一種大抽速抗大氣沖擊的分子泵轉(zhuǎn)子的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種轉(zhuǎn)子，尤其涉及一種用于分子泵的大抽速抗大氣沖擊的分子泵轉(zhuǎn)子，包括轉(zhuǎn)子主體，轉(zhuǎn)子主體為中空筒體，其內(nèi)部中心設(shè)置有轉(zhuǎn)軸安裝孔，轉(zhuǎn)子主體頂端直徑大于底端直徑，在轉(zhuǎn)子主體的外表面挖設(shè)有螺旋形牽引級(jí)溝槽，牽引級(jí)溝槽的深度從上到下逐漸變淺；每相鄰兩個(gè)螺旋形牽引級(jí)溝槽之間的槽壁設(shè)置成葉片；本實(shí)用新型根據(jù)氣體的物理特性，牽引級(jí)溝槽與分子泵融合到一體，既獲得了高抽速，又獲得了較大的壓縮比，另外，采用轉(zhuǎn)子主體頂端直徑大于底端直徑，使轉(zhuǎn)子頂端的葉片尺寸增大，即分子泵進(jìn)氣端葉片尺寸增大，同時(shí)優(yōu)化了轉(zhuǎn)子槽內(nèi)壁的曲線，使轉(zhuǎn)子槽內(nèi)壁曲線進(jìn)一步內(nèi)凹，從而提高了抽速，并減輕了轉(zhuǎn)子的重量，減小轉(zhuǎn)子對(duì)軸承的壓力。
【專利說明】一種大抽速抗大氣沖擊的分子栗轉(zhuǎn)子
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種轉(zhuǎn)子，尤其涉及一種用于分子泵的大抽速抗大氣沖擊的分子泵轉(zhuǎn)子。
【背景技術(shù)】
[0002]分子真空泵是在1911年由德國(guó)人蓋德(w -Gaede)首先發(fā)明的。其原理是靠高速運(yùn)動(dòng)的剛體表面?zhèn)鬟f給氣體分子以動(dòng)量，使氣體分子在剛體表面的運(yùn)動(dòng)方向上產(chǎn)生定向流動(dòng)，從而達(dá)到抽氣的目的。1958年，聯(lián)邦德國(guó)的W.貝克首次提出有實(shí)用價(jià)值的渦輪分子泵。渦輪分子泵主要由泵體、帶葉片的轉(zhuǎn)子(即動(dòng)葉輪)、靜葉輪和驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)等組成。動(dòng)葉輪外緣的線速度高達(dá)氣體分子熱運(yùn)動(dòng)的速度(一般為150?400米/秒)。單個(gè)葉輪的壓縮比很小，渦輪分子泵要由多個(gè)動(dòng)葉輪和靜葉輪組成。動(dòng)葉輪和靜葉輪交替排列。動(dòng)、靜葉輪幾何尺寸基本相同，但葉片傾斜角相反。傾斜葉片的運(yùn)動(dòng)使氣體分子從進(jìn)氣側(cè)穿過葉片到達(dá)排氣側(cè)的幾率，比從排氣側(cè)穿過葉片到達(dá)進(jìn)氣側(cè)的幾率大得多。葉輪連續(xù)旋轉(zhuǎn)，氣體分子便不斷地由進(jìn)氣側(cè)流向排氣側(cè)，從而產(chǎn)生抽氣作用。
[0003]蓋德牽引泵在分子流態(tài)下有很高的壓縮比，能抽除各種氣體和蒸汽，特別適于抽除較重的氣體，但存在抽速小的特點(diǎn)。渦輪分子泵則存在加工多級(jí)動(dòng)靜葉片工藝復(fù)雜的特點(diǎn)。同時(shí)，由于葉片高速旋轉(zhuǎn)，動(dòng)片與靜片的間隙很小，如果突然遭到大氣的沖擊，極易發(fā)生碎裂，造成整泵報(bào)廢。復(fù)合分子泵將渦輪轉(zhuǎn)子和牽引轉(zhuǎn)子串聯(lián)在一起，以獲得更優(yōu)的綜合性能，但同時(shí)也繼承了渦輪轉(zhuǎn)子加工難度高，不耐沖擊的特點(diǎn)。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，而提供一種大抽速抗大氣沖擊的分子泵轉(zhuǎn)子。
