一種空氣洗滌裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種空氣洗滌裝置，特別涉及一種有效去除空氣中的不良氣體(如硫化物、氮化物等)，借以使空氣達到符合無塵室要求的潔凈度的空氣洗滌裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在芯片的制造過程中，不但需要精確地控制溫度和濕度，而且需要達到無塵標(biāo)準(zhǔn)以及避免受到化學(xué)物質(zhì)干擾。因此，要達到無塵潔凈的標(biāo)準(zhǔn)，就需要對空氣質(zhì)量進行控制?，F(xiàn)有技術(shù)中，無塵室中設(shè)有轉(zhuǎn)用的洗滌設(shè)備，其不但要去除空氣中不良的氣體，同時還需要提供適當(dāng)?shù)臐穸?，以防止因空氣太干燥而產(chǎn)生靜電感應(yīng)，此外還需要同時提供適當(dāng)?shù)臏囟?，以符合生產(chǎn)所需的條件。
[0003]現(xiàn)有的空氣洗滌裝置主要包括回收底座、用以進行空氣洗滌的噴水裝置、用來過濾空氣及擋水的過濾板，以及配套的補給水機構(gòu)、循環(huán)管線和泵；其中，噴水裝置和過濾板構(gòu)成了洗滌裝置的核心。噴水裝置主要由水管和設(shè)于水管上的噴嘴組成。現(xiàn)有技術(shù)中，噴嘴都是采用扇形噴嘴，噴霧角度一般在120度左右。而噴嘴和空氣流動方向決定了空氣與水滴的接觸方式，其一般分為兩種:一是被動式，即噴嘴的噴霧方向與空氣流動方向相同，此時，水滴噴出后，等著空氣來和水滴形成接觸，這種結(jié)構(gòu)可以參見中國實用新型專利CN2446432Y公開的空調(diào)箱的水洗及加濕設(shè)備，其扇形噴嘴的噴霧方向與空氣流動方向相同，參見其圖1、3所示。對于第一種被動式的結(jié)構(gòu)，由于其為非主動撞擊，因此需要較小的水滴直徑(約80微米)才能具有較佳的加濕和水洗效果，然而，正是因為水滴直徑較小，使得單個噴嘴的流量低，因而噴嘴數(shù)量需求較多，造成整個設(shè)備造價高，且噴嘴口徑小也易發(fā)生堵塞，維護成本較高。針對上述問題，出現(xiàn)了第二種結(jié)構(gòu)，即主動式，其噴嘴的噴霧方向與空氣流動方向相垂直，即水滴噴出后，主動形成一道阻擋墻，造成空氣和水滴形成撞擊式的接觸，如中國實用新型專利CN2562115Y公開的空調(diào)箱水幕結(jié)構(gòu)。由于有主動撞擊的輔助，因而可以采用水滴直徑較大的噴嘴，一般約150微米即可達到類似的加濕和水洗效果。但是，這種主動式結(jié)構(gòu)由于采用的是扇形噴嘴，其噴霧角度一般最大只有120度，因此在噴嘴的上方出現(xiàn)出現(xiàn)旁通區(qū)1，參見附圖1所示，即使采用前后雙排或多排噴嘴的結(jié)構(gòu)也無法解決上述問題，造成了該結(jié)構(gòu)的水洗效果較差。
[0004]針對上述問題，也有人將扇形噴嘴的噴霧方向與空氣流動方向設(shè)計成相反的結(jié)構(gòu)，如發(fā)明專利申請CN101164663A公開了一種空氣洗滌設(shè)備，但是該噴嘴的前方必須設(shè)有擋水用的過濾板，防止水噴出回收底座之外，這不僅造成了整個設(shè)備的結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜，而且多出來的過濾板會產(chǎn)生較大的風(fēng)阻，加大了整個設(shè)備的動力供應(yīng)需求。
[0005]因此，開發(fā)一種節(jié)能高效空氣洗滌裝置，具有積極的現(xiàn)實意義。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的是提供一種空氣洗滌裝置。
[0007]為達到上述發(fā)明目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:一種空氣洗滌裝置，包括噴水裝置，所述噴水裝置包括水管和設(shè)于水管上的復(fù)數(shù)個噴嘴；
所述噴嘴的噴霧角度為180度，噴出的水滴直徑大于等于150微米；
所述噴水裝置上的噴嘴形成的水幕完全覆蓋空氣管路的一截面；所述噴水裝置形成的水幕與空氣流動方向相垂直；
所述噴水裝置上的噴嘴在空氣行進方向上具有至少2種位置，形成前后錯排結(jié)構(gòu)，且相鄰噴嘴形成的水幕不相碰撞。
