本發(fā)明屬于玻璃鍍膜生產(chǎn)設(shè)備，特別涉及一種用于玻璃鍍膜的旋涂裝置及方法。

背景技術(shù)：

1、在玻璃晶圓加工時，為了提高對玻璃晶圓的機(jī)械性能，需對玻璃晶圓表面進(jìn)行鍍膜加工，目前市面上玻璃晶圓鍍膜通常采用旋涂方式涂覆在玻璃晶圓上，再經(jīng)過高溫固化在玻璃表面形成一層減反射增透薄膜。

2、如專利文件申請?zhí)枮?01610153175.5，公開了玻璃晶圓鍍膜的方法，主要包括以下幾個步驟：1]玻璃晶圓清洗；2]玻璃晶圓干燥；3]玻璃晶圓鍍膜；將干燥后的玻璃晶圓送入鍍膜室，固定在旋涂機(jī)的鍍膜盤上，鍍膜室中通入揮發(fā)蒸汽，當(dāng)整個鍍膜室中揮發(fā)蒸汽達(dá)到飽和時，將旋涂機(jī)轉(zhuǎn)速調(diào)至500rpm,向鍍膜盤中央滴入鍍膜液，然后逐漸將旋涂機(jī)轉(zhuǎn)速提高至2000-5000rpm，鍍膜液在玻璃晶圓上均勻鋪展開后完成初步鍍膜；其中，鍍膜液的溶劑與揮發(fā)蒸汽相同；4]低溫固化；5]高溫固化。該發(fā)明可有效解訣鍍膜液中有機(jī)揮發(fā)組分在鍍膜未完成就已揮發(fā)而導(dǎo)致的鍍膜不均的問題，同時該鍍膜工藝簡單易操作、成本低，可有效降低鍍膜成本。

3、但是，上述對玻璃晶圓鍍膜時，由于膜料與膜料之間、膜料與基片之間存在匹配性問題，使得鍍膜材料在高溫下的熱穩(wěn)定性不足，烘烤過程中可能會出現(xiàn)色散和耐不住高溫的問題，從而影響玻璃晶圓的鍍膜質(zhì)量，因此我們需要提出一種用于玻璃鍍膜的旋涂裝置及方法來解決上述存在的問題，使其能夠有效提高對鍍膜材料的耐高溫性。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、針對上述問題，本發(fā)明提供了一種用于玻璃鍍膜的旋涂裝置，包括控制基座，所述控制基座的上方固定有機(jī)罩，所述機(jī)罩的一側(cè)設(shè)置有用于對機(jī)罩內(nèi)抽真空的抽真空管以及用于對機(jī)罩內(nèi)排真空的排氣管，所述機(jī)罩的另一側(cè)安裝有密封門，所述機(jī)罩的內(nèi)部安裝有用于對晶圓進(jìn)行上料的上料組件，所述上料組件的內(nèi)部活動放置有晶圓，所述上料組件的兩端安裝有能夠旋轉(zhuǎn)的夾持組件，所述上料組件的下方安裝有用于對晶圓進(jìn)行ir鍍膜的ir鍍膜機(jī)構(gòu)以及用于對晶圓進(jìn)行ar鍍膜的ar鍍膜機(jī)構(gòu)，所述上料組件的上方安裝有用于對晶圓進(jìn)行l(wèi)nk旋涂的lnk旋涂機(jī)構(gòu)；所述ir鍍膜機(jī)構(gòu)采用電子束加熱或電阻加熱方式將用于ir鍍膜材料加熱至蒸發(fā)溫度，蒸發(fā)出的ir鍍膜材料在高真空環(huán)境中傳輸至晶圓表面，并均勻沉積形成薄膜；

2、所述ar鍍膜機(jī)構(gòu)通過高能氬離子轟擊靶材，將靶材原子濺射至晶圓表面沉積形成ar打底層；所述lnk旋涂機(jī)構(gòu)將lnk材料涂覆在晶圓表面，再經(jīng)烘烤固化形成穩(wěn)定薄膜。

3、進(jìn)一步的，所述上料組件包括兩個呈半圓設(shè)置的網(wǎng)格座，兩個所述網(wǎng)格座能夠組合成空心的圓桶結(jié)構(gòu)，且所述網(wǎng)格座的開口呈傾斜設(shè)置，所述網(wǎng)格座的弧形面安裝有第一電動推桿，所述第一電動推桿的座體通過三角塊與機(jī)罩的內(nèi)壁傾斜安裝，所述網(wǎng)格座的相對兩側(cè)開設(shè)有供夾持組件夾持晶圓的讓位孔。

4、進(jìn)一步的，所述夾持組件包括兩個對稱固定在機(jī)罩內(nèi)壁的第二電動推桿，所述第二電動推桿的活塞桿端安裝有連接座，其中一個所述連接座的一端轉(zhuǎn)動連接有插塊，另一個所述連接座的內(nèi)部安裝有旋轉(zhuǎn)馬達(dá)，所述旋轉(zhuǎn)馬達(dá)的輸出軸穿過連接座的一側(cè)并與連接座轉(zhuǎn)動連接，所述旋轉(zhuǎn)馬達(dá)的輸出軸上也安裝有插塊，所述插塊的一端固定有用于與晶圓抵觸的橡膠墊片。

5、進(jìn)一步的，所述i?r鍍膜機(jī)構(gòu)包括采用電子束加熱或電阻加熱的第一涂料箱，所述第一涂料箱的上端連通有連接管，所述連接管的一端安裝有霧化噴頭，所述連接管通過角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)安裝在第一涂料箱的上端，所述第一涂料箱的另一側(cè)連通有進(jìn)料管，所述進(jìn)料管位于上料組件的正下方。

