專利名稱：旋轉(zhuǎn)式干式真空泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及旋轉(zhuǎn)式干式真空泵，具有反應(yīng)生成氣體難以流入半導(dǎo)體制造裝置那樣流過反應(yīng)生成氣體的裝置所使用的、旋轉(zhuǎn)式干式真空泵的動力部即封閉式馬達內(nèi)的構(gòu)造。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造工序中，成為問題的是在反應(yīng)腔內(nèi)混入油等雜質(zhì)而污染半導(dǎo)體。特別是來自用于排出反應(yīng)腔內(nèi)的氣體的真空泵的油的混入成為問題。因此，一直以來采用旋轉(zhuǎn)式干式真空泵。作為旋轉(zhuǎn)式干式真空泵，有螺旋式、羅茨式、渦旋式等。但是，這樣的旋轉(zhuǎn)式干式真空泵具有用于使轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸，為了支承該旋轉(zhuǎn)軸而使用軸承。在該軸承上通常附著有潤滑油，為了防止該潤滑油的油分子進入旋轉(zhuǎn)式干式真空泵的排氣室中，在排氣室和軸承部之間配置有軸密封件。但是，在該軸密封件磨損的情況下，會有穿過軸密封件從旋轉(zhuǎn)式干式真空泵的排氣室漏到反應(yīng)腔內(nèi)的情況。這是因為，用于使轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)的馬達處于大氣中，馬達側(cè)和真空的排氣室側(cè)的壓力差較大。因此，在軸密封件因磨損等而產(chǎn)生間隙的情況下，大氣會漏入排氣室內(nèi)，也成為降低泵的性能的主要原因。所以，在具有旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部的旋轉(zhuǎn)式干式真空泵中，采用能夠使馬達內(nèi)也成為與排氣室大體相同的壓力的封閉式馬達。封閉式馬達的構(gòu)造如下具備在定子鐵芯中生成旋轉(zhuǎn)磁場的定子繞線，用框架、側(cè)板、以及安裝在定子內(nèi)徑側(cè)的金屬制薄壁圓筒隔壁(腔)來密封隔壁內(nèi)，并且在由托架上固定的軸承支承的旋轉(zhuǎn)軸上安裝有轉(zhuǎn)子并旋轉(zhuǎn)自如(專利文獻1)。
專利文獻1日本特開2003-189529號公報但是，在流過反應(yīng)生成氣體的半導(dǎo)體制造裝置用旋轉(zhuǎn)式干式真空泵的驅(qū)動部中使用封閉式馬達的情況下，收納有轉(zhuǎn)子的隔壁的內(nèi)部在運轉(zhuǎn)時成為真空。因而，在停止馬達回到大氣壓時，反應(yīng)生成氣體從排氣室混入到馬達內(nèi)部，在封閉式馬達的隔壁內(nèi)的結(jié)構(gòu)部件上附著反應(yīng)生成物，由此使馬達發(fā)生故障的問題。此外，這時在軸承或軸密封件上也附著了反應(yīng)生成物的情況下，也成為泵自身的故障的原因。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決這個問題，在本發(fā)明中，根據(jù)技術(shù)方案1，一種旋轉(zhuǎn)式干式真空泵，具有旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子，該旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子包括收納在機殼內(nèi)的單個或多個轉(zhuǎn)子、對這些轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)軸進行支承的軸承、形成在上述機殼上的流體的吸氣口及排出口、和對上述單個或多個轉(zhuǎn)子中的至少一個進行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的馬達；其具有如下結(jié)構(gòu)上述馬達具備定子鐵芯，在上述機殼上固接在定子內(nèi)徑側(cè)安裝的隔壁來密封隔壁內(nèi)，在隔壁內(nèi)旋轉(zhuǎn)自如地配置有旋轉(zhuǎn)件，上述多個轉(zhuǎn)子中的至少一個轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)軸與旋轉(zhuǎn)件的旋轉(zhuǎn)軸固接來旋轉(zhuǎn)驅(qū)動轉(zhuǎn)子，設(shè)有用于使凈化氣體流入到上述隔壁內(nèi)的氣體注入口。