專利名稱:一種ic芯片自動測試分選機的制作方法
技術領域:
本發(fā)明涉及一種IC芯片自動測試分選的新設備。
背景技術:
IC芯片完成加工制造工序后,需要一一進行測試和分類,芯片分類存放有利于芯片的合理使用。最初,人們對芯片測試后,是靠人工分類放置的,不僅效率低,還容易發(fā)生錯誤。目前已有自動測試分選機,但存在測試分選品種規(guī)格單一,分類放置類型單一,即一種機器只能測試一兩種芯片,只能分為合格品和不合格品進行放置。這就不能滿足當今芯片品種規(guī)格多、要求分類細、充分利用每塊芯片價值的綜合要求。
發(fā)明內容
本發(fā)明為了解決現(xiàn)有技術中存在的問題,提供了一種測試效率高、分選種類多、一次完成多種品質芯片的IC芯片自動測試分選機。為實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明的技術方案是一種IC芯片自動測試分選機,包括上料實托盤分離輸入裝置,包括兩條托盤傳送帶,在兩條托盤傳送帶的外側設有多個通過伸縮將托盤托住或松開、受控于第一氣缸的伸縮托塊,在兩條托盤傳送帶之間設有受控于第二氣缸并可將托盤托起使其高于托盤傳送帶水平端面的托板,所述托板具有一個低于托盤傳送帶水平端面的位置,滿載芯片的托盤分離后被傳送到位;用于放置到位托盤中的芯片的料船模組裝置,包括受控于伺服電機左右擺動的用于放置待測芯片的左料船和用于放置測試后芯片的右料船;用于將左料船中的待測芯片抓起放入測試機中測試的測試抓手組合模組裝置,包括至少一個測試抓手組合運動模組,所述測試抓手組合運動模組包括安裝板,還包括測試抓手總成組合升降滑塊、測試抓手總成組合左右移動滑塊,所述安裝板的上方設有可將測試抓手總成組合升降滑塊上下移動的垂直移動裝置;所述安裝板的下方設有將測試抓手總成組合左右移動滑塊水平移動的水平移動裝置;還設有下端固聯(lián)有測試抓手總成裝置的測試抓手總成組合連接板,所述測試抓手總成組合連接板垂直導軌式地卡合與測試抓手總成組合左右移動滑塊,其上端水平導軌式地卡合與測試抓手總成組合升降滑塊;用于放置右料船中測試合格芯片的合格品分類收集模組,以及用于放置測試不合格芯片的次品分類收集模組。優(yōu)選的是,上料實托盤分離輸入裝置中,所述兩條托盤傳送帶的外側分別設有兩條支撐導軌,所述伸縮托塊通過第一氣缸連接在支撐導軌上;所述伸縮托塊為4個,兩兩設置在兩條支撐導軌上,所述4個伸縮托塊的外側分別設有一個截面呈L形的料倉板,圍成一料倉;所述支撐導軌上設有用于防止托盤滑出的托盤導向擋邊。所述支撐導軌的端部設有用于防止托盤繼續(xù)傳送的托盤限位塊;所述支撐導軌的端部設有托盤到位對射傳感器;所述支撐導軌上還設有可將托盤擠在托盤限位塊、托盤導向擋邊中的托盤推送到位氣缸;所述第二氣缸為三位氣缸,其和托板的底板固聯(lián)。
優(yōu)選的是,所述測試抓手組合模組裝置中,所述垂直移動裝置、水平移動裝置為受控于伺服電機的豎向滾軸絲杠滑塊組合傳動、橫向滾軸絲杠滑塊組合傳動,所述測試抓手總成組合升降滑塊和豎向滾軸絲杠滑塊組合傳動配合,所述測試抓手總成組合升降滑塊上位于豎向滾軸絲杠滑塊組合傳動的兩側和安裝板導軌式配合;所述測試抓手總成組合左右移動滑塊和橫向滾軸絲杠滑塊組合傳動配合,所述測試抓手總成組合左右移動滑塊上位于橫向滾軸絲杠滑塊組合傳動的兩側和安裝板導軌式配合。優(yōu)選的是,所述測試抓手組合模組裝置包括用于抓料、放料的測試抓手總成裝置,包括上部總成,所述上部總成包括連通外部氣路并封裝在缸筒內的活塞,套裝在活塞向下延伸的活塞桿上的壓縮彈簧和缸筒卡合,所述活塞桿穿出缸筒的底端并固聯(lián)有下部總成,包括外殼,以及封裝在外殼內并連通有外部真空接頭的吸嘴桿,所述吸嘴桿包括分別位于上下兩端的上部桿和下部桿,以及位于上部桿、下部桿之間的卡合部,所述卡合部卡住外殼底端的內壁并使下部桿穿出外殼底端外壁設置的吸嘴外套,所述卡合部上方的上部桿套裝有壓縮彈簧并和伸入外殼頂端設置的通孔中,壓縮彈簧卡合住外殼頂端的內壁,使吸嘴桿可在外殼中上下移動。優(yōu)選的是,還設有用于將到位托盤中的芯片抓取的上料抓手平臺裝置,包括可調 四抓手裝置,還包括使可調四抓手裝置沿y方向運動的y方向運動平臺以及,使可調四抓手裝置沿X方向運動的X方向運動平臺;所述X方向運動平臺和y方向運動平臺相對固定在一起;所述料船模組裝置的左料船位于I方向運動平臺和X方向運動平臺的運動路徑中。優(yōu)選的是,所述y方向運動平臺和X方向運動平臺的運動路徑中還設有給測試芯片加熱、控溫的加熱平臺裝置。優(yōu)選的是,還包括用于將上料實托盤分離輸入裝置中的空托盤取下的空托盤分位抓手裝置,包括固裝在安裝橫梁上并滑動配合有安裝豎板的導向滑軌,安裝豎板的上部通過夾板與受控于伺服電機的同步帶固聯(lián);安裝豎板的外側固聯(lián)一升降氣缸,與升降氣缸下方延伸的活塞桿固聯(lián)有一連接板,所述連接板與一可伸縮調節(jié)板的一端固聯(lián),可伸縮調節(jié)板的另一端固聯(lián)有抓手手掌,使抓手手掌隨著同步帶的正、反轉而左右移動;抓手手掌兩側的長邊固裝有四個用于卡合空托盤的抓手固定限位塊,抓手手掌外側的短邊上安裝有一個由夾緊氣缸控制的抓手活動限位塊。優(yōu)選的是,所述抓手手掌左右移動的路徑中設有一用于放置空托盤、構造和上料實托盤分離輸入裝置相同的上料空料托盤輸出堆積裝置。優(yōu)選的是,所述抓手手掌左右移動的路徑中設有一用于將堆積的空托盤分離并傳送到位、構造和上料實托盤分離輸入裝置相同的下料空托盤分離輸入裝置。優(yōu)選的是,還設有用于將右料船中測試后的芯片轉移到合格品分類收集模組或次品分類收集模組中的下料分選轉抓手平臺裝置,包括可調四抓手裝置,還包括使可調四抓手裝置沿I方向運動的y方向運動平臺以及,使可調四抓手裝置沿X方向運動的X方向運動平臺;所述X方向運動平臺和y方向運動平臺相對固定在一起;所述料船模組裝置的左料船位于I方向運動平臺和X方向運動平臺的運動路徑中。本發(fā)明的IC芯片自動測試分選機,能將待測試和分選的滿托盤芯片經(jīng)過托盤分離輸入裝置自動輸入到位,經(jīng)上料抓手平臺裝置逐一轉送到料船,測試抓手組合模組裝置將左料船上待測芯片準確吸住并移入測試位接受測試,再放回右料船進一步將測試后的芯片送到分類選方位,由下料分選抓手平臺裝置根據(jù)測試結果分類放入相應的成品托盤或者次品托盤中,滿盤后再有序送出機外。詳細的部件功能如下設置有上料實托盤分離輸入裝置,能將裝滿待測IC芯片的實托盤一盤盤自動分離并送入規(guī)定位置,供上料抓手平臺裝置從托盤中將芯片有序移到料船,或根據(jù)需要移到加熱平臺裝置上加熱后再移到料船。設置有加熱平臺裝置,加熱平臺裝置由高溫加熱和中溫加熱兩個加熱平臺組成,當需要對芯片做高溫項目測試時,由上料抓手平臺裝置從托盤中將芯片先有序移到高溫加熱平臺,待加熱到要求溫度后,再由上料抓手平臺裝置移到料船,再送到測試位進行高溫測試;當需要對芯片做中溫項目測試時,由上料抓手平臺裝置從托盤中將芯片先有序移到中溫加熱平臺,待加熱到要求溫度后,再由上料抓手平臺裝置移到料船,再送到測試位進行中溫測試。通常,加熱平臺裝置較少使用,只是對批次料塊進行抽檢時使用。設置有上料抓手平臺裝置,上料抓手平臺裝置上的四個抓手能在前后、左右兩個方向上快速移動,同時四個抓手能自動調整間距,將托盤中的四塊芯 片同時抓起,又會按照料船或者高溫加熱平臺芯片的放置位置要求,自動調整間距,放置到料船或者高溫加熱平臺上的規(guī)定位置。設置有料船模組裝置,料船模組裝置有前、后兩排料船裝置,每排料船裝置又由左右兩個料船組成,左右料船每次可等距離放置四塊料塊。當料船向左移動到位時,左料船在左端位置接受上料抓手平臺裝置的上料,右料船在檢測位旁等待接測試后的芯片放入;當料船向右移動到位時,左料船達到檢測位旁,測試抓手組合模組裝置將待測芯片移入測試機進行測試,右料船達到芯片分選位置,由下料分選抓手平臺裝置對右料船上經(jīng)過測試的芯片進行分選放置。之后,料船又向左運動,重復上述工作。設置有測試抓手組合模組裝置,測試抓手組合模組裝置有前、后兩組測試抓手組合運動模組。前測試抓手組合運動模組對應前排料船裝置設置,專門將前排料船上的芯片從左料船移入測試位進行測試,測試完成后又將其放入右料船;后測試抓手組合運動模組對應后排料船裝置設置,專門將后排料船上的芯片從左料船移入測試位進行測試,測試完成后又將其放入右料船。