一種用于電沉積的陰極移動裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種陰極移動裝置，特別是一種用于電沉積的陰極移動裝置，屬于電沉積設(shè)備領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]電沉積時，鍍層厚度分布的均勻性是關(guān)鍵指標(biāo)。工業(yè)中一般采用陰極移動的方式在沉積層表面獲得均勻的流場分布和電流密度分布，從而獲得厚度均勻的鍍層。
[0003]專利號為200710134845.X和201210435459.5的發(fā)明專利分別公布了一種實現(xiàn)陰極上下移動和水平往復(fù)移動的裝置。然而陰極只能在一個方向上作直線移動，不能實現(xiàn)陰極周向移動。所以可能極難實現(xiàn)沉積層表面各部位流場分布和電流密度分布相對均勻。因此，有必要提出一種陰極移動裝置，可以最大限度地解決沉積層表面流場和電流密度分布不均的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]為了克服上述技術(shù)的不足，本實用新型提出了一種由平行四邊形連桿和頂桿組成的、能實現(xiàn)陰極作周向等距運動的、結(jié)構(gòu)簡單且成本低的陰極移動裝置。
[0005]為達到上述目的，本實用新型采用的技術(shù)方案是:一種用于電沉積的陰極移動裝置，包括電沉積槽(6 )、陰極(8 )和陰極移動機構(gòu)；所述的陰極移動機構(gòu)包括動力梁(I)、擺桿(2)、(4)、頂桿(5)、(7)和陰極懸掛梁(3);所述的陰極(8)固定于陰極懸掛梁(3)上；所述的擺桿(2)、(4)的一端分別與陰極懸掛梁(3)活動鉸接；所述的擺桿(2)、(4)的另一端分別與動力梁(I)活動鉸接于B、C處；所述的動力梁(I)置于電沉積槽(6)上方且可以作水平直線往復(fù)振動；所述的頂桿(5)、(7)的一端呈球狀，另一端固定于電沉積槽(6)側(cè)壁上。
[0006]所述的動力梁(I)、擺桿(2)、(4)、頂桿(5)、(7)和陰極懸掛梁(3)在同一豎直平面內(nèi)。
[0007]所述的鉸接點B、C位于同一水平線上。
[0008]所述的鉸接點B、C的間距和陰極懸掛梁的長度相等，擺桿(2)、(4)的長度相等。
[0009]所述的頂桿(5)、(7)的球狀幾何中心在同一水平面內(nèi)，且相對于電沉積槽(6)底板的距離可調(diào)。
[0010]本實用新型的優(yōu)點是:能在沉積層表面獲得相對均勻的流場分布和電流密度分布。
【附圖說明】
[0011]圖1是一種用于電沉積的陰極移動裝置示意圖。
[0012]圖中:1、動力梁；2、擺桿；3、陰極懸掛梁；4、擺桿；5、頂桿；6、電沉積槽；7、頂桿；8、陰極。
【具體實施方式】
[0013]下面結(jié)合附圖1對本實用新型的實施作進一步描述。
[0014]如圖1所不,一種用于電沉積的陰極移動裝置，包括電沉積槽6、陰極8和陰極移動機構(gòu)；陰極移動機構(gòu)包括動力梁1、擺桿2、4、、頂桿5、7和陰極懸掛梁3 ;陰極8固定于陰極懸掛梁3上；擺桿2、4的一端分別與陰極懸掛梁3活動鉸接；擺桿2、4的另一端分別與動力梁I活動鉸接于B、C處；動力梁I置于電沉積槽6上方且可以作水平直線往復(fù)振動；頂桿5、7的一端呈球狀,另一端固定于電沉積槽6側(cè)壁上。
[0015]動力梁1、擺桿2、4、、頂桿5、7和陰極懸掛梁3在同一豎直平面內(nèi)。
[0016]鉸接點B、C位于同一水平線上。
[0017]鉸接點B、C的間距和陰極懸掛梁的長度相等，擺桿2、4的長度相等。
[0018]頂桿5、7的球狀幾何中心在同一水平面內(nèi)，且相對于電沉積槽6底板的距離可調(diào)。
