具有隔熱涂層的燃?xì)廨啓C(jī)用高溫部件的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明的目的在于提供具有使耐熱性提高的隔熱涂層的燃?xì)廨啓C(jī)用高溫部件。本發(fā)明的燃?xì)廨啓C(jī)用高溫部件具有隔熱涂層和冷卻結(jié)構(gòu)，其最主要的特征在于，在隔熱涂層的合金底層和隔熱陶瓷層中，設(shè)置有從基材側(cè)向表面?zhèn)冗B通的微細(xì)通路，使對部件進(jìn)行冷卻的冷卻劑的一部分通過這些微細(xì)通路向部件外部流出。通過采用這樣的結(jié)構(gòu)，能夠期待由發(fā)散冷卻效果帶來的提高高溫部件的耐熱溫度的效果。
【專利說明】具有隔熱涂層的燃?xì)廨啓C(jī)用高溫部件
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及具有耐熱性優(yōu)異的隔熱涂層的燃?xì)廨啓C(jī)的動靜葉片、燃燒器、圍帶(shroud)等燃?xì)廨啓C(jī)用高溫部件。
【背景技術(shù)】
[0002]燃?xì)廨啓C(jī)以提高效率為目的，運轉(zhuǎn)溫度逐年升高。為了應(yīng)對運轉(zhuǎn)溫度的高溫化，燃?xì)廨啓C(jī)高溫部件使用耐熱性優(yōu)異的材料，而且采用了利用空氣或蒸氣等流體冷卻劑對暴露于燃燒氣體的表面的相反面進(jìn)行冷卻的結(jié)構(gòu)。另外，出于使溫度環(huán)境緩和的目的，對表面實施由低導(dǎo)熱性的陶瓷構(gòu)成的隔熱涂層(Thermal Barrier Coating:以下稱為TBC)。雖然也根據(jù)使用條件而不同，但是，一般通過應(yīng)用TBC，基材溫度能夠降低50~100°C。例如，日本特開昭62-211387號公報(專利文獻(xiàn)I)等中公開了:相對于基材，隔著MCrAH合金層，具有由導(dǎo)熱性低且耐熱性優(yōu)異的部分穩(wěn)定氧化鋯構(gòu)成的隔熱層的TBC。在此，M表示選自鐵(Fe)、Ni和Co中的至少I種，Cr表示鉻，Al表示鋁，Y表示釔。
[0003]這樣的具有TBC和冷卻結(jié)構(gòu)的燃?xì)廨啓C(jī)高溫部件顯示出優(yōu)異的耐熱性，但是，為了進(jìn)一步提高燃?xì)廨啓C(jī)的性能，希望采用冷卻效率更高的發(fā)散冷卻(transpirationcooling)方式。發(fā)散冷卻是從部件的整個表面通過微細(xì)流路(一般是多孔體)使微量的冷卻介質(zhì)均勻地從高溫部件的表面滲出，從而高效率地進(jìn)行冷卻的方法。例如，日本特開平10-231704號公報(專利文獻(xiàn)2)、日本特開2010-65634號公報(專利文獻(xiàn)3)中公開了在多孔金屬上形成多孔陶瓷層采用發(fā)散冷卻的燃?xì)廨啓C(jī)高溫部件。另外，日本特開2005-350341號公報(專利文獻(xiàn)4)中，公開了在鑄造時使多孔陶瓷與耐熱合金基材一體化的結(jié)構(gòu)中，采用發(fā)散冷卻結(jié)構(gòu)的燃?xì)廨啓C(jī)高溫部件。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)1:日本特開昭62-211387號公報
[0007]專利文獻(xiàn)2:日本特開平10-231704號公報
[0008]專利文獻(xiàn)3:日本特開2010-65634號公報
[0009]專利文獻(xiàn)4:日本特開2005-350341號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]發(fā)明要解決的技術(shù)問題