設置有下料分選抓手平臺裝置,下料抓手平臺裝置上的四個抓手能在前后、左右兩個方向上快速移動,同時四個抓手能自動調整間距,將將前、后兩排料船裝置上的右料船上的四塊芯片同時抓起,又會按照檢測結果分別逐一抓放到不同類型的合格品托盤和不同類型的次品托盤中放置。設置有次品分類收集模組,次品收集模組由可用人工手動取放的三個托盤組成,三個托盤分別放置三種測試結果的次品。設置有空托盤分位抓手裝置,該裝置從左至右橫跨6塊托盤,安裝在其上的托盤抓手,能將上料實托盤分離輸入裝置上完成上料后的空托盤移至上料空料托盤輸出堆積裝置的輸出傳送帶上;也能將下料空托盤分離輸入裝置輸入的空托盤分別移送到合格品分類收集模組的三個合格品托盤放置位置,準備接收各種合格品芯片的存放。設置有合格品分類收集模組,該模組由三套與上料空料托盤輸出堆積裝置結構完全相同的裝置組成,它的作用是將滿盤的各種合格品自動輸出并自動堆積到料倉,待到一定數(shù)量后再通知人工取出。設置有下料空托盤分離輸入裝置,該裝置與上料實托盤分離輸入裝置結構相同,能將準備去接收合格品芯片的空托盤一盤盤自動分離并送入規(guī)定位置,再供空托盤分位抓手裝置將其分別移送到三個合格品下料位置。設置有上料空料托盤輸出堆積裝置,該裝置能將由空托盤分位抓手裝置從上料實托盤分離輸入裝置上完成上料后移送來的空托盤輸出機外,并自動堆積到料倉,待到一定數(shù)量后再通知人工取出。
圖I示出了本發(fā)明IC芯片自動測試分選機的結構示意圖。圖2示出了圖I中上料實托盤分離輸入裝置的結構示意圖。圖3示出了圖I中上料抓手平臺裝置的結構示意圖。圖4示出了圖I中料船模組裝置的結構示意圖。圖5、6示出了圖I中測試抓手組合模組裝置的結構示意圖。圖7、8、9示出了圖5、6中測試抓手總成裝置的結構示意圖。圖10示出了圖I中下料分選抓手平臺裝置的結構示意圖。
圖11示出了圖I中空托盤分位抓手裝置的結構示意圖。圖12示出了本發(fā)明可調四抓手裝置的爆炸圖。圖13示出了抓手組件的爆炸圖。圖14示出了可調四抓手裝置的結構示意圖。
具體實施例方式下面結合附圖對本發(fā)明的具體實施方式
做進一步說明。本發(fā)明的IC芯片自動測試機的結構組成如圖I所示,主要由上料實托盤分離輸入裝置I、加熱平臺裝置2、上料抓手平臺裝置3、料船模組裝置4、測試抓手組合模組裝置5、下料分選抓手平臺裝置6、次品分類收集模組7、空托盤分位抓手裝置8、合格品分類收集模組
9、操作鍵盤10、下料空托盤分離輸入裝置11、上料空料托盤輸出堆積裝置12、電控系統(tǒng)13、測試機(視圖未給出)等構成。本發(fā)明的托盤分離輸入裝置I如圖2所示,包括兩條托盤傳送帶105,在兩條托盤傳送帶的外側設有多個通過伸縮將托盤托住或松開、受控于第一氣缸的伸縮托塊1012,在兩條托盤傳送帶105之間設有受控于第二氣缸并可將托盤托起使其高于托盤傳送帶水平端面的托板1013,所述托板具有一個低于托盤傳送帶水平端面的位置。如圖2所示,包括直流電機101,傳動帶軸102,伸縮托塊氣缸103,料倉板104,托盤傳動帶105,托盤限位塊106,托盤到位對射傳感器107,托盤推送到位氣缸108,支撐導軌109,三位氣缸1010,直流電機傳送帶1011,伸縮托塊1012,托板1013,托盤導向擋邊1014等組成。本發(fā)明的托盤分離輸入裝置從結構來將,由托盤分離和托盤輸入兩大部分組成,托盤分離部分由料倉板104、四個伸縮托塊氣缸103、四個伸縮托塊1012、三位氣缸1010和托板1013等組成;托盤輸入部分由直流電機101、直流電機傳送帶1011、傳動帶軸102、托盤傳動帶105、支撐導軌109和托盤導向擋邊1014等組成。支撐導軌109為兩條,左、右兩條支撐導軌109平行地安裝在工作臺面上,支撐導軌109的托盤輸入端部分的上面安裝有料倉板104和伸縮托塊氣缸103 (第一氣缸)。也可以說,料倉板104將支撐導軌109分為兩部分,一部分為托盤分離部分,另一部分為托盤輸入部分。參考圖12,所述支撐導軌109上設置了 4個料倉板104,圍成一料倉,料倉板104為橫截面呈L形的部件,可以為一角鐵,也可以是一檔位塊。4個料倉板設置在支撐導軌109上,可以用來放置裝有IC芯片的托盤。設置于支撐導軌109上的伸縮托塊氣缸103為4個,分別位于4個料倉板的內側,所述伸縮托塊1012的橫截面呈L形,其豎直的一端與伸縮托塊氣缸向外延伸的活塞桿固聯(lián)。伸縮托塊氣缸103控制伸縮托塊1012的伸縮從而可以將托盤托起或放下。直流電機101位于支撐導軌109的一端,并通過直流電機傳送帶1011驅動分別位于支撐導軌109兩端的傳動帶軸102,兩個傳動帶軸102兩端的傳動輪設有連通有兩條托盤傳動帶105,從而使直流電機101驅動托盤傳動帶105轉動,參考圖2。用于將托盤托起的托板1013位于兩根托盤傳動帶105之間,并設置在托盤傳動帶105的水平端面的下方,為了結構緊湊,位于其上帶的水平端面和下帶的水平端面之間,托板1013的底端和三位氣缸1010 (第二氣缸)向上延伸的活塞桿固聯(lián)。從而使三位氣缸1010可以將驅動托板1013頂出。即將托板1013升高。本發(fā)明采用三位氣缸1010主要是為了使托板1013可以停留在3個不同的高度,當然也可以采用一個普通的氣缸,并通過電磁閥或控制器來控制氣缸的行程。
為了使托盤可以穩(wěn)固(定向)地在托盤傳送帶105上傳送,托盤傳送帶外側的支撐導軌109上還安裝有托盤導向擋邊1014,支撐導軌109的端部還設有防止托盤繼續(xù)傳送的托盤限位塊106,以及托盤到位對射傳感器107,更加優(yōu)選的是,支撐導軌109還設置了托盤推送到位氣缸108,使得托盤到位后,托盤推送到位氣缸108擠壓托盤,從而穩(wěn)固托盤,便于機械手從托盤上抓取芯片。參考圖3,本發(fā)明的托盤分離輸入裝置工作的時候,人工將5 10塊上料實托盤(滿載IC芯片的托盤)放入料倉并支承在四個伸縮托塊1012上,得到上料開始的信息后,三位氣缸1010啟動,其氣缸活塞桿帶動與之固聯(lián)的托板1013由最低位直接上升到最高位,在從最低位上升到最高位的過程中,托板1013將料倉中的全部托盤托起到達最高位,待料倉中的全部托盤托起后,安裝在支撐導軌109上的四個伸縮托塊氣缸103立即啟動使四個伸縮托塊1012縮回;得到伸縮托塊1012縮回的信息后,三位氣缸1010反向啟動,帶著托板1013上的全部托盤向下移動,當最下面兩塊托盤之間的接觸平面與四個伸縮托塊1012處在同平面時,三位氣缸停止下降,此時位于中間位并暫停,四個伸縮托塊氣缸103立即啟動,推動四個伸縮托塊1012伸出,插入下面第一塊托盤和第二塊托盤之間的托料缺口,從而托住第二塊以上的全部托盤,然后,三位氣缸1010再次啟動向下移動直到最低位,在向下移動到達最低位的途中,托盤在隨托板1013下降時被托盤傳動帶105托住,完成一次托盤分離。當?shù)谝粔K托盤放到托盤傳動帶105上后,直流電機101啟動,通過直流電機傳送帶1011、傳動帶軸102、托盤傳動帶105將第一塊托盤向機內輸入,當?shù)谝粔K托盤前端到位時,托盤到位對射傳感器107發(fā)出托盤到位信息,得到該信息的托盤推送到位氣缸108立即啟動,利用該氣缸活塞上安裝的推頭將該托盤向前推壓,使其前端與托盤限位塊106緊緊接觸。之后托盤推送到位氣缸108 —直推壓著托盤,直到該托盤中的全部芯片被上料抓手平臺裝置的抓手抓取完畢為止。托盤上的芯片被全部抓取完畢后成為空托盤,空托盤分位抓手裝置將該空托盤移動到上料空料托盤輸出堆積裝置,由該裝置一一輸出機外堆積。當空托盤分位抓手裝置把第一塊空托盤從上料實托盤分離輸入裝置上移走之后,經(jīng)托盤分離后的第二塊托盤又被輸入到位,如此反復,就能將一盤盤實料托盤逐一分離和輸入,供下一步工序的上料抓手平臺裝置的抓手抓取。加熱平臺裝置2為一塊高溫(140度左右)加熱板和一塊中溫(80度左右)加熱板組成,每塊加熱板都有獨立的加熱和溫控元件,可根據(jù)測試料塊的加熱溫度要求進行加熱和控溫。其結構屬于現(xiàn)有的技術,在此不再具體說明。上料抓手平臺裝置3是將由上料實托盤分離輸入裝置I送到位的料盤上的芯片有序抓放到左料船或者加熱平臺裝置2上去的裝置。上料抓手平臺裝置3上的可調四個抓手裝置能在前后、左右兩個方向上快速移動,同時可調四個抓手能自動調整間距,將托盤中的四塊芯片同時抓起,又會按照料船或者高溫加熱平臺芯片的放置位置要求,自動調整間距,放置到料船或者高溫加熱平臺上的規(guī)定位置。上料抓手平臺裝置如圖3所示,主要由y方向移動伺服電機301,y方向移動同步帶302,y方向移動支承導軌303,y方向移動滾輪組304,X方向移動同步帶305,X方向移動支承導軌306,可調四抓手裝置307,真空發(fā)生器308等組成。