如果凈化氣體的注入口形成在馬達的上述凸緣上，則加工較為容易。此外，作為隔壁，能夠?qū)⒋判泽w的金屬作為材質(zhì)。此外，該凈化氣體也可以流入旋轉(zhuǎn)自如地支承轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)軸的軸承中。
在技術(shù)方案2的發(fā)明中，上述馬達的旋轉(zhuǎn)軸和上述轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)軸一體形成。作為組裝例，在將該轉(zhuǎn)子固定在構(gòu)成機殼的凸緣上以后，用預(yù)定的機構(gòu)在該轉(zhuǎn)子的端部將馬達的旋轉(zhuǎn)件固定在旋轉(zhuǎn)軸上，在該端部將構(gòu)成隔壁的筒狀部件固定在上述凸緣上，進而由構(gòu)成隔壁的凸緣形成蓋來密封隔壁內(nèi)。另外，在需要密封的部分配置O環(huán)。
根據(jù)技術(shù)方案3，將上述馬達配置在吸氣口側(cè)。此時，為了減少潤滑油從配置在排氣室和馬達之間的軸承泄漏到馬達內(nèi)的量，也可以不使用潤滑油而使用潤滑脂。此外，通過采用將旋轉(zhuǎn)式干式真空泵縱向配置、該軸承和馬達來到上部的配置，進一步提高效果。此外，具有多個旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)式干式真空泵縱向配置，在下方的排出口側(cè)配置用于取得同步的需要潤滑的定時齒輪，在吸氣側(cè)配置馬達，由此防止由潤滑油造成的排氣室的污染。
根據(jù)技術(shù)方案4，在向上述凈化氣體注入口輸送凈化氣體用的管道中設(shè)有流量調(diào)整機構(gòu)。作為流量調(diào)整機構(gòu)，在凈化氣體流路中經(jīng)由預(yù)定大小的凈化氣體流通孔對凈化氣體的流量進行節(jié)流的機構(gòu)，根據(jù)需要有手動閥，并且在N2供給側(cè)設(shè)置電磁閥。在泵停止時或者在其前后以及運轉(zhuǎn)中氣體流量變化、特別是增加，從而排氣室內(nèi)的壓力變得比馬達的隔壁內(nèi)的壓力高時，打開電磁閥，流過由閥調(diào)整后的流量作為凈化氣體，由此防止工藝氣體(process gas)進入軸承部、馬達部。
另外，如果決定了流量，則可以在管道內(nèi)設(shè)置流過相同量的氣體量的節(jié)流孔來取代閥而去掉調(diào)整閥。
此外，在調(diào)整氣體的流入量的情況下，可以用打開電磁閥的時間來調(diào)整、或使用具有流量調(diào)整功能的電磁閥。
根據(jù)技術(shù)方案5的發(fā)明，設(shè)有用于測量上述隔壁內(nèi)的壓力的壓力測量儀器或/以及用于測量上述排氣室內(nèi)的壓力的壓力測量儀器。也可以取得該2個壓力值的差，用電磁閥調(diào)整流量，使得上述隔壁內(nèi)的壓力與上述排氣室內(nèi)的壓力相同或比它大。此外，只通過一邊的壓力也能夠調(diào)整凈化氣體的流入量、流量。作為壓力測量器有薄膜半導(dǎo)體檢測器等。此外，也可以測量由真空泵排氣的半導(dǎo)體制造裝置等的腔內(nèi)的壓力來調(diào)整凈化氣體的流入量、流量。也可以只通過腔內(nèi)壓力的變化來調(diào)整氣體的流入量、流量，但是也可以根據(jù)上述隔壁內(nèi)的壓力來調(diào)整。