[0011]在上述現(xiàn)有技術(shù)中，雖然在一部分采用了 TBC的隔熱陶瓷層，但是在任一公知例中，相當(dāng)于TBC的合金底層的層不是膜而是用多孔金屬代替，或者相當(dāng)于合金底層的層被省略。這是因為難以 使用以往的合金底層的成膜方法形成作為冷卻介質(zhì)的流路的微細(xì)通路。在TBC中，隔熱陶瓷層承擔(dān)遮擋來自燃燒氣體的熱的作用，能夠期待將表觀的熱傳導(dǎo)抑制得較低、并使熱應(yīng)力緩和的效果，因此，采用了多孔陶瓷層。另一方面，合金底層承擔(dān)確保陶瓷層與基材的密合、并且保護(hù)基材不受燃燒氣體的氧化和腐蝕的作用，采用了更致密的組織。因此，為了實現(xiàn)將TBC與發(fā)散冷卻組合的高溫部件，需要與以往不同的具有冷卻介質(zhì)流路的合金底層。
[0012]因此，本發(fā)明的目的在于實現(xiàn)具有適合于發(fā)散冷卻的微細(xì)的冷卻介質(zhì)流路的合金底層，提供具備使用該合金底層的發(fā)散冷卻功能和隔熱涂層，耐熱性優(yōu)異的燃?xì)廨啓C(jī)用高溫部件。
[0013]用于解決技術(shù)問題的手段
[0014]本發(fā)明鑒于上述技術(shù)問題，提供一種燃?xì)廨啓C(jī)用高溫部件，該燃?xì)廨啓C(jī)用高溫部件在暴露于高溫的燃燒氣體的基材表面上具有隔熱涂層，該隔熱涂層設(shè)置有合金底層，并進(jìn)一步在該合金底層的表面上設(shè)置有隔熱陶瓷層，并且該燃?xì)廨啓C(jī)用高溫部件具有使用流體冷卻劑的冷卻結(jié)構(gòu)，該燃?xì)廨啓C(jī)用高溫部件的最主要的特征在于:在合金底層和隔熱陶瓷層中，設(shè)置有從基材側(cè)向表面?zhèn)冗B通的微細(xì)通路，使對部件進(jìn)行冷卻的冷卻劑的一部分通過這些微細(xì)通路向部件外部流出。
[0015]發(fā)明效果
[0016]本發(fā)明中，在TBC的合金底層和隔熱陶瓷層內(nèi)設(shè)置從基材側(cè)向表面?zhèn)冗B通的微細(xì)通路，使對部件進(jìn)行冷卻的冷卻劑的一部分通過這些微細(xì)通路向部件外部流出，由此，TBC、特別是合金底層被高效率地冷卻。另外，冷卻劑從高溫部件的整個表面均勻地滲出，由此，能夠期待均勻并且高效率的膜冷卻效果。通過這些效果，具有以下優(yōu)點:即使在由于與燃燒氣體溫度的高溫化相伴的部件溫度上升，現(xiàn)有技術(shù)難以應(yīng)用的嚴(yán)酷的條件下，也能夠使用。另外，使用具有本發(fā)明的隔熱涂層和冷卻結(jié)構(gòu)的燃?xì)廨啓C(jī)用高溫部件的燃?xì)廨啓C(jī)，具有能夠在更高溫度下運轉(zhuǎn)，并能夠提高效率的優(yōu)點。
【專利附圖】

【附圖說明】
`[0017]圖1是表示具有本發(fā)明的隔熱涂層和冷卻結(jié)構(gòu)的燃?xì)廨啓C(jī)用高溫部件的結(jié)構(gòu)的截面示意圖。
[0018]圖2是表示燃?xì)廨啓C(jī)的結(jié)構(gòu)的截面示意圖。
【具體實施方式】
