專(zhuān)利名稱(chēng)：電解蝕刻用的組合電極的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種電解蝕刻設(shè)備，特別是有關(guān)電解蝕刻設(shè)備的電極裝置。
背景技術(shù)：
目前，在現(xiàn)有的電解蝕刻設(shè)備中，噴電解蝕刻液的噴管一般安裝在電極旁邊，而且當(dāng)被電解蝕刻板從電極上表面上方通過(guò)時(shí)，被電解蝕刻板下表面與電極上表面之間的間隙無(wú)法保持恒定，使得電解蝕刻液在板表面分布厚度不均，影響導(dǎo)電效果，加工后的被電解蝕刻板上圖案蝕刻深度不均勻，產(chǎn)品質(zhì)量不高。
發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于提供一種能保持被電解蝕刻板下表面與電極上表面之間的間隙恒定、導(dǎo)電效果好的電解蝕刻用的組合電極。為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是，一種電解蝕刻用的組合電極，包括電極本體，所述電極本體上具有若干個(gè)出液通道，出液通道的出口設(shè)在電極本體的上表面，所述電極本體的頂部裝有帶出液槽的支撐板，電極本體上的出液通道與支撐板的出液槽相通。所述電極本體內(nèi)有本體進(jìn)液通道，本體進(jìn)液通道與出液通道連通，電極本體側(cè)面開(kāi)有通往本體進(jìn)液通道的進(jìn)液口。所述電極本體內(nèi)有本體進(jìn)液通道，本體進(jìn)液通道與出液通道連通，所述電極本體的底部連接有通往本體進(jìn)液通道的進(jìn)液管。所述電極本體下部裝有電極架，電極架內(nèi)具有電極架進(jìn)液通道，電極架進(jìn)液通道與電極本體的出液通道連通。采用上述技術(shù)方案后，由于電極本體的頂部裝有帶出液槽的支撐板，電極本體上的出液通道與支撐板的出液槽相通，因此在使用時(shí)，支撐板與被電解蝕刻板(工件)的下表面接觸，以使電極本體上表面與被電解蝕刻板的下表面之間保持恒定的距離；還由于電極本體上具有若干個(gè)出液通道，出液通道的出口設(shè)在電極本體的上表面，因此出液通道噴出的電解蝕刻液能夠到達(dá)被電解蝕刻板的下表面，使電解蝕刻液分布在上述恒定的距離中，電極與被電解蝕刻板通過(guò)電解蝕刻液而導(dǎo)電，導(dǎo)電效果好，蝕刻深度均勻，產(chǎn)品質(zhì)量高；同時(shí)，本實(shí)用新型還具有整體結(jié)構(gòu)緊湊、便于組裝的特點(diǎn)。

圖I是本實(shí)用新型的電解蝕刻用的組合電極第一個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)正視示意圖；圖2是圖I的俯視圖；圖3是圖I的左視圖；圖4是圖I沿A— A線(xiàn)的剖視圖；圖5是圖2沿B — B線(xiàn)的剖視圖；[0014]圖6是本實(shí)用新型第二個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)正視示意圖；圖7是圖6沿C — C線(xiàn)的剖視圖；圖8是本實(shí)用新型第三個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)正視示意圖；圖9是圖8的左視圖；圖10是圖8沿D — D線(xiàn)的剖視圖；圖11是圖9沿E — E線(xiàn)的剖視圖； 圖12是本實(shí)用新型第四個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖給出的實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)地說(shuō)明。如圖I飛所示，本實(shí)用新型的第一個(gè)實(shí)施例，一種電解蝕刻用的組合電極，包括電極本體1，所述電極本體I上具有若干個(gè)出液通道1-2，出液通道1-2的出口設(shè)在電極本體I的上表面,所述電極本體I的頂部裝有帶出液槽7-1的支撐板7，電極本體I上的出液通道1-2與支撐板7的出液槽7-1相通。