根據(jù)技術(shù)方案6的發(fā)明，設(shè)有用于測量馬達的旋轉(zhuǎn)件或轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)速的測量機構(gòu)。作為轉(zhuǎn)速測量機構(gòu)，通過在馬達的旋轉(zhuǎn)件上安裝編碼器、在特定的位置檢測旋轉(zhuǎn)件的永久磁鐵的磁性等來檢測轉(zhuǎn)速。通過該轉(zhuǎn)速來調(diào)整凈化氣體的流入量、流量。例如在轉(zhuǎn)速減小的情況下，能夠進行流過凈化氣體的控制、或通過轉(zhuǎn)速的增減率來調(diào)整氣體的流入量、流量。
根據(jù)技術(shù)方案7的發(fā)明，設(shè)有用于測量馬達的消耗功率的機構(gòu)。通過該消耗功率調(diào)整氣體的流量。例如，由于運轉(zhuǎn)中吸入氣體量的增加而引起消耗動力變動的情況下，能夠進行流過凈化氣體的控制、或在停止時根據(jù)消耗動力的變化量來調(diào)整凈化氣體的流入量、流量。
根據(jù)技術(shù)方案8的發(fā)明，在吸氣口或排氣口附近設(shè)有反應(yīng)生成氣體流量計。根據(jù)該反應(yīng)生成氣體的流量的變化來調(diào)整凈化氣體的流量。例如在反應(yīng)生成氣體的流量增加的情況下，進行增加凈化氣體的流量等的控制。此外，也可以根據(jù)在上述腔內(nèi)流過的氣體的流量來調(diào)整凈化氣體的流量。
發(fā)明效果根據(jù)技術(shù)方案1的發(fā)明，一種旋轉(zhuǎn)式干式真空泵，具有旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子，該旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子包括收納在機殼內(nèi)的單個或多個轉(zhuǎn)子、對這些轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)軸進行支承的軸承、在上述機殼上形成的流體的吸氣口及排出口、和對上述單個或多個轉(zhuǎn)子中的至少一個進行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的馬達；其具有如下結(jié)構(gòu)上述馬達具備固定在馬達的機殼內(nèi)部的定子鐵芯，在上述機殼上固接在定子內(nèi)徑側(cè)安裝的隔壁來密封隔壁內(nèi)，在隔壁內(nèi)的旋轉(zhuǎn)軸上固接有旋轉(zhuǎn)件并旋轉(zhuǎn)自如；通過設(shè)置用于使凈化氣體流入上述隔壁內(nèi)的注入口，能夠流入凈化氣體而反應(yīng)生成氣體不從真空排氣室流入隔壁內(nèi)，以免發(fā)生如下的故障在泵停止時真空排氣室及隔壁內(nèi)回到大氣壓之際，真空排氣室內(nèi)的反應(yīng)生成氣體從排氣室泄漏到隔壁內(nèi)，從而在轉(zhuǎn)子等的馬達構(gòu)成部件上積存生成物、馬達不工作。此外，通過對于軸承也同樣地流過凈化氣體，對于軸承也能夠防止反應(yīng)生成物附著而發(fā)生故障。
根據(jù)技術(shù)方案2的發(fā)明，通過做成將上述馬達的旋轉(zhuǎn)軸和上述轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)軸一體形成的結(jié)構(gòu)，不需要2個旋轉(zhuǎn)軸的接合部件，進而不需要2個旋轉(zhuǎn)軸的軸配合。
根據(jù)技術(shù)方案3的發(fā)明，做成將上述馬達配置在吸氣口側(cè)的結(jié)構(gòu)，由此，通常為了防止排氣室被油污染而需要潤滑油的部分配置在排出口側(cè)。由此，通過在很少使用潤滑油的吸氣口側(cè)配置上述馬達，能夠?qū)櫥瓦M入隔壁內(nèi)的情況抑制在最小限度。
