去除有機(jī)物對(duì)樹脂內(nèi)部影響:
      [0034]有機(jī)物開始時(shí)吸附在樹脂的表面,隨著處理量的增加,逐漸進(jìn)入樹脂內(nèi)部,堵塞樹脂通道,從而影響樹脂的交換能力。此步主要是用強(qiáng)氧化劑,將樹脂孔堵塞的大分子有機(jī)物氧化成小分子有機(jī)物,減少有機(jī)物和樹脂上交換基團(tuán)的作用力,使其容易從孔道溶出。具體方法為:將上一步的水排凈,將待復(fù)蘇離子交換樹脂浸泡在待復(fù)蘇離子交換樹脂體積I?3倍的質(zhì)量濃度為5?20%的NaClO溶液中,浸泡2?60分鐘;在此過(guò)程中,可通過(guò)樹脂外觀的變換情況控制待復(fù)蘇離子交換樹脂浸泡在NaClO溶液中的時(shí)間,并不斷攪拌,此過(guò)程控制液體溫度不超過(guò)60°C。
      [0035]5 )使用水沖洗至排出液成中性:
      [0036]經(jīng)過(guò)步驟4)處理后,將NaClO溶液排凈,用水沖洗至排出液成中性,加水?dāng)嚢杵趶?fù)蘇過(guò)程中產(chǎn)生的破碎的樹脂,再進(jìn)行水養(yǎng),即完成離子交換樹脂的復(fù)蘇。
      [0037]下面通過(guò)具體的實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明:
      [0038]硅晶圓線切割液回收行業(yè)某組離交柱陽(yáng)床填裝001X7凝膠型強(qiáng)酸性苯乙烯系陽(yáng)樹脂,陰床填裝201X7凝膠型強(qiáng)堿性苯乙烯系陰樹脂。經(jīng)過(guò)6個(gè)月使用后,從離交柱視鏡觀察到陽(yáng)樹脂表面顏色變暗、陰樹脂表面呈深灰色。采用常用再生方法和復(fù)蘇方法處理后,陰床出口取樣檢測(cè)電導(dǎo)7.8us/cm、pH6.7、色度30?40,而正常時(shí)電導(dǎo)0.5?5us/cm、色度為5?15、pH為8?11,已不能達(dá)到工藝要求。
      [0039]實(shí)施例1
      [0040]001X7凝膠型強(qiáng)酸性苯乙烯系陽(yáng)樹脂的復(fù)蘇:
      [0041]I)將001X7凝膠型強(qiáng)酸性苯乙烯系陽(yáng)樹脂分批次裝入復(fù)蘇桶內(nèi),加水?dāng)嚢杵扑榈臉渲缓髮?fù)蘇桶內(nèi)的水排凈;
      [0042]2)水排凈后,將001 X 7凝膠型強(qiáng)酸性苯乙烯系陽(yáng)樹脂浸泡在5%的鹽酸溶液中,鹽酸溶液的體積為001X7凝膠型強(qiáng)酸性苯乙烯系陽(yáng)樹脂體積的2倍,浸泡時(shí)間為8小時(shí),每小時(shí)攪拌一次,攪拌時(shí)間為30min。
      [0043]3)經(jīng)過(guò)步驟2)處理后,將酸液排凈,用水沖洗自排放口排出的水接近中性。然后配制001 X 7凝膠型強(qiáng)酸性苯乙烯系陽(yáng)樹脂2倍體積量的復(fù)蘇液,復(fù)蘇液中含5%的NaCl、5%的NaOH以及5%的Na3PO4,余量為水;將配好的復(fù)蘇液取其一半對(duì)001 X 7凝膠型強(qiáng)酸性苯乙烯系陽(yáng)樹脂正向流動(dòng)沖洗,沖洗速度保持0.5h用完,沖洗完后將復(fù)蘇液排凈,再將001 X 7凝膠型強(qiáng)酸性苯乙烯系陽(yáng)樹脂浸泡在剩余的復(fù)蘇液中,浸泡24小時(shí),溫度保持在20°C左右,每4小時(shí)高速攪拌一次,攪拌時(shí)間lOmin。
