專利名稱：分子泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種與流體相關(guān)的機(jī)械裝置，尤其是指一種真空泵，更為 具體地講，本實(shí)用新型是一種分子泵,在國際專利分類表中，本實(shí)用新型應(yīng)分為F部。 背榮技術(shù)目前,就分子泵葉片的種類而言，基本分為扭制和銑制二類。與銑制葉片相 比，在相同直徑、角度和速度的條件下，扭制葉片缺少幾何變量，而且扇形葉面 根部的強(qiáng)度較差。整體銑制葉片受加工刀具的限制也很難選擇最佳的幾何形狀， 且加工成本相當(dāng)高。此外，為保證分子泵安全運(yùn)行，泵的動(dòng)葉片要與泵內(nèi)壁有一 定的徑向間隙，與動(dòng)葉片相間交錯(cuò)排列的靜葉片的葉齒和葉齒間也有間隙，而由 此形成的軸向通道容易導(dǎo)致氣體分子返流，從而難以達(dá)到所希望的理想真空。 實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于，針對已有技術(shù)的不足,提供結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理、強(qiáng)度高 而使用壽命長的，具有提高抽速和壓縮比的，能夠抑制氣體分子軸向返流的一種分子泵。本實(shí)用新型的目的是通過下述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的所述的分子泵包括電機(jī)組件、動(dòng)葉輪組件、靜葉片、電機(jī)主軸、泵殼、 泵底盤和排氣口。主要特點(diǎn)在于所述的動(dòng)葉輪組件直聯(lián)在所述的電機(jī)主軸上。所述的動(dòng)葉輪組件由動(dòng)葉片串聯(lián)組成，并自上而下分別構(gòu)成抽氣級動(dòng)葉片 和壓縮級動(dòng)葉片。所述的動(dòng)葉片與所述的靜葉片交錯(cuò)排列。所述的靜葉片的葉齒的內(nèi)、外端均為整體環(huán)形,其外環(huán)形內(nèi)徑小于或等于 所述的動(dòng)葉片的外徑。所述的分子泵的末級葉片為靜葉片。 所述的靜葉片固定在所述的泵殼和泵底盤上。所述的抽氣級動(dòng)葉片的數(shù)量>1級；所述的壓縮級動(dòng)葉片的數(shù)量>2級。 所述的抽氣級動(dòng)葉片為楔形變截面葉齒的動(dòng)葉片；所述的壓縮級動(dòng)葉片為臺(tái)階式變截面葉齒的動(dòng)葉片，所述的臺(tái)階式變截面葉齒的厚度由外向里逐級加厚。所述的抽氣級動(dòng)葉片的數(shù)量為3級;所述的壓縮級動(dòng)葉片的數(shù)量為8級。所述的臺(tái)階式變截面葉齒的臺(tái)階處為弧面或平面。所述的臺(tái)階式變截面葉齒的臺(tái)階數(shù)量>2。所述的臺(tái)階數(shù)量等于3，由外向里其厚度分別為O.lcm、 0.2cm、 0. 3cm。 所述的壓縮級動(dòng)葉片為矩形葉齒的動(dòng)葉片。 所述的矩形葉齒的動(dòng)葉片的數(shù)量為10級。由于本實(shí)用新型采用了上述的技術(shù)方案，本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)相當(dāng)合理， 特別是有關(guān)抽氣級動(dòng)葉片和壓縮級動(dòng)葉片的設(shè)計(jì)，使其其強(qiáng)度和使用壽命大為 提高，而且提高了抽速和壓縮比。另外，由于靜葉片的葉齒的內(nèi)、外端均為整 體環(huán)形，其外環(huán)形內(nèi)徑小于或等于動(dòng)葉片的外徑，使導(dǎo)致返流的軸向通道具有 了截面，因?yàn)楣鈱W(xué)密封的作用成功地阻擋了氣體分子的軸向返流，提髙了真空 度和抽速。再者，由于所述分子泵的末級葉片為靜葉片，不僅打破了以往的成見， 而且其效果更好。