[0019]以下，使用附圖對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0020]本發(fā)明，如圖1所示，是在基材I上設(shè)置有合金底層2，并進(jìn)一步在該合金底層2上設(shè)置有隔熱陶瓷層3的結(jié)構(gòu)。在基材I中，設(shè)置有多個冷卻孔4，該冷卻孔4從基材I的冷卻介質(zhì)通路向設(shè)置有合金底層2的表面貫通基材I。合金底層2的特征在于，具有以下結(jié)構(gòu):疊層有多個大致球形的合金粉末顆粒5，存在從基材I側(cè)起連通至涂層表面的顆粒間的間隙6。另外，在合金底層2上設(shè)置有隔熱陶瓷層3，隔熱陶瓷層3具有多條縱向裂縫7。從基材I的冷卻介質(zhì)通路通過冷卻孔4到達(dá)合金底層2的流體冷卻劑8，通過合金底層內(nèi)的顆粒間的間隙6，在合金底層2內(nèi)擴(kuò)散的同時向表面?zhèn)攘鲃?，到達(dá)隔熱陶瓷層3，通過隔熱陶瓷層內(nèi)的縱向裂縫7，從隔熱陶瓷層3的表面流出。
[0021]基材I能夠使用鎳基、鈷基或鐵基的耐熱合金。合金底層2能夠使用鎳基、鈷基或鐵基的耐熱合金，優(yōu)選使用MCrAH合金，其中M為Fe、Ni和Co中的任一種或多種。MCrAH合金抗氧化性優(yōu)異，因此優(yōu)選。[0022]另外，合金底層2具有以下結(jié)構(gòu):疊層有多個大致球形的合金顆粒5，存在從基板I側(cè)起連通至合金底層2表面的顆粒間的間隙6。為了形成這樣的結(jié)構(gòu)的膜，例如優(yōu)選使用由氣體霧化法制造的大致球形的合金粉末作為原料，使合金粉末與基材表面高速碰撞而疊層的方法。具體而言，例如能夠使用等離子體噴涂法、高速火焰噴涂(HVOF)法、冷噴涂法等方法。其中，最優(yōu)選使用冷噴涂法。
[0023]為了形成作為本發(fā)明特征的、具有存在從基材I側(cè)起連通至涂層表面的顆粒間的間隙6的結(jié)構(gòu)的合金底層2，在電弧噴涂或火焰噴涂那樣，使合金粉末顆粒在高溫下熔融并與基材碰撞而疊層的方法中，熔融的粉末顆粒在與基材碰撞時較大地扁平而疊層，因此，容易形成不連通的氣孔(所謂的閉氣孔)。另外，在大氣中被加熱至熔融的溫度的合金粉末中，在表面會產(chǎn)生氧化物，該氧化物會混入膜內(nèi)而使膜的抗氧化性降低。另外，還會產(chǎn)生顆粒之間的結(jié)合由于氧化物而受到妨礙，膜的強(qiáng)度降低的問題。
[0024]因此，在形成本發(fā)明的隔熱涂層的合金底層2時，優(yōu)選不使作為原料使用的大致球形的合金粉末熔融、氧化，以維持原本的接近球形的形狀的狀態(tài)疊層。作為這樣的方法，優(yōu)選能夠在更低溫度進(jìn)行成膜的冷噴涂法。但是，即使在低溫下，當(dāng)顆粒速度變得過快時，在與基材碰撞時也會產(chǎn)生粉末顆粒的扁平，膜變得致密，連通氣孔減少，因此，不能形成本發(fā)明的合金底層2，因此，需要適當(dāng)調(diào)整成膜條件。此外，通過同樣地適當(dāng)調(diào)整成膜條件，也能夠使用等離子體噴涂法、高速火焰噴涂(HVOF)法等。
[0025]使用上述成膜法形成的本發(fā)明的具有從基材側(cè)向表面?zhèn)冗B通的顆粒間的間隙6的合金底層2的連通間隙的膜內(nèi)體積分率優(yōu)選為30~70%的范圍。當(dāng)間隙的體積分率小于30%時，流通的冷卻介質(zhì)量少，不能充分得到發(fā)散冷卻的效果。另一方面，當(dāng)間隙的體積分率增加時冷卻效果提高，但是膜強(qiáng)度降低，當(dāng)間隙的體積分率超過70%時，在使用過程中容易發(fā)生涂層的損傷。更優(yōu)選間隙的體積分率為40~60%的范圍。