      [0044]4)經(jīng)過(guò)步驟3)處理后,將復(fù)蘇液排凈,用水沖洗至排出液澄清透明。將001X7凝膠型強(qiáng)酸性苯乙烯系陽(yáng)樹脂浸泡在質(zhì)量濃度為8%的NaClO溶液中,浸泡2分鐘并不停的攪拌;其中,NaClO溶液的體積為001X7凝膠型強(qiáng)酸性苯乙烯系陽(yáng)樹脂的I倍。
      [0045]5)經(jīng)過(guò)步驟4)處理后,將NaClO溶液排凈,用水沖洗至排出液成中性,加水?dāng)嚢杵趶?fù)蘇過(guò)程中產(chǎn)生的破碎的樹脂。重新裝入陽(yáng)床內(nèi),水養(yǎng)備用。
      [0046]實(shí)施例2
      [0047]201X7凝膠型強(qiáng)堿性苯乙烯系陰樹脂的復(fù)蘇:
      [0048]I)將201X7凝膠型強(qiáng)堿性苯乙烯系陰樹脂分批次裝入復(fù)蘇桶內(nèi),加水?dāng)嚢杵扑榈臉渲缓髮?fù)蘇桶內(nèi)的水排凈;
      [0049]2)將經(jīng)過(guò)步驟I)處理的201X7凝膠型強(qiáng)堿性苯乙烯系陰樹脂浸泡在質(zhì)量濃度為4%的鹽溶液中,浸泡30min后將鹽溶液排凈;再將201 X 7凝膠型強(qiáng)堿性苯乙烯系陰樹脂浸泡在質(zhì)量濃度為10%的鹽酸溶液中,鹽酸溶液的體積為201 X 7凝膠型強(qiáng)堿性苯乙烯系陰樹脂的2倍,浸泡時(shí)間為8小時(shí),每小時(shí)攪拌一次,攪拌時(shí)間30min。
      [0050]3)經(jīng)過(guò)步驟2)處理后,將酸液排凈,用水沖洗自排放口排出的水接近中性。然后配制201 X 7凝膠型強(qiáng)堿性苯乙烯系陰樹脂4倍體積量的復(fù)蘇液,復(fù)蘇液中含10%的NaCl、5%的NaOH以及5%的Na3PO4,余量為水,將配好的復(fù)蘇液取其一半對(duì)201 X 7凝膠型強(qiáng)堿性苯乙烯系陰樹脂正向流動(dòng)沖洗,沖洗速度保持2h用完,沖洗完后將復(fù)蘇液排凈,再將201X7凝膠型強(qiáng)堿性苯乙烯系陰樹脂浸泡在剩余的復(fù)蘇液中,浸泡24小時(shí),溫度保持在45°C,每4小時(shí)攪拌一次,攪拌時(shí)間為20min。
      [0051]4)經(jīng)過(guò)步驟3)處理后,將復(fù)蘇液排凈,用水沖洗至排出液澄清透明。將201X7凝膠型強(qiáng)堿性苯乙烯系陰樹脂浸泡在質(zhì)量濃度為20%的NaClO溶液中,保持浸泡液的溫度在60°C,浸泡15分鐘并不斷攪拌;其中,NaClO溶液的體積為201 X7凝膠型強(qiáng)堿性苯乙烯系陰樹脂的2倍。
      [0052]5)經(jīng)過(guò)步驟4)處理后,將NaClO溶液排凈,用水沖洗至排出液成中性,加水?dāng)嚢杵趶?fù)蘇過(guò)程中產(chǎn)生的破碎的樹脂,水養(yǎng)備用重新裝入陰床內(nèi),按照正常再生方法再生后水洗備用。
      [0053]經(jīng)過(guò)實(shí)施例1和2處理的離子交換樹脂,投入使用后可達(dá)到工藝要求。
      [0054]硅晶圓線切割液回收行業(yè)某組離交柱陽(yáng)床填裝001X7凝膠型強(qiáng)酸性苯乙烯系陽(yáng)樹脂,陰床填裝D396大孔型陰樹脂。經(jīng)過(guò)6個(gè)月使用后,從離交柱視鏡觀察到陽(yáng)樹脂表面顏色變暗、陰樹脂表面呈煤黑色。采用常用再生方法和復(fù)蘇方法處理后,陰床出口取樣檢測(cè)電導(dǎo)8.5us/cm、pH7.2、色度30?40,而正常時(shí)電導(dǎo)0.5?5us/cm、色度5?15、pH8?11。
      [0055]實(shí)施例3
      [0056]001X7凝膠型強(qiáng)酸性苯乙烯系陽(yáng)樹脂的復(fù)蘇:
      [0057]I)將001X7凝膠型強(qiáng)酸性苯乙烯系陽(yáng)樹脂分批次裝入復(fù)蘇桶內(nèi),加水?dāng)嚢杵扑榈臉渲?,然后將?fù)蘇桶內(nèi)的水排凈;
      [0058]2)水排凈后,將001X7凝膠型強(qiáng)酸性苯乙烯系陽(yáng)樹脂浸泡在10%的鹽酸溶液中,鹽酸溶液的體積為001X7凝膠型強(qiáng)酸性苯乙烯系陽(yáng)樹脂體積的2倍,浸泡時(shí)間為4小時(shí),每小時(shí)攪拌一次,攪拌時(shí)間為30min。
      [0059]3)經(jīng)過(guò)步驟2)處理后,將酸液排凈,用水沖洗自排放口排出的水接近中性。然后配制001 X 7凝膠型強(qiáng)酸性苯乙烯系陽(yáng)樹脂4倍體積量的復(fù)蘇液,復(fù)蘇液中含10%的NaCl、6%的NaOH以及3%的Na3PO4,余量為水;將配好的復(fù)蘇液取其一半對(duì)001 X 7凝膠型強(qiáng)酸性苯乙烯系陽(yáng)樹脂正向流動(dòng)沖洗,沖洗速度保持2h用完,沖洗完后將復(fù)蘇液排凈,再將001X7凝膠型強(qiáng)酸性苯乙烯系陽(yáng)樹脂浸泡在剩余的復(fù)蘇液中,浸泡36小時(shí),溫度保持在45°C左右,每4小時(shí)高速攪拌一次,攪拌時(shí)間30min。
      [0060]4)經(jīng)過(guò)步驟3)處理后,將復(fù)蘇液排凈,用水沖洗至排出液澄清透明。將001X7凝膠型強(qiáng)酸性苯乙烯系陽(yáng)樹脂浸泡在質(zhì)量濃度為5%的NaClO溶液中,保持溶液溫度在45°C,浸泡60分鐘并不停的攪拌;其中,NaClO溶液的體積為001 X 7凝膠型強(qiáng)酸性苯乙烯系陽(yáng)樹脂的I倍。
      [0061]5)經(jīng)過(guò)步驟4)處理后,將NaClO溶液排凈,用水沖洗至排出液成中性,加水?dāng)嚢杵趶?fù)蘇過(guò)程中產(chǎn)生的破碎的樹脂。重新裝入陽(yáng)床內(nèi),水養(yǎng)備用。
      [0062]實(shí)施例4
      [0063]D396大孔型陰樹脂的復(fù)蘇:
      [0064]I)將D396大孔型陰樹脂分批次裝入復(fù)蘇桶內(nèi),加水?dāng)嚢杵扑榈臉渲?,然后將?fù)蘇桶內(nèi)的水排凈;
      [0065]2)將經(jīng)過(guò)步驟I)處理的D396大孔型陰樹脂浸泡在質(zhì)量濃度為4%的鹽溶液中,浸泡30min后將鹽溶液排凈;再將D396大孔型陰樹脂浸泡在質(zhì)量濃度為10%的鹽酸溶液中,鹽酸溶液的體積為D396大孔型陰樹脂的2倍,浸泡時(shí)間為4小時(shí),每小時(shí)攪拌一次,攪拌時(shí)間 30min。
      [0066]3)經(jīng)過(guò)步驟2)處理后,將酸液排凈,用水沖洗自排放口排出的水接近中性。然后配制D396大孔型陰樹脂2倍體積量的復(fù)蘇液,復(fù)蘇液中含10%的NaCl、6%的NaOH以及3%的Na3PO4,余量為水,將配好的復(fù)蘇液取其一半對(duì)D396大孔型陰樹脂正向流動(dòng)沖洗,沖洗速度保持0.5h用完,沖洗完后將復(fù)蘇液排凈,再將D396大孔型陰樹脂浸泡在剩余的復(fù)蘇液中,浸泡24小時(shí),溫度保持在45°C,每4小時(shí)攪拌一次,攪拌時(shí)間為20min。
      [0067]4)經(jīng)過(guò)步驟3)處理后,將復(fù)蘇液排凈,用水沖洗至排出液澄清透明。將D396大孔型陰樹脂浸泡在質(zhì)量濃度為10%的NaClO溶液中,浸泡20分鐘并不斷攪拌;其中,NaClO溶液的體積為D396大孔型陰樹脂的2倍。