以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型進(jìn)行說明，其中附圖1為本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例的進(jìn)行了局部剖視的總裝配圖。附圖2為本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例的具有楔形變截面葉齒的動(dòng)葉片結(jié)構(gòu)示意圖。附圖3為本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例的具有臺(tái)階式變截面葉齒的動(dòng)葉片結(jié)構(gòu) 示意圖。附圖4為本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例的具有矩形葉齒的動(dòng)葉片結(jié)構(gòu)示意圖。 附圖5為本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例的靜葉片結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)一步說明，其中附圖1為本實(shí)用 新型一個(gè)實(shí)施例的進(jìn)行了局部剖視的總裝配圖。從附圖中可以看到"電機(jī)組 件、2動(dòng)葉輪組件、3動(dòng)葉片、4靜葉片、5電機(jī)主軸、6泵殼、7泵底盤和排 氣口 8。所述的動(dòng)葉輪組件2直聯(lián)在所述的電機(jī)主軸5上，而所述的動(dòng)葉輪組 件2由動(dòng)葉片3串聯(lián)組成，并自上而下分別構(gòu)成抽氣級動(dòng)葉片和壓縮級動(dòng)葉片。 所述的動(dòng)葉片3與所述的靜葉片4交錯(cuò)排列。所述的靜葉片4的葉齒的內(nèi)、外 端均為整體環(huán)形，其外環(huán)形內(nèi)徑小于或等于所述的動(dòng)葉片3的外徑，因?yàn)楣鈱W(xué) 密封的作用成功地阻擋了氣體分子的軸向返流。所述的分子泵的末級葉片為靜 葉片4。所述的靜葉片4固定在所述的泵殼6和泵底盤7上。原則上講,所述 的抽氣級動(dòng)葉片的數(shù)量>1級；所述的壓縮級動(dòng)葉片的數(shù)量>2級;在具體實(shí)施 例中，根據(jù)實(shí)際情況而定。具體工作時(shí),打開電源，電機(jī)驅(qū)動(dòng)動(dòng)葉輪組件2高速 運(yùn)轉(zhuǎn)，動(dòng)、靜葉片相對運(yùn)動(dòng)迫使氣體分子從泵的抽氣端逐級流向排氣口 8，從而 產(chǎn)生抽氣作用?，F(xiàn)在扼要敘述一個(gè)具體實(shí)施例的情況動(dòng)葉輪組件2直聯(lián)在所 述的電機(jī)主軸5上，動(dòng)葉片3串聯(lián)組合，由楔形變截面葉齒的動(dòng)葉片(如圖2所示)組成抽氣級,本實(shí)施例選擇為3級；由臺(tái)階式變截面葉齒的動(dòng)葉片(如圖3 所示)串聯(lián)組成壓縮級，本實(shí)施例選擇為8級；臺(tái)階式變截面動(dòng)葉片的葉齒的 臺(tái)階數(shù)依據(jù)葉齒的長度而定， 一般而言，臺(tái)階式變截面葉齒的臺(tái)階數(shù)量>2,該 實(shí)施例逸擇為3;所述的臺(tái)階式變截面葉齒的厚度由外向里逐級加厚，本實(shí)施例 由外向里其厚度分別為O.lcm、 0.2cm、 0. 3cm。另外,相當(dāng)重要的是所述的臺(tái) 階式變截面葉齒的臺(tái)階處可以為弧面或平面，本實(shí)施例選擇為弧面，因?yàn)槠鋸?qiáng)度 大為提高。再者，在本實(shí)施例中，所述的分子泵的末級葉片為靜葉片，靜葉片被 固定在泵殼和泵底盤上，之所以打破常規(guī)作如此選擇，是因?yàn)樾Ч怀?。在?一個(gè)實(shí)施例中，是在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上，將壓縮級串聯(lián)的具有臺(tái)階 式變截面葉齒的動(dòng)葉片，改為具有矩形葉齒的動(dòng)葉片，本實(shí)施例選擇為10級。在具體設(shè)計(jì)和制造中，分子泵動(dòng)靜葉片的級數(shù)、葉片葉齒的長度、角度及 葉齒數(shù)等設(shè)計(jì)參數(shù)依據(jù)所需要的真空度而定。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，強(qiáng)度高而且使用壽命長，具有大抽速和壓縮比， 能夠抑制氣體分子軸向返流。