I方向移動伺服電機301、y方向移動同步帶302、y方向移動支承導軌303和y方向移動滾輪組304等組成y方向運動平臺,使可調四抓手裝置307上的吸嘴能將芯片抓放到I方向的所有要求位置;x方向移動同步帶305、X方向移動支承導軌306和X方向移動伺服電機(圖中未畫)等組成X方向運動平臺,使可調四抓手裝置307上的吸嘴能將芯片抓 放到X方向的所有要求位置。裝配的時候,y方向移動伺服電機301、y方向移動同步帶302固定在工作臺面上,所述X方向移動支撐導軌306的一端固定在y方向移動同步帶302上,另一端通過y方向移動滾輪組304滑動裝配在y方向移動支承導軌303,從而使x方向移動支撐導軌306可以隨著X方向移動同步帶305的運動而在y方向上移動,x方向移動支撐導軌306上設有配合的X方向移動同步帶305、x方向移動伺服電機以及固定在X方向移動同步帶305上的可調四抓手裝置307。最終可以使可調四抓手裝置307可在x、y兩個方向上移動。當然也可以設置一個支架裝配在y方向移動同步帶302和y方向移動支承導軌303上,使其可以沿著y方向滑動,然后在支架上裝配X方向運動平臺。另有,也可將y方向運動平臺固定在X方向移動同步帶305和X方向移動支撐導軌306上,也可以使固定在Y方向運動平臺上可調四抓手裝置307在x、y兩個方向上自由移動,實現(xiàn)上述的抓料、放料步驟,即使X方向運動平臺和I方向運動平臺相對固定在一起即可。還設有和可調四抓手裝置307氣路連通的真空發(fā)生器5308。可調四抓手裝置307能根據(jù)抓放料間距要求,獨立調整吸嘴之間的距離,吸嘴抓放料高度也由自身實現(xiàn)。該裝置對測試后的芯片有分選放置功能,即能根據(jù)測試后收到的芯片品質信息,分別將對應品質的芯片放到不同的合格品托盤或者放到不同的次品托盤,可以采用現(xiàn)有技術中所熟知的結構,優(yōu)選的是采用如下結構圖12、圖14中各標號代表的部件名稱如下上下移動電機3071,立板3072,偏心軸3073,滾輪3074,長孔板3075,抓手開閉電機3076,第一同步帶3077,第一抓手組件夾板3078,第一抓手組件滑塊3079,第二同步帶30710,第一抓手組件30711,第二抓手組件30712,第三抓手組件30713,第四抓手組件30714,第四抓手組件夾板30715,第四抓手組件滑塊30716,滑軌組件30717,第三抓手組件滑塊30718,第三抓手組件夾板30719,基板組件30720,豎向滑塊30721,豎向滑軌30722,位置感應器30723。本發(fā)明的可調四抓手裝置,上下移動電機3071固裝在立板3072后面,其電機軸端從立板3072開設的圓孔中伸出前方,設有一個偏心軸3073,其一端與電機軸端固聯(lián),安裝有滾輪3074的另一端通過該滾輪與長孔板3075滑動配合,即所述長孔板3075的上端設有長圓形孔,所述滾輪3074與該長圓形孔的孔壁滑動配合。長孔板3075與基板組件30720固聯(lián),基板組件的后面固裝在豎向滑塊30721上,豎向滑塊30721與固裝在立板3072上的豎向滑軌30722上下滑動配合。本發(fā)明的長孔板3075與基板組件30720固聯(lián)也可以是一體的。當電機3071做間歇擺動(轉動)時,就會通過偏心軸3073帶動長孔板3075和與之固聯(lián)的基板組件30720等一起上下移動。基板組件30720上部的左邊固裝有抓手開閉電機3076,電機3076的軸端同時固裝有第一同步帶3077的主動同步輪和第二同步帶30710的主動同步輪,第一同步帶3077的主動同步輪直徑為第二同步帶307vl0的主動同步輪直徑的二分之一,基板組件30720的右邊分別安裝有直徑尺寸與之對應的從動同步輪。第一同步帶3077的上邊(上帶)的右側裝有第三抓手組件夾板30719,第一同步帶3077的下邊(下帶)靠左側裝有第一抓手組件夾板3078,第二同步帶30710的上邊靠右側裝有第四抓手組件夾板30715,雖然第三抓手組件夾板30719、第四抓手組件夾板30715不在同一條同步帶上,但是,第四抓手組件夾板30715位于第三抓手組件夾板30719的X方向的右側。 基板組件30720的下部裝有滑軌組件30717,滑軌組件30717的滑軌左邊設有第一抓手組件滑塊3079,右邊裝有第四抓手組件滑塊30716,第三抓手組件滑塊30718則裝在第四抓手組件滑塊30716的左側。第一抓手組件滑塊3079、第三抓手組件滑塊30718和第四抓手組件滑塊30716均可在滑軌組件30717的滑軌上某一位置范圍來回滑動,實現(xiàn)與各滑塊固聯(lián)的抓手組件之間的距離調整。設有第二抓手組件30712固裝在基板組件30720上;第一抓手組件30711的上部與第一抓手組件夾板3078固聯(lián),下部則與第一抓手組件滑塊3079固聯(lián);第三抓手組件30713的上部與第三抓手組件夾板30719固聯(lián),下部則與第三抓手組件滑塊30718固聯(lián);第四抓手組件30714的上部與第四抓手組件夾板30715固聯(lián),下部則與第四抓手組件滑塊30716固聯(lián)。第一抓手組件30711、第二抓手組件30712、第三抓手組件30713、第四抓手組件30714等距離分布在基板組件30720上。按照上述的結構組成,當電機3071做間歇擺動時,就會通過偏心軸3073帶動長孔板3075和與之固聯(lián)的基板組件30720等一起上下移動,實現(xiàn)四個抓手組件同時抓放料塊(上、下)的運動。當抓手開閉電機3076順時針擺動(即第一同步帶3077和第二同步帶30710的上邊都從左向右轉動,而其下邊都從右向左轉動時,將帶動第一抓手組件30711和第三抓手組件30713都與第二抓手組件30712 (固定在基板組件30720上)分開一個相等的距離,即第一抓手組件30711在第一抓手組件夾板3078和第一抓手組件滑塊3079的作用下向左水平移動;第三抓手組件30713在第三抓手組件夾板30719和第三抓手組件滑塊30718的作用下向右水平移動;而由于第一同步帶3077的主動同步輪直徑為第二同步帶30710的主動同步輪直徑的二分之一,故第四抓手組件30714則與第二抓手組件30712分開倍增的距離;這樣就將第一抓手組件30711、第二抓手組件30712、第三抓手組件30713、第四抓手組件30714等距離地分開。反之,當抓手開閉電機3076逆時針擺動(轉動)時,將帶動第一抓手組件30711和第三抓手組件30713都與第二抓手組件30712靠近一個相等距離,而第四抓手組件30714則與第二抓手組件30712靠近倍增的距離,實現(xiàn)四個抓手組件等距離分布的功能。本發(fā)明的結構也可以是如下結構,第一抓手組件30711固定在第一同步帶3077的上邊,第三抓手組件30713固定在第一同步帶3077的下邊,所述第四抓手組件30714位于第三抓手組件30713的外側,并固定在轉動時和第三抓手組件具有相同移動方向的第二同步帶30710的相應側,此處的相應側指的是上帶(下邊)或是下帶(上邊)。也就是位于第二同步帶30710的下邊,因為同步轉動的時候,第四抓手組件30714需和第三抓手組件30713往同一個方向偏轉,即第三抓手組件位于上帶,則第四抓手組件也需要位于上帶。抓手組件的結構可以是現(xiàn)有技術中常用的抓手組件,利用吸嘴抓放或放下物料。本發(fā)明的抓手組件采用如下結構圖13中標號所代表的部件名稱如下氣缸307100,安裝板307300,滑軌307400,限位塊307500,吸嘴連桿滑塊307600,吸嘴307700,吸嘴連桿307800,氣缸連接桿307900