根據(jù)技術(shù)方案4的發(fā)明，在向上述凈化氣體注入口輸送氣體用的管道中設(shè)置了流量調(diào)整機構(gòu)。通過做成這樣的結(jié)構(gòu)，能夠流過在停止過程中工藝氣體不進入隔壁內(nèi)所需的最小量的凈化氣體，能夠抑制浪費的N2的使用、將附著在軸承部的潤滑材料向排氣室的擴散抑制在最小限度。
根據(jù)技術(shù)方案5的發(fā)明，設(shè)置了用于測量上述隔壁內(nèi)的壓力的壓力測量儀器或/及用于測量上述排氣室內(nèi)的壓力的壓力測量儀器。通過做成這樣的結(jié)構(gòu)，能夠用電磁閥等控制凈化氣體的流量，以便隔壁內(nèi)的壓力變得比排氣室內(nèi)的壓力稍高。
根據(jù)技術(shù)方案6的發(fā)明，設(shè)置了用于測量上述馬達的旋轉(zhuǎn)件或轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)速的測量機構(gòu)，由此能夠進行只流過所需的凈化氣體的控制，不會有氣體的浪費或凈化氣體泄漏到排氣室、使排氣能力惡化的情況。
根據(jù)技術(shù)方案7的發(fā)明，設(shè)置了用于測量上述馬達的消耗功率的機構(gòu)，由此能夠進行只流過所需的凈化氣體的控制，不會有氣體的浪費或凈化氣體泄漏到排氣室、使排氣能力惡化的情況。
根據(jù)技術(shù)方案8的發(fā)明，通過在吸氣口或排氣口附近設(shè)置氣體流量計，能夠進行只流過所需的凈化氣體的控制，不會有氣體的浪費或凈化氣體泄漏到排氣室內(nèi)、使排氣能力惡化的情況。


圖1是本發(fā)明的螺旋式真空泵的軸向剖視圖。
標號說明200真空泵202、204螺旋轉(zhuǎn)子
210機殼210b轉(zhuǎn)子收納室231、233、234、236軸承251、253定時齒輪237、238、239、240軸密封件241封閉式馬達261定子鐵芯263旋轉(zhuǎn)軸部265旋轉(zhuǎn)件267凸緣269注入孔271流通路具體實施方式
圖1表示螺旋式真空泵作為本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)式干式真空泵的實施例。
真空泵200具備2個螺旋轉(zhuǎn)子202及204。
螺旋轉(zhuǎn)子202及204收納在機殼210的內(nèi)部。詳細地講，螺旋轉(zhuǎn)子202由軸承231及233可旋轉(zhuǎn)地支承在機殼210中，螺旋轉(zhuǎn)子204由軸承234及236可旋轉(zhuǎn)地支承在機殼210中。此外，如圖所示那樣配置有定時齒輪251及253、馬達241、以及密封件237、238、239和240。這里，密封件237及238隔離軸承231及233與轉(zhuǎn)子收納室210b，防止軸承231及233的潤滑油泄漏到螺旋轉(zhuǎn)子收納室210b，并且防止異物從螺旋轉(zhuǎn)子收納室210b侵入軸承231及233中。同樣，密封件239及240隔離軸承234及236與轉(zhuǎn)子收納室210b，防止軸承234及236的潤滑油泄漏到螺旋轉(zhuǎn)子收納室210b中，并且防止異物從螺旋轉(zhuǎn)子收納室210b侵入軸承234及236中。另外，作為密封件237、238、239和240，有接觸式密封件、磁性流體密封件及迷宮式密封圈那樣的非接觸密封等。
此外，隨著螺旋轉(zhuǎn)子204的旋轉(zhuǎn)使螺旋轉(zhuǎn)子202旋轉(zhuǎn)的定時齒輪251及253分別以相互嚙合的方式固定在螺旋轉(zhuǎn)子202以及螺旋轉(zhuǎn)子204的一端部。進而，在螺旋轉(zhuǎn)子202的另一端部一體地連結(jié)有馬達241。
此外，螺旋轉(zhuǎn)子收納室210b形成在機殼210的壁部，通過用于從機殼210的外部向機殼210的內(nèi)部吸入壓縮性流體的吸氣口(未圖示)與機殼210的外部連通，螺旋轉(zhuǎn)子收納室210b形成在機殼210的壁部，通過用于從機殼210的內(nèi)部向機殼210的外部排出壓縮性流體的排出口(未圖示)與機殼210的外部連通。這里，吸氣口與未圖示的被真空容器連通，排出口與未圖示的排氣氣體處理裝置連通。