      [0068]5)經(jīng)過(guò)步驟4)處理后,將NaClO溶液排凈,用水沖洗至排出液成中性,加水?dāng)嚢杵趶?fù)蘇過(guò)程中產(chǎn)生的破碎的樹脂,水養(yǎng)備用重新裝入陰床內(nèi),按照正常再生方法再生后水洗備用。
      [0069]經(jīng)過(guò)實(shí)施例3和4處理的離子交換樹脂,投入使用后可達(dá)到工藝要求。
      [0070]硅晶圓線切割液回收行業(yè)某組離交柱陽(yáng)床填裝001X7凝膠型強(qiáng)酸性苯乙烯系陽(yáng)樹脂,陰床填裝201X7凝膠型強(qiáng)堿性苯乙烯系陰樹脂。經(jīng)過(guò)6個(gè)月使用后,從離交柱視鏡觀察到陽(yáng)樹脂表面顏色變暗、陰樹脂表面呈深灰色。采用常用再生方法和復(fù)蘇方法處理后,陰床出口取樣檢測(cè)電導(dǎo)8.5us/cm、pH5.8、色度30?40,而正常時(shí)電導(dǎo)0.5?5us/cm、色度
      5?15、pH8 ?Il0
      [0071]實(shí)施例5
      [0072]001X7凝膠型強(qiáng)酸性苯乙烯系陽(yáng)樹脂的復(fù)蘇:
      [0073]I)將001X7凝膠型強(qiáng)酸性苯乙烯系陽(yáng)樹脂分批次裝入復(fù)蘇桶內(nèi),加水?dāng)嚢杵扑榈臉渲?,然后將?fù)蘇桶內(nèi)的水排凈;
      [0074]2)水排凈后,將001X7凝膠型強(qiáng)酸性苯乙烯系陽(yáng)樹脂浸泡在15%的鹽酸溶液中,鹽酸溶液的體積為001X7凝膠型強(qiáng)酸性苯乙烯系陽(yáng)樹脂體積的2倍,浸泡時(shí)間為4小時(shí),每小時(shí)攪拌一次,攪拌時(shí)間為30min。
      [0075]3)經(jīng)過(guò)步驟2)處理后,將酸液排凈,用水沖洗自排放口排出的水接近中性。然后配制001 X 7凝膠型強(qiáng)酸性苯乙烯系陽(yáng)樹脂3倍體積量的復(fù)蘇液,復(fù)蘇液中含6%的NaCl、2%的NaOH以及6%的Na3PO4,余量為水;將配好的復(fù)蘇液取其一半對(duì)001 X 7凝膠型強(qiáng)酸性苯乙烯系陽(yáng)樹脂正向流動(dòng)沖洗,沖洗速度保持Ih用完,沖洗完后將復(fù)蘇液排凈,再將001X7凝膠型強(qiáng)酸性苯乙烯系陽(yáng)樹脂浸泡在剩余的復(fù)蘇液中,浸泡48小時(shí),溫度保持在30°C左右,每4小時(shí)高速攪拌一次,攪拌時(shí)間20min。
      [0076]4)經(jīng)過(guò)步驟3)處理后,將復(fù)蘇液排凈,用水沖洗至排出液澄清透明。將001X7凝膠型強(qiáng)酸性苯乙烯系陽(yáng)樹脂浸泡在質(zhì)量濃度為6%的NaClO溶液中,浸泡2分鐘并不停的攪拌;其中,NaClO溶液的體積為001X7凝膠型強(qiáng)酸性苯乙烯系陽(yáng)樹脂的I倍。
      [0077]5)經(jīng)過(guò)步驟4)處理后,將NaClO溶液排凈,用水沖洗至排出液成中性,加水?dāng)嚢杵趶?fù)蘇過(guò)程中產(chǎn)生的破碎的樹脂。重新裝入陽(yáng)床內(nèi),水養(yǎng)備用。
      [0078]實(shí)施例6
      [0079]201X7凝膠型強(qiáng)堿性苯乙烯系陰樹脂的復(fù)蘇:
      [0080]I)將201X7凝膠型強(qiáng)堿性苯乙烯系陰樹脂分批次裝入復(fù)蘇桶內(nèi),加水?dāng)嚢杵扑榈臉渲?,然后將?fù)蘇桶內(nèi)的水排凈;
