專利名稱：梁形開關(guān)結(jié)構(gòu)及制造方法
這里提供的實(shí)施例總的說涉及到諸如微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)等的開關(guān)，如MEMS開關(guān)(即，接觸器、繼電器、分路器等)。MEMS是利用微加工技術(shù)將機(jī)械和電氣元件集成在一個(gè)公用襯底上的微型裝置。這些電氣元件通常是采用熟知的集成電路加工技術(shù)形成的。機(jī)械元件通常是采用光刻和其它相關(guān)工藝進(jìn)行微加工制成的，其中一個(gè)襯底(如硅晶片)的一些部分被選擇性地刻蝕掉，或者被加進(jìn)一些新的材料和結(jié)構(gòu)層。MEMS裝置包括致動(dòng)器、傳感器、開關(guān)、加速器和調(diào)制器。


圖1是一個(gè)基本為直梁的示意圖；圖2是一個(gè)彎曲梁的示意圖；圖3是一個(gè)彎曲梁的示意圖；圖4是一個(gè)彎曲梁的示意圖；圖5是一個(gè)彎曲梁的示意圖；圖6的曲線表示非對稱彎曲梁的幾何形狀及相應(yīng)的力-位移關(guān)系；圖7是一個(gè)對稱雙穩(wěn)定狀態(tài)梁的勢能-位移和力-位移關(guān)系示意圖；圖8是從三角關(guān)系壓縮彎曲梁所要求的圖解計(jì)算示意圖；圖9是一個(gè)彎曲梁的示意圖；圖10是一個(gè)彎曲梁的示意圖；圖11是一個(gè)彎曲梁的示意圖；圖12是一個(gè)彎曲梁的示意圖。
開關(guān)在MEMS中有許多應(yīng)用。在微流體學(xué)中，可以利用開關(guān)來開啟和關(guān)閉一個(gè)閥，或者把流動(dòng)導(dǎo)向兩個(gè)管道中的一個(gè)內(nèi)。在光學(xué)中，可以用開關(guān)把光線引至不同的波導(dǎo)(標(biāo)準(zhǔn)的光學(xué)開關(guān))內(nèi)，或者將一些通道加入WDM系統(tǒng)(光學(xué)加-減多路復(fù)用器)內(nèi)和從該系統(tǒng)中斷開。這種理想的開關(guān)幾乎不消耗功率，在斷電時(shí)能保留它的狀態(tài)，具有可重復(fù)的狀態(tài)，而且不會磨損或疲勞。可以將采用雙穩(wěn)定梁的開關(guān)設(shè)計(jì)得滿足所有這些特征。
這里提供的各種典型實(shí)施例不把梁制成已位移的狀態(tài)(“預(yù)先成型”)，而是先加工一個(gè)直梁而后彎曲(“后彎曲”)。彎曲可以通過手工用單個(gè)探頭或探頭卡來做，或利用集成致動(dòng)器通過電來實(shí)現(xiàn)。梁的一端或兩端固定在一個(gè)梁的支撐結(jié)構(gòu)和一些支座上，這些支座可以使梁受壓縮時(shí)沿軸線移動(dòng)而不旋轉(zhuǎn)。其結(jié)果是任何長度和寬度的組合將產(chǎn)生一個(gè)具有兩個(gè)對稱穩(wěn)定狀態(tài)的梁。這樣一來，梁可以根據(jù)各狀態(tài)之間的理想距離及在各狀態(tài)間轉(zhuǎn)換時(shí)需要多大的力來選擇，而不是看一種特定組合是否能產(chǎn)生兩種穩(wěn)定狀態(tài)。
更具體來說，如圖1所示，典型實(shí)施例包括一個(gè)直線或基本直線的梁102，它被頂部和底部支座100、104固定在適當(dāng)?shù)奈恢谩D1中梁102處于非彎曲狀態(tài)，然后利用圖3和4所示的可調(diào)節(jié)壓縮器300、400，經(jīng)壓縮(沿圖2中箭頭200的方向)使梁102朝一側(cè)或另一側(cè)彎曲，壓縮器可以是楔形或凸輪形結(jié)構(gòu)。