[0026]另外，本發(fā)明的隔熱涂層，優(yōu)選對合金底層2和隔熱陶瓷層3均在成膜后實施熱處理。在合金底層2中，利用由熱處理引起的固相擴(kuò)散使顆粒間的結(jié)合加強(qiáng)，由此能夠提高膜強(qiáng)度。另外，在隔熱陶瓷層3中，能夠期待促進(jìn)縱向`裂縫的開口，使冷卻介質(zhì)的流通變得順利。為了防止合金底層2的氧化，熱處理方法優(yōu)選在真空中進(jìn)行。熱處理條件雖然也依賴于涂層和基材材料，但是大致優(yōu)選在1000°C以上保持2h以上。此外，作為隔熱陶瓷層3，優(yōu)選為具有多條縱向裂縫7的結(jié)構(gòu)，但是也能夠使用通過多個氣孔被賦予透氣性的多孔結(jié)構(gòu)。
[0027]以下，對實施例進(jìn)行說明。
[0028](實施例1)
[0029]作為基體，準(zhǔn)備燃?xì)廨啓C(jī)I級動葉片，該動葉片由鎳基耐熱合金IN738 (16%Cr_8.5%Co-3.4%T1-3.4%Al-2.6%ff-l.7%Mo_l.7%Ta_0.9%Nb_0.1%C_0.05%Zr-0.01%B-其余部分為Ni，重量％)制成，在內(nèi)部具有冷卻空氣通路。在動葉片中，通過放電加工，加工有從基體表面貫通至內(nèi)部冷卻通路的多個冷卻孔。另外，作為原料粉末，準(zhǔn)備利用氣體霧化法制造的大致球狀的平均粒徑約40 μ m的CoNiCrAH合金粉末(Co-32%N1-21%Cr-8%Al_0.5%Y,重量％)。使用冷噴涂裝置，使原料粉末在動葉片的燃燒氣體通路表面成膜。就成膜條件而言，工作氣體使用氮氣，使用氣體壓力3MPa、氣體溫度800°C、粉末供給量20g/min、成膜距離15mm的條件，實施成膜直至合金底層2的厚度成為約0.3mm。然后，在設(shè)置有合金底層2的基材I上，使用氧化乾部分穩(wěn)定氧化錯(Zr02-8wt%Y203)粉末，在大氣中利用等離子體噴涂(等離子體功率約IOOkW)設(shè)置厚度約0.6mm、氣孔率約8%的具有縱向裂縫的隔熱陶瓷層3。作為此時的成膜條件，預(yù)熱溫度為約800°C，噴槍的移動速度為30m/min，噴涂距離為90mm，熱通量為約0.4MW/m2。進(jìn)一步，對形成隔熱陶瓷層3后的動葉片，在真空中實施1120°C X2h、840 °C X24h的熱處理。
[0030]將這樣制造的動葉片切斷確認(rèn)截面組織時，如圖1所示，合金底層2呈現(xiàn)多個大致球形的合金顆粒5疊層，且存在從基材I側(cè)起連通至合金底層2表面的顆粒間的間隙6的組織。根據(jù)相對密度測定氣孔的體積分率時，為約50%。
[0031]將通過上述步驟制造的試驗葉片安裝在燃?xì)廨啓C(jī)中，進(jìn)行I年的試驗運轉(zhuǎn)。此時，在葉片的冷卻空氣入口設(shè)置節(jié)流孔，與以往設(shè)計相比使冷卻空氣量減少30%。試驗運轉(zhuǎn)后的使用本發(fā)明的TBC的動葉片，在外觀和切斷調(diào)查中，都基本沒有看到損傷。另一方面，為了比較，同時減少冷卻空氣量進(jìn)行運轉(zhuǎn)的設(shè)置有現(xiàn)有技術(shù)的TBC的動葉片中，在外觀上，部分地看到TBC的剝離，另外，在截面調(diào)查中，在剝離部以外看到了合金底層的氧化損傷。根據(jù)這些結(jié)果，確認(rèn)了設(shè)置有本發(fā)明的TBC的燃?xì)廨啓C(jī)高溫部件具有優(yōu)異的耐熱性。
[0032](實施例2)