如圖3、4、5所示,所述電極本體I內(nèi)有本體進(jìn)液通道1-1，本體進(jìn)液通道1_1與出液通道1-2連通，電極本體I側(cè)面開(kāi)有通往本體進(jìn)液通道1-1的進(jìn)液口 1-1-1。如圖6、7所示，在本實(shí)用新型的第二個(gè)實(shí)施例中，電極本體I內(nèi)有本體進(jìn)液通道1-1，本體進(jìn)液通道1-1與出液通道1-2連通，所述電極本體I的底部連接有通往本體進(jìn)液通道1-1的進(jìn)液管5。其余結(jié)構(gòu)與上述第一個(gè)實(shí)施例相同。如圖8 11所示，本實(shí)用新型的第三個(gè)實(shí)施例，一種電解蝕刻用的組合電極，包括電極本體1，所述電極本體I上具有若干個(gè)出液通道1-2，出液通道1-2的出口設(shè)在電極本體I的上表面,所述電極本體I的頂部裝有帶出液槽7-1的支撐板7，電極本體I上的出液通道1-2與支撐板7的出液槽7-1相通。如圖8 11所示，所述電極本體I下部裝有電極架4，電極架4內(nèi)具有電極架進(jìn)液通道4-1,電極架進(jìn)液通道4-1與電極本體I的出液通道1-2連通。如圖9、11所示，所述電極架4側(cè)面開(kāi)有通往電極架進(jìn)液通道4-1的電極架進(jìn)液口4-1-1。如圖12所示，在本實(shí)用新型的第四個(gè)實(shí)施例中，電極架4的底部連接有通往電極架進(jìn)液通道4-1的進(jìn)液管5。其余結(jié)構(gòu)與上述第三個(gè)實(shí)施例相同。
權(quán)利要求1.一種電解蝕刻用的組合電極，包括電極本體(1)，其特征在于 a、所述電極本體(I)上具有若干個(gè)出液通道(1-2)，出液通道(1-2 )的出口設(shè)在電極本體(I)的上表面， b、所述電極本體(I)的頂部裝有帶出液槽(7-1)的支撐板(7)，電極本體(I)上的出液通道(1-2)與支撐板(7)的出液槽(7-1)相通。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的電解蝕刻用的組合電極，其特征在于所述電極本體(I)內(nèi)有本體進(jìn)液通道(1-1 )，本體進(jìn)液通道(1-1)與出液通道(1-2)連通，電極本體(I)側(cè)面開(kāi)有通往本體進(jìn)液通道(1-1)的進(jìn)液口(1-1-1)。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的電解蝕刻用的組合電極，其特征在于所述電極本體(I)內(nèi)有本體進(jìn)液通道(1-1)，本體進(jìn)液通道(1-1)與出液通道(1-2)連通，所述電極本體(I)的底部連接有通往本體進(jìn)液通道(1-1)的進(jìn)液管(5)。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的電解蝕刻用的組合電極，其特征在于所述電極本體(I)下部裝有電極架(4),電極架(4)內(nèi)具有電極架進(jìn)液通道(4-1),電極架進(jìn)液通道(4-1)與電極本體(I)的出液通道(1-2)連通。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種電解蝕刻用的組合電極，包括電極本體，所述電極本體上具有若干個(gè)出液通道，出液通道的出口設(shè)在電極本體的上表面，所述電極本體的頂部裝有帶出液槽的支撐板，電極本體上的出液通道與支撐板的出液槽相通。本實(shí)用新型能保持被電解蝕刻板下表面與電極上表面之間的間隙恒定、導(dǎo)電效果好。
文檔編號(hào)C25F7/00GK202595322SQ201220189760
公開(kāi)日2012年12月12日 申請(qǐng)日期2012年4月29日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月29日
發(fā)明者周丁政 申請(qǐng)人:常州正成機(jī)電科技有限公司