不同的典型實(shí)施例還提供一個(gè)調(diào)節(jié)梁102的壓縮的方法，以便調(diào)整梁102的彎曲量。在壓縮過程中，可調(diào)節(jié)壓縮器(300、400)與梁102接觸并對梁102的一端施力。壓縮之后梁102可以在第一彎曲狀態(tài)(朝著一側(cè))和第二彎曲狀態(tài)(朝著相反的另一側(cè))之間運(yùn)動(dòng)。第一彎曲狀態(tài)和第二彎曲狀態(tài)構(gòu)成離圖1所示非彎曲狀態(tài)的相等而相反的彎曲運(yùn)動(dòng)。
為了在兩種狀態(tài)間轉(zhuǎn)換梁102，可以采用一個(gè)或幾個(gè)致動(dòng)器204將梁102推至足夠遠(yuǎn)，使得梁102能自己走完至第二穩(wěn)定狀態(tài)的路程。致動(dòng)器204在第一彎曲狀態(tài)和第二彎曲狀態(tài)間推動(dòng)梁102。因?yàn)榱?02是對稱的，所以致動(dòng)器204只在梁102運(yùn)動(dòng)時(shí)被致動(dòng)，且一旦被致動(dòng)器所致動(dòng)，梁102保持在第一彎曲狀態(tài)或第二彎曲狀態(tài)。另外，由于梁102開始時(shí)是作為基本為直的元件102(見圖1)形成的，故需要一個(gè)相等的力來使梁102運(yùn)動(dòng)至第一彎曲狀態(tài)和第二彎曲狀態(tài)，因而梁102被認(rèn)為是“雙穩(wěn)定”的。
一旦梁102被彎曲，它就被使用一個(gè)致動(dòng)器或類似的裝置在兩狀態(tài)之間的運(yùn)動(dòng)。例如，各典型實(shí)施例可以采用移動(dòng)一個(gè)沖擊臂的熱致動(dòng)器，該沖擊臂與梁102相碰撞，并將它推至另一種狀態(tài)。此熱致動(dòng)器一般是一個(gè)“V形”致動(dòng)器。盡管尺寸不大，但該熱致動(dòng)器能產(chǎn)生很大的力，故很有用。該熱致動(dòng)器204具有一個(gè)稍微偏離(傾斜約1°)的幾乎為直線的梁，故當(dāng)電流流過它而被加熱時(shí)梁容易朝所希望的方向彎曲。也可以采用其它類型的致動(dòng)器204完成驅(qū)動(dòng)，如梳形驅(qū)動(dòng)器、平行板驅(qū)動(dòng)器、刻擦驅(qū)動(dòng)器、沖擊驅(qū)動(dòng)器、U型熱致動(dòng)器、或磁驅(qū)動(dòng)器。
如圖5所示，MEMS彎曲梁開關(guān)可包含一個(gè)處在梁一端的可調(diào)節(jié)壓縮器400，它將梁壓縮到彎曲狀態(tài)。圖5的實(shí)施例還包含一些撓性元件502(例如，彈簧、撓性硅梁等)，將梁102連至頂端支座100。可調(diào)節(jié)壓縮器400可與產(chǎn)生水平運(yùn)動(dòng)的任何類型線性調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(如螺絲、致動(dòng)器等)相連接。楔形塊或凸輪400將水平運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換成向下運(yùn)動(dòng)。更廣泛而言，楔形塊或凸輪400將第一方向的運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換成近似沿垂直第一方向的運(yùn)動(dòng)。這樣可以比用沿平行于梁102長度方向運(yùn)動(dòng)的單純線性致動(dòng)器300更精確地控制壓縮。
大范圍的驅(qū)動(dòng)可以用多種類的任意一種線性調(diào)整機(jī)構(gòu)500(如致動(dòng)器)來提供。這可以包括電容性驅(qū)動(dòng)器(如“梳形驅(qū)動(dòng)器”)、熱致動(dòng)器、沖擊驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器、刻擦驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器、或磁致動(dòng)器。最佳致動(dòng)器的選擇取決于它要推動(dòng)的力、所需運(yùn)動(dòng)范圍、板上電子器件能否處理高電壓或大電流等因素。