      [0081]2)將經(jīng)過(guò)步驟I)處理的201X7凝膠型強(qiáng)堿性苯乙烯系陰樹脂浸泡在質(zhì)量濃度為4%的鹽溶液中,浸泡30min后將鹽溶液排凈;再將201 X 7凝膠型強(qiáng)堿性苯乙烯系陰樹脂浸泡在質(zhì)量濃度為9%的鹽酸溶液中,鹽酸溶液的體積為201X7凝膠型強(qiáng)堿性苯乙烯系陰樹脂的2倍,浸泡時(shí)間為6小時(shí),每小時(shí)攪拌一次,攪拌時(shí)間30min。
      [0082]3)經(jīng)過(guò)步驟2)處理后,將酸液排凈,用水沖洗自排放口排出的水接近中性。然后配制201 X 7凝膠型強(qiáng)堿性苯乙烯系陰樹脂5倍體積量的復(fù)蘇液,復(fù)蘇液中含6%的NaCl、4%的NaOH以及6%的Na3PO4,余量為水,將配好的復(fù)蘇液取其一半對(duì)201 X 7凝膠型強(qiáng)堿性苯乙烯系陰樹脂正向流動(dòng)沖洗,沖洗速度保持2h用完,沖洗完后將復(fù)蘇液排凈,再將201X7凝膠型強(qiáng)堿性苯乙烯系陰樹脂浸泡在剩余的復(fù)蘇液中,浸泡24小時(shí),溫度保持在60°C,每4小時(shí)攪拌一次,攪拌時(shí)間為20min。
      [0083]4)經(jīng)過(guò)步驟3)處理后,將復(fù)蘇液排凈,用水沖洗至排出液澄清透明。將201X7凝膠型強(qiáng)堿性苯乙烯系陰樹脂浸泡在質(zhì)量濃度為14%的NaClO溶液中,浸泡30分鐘并不斷攪拌;其中,NaClO溶液的體積為201X7凝膠型強(qiáng)堿性苯乙烯系陰樹脂的3倍。
      [0084]5)經(jīng)過(guò)步驟4)處理后,將NaClO溶液排凈,用水沖洗至排出液成中性,加水?dāng)嚢杵趶?fù)蘇過(guò)程中產(chǎn)生的破碎的樹脂,水養(yǎng)備用重新裝入陰床內(nèi),按照正常再生方法再生后水洗備用。
      [0085]經(jīng)過(guò)實(shí)施例5和6處理的離子交換樹脂,投入使用后可達(dá)到工藝要求。
      [0086]實(shí)施例7
      [0087]DOOl強(qiáng)酸性大孔型苯乙烯系陽(yáng)樹脂的復(fù)蘇:
      [0088]I)將DOOl強(qiáng)酸性大孔型苯乙烯系陽(yáng)樹脂分批次裝入復(fù)蘇桶內(nèi),加水?dāng)嚢杵扑榈臉渲?,然后將?fù)蘇桶內(nèi)的水排凈;
      [0089]2)水排凈后,將DOOl強(qiáng)酸性大孔型本乙稀系陽(yáng)樹脂浸泡在8%的硫酸溶液中,硫酸溶液的體積為DOOl強(qiáng)酸性大孔型苯乙烯系陽(yáng)樹脂體積的I倍,浸泡時(shí)間為5小時(shí),每小時(shí)攪拌一次,攪拌時(shí)間為5min。
      [0090]3)經(jīng)過(guò)步驟2)處理后,將酸液排凈,用水沖洗自排放口排出的水接近中性。然后配制DOOl強(qiáng)酸性大孔型苯乙烯系陽(yáng)樹脂I倍體積量的復(fù)蘇液,復(fù)蘇液中含1%的NaCl、l%的NaOH以及0.5%的Na3PO4,余量為水;將配好的復(fù)蘇液取其一半對(duì)DOOl強(qiáng)酸性大孔型苯乙烯系陽(yáng)樹脂正向流動(dòng)沖洗,沖洗速度保持0.5h用完,沖洗完后將復(fù)蘇液排凈,再將DOOl強(qiáng)酸性大孔型苯乙烯系陽(yáng)樹脂浸泡在剩余的復(fù)蘇液中,浸泡6小時(shí),溫度保持在30°C左右,每4小時(shí)高速攪拌一次,攪拌時(shí)間15min。
      [0091]4)經(jīng)過(guò)步驟3)處理后,將復(fù)蘇液排凈,用水沖洗至排出液澄清透明。將DOOl強(qiáng)酸性大孔型苯乙烯系陽(yáng)樹脂浸泡在質(zhì)量濃度為8%的NaClO溶液中,浸泡40分鐘并不停的攪拌;其中,NaClO溶液的體積為DOOl強(qiáng)酸性大孔型苯乙烯系陽(yáng)樹脂的I倍。