權(quán)利要求1. 一種分子泵，所述的分子泵包括電機(jī)組件(1)、動(dòng)葉輪組件(2)、靜葉片(4)、電機(jī)主軸(5)、泵殼(6)、泵底盤(7)和排氣口(8)；其特征在于所述的動(dòng)葉輪組件(2)直聯(lián)在所述的電機(jī)主軸(5)上；所述的動(dòng)葉輪組件(2)由動(dòng)葉片(3)串聯(lián)組成，并自上而下分別構(gòu)成抽氣級動(dòng)葉片和壓縮級動(dòng)葉片；所述的動(dòng)葉片(3)與所述的靜葉片(4)交錯(cuò)排列；所述的靜葉片(4)的葉齒的內(nèi)、外端均為整體環(huán)形，其外環(huán)形內(nèi)徑小于或等于所述的動(dòng)葉片(3)的外徑；所述的分子泵的末級葉片為靜葉片(4)；所述的靜葉片(4)固定在所述的泵殼(6)和泵底盤(7)上。
2 .根據(jù)權(quán)利要求l所述的分子泵，其特征在于 所述的抽氣級動(dòng)葉片的數(shù)量> 1級；所述的壓縮級動(dòng)葉片的數(shù)量> 2級。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的分子泵，其特征在于所述的抽氣級動(dòng)葉片為楔形變截面葉齒的動(dòng)葉片；所述的壓縮級動(dòng)葉片為 臺(tái)階式變截面葉齒的動(dòng)葉片，所述的臺(tái)階式變截面葉齒的厚度由外向里逐級加 厚。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的分子泵，其特征在于 所述的抽氣級動(dòng)葉片的數(shù)量為3級;所述的壓縮級動(dòng)葉片的數(shù)量為8級。
5 .根據(jù)權(quán)利要求3所述的分子泵，其特征在于所述的臺(tái)階式變截面葉齒的臺(tái)階處為弧面或平面。
6 .根據(jù)權(quán)利要求3所述的分子泵，其特征在于 所述的臺(tái)階式變截面葉齒的臺(tái)階數(shù)量>2。
7 .根據(jù)權(quán)利要求6所述的分子泵，其特征在于 所述的臺(tái)階數(shù)量等于3，由外向里其厚度分別為0. lcm、 0.2cm、 0. 3cm。
8 .根據(jù)權(quán)利要求l所述的分子泵，其特征在于 所述的壓縮級動(dòng)葉片為矩形葉齒的動(dòng)葉片。
9 .根據(jù)權(quán)利要求8所述的分子泵，其特征在于 所述的矩形葉齒的動(dòng)葉片的數(shù)量為10級。
專利摘要一種分子泵，所述分子泵包括電機(jī)組件1、動(dòng)葉輪組件2、靜葉片4、電機(jī)主軸5、泵殼6、泵底盤7和排氣口8。主要特點(diǎn)在于動(dòng)葉輪組件2直聯(lián)在所述的電機(jī)主軸5上。動(dòng)葉輪組件2由動(dòng)葉片3串聯(lián)組成，并自上而下分別構(gòu)成抽氣級動(dòng)葉片和壓縮級動(dòng)葉片。動(dòng)葉片3與所述的靜葉片4交錯(cuò)排列。靜葉片4葉齒的內(nèi)、外端均為整體環(huán)形，其外環(huán)形內(nèi)徑小于或等于動(dòng)葉片3的外徑。分子泵的末級葉片為靜葉片4。靜葉片4固定在所述的泵殼6和泵底盤7上。抽氣級葉片的數(shù)量≥1級。壓縮級葉片的數(shù)量≥2級。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，強(qiáng)度高而使用壽命長，具有大抽速和壓縮比，能夠抑制氣體分子軸向返流。
文檔編號(hào)F04D19/04GK201092967SQ20072012728
公開日2008年7月30日 申請日期2007年8月1日 優(yōu)先權(quán)日2007年8月1日
發(fā)明者岳 朱 申請人:岳 朱