[0019]本實用新型工作時，動力梁I在外力作用下向左作水平直線運動并帶動與之相連接的擺桿2向左運動，從而帶動陰極懸掛梁3和固定于陰極懸掛梁3上的陰極8向左運動；當(dāng)擺桿2觸碰到頂桿7時，擺桿2運動受阻；此時動力梁I繼續(xù)向左運動，擺桿2在動力梁I的拉力作用下以頂桿7為支點沿逆時針方向擺動，繼而推動陰極懸掛梁3向右和向上運動，從而帶動固定于陰極懸掛梁3上的陰極8向右和向上運動；當(dāng)動力梁I在外力作用下返回向右運動時，擺桿2以頂桿7為支點沿順時針方向擺動，繼而推動陰極懸掛梁3向左和向下運動，從而帶動固定于陰極懸掛梁3上的陰極8向左和向下運動；當(dāng)動力梁I繼續(xù)向右運動時，陰極移動裝置重復(fù)上述動作。如此這般，陰極懸掛梁3在擺桿2、4的作用下作周向運動，從而帶動陰極8作周向運動。通過優(yōu)化頂桿5、7球狀幾何中心相對于電沉積槽6底板的距離以及擺桿2、4、連桿3和動力梁I組成的平行四邊形的邊長關(guān)系，可以實現(xiàn)陰極8在豎直平面內(nèi)作等幅周向運動。
【主權(quán)項】
1.一種用于電沉積的陰極移動裝置，包括電沉積槽(6)、陰極(8)和陰極移動機構(gòu),其特征在于:所述的陰極移動機構(gòu)包括動力梁(I)、擺桿(2、4)、頂桿(5、7)和陰極懸掛梁(3);所述的陰極(8)固定于陰極懸掛梁(3)上；所述的擺桿(2、4)的一端分別與陰極懸掛梁(3)活動鉸接；所述的擺桿(2、4)的另一端分別與動力梁(I)活動鉸接于B、C處；所述的動力梁(I)置于電沉積槽(6)上方且可以作水平直線往復(fù)振動；所述的頂桿(5、7)的一端呈球狀，另一端固定于電沉積槽(6)側(cè)壁上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于電沉積的陰極移動裝置，其特征在于:所述的動力梁(I)、擺桿(2、4)、頂桿(5、7)和陰極懸掛梁(3)在同一豎直平面內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于電沉積的陰極移動裝置，其特征在于:所述的鉸接點B、C位于同一水平線上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的一種用于電沉積的陰極移動裝置，其特征在于:所述的鉸接點B、C的間距和陰極懸掛梁的長度相等，擺桿(2、4)的長度相等。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于電沉積的陰極移動裝置，其特征在于:所述的頂桿(5),(7)的球狀幾何中心在同一水平面內(nèi)，且相對于電沉積槽(6)底板的距離可調(diào)。
【專利摘要】本實用新型公開了一種用于電沉積的陰極移動裝置，包括電沉積槽、陰極和陰極移動機構(gòu)；所述的陰極移動機構(gòu)包括動力梁、擺桿、陰極懸掛梁和頂桿。陰極移動裝置工作時，動力梁在外力作用下作水平直線運動，動力梁帶動擺桿運動，從而帶動陰極懸掛梁和固定于陰極懸掛梁上的陰極作水平直線運動；當(dāng)擺桿觸碰到頂桿時，擺桿運動受阻并以頂桿為支點發(fā)生擺動，從而帶動陰極懸掛梁和陰極在豎直平面內(nèi)作周向運動。此裝置提高了陰極表面流場分布和電流密度分布的均勻性，極大地改善了沉積層厚度分布均勻性，且結(jié)構(gòu)簡單、成本低廉。
【IPC分類】C25D21-10
【公開號】CN204342912
【申請?zhí)枴緾N201420795026
【發(fā)明人】明平美, 張曉東, 畢向陽, 周維海, 陳競濤, 楊文娟
【申請人】河南理工大學(xué)
【公開日】2015年5月20日
【申請日】2014年12月17日