一種用于測(cè)試sem實(shí)驗(yàn)中放置硅片的盒子的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種用于測(cè)試SEM實(shí)驗(yàn)中放置硅片的盒子，包括有圓柱形盒體以及圓柱形蓋體，圓柱形盒體的下端外壁上設(shè)有環(huán)形凹槽，圓柱形蓋體的下端內(nèi)壁上設(shè)有與環(huán)形凹槽配合的環(huán)形凸起，圓柱形蓋體的側(cè)壁上設(shè)有一個(gè)缺口，圓柱形盒體的內(nèi)部由隔板分為若干等份，其中一個(gè)等份的外端封閉，其余各個(gè)等份的外端敞開，外端敞開的各個(gè)等份中編寫有不同的編號(hào)并分別放置有硅片。本實(shí)用新型是用于貯存硅片，貯存時(shí)，圓柱形蓋體旋合在圓柱形盒體上并且缺口對(duì)在外端封閉的等份處，需要取出某一編號(hào)對(duì)應(yīng)的硅片時(shí)，只需用將缺口對(duì)在相應(yīng)的外端敞開的等份上即可，使用方便，可有效保護(hù)硅片。
【專利說明】
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型主要涉及實(shí)驗(yàn)器材領(lǐng)域，尤其涉及一種用于測(cè)試SEM實(shí)驗(yàn)中放置硅片 的盒子。 -種用于測(cè)試SEM實(shí)驗(yàn)中放置硅片的盒子

【背景技術(shù)】
[0002] 測(cè)試SEM實(shí)驗(yàn)中，對(duì)硅片的清潔度有一定的要求，硅片的儲(chǔ)存及使用不當(dāng)，極易對(duì) 硅片造成污染，影響測(cè)試數(shù)據(jù)。 實(shí)用新型內(nèi)容
[0003] 本實(shí)用新型目的就是為了彌補(bǔ)已有技術(shù)的缺陷，提供一種用于測(cè)試SEM實(shí)驗(yàn)中放 置硅片的盒子。
[0004] 本實(shí)用新型是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的：
[0005]-種用于測(cè)試SEM實(shí)驗(yàn)中放置硅片的盒子，其特征在于：包括有圓柱形盒體以及 圓柱形蓋體，圓柱形盒體的下端外壁上設(shè)有環(huán)形凹槽，圓柱形蓋體的下端內(nèi)壁上設(shè)有與環(huán) 形凹槽配合的環(huán)形凸起，圓柱形蓋體的側(cè)壁上設(shè)有一個(gè)缺口，圓柱形盒體的內(nèi)部由隔板分 為若干等份，其中一個(gè)等份的外端封閉，其余各個(gè)等份的的外端敞開，外端敞開的各個(gè)等份 中編寫有不同的編號(hào)并分別放置有硅片。
[0006] 所述的一種用于測(cè)試SEM實(shí)驗(yàn)中放置硅片的盒子，其特征在于：所述的圓柱形蓋 體上的缺口大小不小于硅片的大小，不大于圓柱形盒體的各個(gè)等份的敞口大小。
[0007] 本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是：
[0008] 本實(shí)用新型是用于貯存硅片，貯存時(shí)，圓柱形蓋體旋合在圓柱形盒體上并且缺口 對(duì)在外端封閉的等份處，需要取出某一編號(hào)對(duì)應(yīng)的硅片時(shí)，只需用將缺口對(duì)在相應(yīng)的外端 敞開的等份上即可，使用方便，可有效保護(hù)硅片。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0009] 圖1為本實(shí)用新型的圓柱形盒體的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0010] 圖2為本實(shí)用新型的圓柱形蓋體的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0011] 如圖1、2所示，一種用于測(cè)試SEM實(shí)驗(yàn)中放置硅片的盒子，包括有圓柱形盒體1以 及圓柱形蓋體2,圓柱形盒體1的下端外壁上設(shè)有環(huán)形凹槽3,圓柱形蓋體2的下端內(nèi)壁上 設(shè)有與環(huán)形凹槽3配合的環(huán)形凸起4,圓柱形蓋體2的側(cè)壁上設(shè)有一個(gè)缺口 5,圓柱形盒體1 的內(nèi)部由隔板6分為若干等份，其中一個(gè)等份7的外端封閉，其余各個(gè)等份的的外端敞開， 外端敞開的各個(gè)等份中編寫有不同的編號(hào)并分別放置有硅片。
[0012] 圓柱形蓋體2上的缺口 5大小不小于硅片的大小，不大于圓柱形盒體1的各個(gè)等 份的敞口大小。
【權(quán)利要求】
1. 一種用于測(cè)試SEM實(shí)驗(yàn)中放置硅片的盒子，其特征在于：包括有圓柱形盒體以及圓 柱形蓋體，圓柱形盒體的下端外壁上設(shè)有環(huán)形凹槽，圓柱形蓋體的下端內(nèi)壁上設(shè)有與環(huán)形 凹槽配合的環(huán)形凸起，圓柱形蓋體的側(cè)壁上設(shè)有一個(gè)缺口，圓柱形盒體的內(nèi)部由隔板分為 若干等份，其中一個(gè)等份的外端封閉，其余各個(gè)等份的外端敞開。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于測(cè)試SEM實(shí)驗(yàn)中放置硅片的盒子，其特征在于：所 述的圓柱形蓋體上的缺口大小不小于硅片的大小，不大于圓柱形盒體的各個(gè)等份的敞口大 小。
【文檔編號(hào)】B01L3/00GK203862260SQ201420028870
【公開日】2014年10月8日 申請(qǐng)日期:2014年1月16日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月16日
【發(fā)明者】許海峰, 劉寧, 馬夢(mèng), 曹保銀, 楊承志, 王桂英, 張明玉, 郝保明, 王紅艷, 李娜, 劉鵬 申請(qǐng)人:宿州學(xué)院