等組成。·可調四抓手裝置的第一抓手組件30711、第二抓手組件30712、第三抓手組件30713和第四抓手組件30714結構相同,只是第二抓手組件是直接固裝在基板組件30720上,而其他三個抓手組件則分別與各自對應的夾板和滑塊相連,可相對于第二抓手組件30712靠攏或分開一定距離,以滿足抓放料要求。以第一抓手組件為例說明各抓手組件的結構組成和安裝,如圖13所示,包括安裝板307300,其背面的下方用來固裝與滑軌組件30717的滑軌滑動配合的第一抓手組件滑塊3079,背面的上方有與第一抓手組件夾板3078相連接的位置(圖中未示出)。安裝板307300上方固裝有氣缸307100,安裝板307300的上方可采用L形設計,呈一直角彎板,氣缸307100的活塞桿從彎板上設置的圓孔中向下伸出,并于吸嘴連桿307800安裝在一起,吸嘴連桿307800的下方設有噴嘴307700。優(yōu)選的是,通過一個氣缸連接桿307900將吸嘴連桿307800和氣缸的活塞桿連接在一起,氣缸連接桿307900和吸嘴連桿307800的連接可以采用卡槽的方式。因為是4個抓手組件分布在基板組件上,為了空間利用的最大化,吸嘴連桿307800的下端可采用彎曲狀的設計。吸嘴連桿307800的背面與吸嘴連桿滑塊307600固聯(lián),吸嘴連桿滑塊307600與固聯(lián)在安裝板307300前面的滑軌307400滑動配合連接,滑軌3074的下端固裝有防止吸嘴連桿滑塊307600繼續(xù)下滑的限位塊307500。工作的時候,氣缸307100的活塞桿帶動吸嘴連桿307800在軌307400上滑動,從而控制吸嘴307700上下移動。抓手組件上的氣缸307100在正常情況下是不啟動的,只有當同時抓到的四個料塊中有不合格料塊時,在放入料,需要啟動氣缸307100將合格料塊放入對應的位置,而將不合格料塊放到對應的地方。本發(fā)明的可調四抓手裝置,當可調四抓手裝置在向托盤上方的抓料位置移動過程中,抓手開閉電機3076逆時針轉動,帶動與第一同步帶3077相連的第一抓手組件30711和第三抓手組件30713以同一速度向第二抓手組件30712靠攏,而同時帶動與第二同步帶30710相連的第四抓手組件30714以兩倍的速度向第二抓手組件30712靠攏,使四個抓手組件與其下面的四個吸嘴的間距正好與托盤中料塊的間距一致,以便可調四抓手裝置同時抓取四塊料塊。當四個抓手組件的四個吸嘴對準托盤中對應料塊后,上下移動電機3071啟動,通過偏心軸3073和滾輪3074帶動與長孔板3075相連的基板組件30720及其安裝在其上的四個抓手組件向下移動,當四個吸嘴與各自的料塊接觸時,吸嘴真空啟動而吸住料塊。之后,上下移動電機3071反向啟動,通過偏心軸3073和滾輪3074帶動與長孔板3075相連的基板組件30720及其安裝在其上的四個抓手組件向上移動,同時可調四抓手裝置由其傳送裝置帶動向上方移動,在其移動過程中,電機3076順時針時針轉動,帶動與第一同步帶3077相連的第一抓手組件30711和第三抓手組件30713以同一速度與第二抓手組件30712分離,而同時帶動與第二同步帶30710相連的第四抓手組件30714以兩倍的速度與第二抓手組件30712分離,使四個抓手組件之間的間距與所需的間距一致,以便同時將四塊料塊放入相應的位置。當調整好間距的可調四抓手裝置到達放料區(qū)上方時,上下移動電機3071啟動,通過偏心軸3073和滾輪3074帶動與長孔板3075相連的基板組件30720及其安裝在其上的四個抓手組件向下移動,當四個吸嘴上的料塊與對應的放料區(qū)對準時,吸嘴真空斷氣而將四塊料塊放入。之后,上下移動電機3071反向啟動上升,并重復上述動作,準備第二次從托盤抓取料塊。若在抓料過程中,四塊料塊中有一塊料塊不合格,則可調四抓手裝置抓住的四塊料塊到達放料位置時,不是由上下移動電機3071使料塊下降,而是由抓手組件上的氣缸307100推動吸嘴307700向下放料。如四塊料塊中第一抓手上的料塊不合格,則可調四抓手 裝置抓住的四塊料塊到達對應的上方時,第一抓手裝置上的氣缸不啟動,而第二、第三、第四這三個抓手組件上的氣缸307100啟動,通過氣缸連接桿307900、吸嘴連桿307800和吸嘴307700使料塊向下放入相應的位置,然后吸嘴真空斷氣而將第2、3、4這三個料塊放入對應的位置。不合格料塊則隨可調四抓手裝置移動到相應位置的上方,由第一抓手組件的氣缸向下放入相應的位置。本發(fā)明的可調四抓手裝置,它通過同步帶傳動和導軌滑塊等設置在托盤抓料位置和放料位置之間的上方,可在兩個位置之間往復移動,實現(xiàn)從托盤中抓料和將合格料塊放入的功能??烧{四抓手裝置有兩個電機,分別是上下移動電機3071和抓手開閉電機3076。上下移動電機3071實現(xiàn)吸嘴的整體上下運動,抓手開閉電機3076實現(xiàn)吸嘴的開合(水平位移)。抓手開閉電機3076的輸出軸上安裝有兩個同步帶輪,兩個同步輪直徑相差一倍。四個吸嘴組件中,第一和第二吸嘴組件分別與第一同步輪上的第一同步帶的下方和上方夾緊;第四吸嘴組件與第二同步輪上的第二同步帶的上方夾緊;第二吸嘴組件則固定在基板組件上。每個吸嘴組件上設置有上下移動氣缸,當抓取的四塊料塊中有不合格料塊時,合格料塊和不合格料塊的放置將由這些氣缸完成。料船模組裝置4是由前、后側兩排料船裝置組成,每排料船裝置又由左、右兩個料船組成,左、右料船每次可等距離放置四塊芯片。當料船向左移動到位時,左料船在左端位置接受抓手平臺裝置的上料,右料船在檢測位旁等待接收測試后的芯片放入;當料船向右移動到位時,左料船達到檢測位旁,測試抓手組合模組裝置將待測芯片移入測試機進行測試,右料船達到芯片分選位置,由下料分選抓手平臺裝置對右料船上經(jīng)過測試的芯片進行分選放置。之后,料船又向左運動,重復上述工作。一排(前、后側兩排料船結構相同)料船裝置如圖4所示,主要由料船移動伺服電機401、同步帶402、料船導向滑軌403、連接夾板404、左料船405、料船安裝板406、右料船407、料船到位感應器408等組成。左料船405和右料船407結構完全相同,左右料船均按位置要求固裝在料船安裝板406的兩端,料船安裝板406下方通過滑塊與固裝在工作臺面上的料船導向滑軌403滑動配合,其上方通過連接夾板404與由料船移動伺服電機401帶動的同步帶402固聯(lián),當料船移動伺服電機401啟動后,就會帶動左右料船左右移動,當料船向右方向運動到位時,設置在料船導向滑軌403右端的料船到位感應器408發(fā)出到位信息,料船移動伺服電機401就停止運動,同樣,料船向左方向運動時,也有左方向的到位感應器發(fā)出到位信息使電機停止運動。左右料船上各有四個等距離設置的芯片放料口,上料抓手平臺裝置3上的可調四抓手裝置5307抓來的芯片就放到左料船405的四個放料口中。當芯片尺寸規(guī)格變化時,只需要更換與芯片尺寸規(guī)格一致的左、右料船即可。測試抓手組合模組裝置5如圖5、圖6所不,該裝置主要由豎向伺服電機501、橫向伺服電機502、測試抓手總成組合連接板503、測試抓手總成裝置51、橫向滾軸絲杠滑塊組合傳動505、測試抓手總成組合升降滑塊506、豎向滾軸絲杠滑塊組合傳動507、左側安裝板508、同步傳送帶509、左側豎板510、右側豎板511、連接橫板513、連接頂板514、真空發(fā)生器516等組成。 該裝置由前、后兩組結構和性能完全相同的測試抓手組合運動模組組成,前側測試抓手組合運動模組安裝在用于固定在工作臺面上的左側豎板510上,對應前側料船裝置設置,專門將前側料船裝置左料船上的芯片從左料船移入到測試機的對應測試位進行測試,測試完成后又將其放入前側料船裝置的右料船上;后側測試抓手組合運動模組安裝在用于固定在工作臺面上的右側豎板511上,對應后側料船裝置設置,專門將后側料船裝置左料船上的芯片從左料船移入到測試機的對應測試位進行測試,測試完成后又將其放入后側料船裝置的右料船上。左側豎板510和右側豎板511通過一連接橫板513和一連接頂板514固聯(lián)在一起。其中,左側豎板510的背面還設有真空發(fā)生器516,為測試抓手組合運動模組的吸嘴提供吸附的動力。以前側測試抓手組合運動模組為例,說明測試抓手組合模組裝置的結構組成。安裝在左側安裝板508上的豎向伺服電機501,其通過同步傳送帶509帶動固裝在左側安裝板508上的豎向滾軸絲杠滑塊組合傳動507,從而帶動豎向滾軸絲杠滑塊組合傳動上的測試抓手總成組合升降滑塊506上下移動,豎向滾軸絲杠滑塊組合傳動507主要包括一根滾軸絲杠,其和測試抓手總成組合升降滑塊配合,實現(xiàn)測試抓手總成組合升降滑塊506的上下移動。為了穩(wěn)固測試抓手總成組合升降滑塊506的滑動,其位于豎向滾軸絲杠滑塊組合傳動507的兩側和左側安裝板508導軌式配合,即起到一個導向的作用,也起到一個穩(wěn)定測試抓手總成組合升降滑塊506的作用。其中現(xiàn)有技術中還有許多垂直移動裝置可以實現(xiàn)測試抓手總成組合升降滑塊506的上下滑動,比如說滑輪、拖鏈或可控制的氣缸等,在此不一一列舉。橫向伺服電機502帶動橫向滾軸絲杠滑塊組合傳動505,從而帶動固聯(lián)在該滑塊組合傳動上的測試抓手總成組合左右移動滑塊518左右移動,橫向滾軸絲杠滑塊組合傳動505主要包括一根滾軸絲杠,其和測試抓手總成組合左右移動滑塊518配合,實現(xiàn)測試總成組合左右移動滑塊518的左右移動。