[0005]本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案:
[0006]一種大抽速抗大氣沖擊的分子泵轉(zhuǎn)子，包括轉(zhuǎn)子主體，轉(zhuǎn)子主體為中空筒體，其內(nèi)部中心設(shè)置有轉(zhuǎn)軸安裝孔，其特征在于:所述的轉(zhuǎn)子主體頂端直徑大于底端直徑，在轉(zhuǎn)子主體的外表面挖設(shè)有螺旋形牽引級(jí)溝槽，牽引級(jí)溝槽的深度從上到下逐漸變淺；每相鄰兩個(gè)螺旋形牽弓I級(jí)溝槽之間的槽壁設(shè)置成葉片。
[0007]所述轉(zhuǎn)子主體頂端直徑比底端直徑大10-30mm。
[0008]所述葉片節(jié)距和葉片弦長(zhǎng)的比值為1.3-1.5，轉(zhuǎn)子主體外表面上均勻挖設(shè)有3-8條相同的螺旋形牽弓I級(jí)溝槽。
[0009]所述轉(zhuǎn)子主體頂端牽引級(jí)溝槽的深度為50_70mm，底端牽引級(jí)溝槽的深度為
2-6mm。
[0010]所述的葉片也呈螺旋形設(shè)置在轉(zhuǎn)子主體的外表面上，且葉片根部厚度大于頂部。
[0011]所述的轉(zhuǎn)子主體的上端口端面上均勻設(shè)置有上面動(dòng)平衡配重孔，轉(zhuǎn)子主體外表面靠近下端均勻設(shè)置有下面動(dòng)平衡配重孔。[0012]本實(shí)用新型的有益效果:
[0013]1、本實(shí)用新型采用牽引級(jí)溝槽與分子泵轉(zhuǎn)子主體結(jié)合為一體的設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了與復(fù)合分子泵相近似的特點(diǎn)，既獲得了高抽速，又獲得了較大的壓縮比，同時(shí)也大幅增加了強(qiáng)度，提高了抗大氣沖擊的能力。
[0014]2、本實(shí)用新型采用轉(zhuǎn)子主體頂端直徑大于底端直徑，使轉(zhuǎn)子頂端的葉片尺寸增大，即分子泵進(jìn)氣端葉片尺寸增大，同時(shí)優(yōu)化了轉(zhuǎn)子槽內(nèi)壁的曲線，使轉(zhuǎn)子槽內(nèi)壁曲線進(jìn)一步內(nèi)凹，從而提高了抽速，并減輕了轉(zhuǎn)子的重量，減小轉(zhuǎn)子對(duì)軸承的壓力。
[0015]3、本實(shí)用新型，取消了定片、隔環(huán)，不但降低了設(shè)備制作和安裝的復(fù)雜程度，也降低了成本。
[0016]4、本實(shí)用新型采用在轉(zhuǎn)子主體上挖設(shè)牽弓I級(jí)溝槽，相鄰的兩個(gè)牽引級(jí)溝槽之間的槽壁形成了葉片，由于直接加工葉片要求技術(shù)難度較高，加工槽的要求簡(jiǎn)單，也降低了加工成本。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)圖。
[0018]圖2是本實(shí)用新型的剖視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0019]如圖1、2所示，一種大抽速抗大氣沖擊的分子泵轉(zhuǎn)子，包括轉(zhuǎn)子主體1，轉(zhuǎn)子主體I為中空筒體，轉(zhuǎn)子主體頂端直徑比底端直徑大10-30mm，其內(nèi)部中心設(shè)置有轉(zhuǎn)軸安裝孔4，在轉(zhuǎn)子主體的外表面挖設(shè)有螺旋形牽引級(jí)溝槽2，每相鄰兩個(gè)螺旋形溝槽之間的槽壁形成葉片3，設(shè)置葉片節(jié)距和葉片弦長(zhǎng)的比值為1.4，在轉(zhuǎn)子主體表面挖設(shè)有5條相同的螺旋形牽引級(jí)溝槽，每條牽引級(jí)溝槽的深度從上到下逐漸變淺，轉(zhuǎn)子主體頂端牽引級(jí)溝槽的深度為50-70mm，底端牽引級(jí)溝槽的深度為2_6mm ;葉片在轉(zhuǎn)子主體表面也呈螺旋形，且葉片根部厚度大于頂部，在轉(zhuǎn)子主體的上端口端面上均勻設(shè)置有上面動(dòng)平衡配重孔5，轉(zhuǎn)子主體外表面靠近下端均勻設(shè)置有下面動(dòng)平衡配重孔6。