[0033]圖2是發(fā)電用燃?xì)廨啓C(jī)主要部分的截面示意圖。燃?xì)廨啓C(jī)在燃?xì)廨啓C(jī)汽缸48的內(nèi)部具備:位于中心的旋轉(zhuǎn)軸(轉(zhuǎn)子)49 ;和燃?xì)廨啓C(jī)部44，該燃?xì)廨啓C(jī)部44具有設(shè)置在旋轉(zhuǎn)軸49周圍的動葉片46和被支撐在汽缸48側(cè)的靜葉片45、和燃?xì)廨啓C(jī)圍帶47。燃?xì)廨啓C(jī)具有:與該燃?xì)廨啓C(jī)部44連結(jié)，吸入大氣，得到燃燒用和冷卻介質(zhì)用的壓縮空氣的壓縮機(jī)50 ;和燃燒器40。燃燒器40具有將從壓縮機(jī)50供給的壓縮空氣與供給的燃料(未圖示)混合噴射的燃燒器噴嘴41，使該混合氣體在燃燒器火焰筒42內(nèi)燃燒產(chǎn)生高溫高壓的燃燒氣體,將該燃燒氣體通過過渡段(transition piece)(尾筒)43供給燃?xì)廨啓C(jī)44,由此使轉(zhuǎn)子49高速旋轉(zhuǎn)。從壓縮機(jī)50 噴出的壓縮空氣的一部分，被用作燃燒器40的火焰筒42、過渡段43和燃?xì)廨啓C(jī)靜葉片45、燃?xì)廨啓C(jī)動葉片46的內(nèi)部冷卻空氣。燃燒器40中產(chǎn)生的高溫高壓的燃燒氣體，經(jīng)過過渡段43由燃?xì)廨啓C(jī)靜葉片45整流，向動葉片46噴射對燃?xì)廨啓C(jī)部44進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動。雖然未圖示，但是一般構(gòu)成為通過與旋轉(zhuǎn)軸49的端部結(jié)合的發(fā)電機(jī)進(jìn)行發(fā)電。
[0034]本實施例中，除了動葉片45以外，進(jìn)一步在靜葉片46和第一級的燃?xì)廨啓C(jī)圍帶47的燃燒氣體通路表面，利用實施例1中記載的方法設(shè)置有上述實施例1中記載的本發(fā)明的TBC0具體而言，在各部件的燃燒氣體通路表面，通過放電加工，加工有從基體表面貫通至內(nèi)部冷卻通路的多個冷卻孔。另外，作為原料粉末，準(zhǔn)備利用氣體霧化法制造的大致球狀的平均粒徑為約 50 μ m 的 NiCoCrAlY 合金粉末(N1-23%Co-17%Cr_12.5%Α1_0.5%Υ,重量 ％)。使用冷噴涂裝置，使原料粉末在各部件的燃燒氣體通路表面成膜。就成膜條件而言，工作氣體使用氮氣，使用氣體壓力3MPa、氣體溫度900°C、粉末供給量15g/min、成膜距離20mm的條件，實施成膜直至合金底層2的厚度成為約0.3_。然后，在設(shè)置有合金底層2的基材I上，使用氧化乾部分穩(wěn)定氧化錯(Zr02-8wt%Y203)粉末，在大氣中利用等離子體噴涂(等離子體功率約50kW)設(shè)置厚度約0.3mm的具有透氣性的多孔隔熱陶瓷層。作為此時的成膜條件，預(yù)熱溫度為約150°C，噴槍的移動速度為45m/min，噴涂距離為100mm。另外，對形成隔熱陶瓷層后的各部件，按照作為各個部件的基材使用的合金的熱處理條件，在真空中實施熱處理。
[0035]此外，在本實施例中，采用了僅在由3級構(gòu)成的燃?xì)廨啓C(jī)部44的動葉片45、靜葉片46、圍帶47的各第一級設(shè)置有本發(fā)明的TBC的結(jié)構(gòu)，但是也能夠進(jìn)一步應(yīng)用于其后的第二級、第三級。另外，也能夠應(yīng)用于由其他級數(shù)構(gòu)成的燃?xì)廨啓C(jī)，例如由2級、4級構(gòu)成的燃?xì)廨啓C(jī)的所有級或所選擇的級。
[0036]在以上結(jié)構(gòu)的本實施例的燃?xì)廨啓C(jī)中，對于設(shè)置有本發(fā)明的TBC的部件，使冷卻空氣減少約30%進(jìn)行運轉(zhuǎn)。在運轉(zhuǎn)2年后，觀察各部件時，在設(shè)置有本實施例的TBC的燃?xì)廨啓C(jī)部件中，TBC幾乎沒有看到損傷，是健全的。另一方面，由于減少了冷卻空氣，燃?xì)廨啓C(jī)的效率提高。另外，具備該燃?xì)廨啓C(jī)的燃?xì)廨啓C(jī)復(fù)合發(fā)電站的發(fā)電效率也提高。
