本發(fā)明涉及一種廢氣處理裝置用預(yù)處理裝置，尤其涉及一種能夠防止由處理廢氣時產(chǎn)生的粉末導(dǎo)致的管道堵塞現(xiàn)象的廢氣處理裝置用預(yù)處理裝置。

背景技術(shù)：

一般來說，半導(dǎo)體設(shè)備經(jīng)過氧化、蝕刻、沉積及光刻等各種制造工藝來制造。此時，所述制造工藝可使用毒性化工藥劑和化學(xué)氣體。例如，在半導(dǎo)體設(shè)備的制造工藝中可使用氨、氧化氮、胂、磷化氫乙硼烷及三氯化硼等毒性氣體。

因此，如果半導(dǎo)體制造工藝中所產(chǎn)生的廢氣直接排放到大氣中，則上述毒性氣體有可能給人體帶來致命的影響。而且，由于廢氣的自然起火，可能會發(fā)生火災(zāi)事故。

如上所述，在一般的半導(dǎo)體制造工藝中使用各種形態(tài)的廢氣處理裝置。廢氣處理裝置通過提煉在半導(dǎo)體制造工藝中產(chǎn)生的廢氣并排放至大氣中，從而解決上述的問題。

如圖1所示，一般來說，廢氣處理裝置1由干式部10和濕式部20構(gòu)成，所述干式部10由用于燃燒廢氣的燃燒器和燃燒室構(gòu)成，所述濕式部20提煉通過所述干式部10進行燃燒的廢氣。

但是，現(xiàn)有的廢氣處理裝置1存在廢氣燃燒時產(chǎn)生的粉末沉積于燃燒室中的問題。

另外，廢氣中所含有的粉末沉積于管道等，導(dǎo)致管道堵塞的現(xiàn)象。

而且，如上所述，當(dāng)在燃燒室中沉積粉末或出現(xiàn)管道堵塞的現(xiàn)象時，需要進行停止設(shè)備運行，并調(diào)動人力來去除粉末的額外的去除作業(yè)，因此作業(yè)效率下降而導(dǎo)致重大損失。

因此，本發(fā)明人研究了能夠解決上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題的廢氣處理裝置用預(yù)處理裝置。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

(一)要解決的技術(shù)問題

本發(fā)明的一個實施例的目的在于提供一種廢氣處理裝置用預(yù)處理裝置，該裝置能夠提高處理效率，如使處理廢氣時可能生成的粉末導(dǎo)致管道堵塞的現(xiàn)象最小化等。

(二)技術(shù)方案

本發(fā)明公開一種廢氣處理裝置用預(yù)處理裝置。本發(fā)明的一個實施例的廢氣處理裝置用預(yù)處理裝置為設(shè)置在廢氣處理裝置的前端，以處理在半導(dǎo)體工藝過程中排出的廢氣的單一體的預(yù)處理裝置，包括：主體，形成有能夠使所述廢氣流入的流入口和能夠排出流入的氣體的排出口；隔板，設(shè)置在所述主體內(nèi)，以劃分所述流入口和排出口；防粘著部，設(shè)置在所述流入口，向主體內(nèi)供給熱氮和水分以防止粉末粘著在流入口，并蒸發(fā)廢氣中所含有的水分；過濾部，設(shè)置在所述主體內(nèi)，能夠去除廢氣中所包含的粉末、灰塵、雜質(zhì)及水溶性氣體等；以及第二清洗裝置，設(shè)置在通過所述隔板劃分的主體的第一區(qū)域，能夠向粘著于墻面的粉末噴水并清洗。

(三)有益效果

根據(jù)本發(fā)明的廢氣處理裝置用預(yù)處理裝置設(shè)置在用于處理廢氣的廢氣處理裝置的前端，能夠一次性地去除包含在廢氣中的粉末和異物等，而且，通過過濾部增加廢氣與水分接觸的面積和時間等，從而能夠提高預(yù)處理效率。