其位于橫向滾軸絲杠滑塊組合傳動505的兩側和左側安裝板508導軌式配合,即起到一個導向的作用,也起到一個穩(wěn)定測試抓手總成組合左右移動滑塊518的作用。其中,測試抓手總成組合左右移動滑塊518上豎直地滑動配合一測試抓手總成組合連接板503,測試抓手總成組合連接板503的頂端和測試抓手總成組合升降滑塊506導軌式配合,這樣,測試抓手總成組合左右移動滑塊518在帶動測試抓手總成組合連接板503橫向運動的時候,測試抓手總成組合連接板503也沿著測試抓手總成組合升降滑塊506上的導軌橫向滑動。同時,測試抓手總成組合升降滑塊506在上下移動的時候,也帶動測試抓手總成組合連接板503沿著測試抓手總成組合左右移動滑塊518上的導軌上下移動。從而使得固聯(lián)在測試抓手總成組合連接板503上的測試抓手總成裝置51上下、左右移動。其中現(xiàn)有技術中還有許多水平移動裝置可以實現(xiàn)測試抓手總成組合左右移動滑塊518的上下滑動,比如說拖鏈或可控制的氣缸等,在此不一一列舉。測試抓手總成裝置51由兩個結構原理完全相同的測試抓手組成,每個測試抓手總成裝置上有兩個吸嘴桿,每個吸嘴桿可以吸住一塊待測芯片。安裝在前側測試抓手組合運動模組上的測試抓手總成51可以同時抓取四塊芯片。當前側料船裝置的左料船載著第一組四塊待測芯片到達前側測試抓手裝置對應的位置時,前側測試抓手裝置的橫向電機502啟動,使前側測試抓手裝置的測試抓手總成 裝置51移動到前側料船裝置左料船的上方,之后豎向伺服電機501啟動,使測試抓手總成裝置51向下移動,直到測試抓手總成下方的四個真空吸嘴與左料船上的四塊芯片各自對齊接觸,并吸住芯片,然后豎向伺服電機501和橫向伺服電機502相繼協(xié)調啟動,將吸住芯片的測試抓手總成裝置51快速移動到測試機前側測試位的上方(與此同時,前側料船裝置也向左移動,準備再接收新的待測芯片,同時前側料船裝置的右料船到達前側測試抓手裝置的對應位置,準備接收測試后的芯片),之后,豎向伺服電機501下降,使待測四塊芯片的各測試點位與測試機上的各測試頭接觸,進行測試。測試完成后,豎向伺服電機501和橫向伺服電機502相繼協(xié)調啟動,將測試過的第一組四塊芯片放到前側料船裝置的右料船上。之后,前側料船裝置向右移動,將第一組四塊測試過的芯片送到下料分選抓手平臺裝置對應位置,等待分類分選放置。與此同時,前側料船裝置的左料船又將第三組四塊芯片送到前側測試抓手裝置對應的位置,等待前側測試抓手裝置對其進行測試抓料。如此反復,就能將前側料船裝置上的待測芯片進行一一測試。當后側料船裝置的左料船載著第二組四塊待測芯片到達后側測試抓手裝置對應的位置時,后側測試抓手裝置的橫向電機502啟動,使測試抓手總成裝置51移動到后側料船裝置左料船的上方,之后豎向伺服電機501啟動,使測試抓手總成裝置51向下移動,直到測試抓手總成下方的四個真空吸嘴與左料船上的四塊芯片各自對齊接觸,并吸住芯片,然后豎向伺服電機501和橫向伺服電機502相繼協(xié)調啟動,將吸住芯片的測試抓手總成快速移動到測試機后側測試位的上方(與此同時,后側料船裝置也向左移動,準備再接收新的待測芯片,同時后側料船裝置的右料船到達后側測試抓手裝置的對應位置,準備接收測試后的芯片),之后,豎向伺服電機501下降,使待測四塊芯片的各測試點位與測試機上的各測試觸點接觸,進行測試。測試完成后,豎向伺服電機501和橫向伺服電機502協(xié)調啟動,將測試過的第二組四塊芯片放到后側料船裝置的右料船上。之后,后側料船裝置向右移動,將第二組四塊測試過的芯片送到下料分選抓手平臺裝置對應位置,等待分類分選放置。與此同時,后側料船裝置的左料船又將第四組四塊芯片送到后側測試抓手裝置對應的位置,等待后側測試抓手裝置對其進行測試抓料。如此反復,就能將后側料船裝置上的待測芯片進行一一測試。本發(fā)明的測試抓手組合模組裝置具有兩組測試抓手總成組合,每組測試抓手總成由各自的前側測試抓手組合運動模組和后側測試抓手組合運動模組帶動,可在在前、后和上、下兩個方向上實現(xiàn)測試抓手總成組合的移動,有利于其下方的四個吸嘴準確抓取芯片完成測試。其結構新穎、功能全面、生產效率高,能同時抓取至少四塊芯片進行測試。本發(fā)明的測試抓手總成裝置51可以采用本領域所熟知的結構,優(yōu)選的結構如圖7所示,該總成裝置由活塞微調及加熱模組51a、真空吸嘴抓手模組51b兩部分組成,前者在上(簡稱上部總成)后者在下(簡稱下部總成)地固定在一起,兩者用快速卡扣勾連?;钊⒄{及加熱模組一方面為真空吸嘴抓手模組的吸嘴提供定值穩(wěn)定的熱源,以便保證吸嘴吸住的料塊達到料塊測試要求的溫度;另一方面為真空吸嘴與料塊間提供可調的距離要求,保證吸嘴與料塊的接觸力度穩(wěn)定。測試抓手總成裝置主要由上固定板5101、真空接頭5102、加熱棒5103、感溫頭5104、吸料板5105、快速卡扣5106、隔熱板5107、缸筒5108、緊固螺釘5109、水平調節(jié)螺旋5110、吸嘴外套5111、活塞桿連接過渡板5112、活塞5113、活塞上密封蓋板5114、氣管接頭5115、壓縮彈簧5116、加熱板5117、固定導向銷安裝板5118、固定導向銷5119、導向槽5120、卡座5121、吸嘴安裝板5122、防旋轉導向銷5123、吸嘴壓縮彈簧5124、吸嘴桿5125、吸嘴限位蓋板5126、測試定位套5127、密封圈5128、防旋轉導向缺口 5129等組成?;钊⒄{及加熱模組51a (下稱上部總成51a)的結構如圖8所示,中部設有通孔的活塞上密封蓋板5114將帶活塞桿的活塞5113以及套在活塞桿上的壓縮彈簧5116用螺栓封裝在缸筒5108內,上固定板5101與活塞上密封蓋板5114之間用螺栓固聯(lián)。上固定板5101設有氣管接頭5115,從氣管接頭5115進入的空氣穿過上固定板5101內部設置的氣體通道,并從上固定板5101中部的設置的氣孔出口穿過,上固定板5101與活塞上密封蓋板5114固聯(lián)后,氣孔出口和活塞上密封蓋板5114的通孔對應。這樣,壓縮空氣可從上固定板5101上的氣管接頭5115進入,經(jīng)過上固定板5101中心部位的小孔出來,從活塞上密封蓋板5114中心部位到達活塞5113的頂部,推動活塞5113克服壓縮彈簧5116的阻力向下移動,當氣管接頭5115通氣中斷,壓縮彈簧5116使活塞5113向上復位。與缸筒5108下端固聯(lián)的固定導向銷安裝板5118的下端固聯(lián)有活塞桿連接過渡板5112,可以用螺絲或其它手段將活塞桿連接過渡板5112與活塞5113的活塞桿的下端固聯(lián),固聯(lián)時要保證固定導向銷安裝板5118上設置的固定導向銷5119與活塞桿連接過渡板5112上設置的導向槽5120對正,從而在活塞5113在上下移動的時候,能保證活塞桿連接過渡板5112不會發(fā)生轉動。其中,固定導向銷安裝板5118不是必須的,例如,可以將活塞桿連接過渡板5112直接固聯(lián)在活塞桿的下端,將固定導向銷5119設置在缸筒5108的側壁或端部,亦可實現(xiàn)相同的功能。加熱板5117和隔熱板5107通過螺栓與活塞桿連接過渡板5112固聯(lián),當活塞5113帶動活塞桿連接過渡板5112上下移動時,加熱板5117也將上下移動。隔熱板5117是防止加熱板5117上的熱量向上傳給活塞缸等部分。加熱板5117上設置有真空接頭5102、加熱棒5103、感溫頭514和卡座5121。真空接頭5102是為下部總成51b的真空吸嘴提供真空氣路的,加熱棒5103是為加熱板5117提供加熱溫度的,感溫頭5104是控制加熱板溫度的,卡座5121是固定下部總成51b的快速卡扣的。真空吸嘴抓手模組51b (下稱下部總成51b)的結構如圖9所示,吸嘴桿5125由吸嘴桿主體(上部桿和下部桿)和不完整圓盤(在吸嘴桿中部)組成,吸嘴桿5125的上部桿套有吸嘴壓縮彈簧5124,該吸嘴壓縮彈簧5124是當吸嘴桿吸取芯片并與芯片接觸受擠壓時起緩沖作用。先將套有吸嘴壓縮彈簧5124的吸嘴桿5125放入吸嘴限位蓋板5126設置的凹槽中并使吸嘴桿5125的下部桿穿出,該凹槽的形狀和吸嘴桿不完整圓盤的形狀相似,因為是不完整圓盤,所以可以防止吸嘴桿轉動。上述不完整的圓盤可以是類似“D”字形的形狀,也可以是呈扇形等。還可以在不完整圓盤上設有防旋轉導向缺口 5129,它與固裝在吸嘴安裝板5122下面的防旋轉導向銷5123配合使用,也可使吸嘴桿5125在上下移動的時候不會發(fā)生轉動。