如圖5所示，當(dāng)楔形塊400被推向右側(cè)時(shí)，它在彎曲梁102的頂部推動(dòng)。如上所述，梁102通過撓性元件502與支座100相連，支座間的距離足夠遠(yuǎn)，故更可能產(chǎn)生平移運(yùn)動(dòng)而不是旋轉(zhuǎn)。楔形塊400的斜度相當(dāng)平緩，故當(dāng)保持彎曲梁102的彈簧502短而不易彎曲時(shí)，則將楔形塊楔到位所需要的力保持足夠均勻。也可以不用致動(dòng)器來推動(dòng)楔形塊或凸輪塊400，而用手來推動(dòng)它(例如，通過探頭卡來推動(dòng)或用螺絲500來調(diào)整)。手工裝配這些裝置可能不總是一種有效的途徑，不過應(yīng)采用在適當(dāng)位置具有抓手的定制探頭卡，這樣裝配可能變成很經(jīng)濟(jì)的批量加工。
圖4中支座100可以被推動(dòng)以壓縮梁，且運(yùn)動(dòng)后可以固定在被壓縮的位置(采用任何熟知的方法，如粘接、連附，緊固等)，或者也可以利用撓性元件502使梁的壓縮可以在任何時(shí)候調(diào)節(jié)和/或重新調(diào)節(jié)。這樣梁的彎曲量在制造過程中、在安裝一個(gè)MEMS開關(guān)時(shí)的制造后、或維修已在使用中的MEMS開關(guān)時(shí)都可以調(diào)節(jié)。
根據(jù)各狀態(tài)之間的距離和所需的力，可以改變力的施力點(diǎn)。若所需的力大且各狀態(tài)間的距離小，可以采用較短而不易彎曲的致動(dòng)器，用它推動(dòng)開關(guān)梁102的中央。若二狀態(tài)間距離太大，且所需的致動(dòng)器將會太大，則可如圖3所示轉(zhuǎn)而采用一對致動(dòng)器204，將梁102推至離它中央相等的距離。所需的位移將較小，但所需的力將較大。例如，若力的施力點(diǎn)處在中央和支座之間的半途中，則致動(dòng)器204所需推動(dòng)的距離約為在中央所需運(yùn)動(dòng)量的一半，而所需的力則約大一倍。
因此，為了放大小位移、大力量致動(dòng)器204的運(yùn)動(dòng)，可以將致動(dòng)器204的力加在遠(yuǎn)離梁102的中央(此處位移較小)和/或在每一側(cè)采用多個(gè)致動(dòng)器，如圖3所示。可以加上一些機(jī)械檔塊206，使得開關(guān)狀態(tài)位置精確到光刻和刻蝕的允許誤差，從而補(bǔ)償由于梁寬變化所造成的梁的偏斜的偶然改變。為避免混亂并更清楚地顯示各實(shí)施例的突出特征，我們沒有在所有各圖中都標(biāo)出致動(dòng)器204和檔塊206。
各典型實(shí)施例提供一種能在兩種狀態(tài)之間運(yùn)動(dòng)的開關(guān)，而且不加動(dòng)力就可以保持這些狀態(tài)。與此相反，基于非對稱預(yù)成型彎曲梁的開關(guān)是按兩種穩(wěn)定狀態(tài)的一種加工的，其中第二彎曲狀態(tài)近似與第一彎曲狀態(tài)相反。這樣的梁在一種狀態(tài)下的應(yīng)力為0，而彎曲狀態(tài)將有相當(dāng)大的應(yīng)力。這類梁是非對稱的。因此只有某些幾何形狀的非對稱梁能工作。倘若非對稱彎曲梁在移動(dòng)至希望的第二狀態(tài)時(shí)具有過大的彎曲應(yīng)力(當(dāng)梁太短和/或太寬時(shí)就會是這種情況)，則第二狀態(tài)可能不存在，或者變成這種狀態(tài)所需的力太大，以至實(shí)際上無法實(shí)現(xiàn)。
