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      一種涂布裝置的制造方法

      文檔序號:8464621閱讀:443來源:國知局
      一種涂布裝置的制造方法
      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本發(fā)明涉及顯示面板涂布技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種涂布裝置。
      【背景技術(shù)】
      [0002]液晶顯示器的像素是指光阻劑(涂布液體)通過涂布裝置,在基板表面形成涂層,再經(jīng)曝光、顯影工藝形成一定圖案的薄膜層。涂布裝置越優(yōu)良,成膜工藝也越可控,圖1為現(xiàn)有技術(shù)的涂布裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
      [0003]如圖1所示,現(xiàn)有技術(shù)的涂布裝置由兩塊具有一定間隙的不銹鋼鐵塊11和12組合而成,其中,涂布裝置下方尖端部分為涂布噴嘴13,動力泵14通過設(shè)定的壓力將待涂布液體供給到涂布噴嘴13,然后該涂布裝置在基板15上方移動,進行涂布,涂布完成后,涂布噴嘴13會殘留待涂布液體,這時該涂布裝置需要回到初始化位置,橡膠刮刀16與涂布噴嘴13貼合并移動擦拭,對殘留在涂布噴嘴13的待涂布液體進行清潔,準備進行下一次涂布。
      [0004]采用圖1所示的涂布裝置進行涂布時,主要存在以下不足:
      [0005]一、該涂布裝置中,動力泵14需進行徹底排泡或清潔,要求精度高;在涂布過程中,涂布噴嘴13處液壓大,在被吸入氣泡的情況,氣體不易排出,極易形成未涂布不良缺陷;
      [0006]二、上游設(shè)備動作將基板放入,基板涂布完成后,涂布噴嘴13都要重新回到涂布裝置的初始化位置,橡膠刮刀16移動對涂布噴嘴13進行擦拭動作,橡膠刮刀16更換周期頻繁,成本較高;同時下游設(shè)備動作,將基板取走,準備接收下一基板,如此周期,嚴重影響涂布裝置的Tact Time和涂布裝置所能達到的有效涂布運行時間,即涂布裝置的稼動率;其中,Tact Time指一張基板涂布完成與下一張基板涂布完成之間的時間間隔;
      [0007]三、涂布裝置處于待機狀態(tài)時,涂布噴嘴13需要周期性的吐膠和對涂布噴嘴13進行溶劑清洗,以避免待涂布液體干燥,浪費藥液和溶劑;如果涂布裝置待機時長過久,重新啟動涂布裝置時,為了避免未涂布不良缺陷產(chǎn)生,每次都需要對涂布噴嘴13進行人為清潔。
      [0008]綜上所述,現(xiàn)有技術(shù)的涂布裝置容易形成未涂布不良缺陷,整個涂布過程所需的時間較長,涂布裝置的稼動率較低。

      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0009]本發(fā)明實施例提供了一種涂布裝置,用以減小未涂布不良缺陷,降低涂布裝置的生產(chǎn)成本。
      [0010]本發(fā)明實施例提供的一種涂布裝置,包括提供待涂布液體的供液管道、供液驅(qū)動結(jié)構(gòu)以及控制所述供液驅(qū)動結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)動的第一控制器,其中:
      [0011]所述供液驅(qū)動結(jié)構(gòu)截面為圓盤狀,位于所述供液管道的下方,使得所述供液管道輸出的待涂布液體能夠輸送到所述供液驅(qū)動結(jié)構(gòu)的曲面上,所述供液驅(qū)動結(jié)構(gòu)在所述第一控制器的控制下以預(yù)設(shè)的轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)動。
      [0012]由本發(fā)明實施例提供的涂布裝置,包括提供待涂布液體的供液管道、供液驅(qū)動結(jié)構(gòu)以及控制所述供液驅(qū)動結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)動的第一控制器,其中:所述供液驅(qū)動結(jié)構(gòu)截面為圓盤狀,位于所述供液管道的下方,使得所述供液管道輸出的待涂布液體能夠輸送到所述供液驅(qū)動結(jié)構(gòu)的曲面上,所述供液驅(qū)動結(jié)構(gòu)在所述第一控制器的控制下以預(yù)設(shè)的轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)動。由于本發(fā)明實施例中的涂布裝置中的供液驅(qū)動結(jié)構(gòu)為圓盤狀,位于供液管道的下方,使得供液管道輸出的待涂布液體能夠輸送到供液驅(qū)動結(jié)構(gòu)的曲面上,供液驅(qū)動結(jié)構(gòu)在第一控制器的控制下以預(yù)設(shè)的轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)動,與現(xiàn)有技術(shù)的涂布裝置在涂布時采用涂布噴嘴相比,本發(fā)明實施例的涂布裝置中的供液驅(qū)動結(jié)構(gòu)的面積較大,可以減小未涂布不良缺陷的產(chǎn)生;另外,現(xiàn)有技術(shù)的涂布裝置需要精度高的動力泵,而本發(fā)明實施例的涂布裝置不需要動力泵,涂布裝置的生產(chǎn)成本較低。
      [0013]較佳地,還包括清洗裝置、控制所述清洗裝置工作的第二控制器和清洗裝置支撐結(jié)構(gòu);
      [0014]所述清洗裝置支撐結(jié)構(gòu)位于所述供液驅(qū)動結(jié)構(gòu)由下向上轉(zhuǎn)動方向的一側(cè),與所述供液驅(qū)動結(jié)構(gòu)之間預(yù)設(shè)一定距離;