      [0092]5)經(jīng)過(guò)步驟4)處理后,將NaClO溶液排凈,用水沖洗至排出液成中性,加水?dāng)嚢杵趶?fù)蘇過(guò)程中產(chǎn)生的破碎的樹脂。重新裝入陽(yáng)床內(nèi),水養(yǎng)備用。
      [0093]實(shí)施例8
      [0094]201X7凝膠型強(qiáng)堿性苯乙烯系陰樹脂的復(fù)蘇:
      [0095]I)將201X7凝膠型強(qiáng)堿性苯乙烯系陰樹脂分批次裝入復(fù)蘇桶內(nèi),加水?dāng)嚢杵扑榈臉渲?,然后將?fù)蘇桶內(nèi)的水排凈;
      [0096]2)將經(jīng)過(guò)步驟I)處理的201X7凝膠型強(qiáng)堿性苯乙烯系陰樹脂浸泡在質(zhì)量濃度為4%的鹽溶液中,浸泡30min后將鹽溶液排凈;再將201 X 7凝膠型強(qiáng)堿性苯乙烯系陰樹脂浸泡在質(zhì)量濃度為7%的硫酸溶液中,硫酸溶液的體積為201X7凝膠型強(qiáng)堿性苯乙烯系陰樹脂的5倍,浸泡時(shí)間為6小時(shí),每小時(shí)攪拌一次,攪拌時(shí)間lOmin。
      [0097]3)經(jīng)過(guò)步驟2)處理后,將酸液排凈,用水沖洗自排放口排出的水接近中性。然后配制201X7凝膠型強(qiáng)堿性苯乙烯系陰樹脂I倍體積量的復(fù)蘇液,復(fù)蘇液中含20%的NaCl、8%的NaOH以及15%的Na3PO4,余量為水,將配好的復(fù)蘇液取其一半對(duì)201 X 7凝膠型強(qiáng)堿性苯乙烯系陰樹脂正向流動(dòng)沖洗,沖洗速度保持2h用完,沖洗完后將復(fù)蘇液排凈,再將201X7凝膠型強(qiáng)堿性苯乙烯系陰樹脂浸泡在剩余的復(fù)蘇液中,浸泡40小時(shí),溫度保持在40°C,每4小時(shí)攪拌一次,攪拌時(shí)間為25min。
      [0098]4)經(jīng)過(guò)步驟3)處理后,將復(fù)蘇液排凈,用水沖洗至排出液澄清透明。將201X7凝膠型強(qiáng)堿性苯乙烯系陰樹脂浸泡在質(zhì)量濃度為12%的NaClO溶液中,浸泡35分鐘并不斷攪拌;其中,NaClO溶液的體積為201X7凝膠型強(qiáng)堿性苯乙烯系陰樹脂的2倍。
      [0099]5)經(jīng)過(guò)步驟4)處理后,將NaClO溶液排凈,用水沖洗至排出液成中性,加水?dāng)嚢杵趶?fù)蘇過(guò)程中產(chǎn)生的破碎的樹脂,水養(yǎng)備用重新裝入陰床內(nèi),按照正常再生方法再生后水洗備用。
      [0100]實(shí)施例9
      [0101]D396大孔型陰樹脂的復(fù)蘇:
      [0102]I)將D396大孔型陰樹脂分批次裝入復(fù)蘇桶內(nèi),加水?dāng)嚢杵扑榈臉渲?,然后將?fù)蘇桶內(nèi)的水排凈;
      [0103]2)將經(jīng)過(guò)步驟I)處理的D396大孔型陰樹脂浸泡在質(zhì)量濃度為4%的鹽溶液中,浸泡30min后將鹽溶液排凈;再將D396大孔型陰樹脂浸泡在質(zhì)量濃度為13%的硫酸溶液中,硫酸溶液的體積為D396大孔型陰樹脂的3倍,浸泡時(shí)間為7小時(shí),每小時(shí)攪拌一次,攪拌時(shí)間 20min。
      [0104]3)經(jīng)過(guò)步驟2)處理后,將酸液排凈,用水沖洗自排放口排出的水接近中性。然后配制D396大孔型陰樹脂3倍體積量的復(fù)蘇液,復(fù)蘇液中含15%的NaCl、10%的NaOH以及20%的Na3PO4,余量為水,將配好的復(fù)蘇液取其一半對(duì)D396大孔型陰樹脂正向流動(dòng)沖洗,沖洗速度保持0.5h用完,沖洗完后將復(fù)蘇液排凈,再將D396大孔型陰樹脂浸泡在剩余的復(fù)蘇液中,浸泡15小時(shí),溫度保持在50°C,每4小時(shí)攪拌一次,攪拌時(shí)間為28min。