[0037]根據(jù)以上結(jié)果可知，本實施例的燃?xì)廨啓C(jī)，由于其優(yōu)異的高溫部件的耐熱性，能夠在高溫下運轉(zhuǎn)，經(jīng)濟(jì)性和穩(wěn)定運用性優(yōu)異。
[0038]符號說明
[0039]I 基材
[0040]2 合金底層
[0041]3 隔熱陶瓷層
[0042]4 冷卻孔
[0043]5 合金粉末顆粒
[0044]6 顆粒間的 間隙
[0045]7 裂縫
[0046]8 流體冷卻劑
[0047]40燃燒器
[0048]41燃燒器噴嘴
[0049]42燃燒器火焰筒
[0050]43過渡段
[0051]44燃?xì)廨啓C(jī)
[0052]45燃?xì)廨啓C(jī)動葉片
[0053]46燃?xì)廨啓C(jī)靜葉片
[0054]47燃?xì)廨啓C(jī)圍帶
[0055]48燃?xì)廨啓C(jī)汽缸
[0056]49燃?xì)廨啓C(jī)轉(zhuǎn)子
[0057]50壓縮機(jī)
【權(quán)利要求】
1.一種燃?xì)廨啓C(jī)用高溫部件，其在暴露于高溫的燃燒氣體的基材表面上具有隔熱涂層，該隔熱涂層設(shè)置有合金底層，并進(jìn)一步在該合金底層的表面上設(shè)置有隔熱陶瓷層，所述燃?xì)廨啓C(jī)用高溫部件的特征在于: 在所述合金底層和隔熱陶瓷層中，設(shè)置有從基材側(cè)向表面?zhèn)冗B通的微細(xì)通路，使對部件進(jìn)行冷卻的冷卻劑的一部分通過這些微細(xì)通路向部件外部流出。
2.如權(quán)利要求1所述的燃?xì)廨啓C(jī)用高溫部件，其特征在于: 所述基材由Ni基、Co基或Fe基的耐熱合金構(gòu)成。
3.如權(quán)利要求1所述的燃?xì)廨啓C(jī)用高溫部件，其特征在于: 所述合金底層由MCrAH合金構(gòu)成，其中M為選自Fe、Ni和Co中的至少I種。
4.如權(quán)利要求1所述的燃?xì)廨啓C(jī)用高溫部件，其特征在于: 所述合金底層具有粒徑的范圍為5~100 μ m的合金粉末顆粒的疊層組織，并且，由疊層顆粒間的間隙形成的連通的微細(xì)通路的膜內(nèi)體積分率為30~70%。
5.如權(quán)利要求1所述的燃?xì)廨啓C(jī)用高溫部件，其特征在于: 所述合金底層由以下方法形成:將合金粉末顆粒利用合金的熔點以下的溫度的工作氣體進(jìn)行加速，使該合金粉末顆粒不伴隨熔融地高速地與基材表面碰撞。
6.如權(quán)利要求1所述的燃?xì)廨啓C(jī)用高溫部件，其特征在于: 所述隔熱陶瓷層為部分穩(wěn)定氧化鋯。`
7.如權(quán)利要求1所述的燃?xì)廨啓C(jī)用高溫部件，其特征在于: 所述隔熱陶瓷層的微細(xì)通路由裂縫形成。
8.如權(quán)利要求1所述的燃?xì)廨啓C(jī)用高溫部件，其特征在于: 所述隔熱陶瓷層的微細(xì)通路由氣孔形成。
9.一種燃?xì)廨啓C(jī)，其特征在于: 具備權(quán)利要求1~8中任一項所述的燃?xì)廨啓C(jī)用高溫部件。
10.一種燃?xì)廨啓C(jī)復(fù)合發(fā)電站，其特征在于: 具備權(quán)利要求9所述的燃?xì)廨啓C(jī)。
【文檔編號】F01D5/18GK103774134SQ201310508420
【公開日】2014年5月7日 申請日期:2013年10月24日 優(yōu)先權(quán)日:2012年10月24日
【發(fā)明者】有川秀行, 兒島慶享, 粕谷忠, 目幡輝, 市川國弘, 遠(yuǎn)藤宏之, 遠(yuǎn)藤孝夫 申請人:株式會社日立制作所