液滴材料吐出裝置、具備該液體材料吐出裝置的涂布裝置及使用該涂布裝置的涂布方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種可根據用途而改變吐出口的間隔及數量的吐出裝置及使用該裝置的涂布方法。
【背景技術】
[0002]作為在電子部件等的制造工序中對液體材料進行分配的裝置，已知有一種通過往返移動的柱塞將液體材料吐出的吐出裝置(分配器)。
[0003]例如，在專利文獻I中，公開有一種吐出裝置，其使柱塞后退移動而將液體材料抽吸至計量孔，然后使柱塞前進移動，將計量孔的液體材料朝吐出口擠壓并吐出。
[0004]例如，在專利文獻2中，公開有一種具有多個柱塞的吐出裝置。即，是具備相鄰配置的多個計量部的液體材料的吐出裝置，上述計量部分別具備柱塞及噴嘴，且具備使多個柱塞同時進退移動的驅動裝置。在該裝置中，柱塞分別通過螺釘而被固定于柱塞驅動部的滑塊。
[0005]現有技術文獻
[0006]專利文獻
[0007]專利文獻l:W02007/046495
[0008]專利文獻2:W02009/104421

【發(fā)明內容】

[0009]發(fā)明所要解決的問題
[0010]—直以來，存在具備2個柱塞的吐出裝置，但無法根據用途來變更吐出口的間隔(間距)。此外，也無法根據用途來變更柱塞及吐出口的數量。因此，一直以來，需要根據用途準備多個吐出裝置。
[0011]本發(fā)明的目的在于，提供一種可根據用途而改變吐出口的間隔及數量的吐出裝置及使用該裝置的涂布方法。
[0012]解決問題的技術手段
[0013]液體材料吐出裝置所涉及的本發(fā)明，其特征在于，具備:柱塞單元，其具有3個以上的柱塞;柱塞驅動部，其使柱塞單元進行往返移動；閥單元，其具有被插通有各柱塞的3個以上的計量孔、與計量孔連通的吐出口、及液體材料供給通道，且具有將計量孔與液體材料供給通道連通的第I位置、及將計量孔與吐出口連通的第2位置；閥部驅動部，其對閥單元的第I及第2位置進行切換;及裝置主體，其配置有柱塞驅動部、閥單元及閥驅動部，柱塞單元具有將柱塞排列保持的柱塞保持器，柱塞保持器裝卸自如地安裝于柱塞驅動部。
[0014]其特征也可在于，在上述液體材料吐出裝置中，上述柱塞單元包含以第I間隔將柱塞排列保持的第I柱塞單元、及以與第I間隔不同的第2間隔將柱塞排列保持的第2柱塞單元，被選擇的一個柱塞單元被裝卸自如地安裝。
[0015]其特征也可在于，在上述液體材料吐出裝置中，上述柱塞單元包含將3個以上的柱塞排列保持的第I柱塞單元、及將比第I柱塞單元更多的數量的柱塞排列保持的第2柱塞單元，被選擇的一個柱塞單元被裝卸自如地安裝。
[0016]其特征也可在于，在上述液體材料吐出裝置中，上述柱塞單元包含具有柱塞保持器的柱塞單元，該柱塞保持器以η行Xm列(其中，η及m均為2以上的整數)的配置將柱塞排列保持。
[0017]其特征也可在于，在上述液體材料吐出裝置中，上述閥單元具備:閥構件，其具有在上述第I位置將計量孔與液體材料供給通道連通的凹部、及在上述第2位置將計量孔與吐出口連通的吐出通道;及保持構件，其滑動自如地保持閥構件，再有，其特征也可在于，上述閥構件具備包圍上述凹部及上述吐出通道的漏出防止槽。此外，優(yōu)選其特征在于，上述保持構件具有與液體材料供給源連通的一個液體材料供給通道，更優(yōu)選其特征在于，上述閥單元具備噴嘴構件，該噴嘴構件具有在上述第2位置上與計量孔連通的吐出口，上述閥構件滑動自如地配置于噴嘴構件與上述保持構件之間。除此以外，優(yōu)選其特征在于，上述裝置主體具備滑動自如地支撐閥構件的閥單元支撐機構及卡止件，通過解除由卡止件產生的固定，從而能夠將上述閥單元自上述裝置主體抽出并拆下。
[0018]涂布裝置所涉及的本發(fā)明，其具備:上述任一液體材料吐出裝置;工件臺，其載置涂布對象物;XYZ方向移動裝置，其使液體定量吐出裝置及工件臺相對地移動;及控制部，其控制XYZ方向移動裝置的動作。
[0019]涂布方法所涉及的本發(fā)明，其為使用上述涂布裝置的涂布方法，在一個工件上同時涂布等間隔地設置的多個相同形狀圖案。
[0020]發(fā)明的效果
[0021]根據本發(fā)明，能夠提供一種可根據用途而改變吐出口的間隔及數量的吐出裝置。