另外，可在廢氣流入的流入口設(shè)置防粘著部來防止粉末在廢氣流入時粘著在流入口。

附圖說明

圖1是示意表示現(xiàn)有的廢氣處理裝置的圖。

圖2是示意表示設(shè)置本發(fā)明的一個實施例的廢氣處理裝置用預(yù)處理裝置的狀態(tài)的圖。

圖3是示意表示本發(fā)明的一個實施例的廢氣處理裝置用預(yù)處理裝置的圖。

圖4是示意表示在本發(fā)明的一個實施例的廢氣處理裝置用預(yù)處理裝置中使用的防粘著部的圖。

附圖說明標(biāo)記

1：廢氣處理裝置 100：預(yù)處理裝置

110：主體 112：流入口

114：排出口 120：隔板

130：防粘著部 132：氮噴射口

134：水分噴射口 140：過濾部

142：填充物 144：支撐部件

146：噴嘴 150：排水部

160：第一清洗裝置 170：蓋體

180：第二清洗裝置

具體實施方式

下面，參照附圖對本發(fā)明的實施例的廢氣處理裝置用預(yù)處理裝置進行更詳細的說明。

如圖2所示，本發(fā)明的一個實施例的廢氣處理裝置用預(yù)處理裝置設(shè)置在用于處理廢氣的廢氣處理裝置1的前端，并能夠一次性地去除包含在廢氣中的粉末、灰塵及雜質(zhì)等。

圖3是示意表示本發(fā)明的一個實施例的廢氣處理裝置用預(yù)處理裝置100的圖。

參照圖3，預(yù)處理裝置100作為能夠去除廢氣中含有的粉末等的裝置，可包括：主體110，形成有流入口112和排出口114；隔板120，設(shè)置在所述主體110內(nèi)，以劃分所述流入口112和排出口114；防粘著部130，設(shè)置在所述流入口112，通過向主體110內(nèi)供給熱氮和水分來防止粉末粘著在流入口112，并蒸發(fā)廢氣中所含有的水分；以及過濾部140，設(shè)置在所述主體110內(nèi)，能夠過濾掉廢氣中所包含的粉末、灰塵、雜質(zhì)及水溶性氣體等。

主體110內(nèi)部具有容納空間，在一側(cè)形成半導(dǎo)體制造工藝過程中產(chǎn)生的廢氣能夠流入的流入口112和能夠排出通過所述流入口112流入的廢氣的排出口114。

所述主體110可由透明的聚氯乙烯(PVC)材質(zhì)等制造，且以越到下部寬度越窄的形狀形成。即，下部的墻面向內(nèi)側(cè)方向傾斜形成。

另外，所述主體110內(nèi)設(shè)置有能夠劃分所述流入口112和所述排出口114的隔板120。

所述隔板120將主體110內(nèi)的容納空間劃分為所述流入口112所處的第一區(qū)域和排出口114所處的第二區(qū)域。其中，所述隔板120為下部開放的結(jié)構(gòu)，是當(dāng)廢氣通過流入口112流入到第一區(qū)域時，使廢氣通過所述隔板120的開放的下部移動至第二區(qū)域的結(jié)構(gòu)。

另外，如圖3所示，所述廢氣流入的流入口112設(shè)置有防粘著部130。

參照圖4，所述防粘著部130在廢氣流入時防止廢氣中的粉末粘著在流入口112，包括能夠噴射熱氮的氮噴射口132和能夠噴射水分的水分噴射口134。

具體地，所述防粘著部130設(shè)置在廢氣流入的主體110的流入口112，具有圓筒形狀，沿圓周方向形成有能夠向主體110內(nèi)供給熱氮的氮噴射口132，沿圓周方向形成有以與所述氮噴射口132劃分的方式噴射水分的水分噴射口134。

其中，形成在所述防粘著部130的氮噴射口132和水分噴射口134分別噴射熱氮或水，以使所述熱氮或水與流入至主體110內(nèi)的廢氣接觸，氮噴射口132位于所述水分噴射口134的內(nèi)側(cè)，從而能夠去除通過所述流入口112流入的廢氣中的水分的同時保持管道內(nèi)溫度，所述水分噴射口134位于所述氮噴射口132的外側(cè)，從而能夠去除廢氣中的水溶性氣體的同時去除因熱氮而粘著在流入口112側(cè)的粉末。