吸嘴桿5125的上部桿神入吸嘴安裝板5122上設置的通孔中,并可在通孔中做微量的上下移動。再用螺栓將吸嘴限位蓋板5126與吸嘴安裝板5122固聯(lián),將吸嘴桿5125封裝起來。固聯(lián)時要使防旋轉導向銷5123和防旋轉導向缺口 5129—一對應配合,還要使吸嘴桿5125的上部與吸嘴安裝板22上的孔配合,保證吸嘴桿能在該孔中做微量上下移動。然后將吸嘴限位蓋板5126裝入吸料板5105設置的形狀和吸嘴限位蓋板5216形狀相似的凹槽中,凹槽的深度使得可以用螺栓將吸嘴安裝板5122和吸料板5105固聯(lián),同時,吸嘴桿5125的下部桿穿過吸料板5105下端設置的吸嘴外套5111,從而使得吸嘴桿的下部桿能自 由在該外套內上下微量移動。其中,吸嘴限位蓋板5126和吸料板5105也可以是一體的。在此,可將吸嘴安裝板、吸料板看成下部總成的外殼,吸嘴安裝板構成該外殼的頂端,吸料板作為該外殼的底端。組合的時候,將吸嘴安裝板5122上設置的快速卡扣5106扣合在加熱板5117的卡座5121上,將真空吸嘴抓手模組51b (下部總成)與活塞微調及加熱模組51a (上部總成)連成一體。真空接頭5102通過吸嘴安裝板5122上的通孔為吸嘴桿提供真空氣路。吸嘴安裝板5122和加熱板5117之間的通孔加設一個密封圈5128,以保證從上部總成的加熱板5117上的真空接頭5102能有效地與吸嘴桿25形成密封穩(wěn)定通路。非工作狀態(tài)和抓料時,吸嘴桿5125的下端平面比吸嘴外套5111的下端平面突出約0. 5_,在測試過程中,吸嘴桿5125吸住芯片。在吸料板5105的兩側固裝有測試定位套5127,它的作用是,當芯片被移送到測試位置時,為了使芯片的測試位置與測試機對應的測試頭對齊,該測試定位套5127應保證準確套入測試機測試位置的測試定位銷(或者定位針)中。本發(fā)明的測試抓手總成裝置51的工作狀態(tài)如下當測試抓手總成裝置到達左料船的被抓待測芯片上方且其上的吸嘴桿5125的吸嘴與芯片快要接觸時,真空接頭5102立即接通,使吸嘴桿5125的吸嘴吸住芯片,然后隨測試抓手總成裝置到達測試機的對應測試位置,在待測芯片的測試點與測試機對應的測試頭接觸時,氣管接頭5115立即通氣,推動活塞5113向下微微移動,通過與活塞、和活塞桿連接的吸嘴安裝板5122推動吸嘴與芯片進一步壓緊測試頭,在此過程中,吸嘴桿5125受到反作用力而使吸嘴壓縮彈簧24縮短,吸嘴桿5125在吸嘴外套5111中向上移動,直到使吸嘴外套5111下端面將芯片表面壓緊為止,并始終保持這種壓緊狀態(tài),直到芯片測試完成為止。當芯片測試完成后,氣管接頭5115斷氣,壓縮彈簧5116使活塞復位,吸嘴外套5111下端面因此離開芯片表面,吸嘴桿5125的吸嘴吸住測試的芯片,并在吸嘴壓縮彈簧5124的作用下復位,最后,隨測試抓手總成裝置到達右料船上方,之后真空接頭5102斷開,吸嘴桿真空通路關閉,吸嘴將測試完成的芯片放入右料船。如此往復,就能將將左料船上的待測芯片,逐一抓取放到測試機位進行測試,然后又能將測試完成的芯片釋放到右料船上。
根據(jù)需要,加熱板5117可以一直由加熱棒5103加熱,由感溫頭5104控溫,加熱板的溫度熱量通過吸嘴安裝板5122傳遞給吸嘴桿5125,進一步再傳給待測芯片,從而保證待測芯片的測試溫度。本發(fā)明的測試抓手總成裝置,可以多個組合在一起使用,具有按待測試芯片測試溫度要求進行加熱的功能,由加熱板向吸嘴安裝板和吸嘴桿提供必要的溫度,其必要的溫度由感溫頭等控制。該測試抓手總成裝置的真空吸嘴工作可靠,從取料到測試再到放料,真空吸嘴一直穩(wěn)定吸住芯片料塊,完成全部測試工作。該測試抓手總成裝置具有微調加壓功能,其目的是通過微調活塞使固裝在吸料板上的吸嘴外套沿吸嘴桿向下滑動,與吸嘴一起對待測試芯片表面微微加壓,從而使芯片的被測試點更可靠地與測試機的測試頭接觸,實現(xiàn)穩(wěn)定可靠測試。每一個測試抓手總成裝置的吸料板的兩側均固裝有測試定位套,它的目的是當測試抓手總成裝置吸住待測芯片向測試機對應測試位下降時,移動要使測試定位套與測試機上對應的定位銷(或者定位針)對正,從而保證待測芯片上的測試點與測試機上對應的測試頭對正。測試抓手總成裝置有上部總成和下部總成組成,上部總成和下部總成之 間的連接是靠安裝在吸嘴安裝板上的兩個快速卡扣與加熱板上的兩個卡座來實現(xiàn)的,結構簡單,拆卸方便。下料分選抓手平臺裝置6如圖10所示,是由可調四抓手裝置307和可使可調四抓手裝置能前后、左右兩個方向(X和y方向)上快速移動的運動平臺組成,可分別將前、后兩排料船裝置上的右料船上的四塊料塊同時抓起,又會按照檢測結果分別逐一抓放到不同類型的合格品托盤和不同類型的次品托盤中放置。下料分選抓手平臺裝置6和上料分選抓手平臺裝置3的結構相似。主要由I方向移動伺服電機601、y方向移動同步帶602、y方向移動支承導軌603、y方向移動滾輪組604、x方向移動同步帶605、x方向移動支承導軌606、可調四抓手裝置307、真空發(fā)生器608等組成。y方向移動伺服電機601、y方向移動同步帶602、y方向移動支承導軌603和y方向移動滾輪組604等組成y方向運動平臺,使可調四抓手裝置307上的吸嘴能將前、后排料船已經(jīng)測試過的從右料船上抓放到y(tǒng)方向的所有要求位置;x方向移動同步帶605、x方向移動支承導軌606和X方向移動伺服電機(圖中未畫)等組成X方向運動平臺,使可調四抓手裝置307上的吸嘴能將前、后排料船已經(jīng)測試過的芯片從右料船上抓放到X方向的所有要求位置。裝配的時候,y方向移動伺服電機601、y方向移動同步帶602固定在工作臺面上,所述X方向移動支撐導軌606的一端固定在y方向移動同步帶602上,另一端通過y方向移動滾輪組604滑動裝配在y方向移動支承導軌603,從而使X方向移動支撐導軌606可以隨著X方向移動同步帶605的運動而在y方向上移動,X方向移動支撐導軌606上設有配合的X方向移動同步帶605、X方向移動伺服電機以及固定在X方向移動同步帶605上的可調四抓手裝置307。最終可以使可調四抓手裝置307可在x、y兩個方向上移動。當然也可以設置一個支架裝配在y方向移動同步帶602和y方向移動支承導軌603上,使其可以沿著7方向滑動,然后在支架上裝配X方向運動平臺。另有,也可將y方向運動平臺固定在X方向移動同步帶605和X方向移動支撐導軌606上,也可以使固定在I方向運動平臺上可調四抓手裝置307在x、y兩個方向上自由移動,實現(xiàn)上述的抓料、放料步驟。還設有和可調四抓手裝置307氣路連通的真空發(fā)生器608??烧{四抓手裝置307能根據(jù)抓放料間距要求,獨立調整吸嘴之間的距離,吸嘴抓放料高度也由自身實現(xiàn)。該裝置對測試后的芯片有分選放置功能,即能根據(jù)測試后收到的芯片品質信息,分別將對應品質的芯片放到不同的合格品托盤或者放到不同的次品托盤,可以采用現(xiàn)有技術中所熟知的結構??胀斜P分位抓手裝置8如圖11所示,主要由伺服電機801、安裝橫梁802、同步帶803、導向滑軌804、導向滑塊805、安裝豎板806、連接板807、抓手固定限位塊808、抓手手掌809、抓手活動限位塊810、夾緊氣缸811、可伸縮調節(jié)板812、升降氣缸813、夾板814、拖鏈815等組成。該裝置將安裝豎板806滑動配合在與工作臺面上固裝的安裝橫梁2上,使安裝在該安裝豎板806上的空托盤分位抓手,可以從左至右橫跨6塊托盤放置位,對需要位置變動的空托盤實施抓放搬運。