      [0105]4)經(jīng)過(guò)步驟3)處理后,將復(fù)蘇液排凈,用水沖洗至排出液澄清透明。將D396大孔型陰樹脂浸泡在質(zhì)量濃度為18%的NaClO溶液中,浸泡60分鐘并不斷攪拌;其中,NaClO溶液的體積為D396大孔型陰樹脂的3倍。
      [0106]5)經(jīng)過(guò)步驟4)處理后,將NaClO溶液排凈,用水沖洗至排出液成中性,加水?dāng)嚢杵趶?fù)蘇過(guò)程中產(chǎn)生的破碎的樹脂,水養(yǎng)備用重新裝入陰床內(nèi),按照正常再生方法再生后水洗備用。
      [0107]經(jīng)過(guò)實(shí)施例7、8和9處理的離子交換樹脂,投入使用后可達(dá)到工藝要求。
      [0108]硅晶圓線切割液的品質(zhì),對(duì)線切割得到硅片的合格率有著重要的影響。因此在硅晶圓線切割液回收行業(yè)中,對(duì)回收液電導(dǎo)、色度、PH等指標(biāo)有著嚴(yán)格的要求。經(jīng)本發(fā)明的實(shí)施例處理后的凝膠型陽(yáng)樹脂顏色恢復(fù)正常,取樣檢測(cè)樹脂含水率和磨后圓球率均符合新樹脂的技術(shù)指標(biāo),交換容量達(dá)到新樹脂的95%。凝膠型陰樹脂顏色恢復(fù)成亮黃色,取樣檢測(cè)含水率和磨后圓球率均符合新樹脂的技術(shù)指標(biāo),交換容量達(dá)到新樹脂的93%。大孔型陰樹脂恢復(fù)成白色,取樣檢測(cè)指標(biāo)含水率達(dá)到新樹脂指標(biāo),滲透圓球率達(dá)到正常樹脂的85%,交換容量達(dá)到正常樹脂的95%。投入使用后,陰床取樣口檢測(cè)電導(dǎo)0.8us/cm,pH10.2、色度5?10滿足工藝指標(biāo),處理料液量接近新樹脂水平。
      【權(quán)利要求】
      1.一種硅晶圓線切割液回收過(guò)程中失效離子交換樹脂再利用方法,其特征在于,包括以下步驟: 1)將待復(fù)蘇離子交換樹脂裝入復(fù)蘇桶內(nèi),并向其中加水?dāng)嚢?,漂除破碎的樹脂;然后將?fù)蘇桶內(nèi)的水排凈; 2)向復(fù)蘇桶中加入質(zhì)量濃度為5?15%的無(wú)機(jī)酸溶液,使待復(fù)蘇離子交換樹脂浸泡在無(wú)機(jī)酸溶液中,去除待復(fù)蘇離子交換樹脂內(nèi)部的金屬離子; 3)將無(wú)機(jī)酸溶液排凈,用水沖洗經(jīng)步驟2)處理后的待復(fù)蘇離子交換樹脂,使排放口排出的水為中性;然后,取待復(fù)蘇離子交換樹脂體積I?5倍的復(fù)蘇液,先用一半復(fù)蘇液對(duì)待復(fù)蘇離子交換樹脂正向流動(dòng)沖洗,再將沖洗后的待復(fù)蘇離子交換樹脂浸泡在剩余的復(fù)蘇液中,充分反應(yīng)后,將復(fù)蘇液排凈,用水沖洗至排出液澄清透明; 4)將經(jīng)步驟3)處理后的待復(fù)蘇離子交換樹脂中的水排凈,再將待復(fù)蘇離子交換樹脂浸泡在質(zhì)量濃度為5%?20%的NaClO溶液中,浸泡2?60分鐘; 5)經(jīng)過(guò)步驟4)處理后,將NaClO溶液排凈,用水沖洗至排出液成中性,然后加水?dāng)嚢杵扑榈臉渲龠M(jìn)行水養(yǎng),即完成離子交換樹脂的復(fù)蘇。
      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅晶圓線切割液回收過(guò)程中失效離子交換樹脂再利用方法,其特征在于:所述的待復(fù)蘇離子交換樹脂為強(qiáng)酸性陽(yáng)樹脂或強(qiáng)堿性陰樹脂。