因而，對于非對稱梁，兩種狀態(tài)的應(yīng)力將是不同的，因?yàn)榧庸さ牡谝粻顟B(tài)的應(yīng)力為0，且彎曲狀態(tài)要求梁彎曲。這種缺乏對稱性意味著一種狀態(tài)存在并不保證另一種狀態(tài)也存在。只有某些幾何形狀的非對稱梁能給出第二穩(wěn)定狀態(tài)，這意味對問題有一種額外的限制，而它在這里提供的實(shí)施例的對稱情況下是不存在的。除了能選出梁的幾何形狀使得它們給出各狀態(tài)間的理想距離和勢能壁壘外(如同此處的實(shí)施例所能進(jìn)行的)傳統(tǒng)的方法還必須測試每一種非對稱梁的幾何形狀以驗(yàn)證第二種狀態(tài)是可以達(dá)到的。
圖6是一些力的曲線，它表明對于一個(gè)給定的長度，只有某些梁的橫截面才產(chǎn)生第二穩(wěn)定狀態(tài)。圖中的力是在所示位移量下梁上所有力的總和。標(biāo)明“2*5”的曲線代表一個(gè)2μm寬5μm高的梁。當(dāng)梁移動(dòng)5μm(0.005μm)時(shí)力仍然為正，表明這個(gè)力將把梁推回到它從0位移開始的地方。在約15μm位移處力變成0，表示這是一個(gè)平衡點(diǎn)，但是離開那一點(diǎn)在任一方向的任何微小位移都將引起一個(gè)力，把它推得離那一點(diǎn)更遠(yuǎn)，因而這是一個(gè)不穩(wěn)定的平衡(就象一個(gè)處在山頂上的球)。在約19μm位移處力又回到0，但在這里任何微小的位移將引起一個(gè)力，把梁帶回到平衡狀態(tài)(就象一個(gè)處在谷底的球)。注意對另外兩個(gè)橫截面，力的曲線從不向下返回經(jīng)過0，因此沒有第二平衡狀態(tài)。
這里提供的各種典型實(shí)施例在梁上產(chǎn)生的應(yīng)力小于非對稱彎曲梁。在非對稱彎曲梁中，應(yīng)力從第一狀態(tài)下的0變成第二狀態(tài)下的應(yīng)力最大值。而不象這里的實(shí)施例的各種對稱結(jié)構(gòu)中是從-1/2應(yīng)力最大值變成+1/2應(yīng)力最大值。另外，對于這里所述的各種實(shí)施例，僅當(dāng)致動(dòng)器204轉(zhuǎn)換梁102時(shí)需要?jiǎng)恿?。例如，V形梁熱致動(dòng)器只要求加熱電流流動(dòng)約1-2毫秒。假設(shè)電壓為15V P-P，電流為30mA(P＝I*V＝0.45W)，持續(xù)時(shí)間為2毫秒，則用來轉(zhuǎn)換梁的總能量小于1毫焦耳。
可能影響梁102對稱性的一個(gè)因素是梁中的應(yīng)力。因此，基本上為直線的梁102是用單晶硅等無應(yīng)力材料構(gòu)成，它們不象多晶硅，沒有固有應(yīng)力。應(yīng)力也可以由具有不同熱膨脹系數(shù)材料的溫度變化而引起。為避免熱應(yīng)力問題，該裝置可以與熱電冷卻器一起包裝，以維持適當(dāng)?shù)臏囟取?br> 每個(gè)穩(wěn)定狀態(tài)(第一或第二)的位置取決于硅如何可再現(xiàn)地彎曲。業(yè)已證明單晶硅具有完美的彈性。它象玻璃一樣易碎，而且在屈服點(diǎn)之前碎裂，這正好達(dá)到它的失效點(diǎn)。因此第二狀態(tài)的位置是可高度再現(xiàn)的。但是，梁102的實(shí)際位置可能未精確到某些精確對準(zhǔn)裝置(如波導(dǎo))所要求的程度。例如，梁102的位置取決于梁102的寬度，后者可能有約5％以下的變化。所以要加上一些機(jī)械檔塊206以強(qiáng)迫梁102停止在正確的位置。由于檔塊處在與梁102本身同樣的光掩模層上，擋塊的位置可精確到1/10μm以下。
因?yàn)榈湫偷腗EMS開關(guān)的運(yùn)動(dòng)完全是梁102的彎曲，此開關(guān)沒有零件在一起磨擦，故不會產(chǎn)生磨損。致動(dòng)器與開關(guān)相碰，故在那個(gè)區(qū)域可能有磨損，但這并不影響任一種狀態(tài)的位置。隨時(shí)間減小的任何致動(dòng)器位移可以通過在開始時(shí)使位移大一些來補(bǔ)償。因?yàn)榱?02是“突然移動(dòng)”并在接近第二狀態(tài)時(shí)離開致動(dòng)器，故額外大的致動(dòng)器位移不會有任何壞處。