另外，機殼210由第一機殼部件211、第二機殼部件212、第三機殼部件213、第四機殼部件214、以及第五機殼部件215形成。這里，第一機殼部件211構(gòu)成吸氣側(cè)凸緣并且兼作封閉式馬達241的機殼。第二機殼部件212、第三機殼部件213、以及第四機殼部件214構(gòu)成機殼主體，由第二機殼部件212、第三機殼部件213、以及第四機殼部件214構(gòu)成真空排氣室。在第二機殼部件212中固定有軸承231、234、以及軸密封件237、239。此外，在第四機殼部件214中固定有軸承233、236、以及軸密封件238、240。
接著，說明有關(guān)本實施例的真空泵200的驅(qū)動部即封閉式馬達241的結(jié)構(gòu)。封閉式馬達241具備在定子鐵芯261中生成旋轉(zhuǎn)磁場的定子繞線。在定子內(nèi)徑側(cè)，在與轉(zhuǎn)子202構(gòu)成一體的封閉式馬達241的旋轉(zhuǎn)軸部263上固接有旋轉(zhuǎn)件265。在上述定子鐵芯261和旋轉(zhuǎn)件265之間隔有隔壁(腔)281，隔壁281密接固定在第二機殼部件212上。在該隔壁281上密接固定有封閉式馬達241的凸緣267，旋轉(zhuǎn)件265密閉于外界氣體中。在該凸緣267上開設(shè)有注入孔269，該注入孔269用于在由用O環(huán)等(未圖示)密閉的隔壁281、機殼第二部件212、以及凸緣267密封的封閉式馬達241的內(nèi)部流過凈化氣體(例如氮氣或氬氣)。在該注入孔269中安裝有用于導(dǎo)引凈化氣體的流通路271，在該流通路271中安裝有用于調(diào)整凈化氣體的流量的流量調(diào)整機構(gòu)(例如手動閥、節(jié)流孔等)273、以及電磁閥275。
接著，說明有關(guān)本實施方式的真空泵200的作用。
首先，當封閉式馬達241使螺旋轉(zhuǎn)子202旋轉(zhuǎn)時，定時齒輪253及251分別以相互嚙合的方式固定在螺旋轉(zhuǎn)子204及螺旋轉(zhuǎn)子202的一端部，所以螺旋轉(zhuǎn)子204隨著螺旋轉(zhuǎn)子202的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)。通過螺旋轉(zhuǎn)子202及螺旋轉(zhuǎn)子204旋轉(zhuǎn)，螺旋轉(zhuǎn)子收納室210b內(nèi)的壓縮性流體從吸氣口側(cè)傳送到連通路210c側(cè)，經(jīng)由連通路210c排出。此外，當螺旋轉(zhuǎn)子收納室210b內(nèi)的壓縮性流體經(jīng)由連通路210c向螺旋轉(zhuǎn)子收納室210b外排出時，新的壓縮性流體經(jīng)由吸氣口從被真空容器吸入螺旋轉(zhuǎn)子收納室210b中。
此時，由機殼第一部件211、機殼第二部件212、以及凸緣267密封的封閉式馬達241的內(nèi)部成為真空。
因而，當停止真空泵時，排氣室210c內(nèi)的壓力上升，排氣室210c內(nèi)的氣體倒流到壓力較低的、由機殼第一部件211、機殼第二部件212、以及凸緣267密封的封閉式馬達241的內(nèi)部。在該排氣室內(nèi)的氣體為腐蝕性氣體或反應(yīng)生成氣體的情況下，成為由于腐蝕旋轉(zhuǎn)件265和旋轉(zhuǎn)軸263、生成物附著而使封閉式馬達故障的原因。因而，在流過腐蝕性氣體或反應(yīng)生成氣體的情況下，流過凈化氣體，使得由機殼第一部件211、機殼第二部件212、以及凸緣267密封的封閉式馬達241的內(nèi)部的壓力變得比排氣室210c內(nèi)的壓力高。因而，當設(shè)封閉式馬達內(nèi)部的壓力為P1、設(shè)離封閉式馬達241最近的排氣室210c內(nèi)的壓力為P2時，凈化氣體的流量設(shè)為泵停止后P1≥P2那樣的流量即可。作為工作順序，在泵停止時或者在其前后，打開電磁閥，將由閥(手動閥、或電磁閥、或者節(jié)流孔)調(diào)整后的流量L作為凈化氣體流過，由此防止工藝氣體向軸承部、馬達部的進入。如果預(yù)先測量P1成為大氣壓為止的時間T，則可以只在時間T的期間打開電磁閥流過流量L。