      [0015]所述清洗裝置設(shè)置于所述清洗裝置支撐結(jié)構(gòu)上,且朝向所述供液驅(qū)動結(jié)構(gòu);所述清洗裝置用于在所述第二控制器的控制下,與所述供液驅(qū)動結(jié)構(gòu)接觸清潔所述供液驅(qū)動結(jié)構(gòu)。
      [0016]這樣,與現(xiàn)有技術(shù)的涂布裝置相比,能夠?qū)崿F(xiàn)邊涂布邊清潔,可以縮短涂布過程的時間,提高涂布裝置的稼動率。
      [0017]較佳地,所述清洗裝置包括沿著所述供液驅(qū)動結(jié)構(gòu)由下向上轉(zhuǎn)動方向依次設(shè)置在所述清洗裝置支撐結(jié)構(gòu)上的清洗結(jié)構(gòu)和橡膠刮拭結(jié)構(gòu);
      [0018]所述清洗結(jié)構(gòu)設(shè)置有若干細孔,所述細孔指向所述供液驅(qū)動結(jié)構(gòu),所述清洗結(jié)構(gòu)用于在第二控制器的控制下,通過所述細孔向所述供液驅(qū)動結(jié)構(gòu)噴涂清洗液;
      [0019]所述橡膠刮拭結(jié)構(gòu)與所述清洗裝置支撐結(jié)構(gòu)連接處設(shè)置有具有一定形變的彈簧,用于在第二控制器的控制下,通過所述彈簧的形變使所述橡膠刮拭結(jié)構(gòu)與所述供液驅(qū)動結(jié)構(gòu)接觸,清潔所述供液驅(qū)動結(jié)構(gòu)。
      [0020]這樣,清洗結(jié)構(gòu)能夠?qū)┮候?qū)動結(jié)構(gòu)上已干燥的待涂布液體進行潤濕,方便橡膠刮拭結(jié)構(gòu)更好的清潔供液驅(qū)動結(jié)構(gòu)。
      [0021 ] 較佳地,所述清洗裝置支撐結(jié)構(gòu)的曲率與所述供液驅(qū)動結(jié)構(gòu)的曲率相同。
      [0022]較佳地,還包括供液驅(qū)動結(jié)構(gòu)外殼,所述供液驅(qū)動結(jié)構(gòu)外殼位于所述供液驅(qū)動結(jié)構(gòu)由上向下轉(zhuǎn)動方向的一側(cè),與所述供液驅(qū)動結(jié)構(gòu)之間預(yù)設(shè)一定距離。
      [0023]較佳地,所述供液驅(qū)動結(jié)構(gòu)外殼的曲率與所述供液驅(qū)動結(jié)構(gòu)的曲率相同。
      [0024]較佳地,還包括廢液回收槽,所述廢液回收槽的一端與所述供液驅(qū)動結(jié)構(gòu)連接,所述廢液回收槽與所述清洗裝置位于所述供液驅(qū)動結(jié)構(gòu)的同一側(cè),用于回收所述清洗裝置處理后的廢棄物。
      [0025]這樣,廢液回收槽的設(shè)置可有效的避免經(jīng)過清洗裝置處理后的廢棄物對環(huán)境的污染。
      [0026]較佳地,所述廢液回收槽通過橡膠結(jié)構(gòu)與所述供液驅(qū)動結(jié)構(gòu)連接。
      [0027]這樣,廢液回收槽通過橡膠結(jié)構(gòu)與轉(zhuǎn)軸連接,能夠有效的避免待涂布液體的回流。
      [0028]較佳地,還包括間隙控制板和控制所述間隙控制板與所述供液驅(qū)動結(jié)構(gòu)之間的距離的第三控制器,
      [0029]所述間隙控制板位于所述供液驅(qū)動結(jié)構(gòu)由上向下轉(zhuǎn)動方向的一側(cè),用于在所述第三控制器的控制下,控制沿著所述供液驅(qū)動結(jié)構(gòu)曲面流動的待涂布液體的流量。
      [0030]這樣,通過間隙控制板的設(shè)置,可以更精確的控制涂布到待涂布基板的涂層厚度。
      [0031]較佳地,還包括與所述間隙控制板連接的緩沖槽,所述緩沖槽用于存儲沿所述間隙控制板流動的待涂布液體。
      [0032]較佳地,還包括與所述緩沖槽連接的回收泵,所述回收泵用于回收存儲在所述緩沖槽中的待涂布液體。
      [0033]這樣,回收泵的設(shè)置可以避免待涂布液體的浪費,節(jié)省生產(chǎn)資源,降低生產(chǎn)成本。
      [0034]較佳地,還包括傳送裝置和控制所述傳送裝置運動的第四控制器,所述傳送裝置位于所述供液驅(qū)動結(jié)構(gòu)下方預(yù)設(shè)距離處,所述傳送裝置包括吸附帶和動力驅(qū)動輪;
      [0035]所述吸附帶用于在所述第四控制器的控制下吸附和/或解除吸附待涂布基板;
      [0036]所述動力驅(qū)動輪用于在所述第四控制器的控制下,以預(yù)設(shè)的傳送速度驅(qū)動所述吸附帶運動。
      [0037]這樣,吸附帶和動力驅(qū)動輪的設(shè)置,在涂布過程中,能夠更好的傳送待涂布基板。
      【附圖說明】
      [0038]圖1為現(xiàn)有技術(shù)涂布裝置結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0039]圖2為本發(fā)明實施例提供的一種涂布裝置截面結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0040]圖3為本發(fā)明實施例提供的另一涂布裝置截面結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0041]圖4為本發(fā)明實施例提供的又一涂布裝置截面結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0042]圖5為本發(fā)明實施例提供的一種涂布裝置工藝流程示意圖;
      [0043]圖6為本發(fā)明實施例提供的涂布裝置中的傳送裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
      【具體實施方式】
      [0044]本發(fā)明實施例提供了一種涂布
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