6、進(jìn)一步的，所述ar鍍膜機(jī)構(gòu)包括用于儲存轟擊靶材的第二涂料箱，所述第二涂料箱的上端安裝有可調(diào)節(jié)噴射角度的噴射管，所述噴射管的一端安裝有噴射頭，所述第二涂料箱的上端固定有兩個第二支撐塊，所述噴射管的兩側(cè)通過圓桿與第二支撐塊轉(zhuǎn)動連接，其中一個所述圓桿的安裝有第二馬達(dá)。

7、進(jìn)一步的，所述lnk旋涂機(jī)構(gòu)包括u形座以及安裝在u形座上的加液機(jī)構(gòu)，所述u形座的上端通過第三電動推桿與機(jī)罩的內(nèi)頂部固定，且位于所述第三電動推桿兩側(cè)的u形座上通過伸縮桿與機(jī)罩的內(nèi)頂部連接，所述u形座的內(nèi)部轉(zhuǎn)動安裝有滾桶，所述滾桶的四周等距設(shè)置有多個表面為海綿材質(zhì)的涂覆輥，所述滾桶的四周設(shè)置有供多個涂覆輥安裝的安裝槽，所述涂覆輥通過連接機(jī)構(gòu)可拆卸安裝在安裝槽的內(nèi)部，所述滾桶的一端通過步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動。

8、進(jìn)一步的，所述連接機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)動安裝在安裝槽兩端的轉(zhuǎn)動塊，所述轉(zhuǎn)動塊的內(nèi)部滑動插接有t型方桿，所述t型方桿的一端固定有安裝座，所述涂覆輥的兩端固定有矩形桿，所述安裝座上開設(shè)有供矩形桿活動插接的安裝孔，位于所述安裝座與轉(zhuǎn)動塊之間的t型方桿上套接有復(fù)位彈簧。

9、進(jìn)一步的，所述滾桶的兩端固定有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸的一端轉(zhuǎn)動連接在u形座上，且其中一個所述轉(zhuǎn)軸一端穿過u形座的一側(cè)與步進(jìn)電機(jī)的輸出軸連接。

10、進(jìn)一步的，所述加液機(jī)構(gòu)包括主管，所述主管上連通有多個滴頭，多個所述滴頭等距固定在u形座的頂部，且所述滴頭的出液端與靠近滴頭的涂覆輥抵觸，所述u形座上開設(shè)有供主管安裝的限位槽，所述主管的一端通過泵連通有存儲有l(wèi)nk材料的儲料桶。

11、基于以上敘述的一種用于玻璃鍍膜的旋涂裝置，本發(fā)明還提供一種用于玻璃鍍膜的旋涂方法，包括如下步驟：

12、s1、將待旋涂的晶圓放置在上料組件上，通過上料組件將晶圓固定在機(jī)罩的內(nèi)部；

13、s2、關(guān)上密封門，并對機(jī)罩內(nèi)抽真空處理，使機(jī)罩內(nèi)處于真空狀態(tài)，啟動ir鍍膜機(jī)構(gòu)，對晶圓進(jìn)行ir鍍膜；

14、s3、待晶圓ir鍍膜完成后，將晶圓冷卻至室溫，然后再利用夾持組件將晶圓夾持，并驅(qū)動晶圓進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；

15、s3、啟動ar鍍膜機(jī)構(gòu)，通過高能氬離子轟擊靶材，將靶材原子濺射到晶圓表面形成ar打底層；

16、s4、待ar打底層制備完成后且晶圓降到室溫，再啟動lnk鍍膜機(jī)構(gòu)進(jìn)行旋涂鍍膜，使lnk材料固化形成穩(wěn)定薄膜；

17、s5、待穩(wěn)定薄膜處理完成后且晶圓降到室溫時，啟動ar鍍膜機(jī)構(gòu)對晶圓再次進(jìn)行ar鍍膜，鍍膜完成后冷卻至室溫后取出。

18、本發(fā)明的有益效果是：

19、1、本發(fā)明通過ir鍍膜機(jī)構(gòu)、ar鍍膜機(jī)構(gòu)和lnk旋涂機(jī)構(gòu)的配合，在晶圓上先進(jìn)行ir鍍膜再進(jìn)行ar面打底鍍膜，有助于進(jìn)一步優(yōu)化最終產(chǎn)品的透光率和成像質(zhì)量，在晶圓上先進(jìn)行ir鍍膜再進(jìn)行ar面打底鍍膜，然后進(jìn)行l(wèi)nk旋涂，最后進(jìn)行ar鍍膜的過程，不僅能夠提高光學(xué)性能，增強(qiáng)鍍膜附著力，優(yōu)化工藝流程，提升產(chǎn)品性能，而且還能提高生產(chǎn)效率和降低成本，增強(qiáng)產(chǎn)品可靠性，降低烘烤過程中出現(xiàn)色散和耐不住高溫現(xiàn)象出現(xiàn)的幾率。

20、2、本發(fā)明通過lnk旋涂機(jī)構(gòu)的設(shè)置，能夠?qū)A進(jìn)行l(wèi)nk旋涂作業(yè)，同時通過加液機(jī)構(gòu)對與涂覆的涂覆輥相對的涂覆輥加液，使涂覆作業(yè)能夠連續(xù)進(jìn)行，提高作業(yè)效率。

21、本發(fā)明的其它特征和優(yōu)點將在隨后的說明書中闡述，并且，部分地從說明書中變得顯而易見，或者通過實施本發(fā)明而了解。本發(fā)明的目的和其他優(yōu)點可通過在說明書、權(quán)利要求書以及附圖中所指出的結(jié)構(gòu)來實現(xiàn)和獲得。