空托盤分位抓手裝置8的伺服電機801、同步帶803和導向滑軌804,如圖11所示,固裝在安裝橫梁802上,安裝豎板806 —端通過導向滑塊805與導向滑軌804滑動配合,另一端則通過夾板814與同步帶803固聯(lián);使得安裝豎板806可以沿著安裝橫梁802左右滑動。安裝豎板806外側固聯(lián)一升降氣缸813,與升降氣缸813下方延伸的活塞桿固聯(lián)的連接板807與可伸縮調節(jié)板812的一端固聯(lián),可伸縮調節(jié)板812的另一端固聯(lián)有抓手手掌809,從而,升降氣缸813可以使抓手手掌809上下移動。整體呈長方形的抓手手掌809的兩側長邊固裝有四個抓手固定限位塊808,用于卡合空托盤,抓手手掌809外側短邊上安裝有一個由夾緊氣缸811控制的抓手活動限位塊810。當需要去抓空托盤時,抓手手掌809由升降氣缸813升至高位,再由伺服電機801帶動到需要抓取的空托盤上方,然后升降氣缸813下降,將該空托盤卡在抓手手掌809的四個抓手固定限位塊808的中間,然后夾緊氣缸811啟動使抓手活動限位塊810向空托盤靠近,直至夾緊托盤,之后升降氣缸813上升,伺服電機801啟動,可將該空托盤移送到需要放置空托盤位的上方,并進一步完成放置空托盤工作。上料空料托盤輸出堆積裝置12的結構和上料實托盤分離輸入裝置I的結構基本相同,只是上料空料托盤輸出堆積裝置12的工作過程是,將上料實托盤分離輸入裝置I上的芯片抓取完成后的空托盤,由空托盤分位抓手裝置8抓放到上料空料托盤輸出堆積裝置12的輸送帶上,再由輸送帶輸出到空托盤堆積裝置。空托盤堆積裝置和實托盤的分離裝置正好是一個逆運行過程。因此,該裝置的結構組成略。下料空托盤分離輸入裝置11的結構和上料實托盤分離輸入裝置I的結構基本相同,只是從下料空托盤分離輸入裝置11輸入的空托盤要由空托盤分位抓手裝置8抓放到合格品的三個下料托盤位置,接受測試后的不同品質的合格料塊。因此,該裝置的結構組成略。合格品分類收集模組9,該模組由三套與上料空料托盤輸出堆積裝置12結構完全相同的裝置組成,它的作用是將滿盤的各種合格品自動輸出并自動堆積到料倉,待到一定數(shù)量后再通知人工取出。因此,該裝置的結構組成略。次品分類收集模組7結構簡單,只是設置有三個次品托盤放置位,可用人工手動放置次品收集空托盤,當某一次品收集空托盤被下料分選抓手平臺裝置放滿次品料塊后,由人工取出,再補充一個空次品托盤。本發(fā)明的IC芯片自動測試分選機的工作過程如下如圖I、圖2所示,人工將多盤滿盤待測試實料托盤放置到托盤分離輸入裝置I的料倉中,再將多盤準備接收已測試合格品料塊的下料空托盤放入下料空托盤分離輸入裝置11的料倉上,還將三個次品收集空托盤人工放入對應的位置。然后啟動機器,下料空托盤分離輸入裝置11和空托盤分位抓手裝置8首先啟動,將下料空托盤一一放入到合格品分類收集模組9的三個成品托盤位置。然后,上料實托盤分離輸入裝置I啟動,按照托盤分離輸入裝置的工作程序,對實料盤進行分離,并將分離后的第一個料盤輸入到位,由上料抓手平臺裝置3的可調四抓手裝置,按照上料抓手平臺裝置的工作程序將托盤上的芯片逐一抓放到料船模組裝置4或者加熱平臺裝置2。當上料抓手平臺裝置3的可調四抓手從托盤中抓取第一組四塊待測芯片放入前側料船裝置的左料船405上后,前側料船裝置向右移動,使左料船405到達前側測試抓手裝置對應位置,使右料船407到達下料分選抓手平臺裝置6對應位置。當前側料船裝置的左料船405載著第一組四塊待測芯片到達前測試抓手裝置對應的位置時,前測試抓手裝置的橫向電機502啟動,使前側的測試抓手總成裝置51移動到·前側料船裝置左料船405的上方,之后豎向伺服電機501啟動,使前側測試抓手總成裝置向下移動,直到前側測試抓手總成裝置下方的四個真空吸嘴與左料船405上的四塊芯片各自對齊接觸,并吸住芯片,然后豎向伺服電機501和橫向伺服電機502相繼協(xié)調啟動,將吸住芯片的前側測試抓手總成裝置快速移動到測試機前側測試位的上方(與此同時,前側料船裝置也向左移動,準備在接收新的待測芯片,同時前側料船裝置的右料船到達前側測試抓手裝置的對應位置,準備接收測試后的芯片),之后,豎向伺服電機501下降,使吸住芯片的前側測試抓手總成裝置下面的測試定位套5127與測試機上的對應定位銷對齊配合,當前側測試抓手總成裝置繼續(xù)下降,使待測四塊芯片的各測試點位與測試機上的各測試觸點剛剛接觸時,前側測試抓手總成裝置停止下降,然后,前側測試抓手總成裝置中的氣管接頭5115進氣,推動活塞5113、壓縮彈簧5116,使與活塞5113有連接關系的加熱板5117以及包括吸嘴桿5125在內的整個下部總成51b都向下微微移動一個距離,一是使芯片進一步受壓,以便使各測試點位接觸得更可靠,二是在進一步向下壓的過程中,吸嘴桿5125受到壓力,克服吸嘴壓縮彈簧5124的阻力沿吸嘴外套5111內向上移動,直到吸嘴桿5125外面的吸嘴外套11的下端面與芯片表面接觸壓緊。這種接觸壓緊增加了芯片在測試過程中的穩(wěn)定性和可靠性。測試完成后,氣管接頭5115進氣停止,壓縮彈簧5116使活塞5113向上復位,吸嘴壓縮彈簧使吸嘴桿向下復位,使吸嘴外套5111的下端面與芯片脫離接觸。之后,豎向伺服電機501和橫向伺服電機502相繼啟動,將測試過的第一組四塊芯片放到前側料船裝置的右料船407上。之后,前側料船裝置向右移動,將第一組測試過的芯片送到下料分選抓手平臺裝置6對應位置,等待分類分選放置。與此同時,前側料船裝置的左料船405又將第三組四塊芯片送到前測試抓手裝置對應的位置,等待前測試抓手裝置對其進行測試抓料。如此反復,就能將前側料船裝置上的待測芯片進行一一測試。后側料船裝置和后側試抓手裝置的動作和上述一樣,在此不再描述。當前側料船裝置右料船載著第一組四塊測試過的芯片到達下料分選抓手平臺裝置6對應位置時,下料分選抓手平臺裝置6啟動,由其上的可調四抓手裝置的四個抓手將右料船上的四塊芯片全部抓起,再按照測試結果的信息要求,將該四塊芯片放到對應的各類成品托盤或者次品托盤中。接著,后側料船裝置右料船載著第二組四塊測試過的芯片到達下料分選抓手平臺裝置對應位置時,下料分選抓手平臺裝置啟動,由其上的可調四抓手裝置的四個抓手將后側料船裝置右料船上的四塊芯片全部抓起,再按照測試結果的信息要求,將該四塊芯片放到對應的各類成品托盤或者次品托盤中。之后,輪次從前、后側料船裝置的右料船上將測試過的芯片,由下料分選抓手平臺裝置的可調四抓手裝置,按照各次測試的結果信息要求,抓放到對應的各類成品托盤或者次品托盤中。當某一成品托盤滿盤時,就會由該托盤所在的合格品分類收集模組9中的托盤輸出堆積裝置輸出堆積在料倉,然后由人工取出。當某一次品托盤滿盤時,就會通知人工取出,并補充一塊次品空托盤??胀斜P分位抓手裝置8的作用一是不斷將下料空托盤分離輸入裝置11上的空托盤抓放到合格品分類收集模組9處的三個托盤位,準備接收各種測試合格芯片,二是不斷從上料實托盤分離輸入裝置I上將抓料完畢的空料盤抓放到上料空料托盤輸出堆積裝置12,使上料完成的空料托盤一一輸出并堆積到料倉,然后由人工取出??胀斜P分位抓手裝置的各種過程在前面已述。
本發(fā)明的IC芯片自動測試機設置有上料實托盤分離輸入裝置,能將裝滿待測IC芯片的實托盤一盤盤自動分離并送入規(guī)定位置,供上料抓手平臺裝置從托盤中將芯片有序移到料船,或根據(jù)需要移到加熱平臺裝置上加熱后再移到料船。設置有加熱平臺裝置,加熱平臺裝置由高溫加熱和中溫加熱兩個加熱平臺組成,當需要對芯片做高溫項目測試時,由上料抓手平臺裝置從托盤中將芯片先有序移到高溫加熱平臺,待加熱到要求溫度后,再由上料抓手平臺裝置移到料船,再送到測試位進行高溫測試;當需要對芯片做中溫項目測試時,由上料抓手平臺裝置從托盤中將芯片先有序移到中溫加熱平臺,待加熱到要求溫度后,再由上料抓手平臺裝置移到料船,再送到測試位進行中溫測試。通常,加熱平臺裝置較少使用,只是對批次料塊進行抽檢時使用。設置有上料抓手平臺裝置,上料抓手平臺裝置上的四個抓手能在前后、左右兩個方向上快速移動,同時四個抓手能自動調整間距,將托盤中的四塊芯片同時抓起,又會按照料船或者高溫加熱平臺芯片的放置位置要求,自動調整間距,放置到料船或者高溫加熱平臺上的規(guī)定位置。設置有料船模組裝置,料船模組裝置有前、后兩排料船裝置,每排料船裝置又由左右兩個料船組成,左右料船每次可等距離放置四塊料塊。當料船向左移動到位時,左料船在左端位置接受抓手平臺裝置的上料,右料船在檢測位旁等待接測試后的芯片放入;當料船向右移動到位時,左料船達到檢測位旁,測試抓手組合模組裝置將待測芯片移入測試機進行測試,右料船達到芯片分選位置,由下料分選抓手平臺裝置對右料船上經(jīng)過測試的芯片進行分選放置。之后,料船又向左運動,重復上述工作。設置有測試抓手組合模組裝置,測試抓手組合模組裝置有前、后兩組測試抓手裝置。前測試抓手裝置對應前排料船裝置設置,專門將前排料船上的芯片從左料船移入測試位進行測試,測試完成后又將其放入右料船;后測試抓手裝置對應后排料船裝置設置,專門將后排料船上的芯片從左料船移入測試位進行測試,測試完成后又將其放入右料船。設置有下料分選抓手平臺裝置,下料抓手平臺裝置上的四個抓手能在前后、左右兩個方向上快速移動,同時四個抓手能自動調整間距,將將前、后兩排料船裝置上的右料船上的四塊芯片同時抓起,又會按照檢測結果分別逐一抓放到不同類型的合格品托盤和不同類型的次品托盤中放置。設置有次品分類收集模組,次品收集模組由可用人工手動取放的三個托盤組成,三個托盤分別放置三種測試結果的次品。