因而，能夠流過所需的最小限度的凈化氣體，能夠抑制浪費的凈化氣體的使用，能夠?qū)⒏街谳S承部的潤滑材料向排氣室的擴散限制在最小限度。
此外，還有如下方法用壓力計P1測量由機殼第一部件211、機殼第二部件212、以及凸緣267密封的封閉式馬達241的內(nèi)部的壓力，用壓力計P2測量排氣室210c內(nèi)的壓力，由電磁閥控制流量以使該壓力的差成為P1≥P2(用能夠自由地控制流量的電磁閥來取代“閥+電磁閥”)。流量的控制可以不只在停止時，在運轉(zhuǎn)中也稍稍持續(xù)流過凈化氣體以使P1≥P2，進而，即使在運轉(zhuǎn)中，反應(yīng)生成氣體的流量變化的情況還有排氣室內(nèi)的壓力變化的情況，所以控制凈化氣體的流量以使P1≥P2。
此外，排氣室內(nèi)的壓力也能夠取代使用該真空泵的半導(dǎo)體制造裝置腔內(nèi)的壓力。
在本實施例中，通過2個壓力的比較來控制凈化氣體的流量，但是也可以通過馬達隔壁內(nèi)的壓力、排氣室內(nèi)的壓力、或腔內(nèi)的壓力中的任1個壓力來控制流量。
在本實施例中，通過測量壓力來控制凈化氣體的流量，但是，也可以通過測量馬達或轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)速、消耗功率、反應(yīng)生成氣體的流量來控制。
此外，在本實施例中，只表示了對于馬達的凈化氣體，如果在軸承上也流過該凈化氣體，則能夠防止反應(yīng)生成物附著在軸承上、旋轉(zhuǎn)式干式真空泵不工作的問題。
一般，半導(dǎo)體制造裝置害怕油的污染，但是如本實施例那樣做成縱向配置的形式，吸氣口朝上而吐氣口朝下地配置，將始終需要潤滑油的定時齒輪251及253的部分配置在下方，將不使用潤滑油而害怕潤滑油的污染的封閉式馬達241配置在吸氣側(cè)。由此，能夠盡量抑制吸氣側(cè)被油污染。此外，通過使用真空用潤滑脂作為吸氣側(cè)的軸承的潤滑材料，效果進一步提高。
另外，在本實施方式中，說明了容積傳送型的螺旋式真空泵，但是，也可以將本發(fā)明應(yīng)用在通過馬達驅(qū)動爪(claw)式、羅茨式、渦旋式等的旋轉(zhuǎn)軸的真空泵中。
此外，能夠?qū)⒍嗉壥秸婵毡?、例?級螺旋式真空泵的各泵做成本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)式干式真空泵的構(gòu)造。
壓力、氣體流量、消耗功率、轉(zhuǎn)速被變換成數(shù)據(jù)電信號，發(fā)送給信號處理裝置，根據(jù)前期數(shù)據(jù)電氣信號通過前期信號處理機構(gòu)來決定凈化氣體的流量，該決定量被變換為輸出電信號而傳遞給流量調(diào)整機構(gòu)，用電磁閥等調(diào)整凈化氣體的流量。
工業(yè)上可利用性能夠應(yīng)用于半導(dǎo)體制造裝置那樣的具有用于流過極稀薄的反應(yīng)生成氣體并進行排氣的旋轉(zhuǎn)軸和驅(qū)動該旋轉(zhuǎn)軸用的馬達的真空泵中。
權(quán)利要求
1.一種旋轉(zhuǎn)式干式真空泵，具有旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子，該旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子包括收納在機殼內(nèi)的單個或多個轉(zhuǎn)子、對這些轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)軸進行支承的軸承、形成在上述機殼上的流體的吸氣口及排出口、和對上述單個或多個轉(zhuǎn)子中的至少一個進行