[0022]根據本發(fā)明，能夠提供一種可在一個工件上同時涂布等間隔地設置的多個相同形狀圖案的涂布方法。
【附圖說明】
[0023]圖1為第I實施方式例所涉及的吐出裝置的前視圖。
[0024]圖2為第I實施方式例所涉及的吐出裝置的側視圖。
[0025]圖3為顯示將柱塞安裝于柱塞保持器的狀態(tài)的前視圖。
[0026]圖4為柱塞的前視圖。
[0027]圖5(a)為柱塞保持器的前視圖，(b)為其俯視圖。
[0028]圖6(a)為柱塞保持器的變形例的前視圖，(b)為其俯視圖。
[0029]圖7為顯示將柱塞安裝于柱塞保持器的變形例的狀態(tài)的側視圖。
[0030]圖8為說明閥單元的構成的立體圖。
[0031]圖9(a)為閥構件的立體圖，(b)為其水平剖視圖。
[0032]圖10(a)為說明閥構件的變形例的立體圖，(b)為其水平剖視圖。
[0033]圖11(a)為顯示閥單元取第I位置且柱塞位于最下端的狀態(tài)的側面剖視圖，(b)為顯示閥單元取第I位置且柱塞位于上方的狀態(tài)的側面剖視圖，(c)為顯示閥單元取第2位置且柱塞位于上方的狀態(tài)的側面剖視圖，(d)為顯示閥單元取第2位置且柱塞位于最下端的狀態(tài)的側面剖視圖。
[0034]圖12是在第I實施方式例所涉及的閥構件中，(a)為說明位于第2位置的狀態(tài)的水平剖視圖，(b)為說明位于第I位置的狀態(tài)的水平剖視圖。
[0035]圖13為搭載有第I實施方式例所涉及的吐出裝置的涂布裝置的前視圖。
[0036]圖14為顯示將第I實施方式例所涉及的吐出裝置分解的狀態(tài)的立體圖。
[0037]圖15為自升降體的卡止件拆下柱塞保持器側面的卡止爪的狀態(tài)的吐出裝置的前視圖。
[0038]圖16為顯示自升降體拆下柱塞單元的狀態(tài)的吐出裝置的前視圖。
[0039]圖17為將閥單元罩開啟后的狀態(tài)的吐出裝置的前視圖。
[0040]圖18為自升降體拆下閥單元的狀態(tài)的吐出裝置的前視圖。
[0041]圖19(a)為第2實施方式例所涉及的柱塞保持器，(b)為第2實施方式例所涉及的閥單元的分解立體圖。
[0042]圖20是在第3實施方式例所涉及的閥構件中，(a)為說明位于第2位置的狀態(tài)的水平剖視圖，(b)為說明位于第I位置的狀態(tài)的水平剖視圖。
[0043]圖21是在第4實施方式例所涉及的閥構件中，(a)為說明位于第2位置的狀態(tài)的水平剖視圖，(b)為說明位于第I位置的狀態(tài)的水平剖視圖。
【具體實施方式】
[0044]本發(fā)明的吐出裝置是將供給至液體材料供給口的液體材料通過3個以上的柱塞的后退移動而抽吸至計量孔，并通過緊接閥的流路切換動作的各柱塞的進入移動而自3個以上的吐出口同時吐出的裝置。
[0045]本裝置雖僅自液體材料供給口一個部位供給有液體材料，但所供給的液體材料可在吐出部內被分配于3個以上的計量孔，并自與計量孔相同數量的吐出口的各個同時吐出。
[0046]本發(fā)明的吐出裝置具備3個以上的柱塞，但由于這些柱塞安裝于規(guī)定配置間隔的柱塞保持器且被單元化，因而操作容易。通過預先準備多個具有不同個數的柱塞的柱塞單元、或以不同的間距安裝有柱塞的柱塞單元，可迅速地應對多式多樣的用途。本發(fā)明的吐出裝置適合于將等間隔地設置的多個相同形狀圖案同時涂布于一個工件上的裝置，例如，適合于對半導體的工件框的導通膏體涂布、對LED的工件框的熒光體灌注(potting)。即，本發(fā)明提供涂布裝置及涂布方法，其可在一個工件上同時涂布等間隔地設置的多個相同形狀圖案。
[0047]柱塞的個數只要為3個以上即可，優(yōu)選為4個以上，更優(yōu)選為5個以上。多個柱塞可排列成一行或一列進行配置，也可排列成多行或多列進行配置。即，可安裝nXm(其中，η及m均為I以上的整數，且n Xm為3以上。優(yōu)選為n Xm為4以上，更優(yōu)選為n Xm為5以上)的柱塞。ηXm的組合可任意變更，但一般η及m均為10以下的整數，且nXm的值為20以下。
[0048]以下，通過實施方式例對本發(fā)明的吐出裝置進行說明。
[0049]《第I實施方式例》
[0050]< 構成 >
[0051]一邊參照圖1及圖2—邊對本發(fā)明的第I實施方式例所涉及的吐出裝置I進行說明。以下，有時稱圖1的跟前側(