設置有空托盤分位抓手裝置,該裝置從左至右橫跨6塊托盤,安裝在其上的托盤抓手,能將上料實托盤分離輸入裝置上完成上料后的空托盤移至上料空料托盤輸出堆積裝置的輸出傳送帶上;也能將下料空托盤分離輸入裝置輸入的空托盤分別移送到合格品分類收集模組的三個合格品托盤放置位置,準備接收各種合格品芯片的存放。設置有合格品分類收集模組,該模組由三套與上料空料托盤輸出堆積裝置結構完全相同的裝置組成,它的作用是將滿盤的各種合格品自動輸出并自動堆積到料倉,待到一定數(shù)量后再通知人工取出。設置有下料空托盤分離輸入裝置,該裝置與上料實托盤分離輸入裝置結構相同,能將準備去接收合格品芯片的空托盤一盤盤自動分離并送入規(guī)定位置,再供空托盤分位抓手裝置將其分別移送到三個合格品下料位置。設置有上料空料托盤輸出堆積裝置,該裝置能將由空托盤分位抓手裝置從上料實托盤分離輸入裝置上完成上料后移送來的空托盤輸出機外,并自動堆積到料倉,待到一定數(shù)量后再通知人工取出。本發(fā)明已通過優(yōu)選的實施方式進行了詳盡的說明。然而,通過對前文的研讀,對各實施方式的變化和增加也是本領域的一般技術人員所顯而易見的。申請人的意圖是所有這些變化和增加都包含了本發(fā)明的落在了本發(fā)明權利要求的范圍中的部分。
相似的編號通篇指代相似的元件。為清晰起見,在附圖中可能有將某些線、層、元件、部件或特征放大的情況。本文中使用的術語僅為對具體的實施例加以說明,其并非意在對本發(fā)明進行限制。除非另有定義,本文中使用的所有術語(包括技術術語和科學術語)均與本發(fā)明所屬領域的一般技術人員的理解相同。還須明確的是,除在本文中有明確的定義外,諸如字典中通常定義的術語應該解釋為在本說明書以及相關技術的語境中可具有一致的意思,而不應解釋的理想化或過分形式化。公知的功能或結構處于簡要和清楚地考慮或不再贅述。
權利要求
1.一種IC芯片自動測試分選機,其特征在于,包括 上料實托盤分離輸入裝置,包括兩條托盤傳送帶,在兩條托盤傳送帶的外側設有多個通過伸縮將托盤托住或松開、受控于第一氣缸的伸縮托塊,在兩條托盤傳送帶之間設有受控于第二氣缸并可將托盤托起使其高于托盤傳送帶水平端面的托板,所述托板具有一個低于托盤傳送帶水平端面的位置,滿載芯片的托盤分離后被傳送到位; 用于放置到位托盤中的芯片的料船模組裝置,包括受控于伺服電機左右擺動的用于放置待測芯片的左料船和用于放置測試后芯片的右料船; 用于將左料船中的待測芯片抓起放入測試機中測試的測試抓手組合模組裝置,包括至少一個測試抓手組合運動模組,所述測試抓手組合運動模組包括安裝板,還包括測試抓手總成組合升降滑塊、測試抓手總成組合左右移動滑塊,所述安裝板的上方設有可將測試抓手總成組合升降滑塊上下移動的垂直移動裝置;所述安裝板的下方設有將測試抓手總成組合左右移動滑塊水平移動的水平移動裝置;還設有下端固聯(lián)有測試抓手總成裝置的測試抓手總成組合連接板,所述測試抓手總成組合連接板垂直導軌式地卡合與測試抓手總成組合左右移動滑塊,其上端水平導軌式地卡合與測試抓手總成組合升降滑塊; 用于放置右料船中測試合格芯片的合格品分類收集模組,以及用于放置測試不合格芯片的次品分類收集模組。
2.根據(jù)權利要求I所述的自動測試分選機,其特征在于上料實托盤分離輸入裝置中,所述兩條托盤傳送帶的外側分別設有兩條支撐導軌,所述伸縮托塊通過第一氣缸連接在支撐導軌上;所述伸縮托塊為4個,兩兩設置在兩條支撐導軌上,所述4個伸縮托塊的外側分別設有一個截面呈L形的料倉板,圍成一料倉;所述支撐導軌上設有用于防止托盤滑出的托盤導向擋邊。所述支撐導軌的端部設有用于防止托盤繼續(xù)傳送的托盤限位塊;所述支撐導軌的端部設有托盤到位對射傳感器;所述支撐導軌上還設有可將托盤擠在托盤限位塊、托盤導向擋邊中的托盤推送到位氣缸;所述第二氣缸為三位氣缸,其和托板的底板固聯(lián)。
3.根據(jù)權利要求I所述的自動測試分選機,其特征在于所述測試抓手組合模組裝置中,所述垂直移動裝置、水平移動裝置為受控于伺服電機的豎向滾軸絲杠滑塊組合傳動、橫向滾軸絲杠滑塊組合傳動,所述測試抓手總成組合升降滑塊和豎向滾軸絲杠滑塊組合傳動配合,所述測試抓手總成組合升降滑塊上位于豎向滾軸絲杠滑塊組合傳動的兩側和安裝板導軌式配合;所述測試抓手總成組合左右移動滑塊和橫向滾軸絲杠滑塊組合傳動配合,所述測試抓手總成組合左右移動滑塊上位于橫向滾軸絲杠滑塊組合傳動的兩側和安裝板導軌式配合。
4.根據(jù)權利要求I或3所述的自動測試分選機,其特征在于所述測試抓手組合模組裝置包括用于抓料、放料的測試抓手總成裝置,包括上部總成,所述上部總成包括連通外部氣路并封裝在缸筒內的活塞,套裝在活塞向下延伸的活塞桿上的壓縮彈簧和缸筒卡合,所述活塞桿穿出缸筒的底端并固聯(lián)有下部總成,包括外殼,以及封裝在外殼內并連通有外部真空接頭的吸嘴桿,所述吸嘴桿包括分別位于上下兩端的上部桿和下部桿,以及位于上部桿、下部桿之間的卡合部,所述卡合部卡住外殼底端的內壁并使下部桿穿出外殼底端外壁設置的吸嘴外套,所述卡合部上方的上部桿套裝有壓縮彈簧并和伸入外殼頂端設置的通孔中,壓縮彈簧卡合住外殼頂端的內壁,使吸嘴桿可在外殼中上下移動。
5.根據(jù)權利要求I所述的自動測試分選機,其特征在于還設有用于將到位托盤中的芯片抓取的上料抓手平臺裝置,包括可調四抓手裝置,還包括使可調四抓手裝置沿y方向運動的y方向運動平臺以及,使可調四抓手裝置沿X方向運動的X方向運動平臺;所述X方向運動平臺和I方向運動平臺相對固定在一起;所述料船模組裝置的左料船位于I方向運動平臺和X方向運動平臺的運動路徑中。
6.根據(jù)權利要求5所述的自動測試分選機,其特征在于所述y方向運動平臺和X方向運動平臺的運動路徑中還設有給測試芯片加熱、控溫的加熱平臺裝置。
7.根據(jù)權利要求I所述的自動測試分選機,其特征在于還包括用于將上料實托盤分離輸入裝置中的空托盤取下的空托盤分位抓手裝置,包括固裝在安裝橫梁上并滑動配合有安裝豎板的導向滑軌,安裝豎板的上部通過夾板與受控于伺服電機的同步帶固聯(lián);安裝豎板的外側固聯(lián)一升降氣缸,與升降氣缸下方延伸的活塞桿固聯(lián)有一連接板,所述連接板與一可伸縮調節(jié)板的一端固聯(lián),可伸縮調節(jié)板的另一端固聯(lián)有抓手手掌,使抓手手掌隨著同步帶的正、反轉而左右移動;抓手手掌兩側的長邊固裝有四個用于卡合空托盤的抓手固定限位塊,抓手手掌外側的短邊上安裝有一個由夾緊氣缸控制的抓手活動限位塊。
8.根據(jù)權利要求7所述的自動測試分選機,其特征在于所述抓手手掌左右移動的路徑中設有一用于放置空托盤、構造和上料實托盤分離輸入裝置相同的上料空料托盤輸出堆積裝置。
9.根據(jù)權利要求7所述的自動測試分選機,其特征在于所述抓手手掌左右移動的路徑中設有一用于將堆積的空托盤分離并傳送到位、構造和上料實托盤分離輸入裝置相同的下料空托盤分離輸入裝置。
10.根據(jù)權利要求I所述的自動測試分選機,其特征在于還設有用于將右料船中測試后的芯片轉移到合格品分類收集模組或次品分類收集模組中的下料分選轉抓手平臺裝置,包括可調四抓手裝置,還包括使可調四抓手裝置沿y方向運動的y方向運動平臺以及,使可調四抓手裝置沿X方向運動的X方向運動平臺;所述X方向運動平臺和y方向運動平臺相對固定在一起;所述料船模組裝置的左料船位于I方向運動平臺和X方向運動平臺的運動路徑中。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種IC芯片自動測試分選機,包括可將堆積的實料盤逐一分離的上料實托盤分離輸入裝置,和料船模組裝置,包括受控于伺服電機左右擺動的用于放置待測芯片的左料船和用于放置測試后芯片的右料船;用于放置右料船中測試合格芯片的合格品分類收集模組,以及用于放置測試不合格芯片的次品分類收集模組。將待測試和分選的滿托盤芯片經(jīng)過托盤分離輸入裝置自動輸入到位,經(jīng)上料抓手平臺裝置逐一轉送到料船,測試抓手組合模組裝置將左料船上待測芯片準確吸住并移入測試位接受測試,再放回右料船進一步將測試后的芯片送到分類選方位,由下料分選抓手平臺裝置根據(jù)測試結果分類放入相應的成品托盤或者次品托盤中,滿盤后再有序送出機外。
文檔編號B07C5/36GK102698969SQ20121017166
公開日2012年10月3日 申請日期2012年5月29日 優(yōu)先權日2012年5月29日
發(fā)明者付義超, 劉飛, 唐召來, 林宜龍, 母華程, 王能翔 申請人:格蘭達技術(深圳)有限公司