因而，如上所述，這里的各種典型實(shí)施例不把非對稱梁制成偏移位置(“預(yù)成型”)，而是利用一個(gè)在彎曲后不要求動(dòng)力的機(jī)構(gòu)壓縮一個(gè)直線梁使它在加工后彎曲(“后彎曲”)。這種彎曲可以通過單個(gè)探頭或探頭卡用手來做，或利用集成致動(dòng)器以電器方式來完成。梁的一端或兩端固定在梁的支撐結(jié)構(gòu)和支座上，后者可以在軸線上移動(dòng)時(shí)避免旋轉(zhuǎn)。其結(jié)果是任何長度和寬度的組合都將因?qū)ΨQ性而產(chǎn)生具有兩種穩(wěn)定狀態(tài)的梁。
圖7所示為對稱雙穩(wěn)定彎曲梁102的勢能(U)和力(F)曲線。各狀態(tài)間位壘的高度應(yīng)該足夠大，以防止因芯片貼近等因素可能引起的偶然的狀態(tài)變化。各狀態(tài)之間的距離取決于梁102的幾何形狀及梁102在加工后彎曲過程中壓縮了多少。
在一個(gè)實(shí)例中，梁將被壓縮到使各狀態(tài)間的距離為0-15μm。假定梁為800μm長，要求的各狀態(tài)間的距離為14μm，圖8表示壓縮如何逼近。直角三角形各邊的長度可利用式a2+b2＝c2計(jì)算，此處c為斜邊，a和b為直角三角形的直角邊。當(dāng)梁彎曲時(shí)，可認(rèn)為形成兩個(gè)直角三角形，每個(gè)三角形的斜邊為400μm。真實(shí)的形狀將是倒圓的而不是彎折的，但這將是一個(gè)好的一次近似。在此例中，整個(gè)梁的運(yùn)動(dòng)希望是14μm，且它的一半是從直線中央位置到一條邊。因此，兩個(gè)直角三角形中每一個(gè)的一邊為7μm。如圖8的計(jì)算所示，每個(gè)直角三角形的另一邊為399.939μm。因此，梁兩端間的距離必須減小0.122μm((400-399.939)*2＝0.122)，以使梁朝一邊彎曲7μm。其結(jié)果是，為達(dá)到離中央未彎曲位置彎曲7μm，只需要梁有很小的壓縮量(約1/10μm(例如0.122μm))。
這樣小的位移量用一個(gè)典型的系統(tǒng)(假定各機(jī)構(gòu)零件間有2-3μm的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)空間要求)是很難實(shí)現(xiàn)和維持的。因此，這里的一些實(shí)施例采用楔形塊或凸輪400將一個(gè)方向的大幅度運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換成一個(gè)近似垂直方向的細(xì)小運(yùn)動(dòng)，這要根據(jù)楔形塊的寬度和凸輪的半徑變化有多快來確定。
其它的一些實(shí)施例可防止彎曲梁102的中心點(diǎn)在梁被壓縮時(shí)產(chǎn)生移動(dòng)。首先，梁102的兩端，而不光是一端，可以利用每一端的楔形塊400來移動(dòng)，如圖9所示。這樣可保持對稱性，但卻增加了系統(tǒng)的復(fù)雜性和尺寸。
另一個(gè)實(shí)施例可防止彎曲梁的中心點(diǎn)因?qū)υO(shè)計(jì)進(jìn)行修改或移動(dòng)零件而移動(dòng)，使得一旦因彎曲而移動(dòng)時(shí)最終達(dá)到所需的位置。例如，若固定在一端的500μm長的梁102(見圖4和5)需要壓縮10μm，這將使最大梁偏移點(diǎn)移動(dòng)5μm，因?yàn)樗翘幵诹旱闹醒?，而梁現(xiàn)在是490μm長而不是500μm。因此，若打算讓致動(dòng)器推到最大偏移點(diǎn)上，則它們必須置于離固定端245μm(490/2)處。
如果只用一個(gè)梁，梁102可能在變成所希望的第二狀態(tài)過程中突然移動(dòng)成S形模式(如圖10所示)，或者如果穩(wěn)定的話甚至停留在那種S形模式。圖11中的實(shí)施例通過采用兩個(gè)梁150、152避免了這種情形，這兩個(gè)梁用一個(gè)處在垂直于梁150、152位置的基本剛性的梁154在中央相連接。剛性梁154的存在提供了一個(gè)邊界條件，使得梁的中心必須是0斜率，從而防止“S形”模式的形成。