[0020]本實(shí)用新型根據(jù)氣體的物理特性，采用牽引級(jí)溝槽與轉(zhuǎn)子主體結(jié)合為一體的設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了與復(fù)合分子泵相近似的特點(diǎn)，既獲得了高抽速，又獲得了較大的壓縮比，同時(shí)也大幅增加了強(qiáng)度，提高了抗大氣沖擊的能力；另外，采用轉(zhuǎn)子主體頂端直徑大于底端直徑，使轉(zhuǎn)子頂端的葉片尺寸增大，即分子泵進(jìn)氣端葉片尺寸增大，同時(shí)優(yōu)化了轉(zhuǎn)子槽內(nèi)壁的曲線，使轉(zhuǎn)子槽內(nèi)壁曲線進(jìn)一步內(nèi)凹，從而提高了抽速，并減輕了轉(zhuǎn)子的重量，減小轉(zhuǎn)子對(duì)軸承的壓力。
【權(quán)利要求】
1.一種大抽速抗大氣沖擊的分子泵轉(zhuǎn)子，包括轉(zhuǎn)子主體，轉(zhuǎn)子主體為中空筒體，其內(nèi)部中心設(shè)置有轉(zhuǎn)軸安裝孔，其特征在于:所述的轉(zhuǎn)子主體頂端直徑大于底端直徑，在轉(zhuǎn)子主體的外表面挖設(shè)有螺旋形牽引級(jí)溝槽，牽引級(jí)溝槽的深度從上到下逐漸變淺；每相鄰兩個(gè)螺旋形牽弓I級(jí)溝槽之間的槽壁設(shè)置成葉片。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大抽速抗大氣沖擊的分子泵轉(zhuǎn)子，其特征在于:所述轉(zhuǎn)子主體頂端直徑比底端直徑大10-30mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大抽速抗大氣沖擊的分子泵轉(zhuǎn)子，其特征在于:所述葉片節(jié)距和葉片弦長(zhǎng)的比值為1.3-1.5，轉(zhuǎn)子主體外表面上均勻挖設(shè)有3-8條相同的螺旋形牽引級(jí)溝槽。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大抽速抗大氣沖擊的分子泵轉(zhuǎn)子，其特征在于:所述轉(zhuǎn)子主體頂端牽引級(jí)溝槽的深度為50-70mm，底端牽引級(jí)溝槽的深度為2_6mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大抽速抗大氣沖擊的分子泵轉(zhuǎn)子，其特征在于:所述的葉片也呈螺旋形設(shè)置在轉(zhuǎn)子主體的外表面上，且葉片根部厚度大于頂部。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大抽速抗大氣沖擊的分子泵轉(zhuǎn)子，其特征在于:所述的轉(zhuǎn)子主體的上端口端面上均勻設(shè)置有上面動(dòng)平衡配重孔，轉(zhuǎn)子主體外表面靠近下端均勻設(shè)置有下面動(dòng)平衡配重孔。
【文檔編號(hào)】F04D29/32GK203488434SQ201320578331
【公開日】2014年3月19日 申請(qǐng)日期:2013年9月18日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月18日
【發(fā)明者】劉敏強(qiáng), 郁晉軍, 董欣, 于天化 申請(qǐng)人:北京北儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限責(zé)任公司