[0008]上文中，所述噴嘴的噴霧角度為180度，其可以采用現(xiàn)有技術(shù)，如PNR公司生產(chǎn)的RCZ型號的超廣角噴嘴。
[0009]所述噴水裝置上的噴嘴在空氣行進方向上具有至少2種位置，形成前后錯排結(jié)構(gòu)，這里可以有2種方式:一種是噴嘴朝向相同，但伸出距離不同，形成前后錯排；第二種是噴嘴朝向相反，即有的向前，有的向后，形成前后錯排。當(dāng)然也可以是上述2種結(jié)構(gòu)的組合。
[0010]所述相鄰噴嘴形成的水幕不相碰撞，即相鄰水幕不會出現(xiàn)重疊，此外，在同一平面上的相鄰水幕也不會出現(xiàn)重疊，從而避免了現(xiàn)有技術(shù)中噴嘴的水幕相互重疊碰撞的問題，提高了水洗效果。
[0011]所述噴水裝置形成的水幕與空氣流動方向相垂直，因而形成的是主動式結(jié)構(gòu)，即水幕主動形成一道阻擋墻，造成空氣和水滴形成撞擊式的接觸。
[0012]上述技術(shù)方案中，所述噴水裝置上處于同一平面的相鄰噴嘴之間的間距大于等于550 mm,且噴水裝置上處于同一平面的相鄰噴嘴形成的水幕不相碰撞。
[0013]上述技術(shù)方案中，還包括回收底座，以及與噴水裝置配套的補給水機構(gòu)、循環(huán)管線和泵。
[0014]當(dāng)然，一個空氣洗滌裝置可以采用多套噴水裝置。
[0015]上述技術(shù)方案中，還包括多孔性阻擋層。
[0016]上述技術(shù)方案中，還包括空氣管路，其具有一既定空氣流向；該空氣流向與噴水裝置形成的水幕相垂直。
[0017]優(yōu)選的，所述噴嘴噴出的水滴直徑為150~200微米。
[0018]上述技術(shù)方案中，所述噴水裝置上的噴嘴在空氣行進方向上的設(shè)置結(jié)構(gòu)為:順著空氣行進方向設(shè)置和/或逆著空氣行進方向設(shè)置，形成前后錯排結(jié)構(gòu)。
[0019]與之相應(yīng)的另一種技術(shù)方案，一種空氣洗滌裝置，包括噴水裝置，所述噴水裝置包括水管和設(shè)于水管上的復(fù)數(shù)個噴嘴；
所述噴嘴的噴霧角度為180度，噴出的水滴直徑大于等于150微米；
所述噴水裝置上的噴嘴形成的水幕完全覆蓋空氣管路的一截面；所述噴水裝置形成的水幕與空氣流動方向相垂直；
所述噴水裝置包括復(fù)數(shù)條水管，所述水管前后交錯排列，使噴水裝置上的噴嘴在空氣行進方向上具有至少2種位置，形成前后錯排結(jié)構(gòu)，且相鄰噴嘴形成的水幕不相碰撞。
[0020]上述技術(shù)方案中，所述噴水裝置上處于同一平面的相鄰噴嘴之間的間距大于等于550 mm,且噴水裝置上處于同一平面的相鄰噴嘴形成的水幕不相碰撞。
[0021]優(yōu)選的，所述噴嘴噴出的水滴直徑為150~200微米。
[0022]由于上述技術(shù)方案運用，本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點:
1、本發(fā)明設(shè)計得到了一種空氣洗滌裝置，采用了噴霧角度為180度的噴嘴，其形成的水幕與空氣流動方向相垂直，形成了空氣和水滴撞擊式的主動式接觸結(jié)構(gòu)，從而徹底解決了現(xiàn)有技術(shù)中扇形噴嘴存在的旁通區(qū)的問題，使整個裝置具有極高的水洗效果；同時，主動式接觸結(jié)構(gòu)使得本發(fā)明的噴嘴可以采用較大的噴嘴口口徑，從而降低了噴嘴堵塞的幾率，降低了維護成本；
2、本發(fā)明的噴水裝置上的噴嘴前后交錯排列，使相鄰噴嘴形成的水幕不相碰撞，從而避免了現(xiàn)有技術(shù)中噴嘴的水幕相互碰撞的問題，不僅降低了水源的補給需求，而且提高了水洗效果；
3、本發(fā)明的噴水裝置上的噴嘴前后交錯排列，形成了類似3D水幕的結(jié)構(gòu)，層層阻擋，增大了空氣與水幕接觸的次數(shù)，因而提高了加濕和水洗能力；
4、本發(fā)明的結(jié)構(gòu)簡單，易于制備和使用，適于推廣應(yīng)用。
【附圖說明】
[0023]圖1是【背景技術(shù)】中噴水裝置的示意圖。
[0024]圖2是本發(fā)明實施例一中噴水裝置的示意圖。
[0025]圖3是本發(fā)明實施例二中噴水裝置的示意圖。
[0026]圖4是本發(fā)明實施例二中噴水裝置的噴霧組成示意圖。
[0027]圖5是本發(fā)明實施例二中