為使雙梁形狀正確地彎曲，兩個(gè)梁的彎曲應(yīng)該相同。前面的實(shí)施例是通過把兩個(gè)梁連至相同的活動(dòng)零件而做到這一點(diǎn)，因此兩個(gè)梁共用一個(gè)或兩個(gè)支座156，如圖11所示。這樣一來兩個(gè)梁150、152就無法獨(dú)立彎曲。在另一種如圖12所示的實(shí)施例中，可以采用單獨(dú)的活動(dòng)支座160、162，但移動(dòng)支座160、162的致動(dòng)器500與兩個(gè)可調(diào)節(jié)的壓縮器172相連接。因此如圖12所示，使梁彎曲的楔形塊172被剛性連在一起，所以它們被同一個(gè)致動(dòng)器500所推動(dòng)。
致動(dòng)器204的數(shù)目和位置(見圖3)還可確定梁是否通過一次彎曲模式或通過較高次彎曲模式來轉(zhuǎn)換狀態(tài)。在單梁102轉(zhuǎn)換的情況下，如果各個(gè)力是加在背離梁102中心的方向而且是同時(shí)加上的，則不容易形成S形模式。如果一個(gè)致動(dòng)器先于另一個(gè)致動(dòng)器被觸發(fā)，則有利于S-形模式的形成，這樣易于減小轉(zhuǎn)換狀態(tài)所需的總合力。
在采用穩(wěn)定梁的應(yīng)用中，應(yīng)考慮到系統(tǒng)的要求來確定單梁還是雙梁結(jié)構(gòu)最有利。即使在一種應(yīng)用內(nèi)(如平面波導(dǎo)光學(xué)開關(guān))，最佳的結(jié)構(gòu)也與設(shè)計(jì)有關(guān)，而且通常要采取折衷的辦法。例如，一個(gè)帶活動(dòng)波導(dǎo)平臺和與單個(gè)雙穩(wěn)定梁的一邊相連的致動(dòng)器(見圖5)的平面波導(dǎo)開關(guān)，其設(shè)計(jì)容易將固定波導(dǎo)連至活動(dòng)平臺，梁的壓縮機(jī)構(gòu)也比較簡單。
雖然以上說明是結(jié)合各種典型實(shí)施例進(jìn)行的，但本專業(yè)技術(shù)人員顯然知道，可以作許多替換、修改和改變。因而，本申請將包括依據(jù)其思路和范疇的所有此類替換、修改和改變。
權(quán)利要求
1.一種彎曲梁式開關(guān)，包括梁；一些處在該梁相反側(cè)的致動(dòng)器；和與該梁端部接觸的楔形塊，它被用來將梁壓縮成一種彎曲狀態(tài)。
2.一種彎曲梁式開關(guān)，包括梁；一些處在該梁相反側(cè)的致動(dòng)器；和與該梁端部接觸的可調(diào)節(jié)壓縮器，該可調(diào)節(jié)壓縮器被用來將梁壓縮成一種彎曲狀態(tài)。
3.如權(quán)利要求1和2所述的彎曲梁式開關(guān)，還包括一些處在梁的所述端部的撓性元件。
4.一種制造梁式開關(guān)的方法，包括形成處于非彎曲狀態(tài)的基本為直線的梁；壓縮該梁使它彎曲；將該梁固定在彎曲狀態(tài)；和在該梁相反側(cè)安置一些致動(dòng)器。
全文摘要
利用可調(diào)節(jié)壓縮器將處在非彎曲狀態(tài)的基本為直線的梁壓縮而使該梁彎曲。此可調(diào)節(jié)壓縮器將力加到梁的一端或兩端，并限制對梁的壓縮，使梁在第一彎曲狀態(tài)和第二彎曲狀態(tài)之間運(yùn)動(dòng)。第一彎曲狀態(tài)和第二彎曲狀態(tài)是大小基本相等而方向相反的遠(yuǎn)離非彎曲狀態(tài)的彎曲運(yùn)動(dòng)。
文檔編號B81B3/00GK1733591SQ20051009147
公開日2006年2月15日 申請日期2005年8月12日 優(yōu)先權(quán)日2004年8月13日
發(fā)明者K·A·格爾曼, P·M·古爾文, J·A·庫比 申請人:施樂公司