      3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅晶圓線切割液回收過(guò)程中失效離子交換樹脂再利用方法,其特征在于:所述的強(qiáng)酸性陽(yáng)樹脂為001X7凝膠型強(qiáng)酸性苯乙烯系陽(yáng)樹脂或DOOl強(qiáng)酸性大孔型苯乙烯系陽(yáng)樹脂;強(qiáng)堿性陰樹脂為201X7凝膠型強(qiáng)堿性苯乙烯系陰樹脂或D396大孔型陰樹脂。
      4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的硅晶圓線切割液回收過(guò)程中失效離子交換樹脂再利用方法,其特征在于:所述步驟2)中,若待復(fù)蘇離子交換樹脂為強(qiáng)堿性陰樹脂,則需要在加無(wú)機(jī)酸溶液前先將其轉(zhuǎn)化為氯型樹脂。
      5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅晶圓線切割液回收過(guò)程中失效離子交換樹脂再利用方法,其特征在于:所述步驟2)中,酸溶液的加入量為待復(fù)蘇離子交換樹脂體積的I?5倍,浸泡時(shí)間為4?8小時(shí),每小時(shí)攪拌一次,每次攪拌的時(shí)間為5?30min。
      6.根據(jù)權(quán)利要求1或5所述的硅晶圓線切割液回收過(guò)程中失效離子交換樹脂再利用方法,其特征在于:所述步驟2)中,酸溶液為鹽酸溶液或硫酸溶液。
      7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅晶圓線切割液回收過(guò)程中失效離子交換樹脂再利用方法,其特征在于:所述步驟3)中,待復(fù)蘇離子交換樹脂浸泡在復(fù)蘇液中的時(shí)間為6?48小時(shí),溫度保持在20?60°C,每4小時(shí)攪拌一次,每次攪拌的時(shí)間為10?30min。
      8.根據(jù)權(quán)利要求1或7所述的硅晶圓線切割液回收過(guò)程中失效離子交換樹脂再利用方法,其特征在于:所述步驟3)中,復(fù)蘇液由NaCl、NaOH, Na3PO4以及水組成,且NaCl的質(zhì)量濃度為I?20%、NaOH的質(zhì)量濃度為I?10%、Na3PO4的質(zhì)量濃度為0.5?20%。
      9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅晶圓線切割液回收過(guò)程中失效離子交換樹脂再利用方法,其特征在于:所述步驟4)中,NaClO溶液的體積為待復(fù)蘇離子交換樹脂的I?3倍。
      10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅晶圓線切割液回收過(guò)程中失效離子交換樹脂再利用方法,其特征在于:所述步驟4)中,控制NaClO溶液浸泡過(guò)程的溫度不超過(guò)60°C。
      【文檔編號(hào)】B01J49/00GK103464224SQ201310362927
      【公開日】2013年12月25日 申請(qǐng)日期:2013年8月19日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月19日
      【發(fā)明者】李向東, 卞維真, 鄭剛, 張奶玲, 王亮 申請(qǐng)人:西安通鑫半導(dǎo)體輔料有限公司
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