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的馬達；其特征在于，具有如下結(jié)構(gòu)上述馬達具備定子鐵芯，在上述機殼上固接在定子內(nèi)徑側(cè)安裝的隔壁來密封隔壁內(nèi)，在隔壁內(nèi)旋轉(zhuǎn)自如地配置有旋轉(zhuǎn)件，上述多個轉(zhuǎn)子中的至少一個轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)軸與旋轉(zhuǎn)件的旋轉(zhuǎn)軸固接來旋轉(zhuǎn)驅(qū)動轉(zhuǎn)子，設(shè)有用于使凈化氣體流入上述隔壁內(nèi)的氣體注入口。
2.如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)式干式真空泵，其特征在于，上述馬達的旋轉(zhuǎn)軸和上述轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)軸一體形成。
3.如權(quán)利要求1至2所述的旋轉(zhuǎn)式干式真空泵，其特征在于，將上述馬達配置在吸氣口側(cè)。
4.如權(quán)利要求1至3所述的旋轉(zhuǎn)式干式真空泵，其特征在于，在向上述凈化氣體注入口輸送凈化氣體用的管道中設(shè)有流量調(diào)整機構(gòu)。
5.如權(quán)利要求1至4所述的旋轉(zhuǎn)式干式真空泵，其特征在于，設(shè)有用于測量上述隔壁內(nèi)的壓力的壓力測量儀器或/及用于測量上述排氣室內(nèi)的壓力的壓力測量儀器。
6.如權(quán)利要求1至4所述的旋轉(zhuǎn)式干式真空泵，其特征在于，設(shè)有用于測量上述馬達的旋轉(zhuǎn)件或轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)速的測量機構(gòu)。
7.如權(quán)利要求1至4或6所述的旋轉(zhuǎn)式干式真空泵，其特征在于，設(shè)有用于測量上述馬達的消耗功率的機構(gòu)。
8.如權(quán)利要求1至4所述的旋轉(zhuǎn)式干式真空泵，其特征在于，在上述吸氣口或排氣口附近、或者真空腔內(nèi)設(shè)有氣體流量計。
全文摘要
在旋轉(zhuǎn)式干式真空泵中，在驅(qū)動部中使用了封閉式馬達的情況下，反應(yīng)生成氣體混入封閉式馬達內(nèi)部、馬達發(fā)生故障，因而有旋轉(zhuǎn)式干式真空泵發(fā)生故障的問題。為了解決這個問題，提供一種旋轉(zhuǎn)式干式真空泵，具有旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子，該旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子包括收納在機殼內(nèi)的單個或多個轉(zhuǎn)子、對這些轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)軸進行支承的軸承、形成在上述機殼上的流體的吸氣口及排出口、和對上述單個或多個轉(zhuǎn)子中的至少一個進行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的馬達；其具有如下結(jié)構(gòu)上述馬達具備馬達的機殼內(nèi)部固定的定子鐵芯，在上述機殼上固接在定子內(nèi)徑側(cè)安裝的隔壁來密封隔壁內(nèi)，在隔壁內(nèi)的旋轉(zhuǎn)軸上旋轉(zhuǎn)自如地固接有旋轉(zhuǎn)件，設(shè)有用于使凈化氣體流入上述隔壁內(nèi)的氣體注入口。
文檔編號F04C29/00GK1871436SQ20048003115
公開日2006年11月29日 申請日期2004年10月21日 優(yōu)先權(quán)日2003年10月21日
發(fā)明者井原大輔, 藤井理之 申請人:納博特斯克株式會社