另外，在所述主體110內(nèi)的第二區(qū)域側(cè)上部設(shè)置過濾部140，以便能夠去除包含在廢氣中的粉末、灰塵、雜質(zhì)及水溶性氣體等。

所述過濾部140可包括多個填充物142、能夠支撐所述填充物142的支撐部件144以及能夠向所述多個填充物142和支撐部件144噴水的噴嘴146。

即，如圖3所示，在主體110內(nèi)的第二區(qū)域側(cè)的上部設(shè)置具有多個通孔的支撐部件144，所述支撐部件144的上側(cè)放置有多個填充物，所述填充物142的上側(cè)和支撐部件144的下側(cè)分別設(shè)置有能夠噴水的噴嘴146。

因此，在如上所述構(gòu)成的過濾部140中，當(dāng)廢氣通過隔板120流動時，廢氣會通過由所述多個填充物142形成的縫隙而流動，在廢氣通過所述縫隙流動的期間內(nèi)，通過向支撐部件144和填充物144噴水，增加與水溶性氣體接觸的面積和時間，從而能夠提高處理效率。

另外，本發(fā)明的一個實施例的廢氣處理用預(yù)處理裝置100的所述主體110的下部還可以包括排水部150，以便能夠?qū)⒎勰┖退懦鲋镣獠俊?/p>

所述排水部150為形成于主體110的下部側(cè)的多個排出孔，能夠?qū)⒃陬A(yù)處理過程中產(chǎn)生的粉末和廢氣中所包含的大量灰塵等雜質(zhì)排出至外部。

即，在對廢氣進行預(yù)處理的期間，所述廢氣會與水分進行反應(yīng)而產(chǎn)生粉末，而且，廢氣中含有大量的灰塵和雜質(zhì)等，需將其排出至外部。因此，在下部設(shè)置排水部150，以排出向廢氣噴射的水、粉末和異物等。

另外，主體110的下部向內(nèi)側(cè)傾斜形成，以防止在預(yù)處理過程中產(chǎn)生的粉末粘著在主體110內(nèi)部，在所述傾斜面設(shè)置有第一清洗裝置160，以便能夠通過噴水清洗主體110的內(nèi)壁。

其中，所述第一清洗裝置160設(shè)置在主體110下部的傾斜部分，因此可能會導(dǎo)致在預(yù)處理過程中產(chǎn)生的粉末覆蓋所述第一清洗裝置160而無法噴水的問題。

因此，如圖3所示，還可包括保護所述第一清洗裝置160免受粉末的影響的蓋體170。

所述蓋體170包圍第一清洗裝置160從而防止粉末積壓，使得所述第一清洗裝置160能夠順利地噴水。

另外，所述預(yù)處理裝置的主體110內(nèi)包括能夠清洗第一區(qū)域的第二清洗裝置180。

所述第二清洗裝置180設(shè)置在所述主體110的第一區(qū)域的上側(cè)，能夠清洗粘著于第一區(qū)域內(nèi)的墻面等的粉末和異物。

其中，所述第二清洗裝置180間歇性地進行噴射，以規(guī)定的時間間隔噴水，從而清洗主體110內(nèi)的粉末和異物。

其中，在本發(fā)明的一個實施例中，除了所述第二清洗裝置180以外，第一清洗裝置160、噴嘴146及水分噴射口139等都可以進行間歇性地噴水。

即，使電力和水的消耗最小化的同時清洗主體110內(nèi)的粉末和異物。

因此，本發(fā)明的一個實施例的廢氣處理裝置用預(yù)處理裝置100設(shè)置在廢氣處理裝置1的前端，能夠一次性地去除廢氣中所包含的粉末和異物等，因此能夠防止粉末粘著在廢氣處理裝置1內(nèi)，提高處理效率。

以上對本發(fā)明的實施例進行了說明，本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在不脫離權(quán)利要求書中所記載的本發(fā)明思想的范圍內(nèi)可通過進一步變更、刪除或增加組成要素等來對本發(fā)明進行多種修改和變更，并且這種修改和變更內(nèi)容同樣包括在本發(fā)明的保護范圍內(nèi)。