本發(fā)明涉及氦質(zhì)譜檢漏儀領(lǐng)域，具體是一種能夠輔助抽空的氦質(zhì)譜檢漏儀。

背景技術(shù)：

氦質(zhì)譜檢漏儀是一種常見的分析儀器，在電力行業(yè)、航天行業(yè)、核工業(yè)等廣泛運(yùn)用，是真空檢漏技術(shù)中常用的最普遍的檢漏儀器。現(xiàn)市場(chǎng)上氦質(zhì)譜檢漏儀的分子泵的前級(jí)泵抽速不高，最大抽速約在4l/s,在對(duì)大容積工件檢測(cè)時(shí)進(jìn)入檢漏壓力的時(shí)間長(zhǎng)，即檢漏前的抽空時(shí)間過(guò)長(zhǎng)，造成檢漏節(jié)拍時(shí)間長(zhǎng)、耗時(shí)，難以滿足快速檢漏節(jié)拍的需求。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明的目的是提供一種能夠輔助抽空的氦質(zhì)譜檢漏，以彌補(bǔ)現(xiàn)有技術(shù)的缺陷。

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案為：

一種能夠輔助抽空的氦質(zhì)譜檢漏儀，其特征在于：包括質(zhì)譜室、分子泵、前級(jí)泵、輔助抽空泵、第一至第六電磁閥、輔助抽空電磁閥、檢漏口，所述質(zhì)譜室的出氣口通過(guò)管路與分子泵的進(jìn)氣口連接，分子泵的排氣口通過(guò)管路與前級(jí)泵的進(jìn)氣口連接，第二電磁閥安裝在分子泵、前級(jí)泵之間的管路上，第二電磁閥與前級(jí)泵進(jìn)氣口之間還通過(guò)旁路管路與第一電磁閥的一端連接，第二電磁閥與分子泵排氣口之間還通過(guò)旁路管路連接有真空規(guī)管，所述分子泵的中檢口通過(guò)管路與第三電磁閥的一端連接，分子泵的精檢口通過(guò)管路與第四電磁閥的一端連接，所述第一電磁閥的另一端通過(guò)公共管路分別與第三電磁閥、第四電磁閥的另一端連接，其中公共管路與第三電磁閥連接處還通過(guò)旁路管路與第五電磁閥的一端連接，公共管路與第四電磁閥連接處還通過(guò)旁路管路與第六電磁閥的一端連接，第六電磁閥的另一端通過(guò)螺紋連接標(biāo)準(zhǔn)漏孔，標(biāo)準(zhǔn)漏孔用于對(duì)儀器進(jìn)行漏率標(biāo)定，所述檢漏口通過(guò)管路旁路連接在公共管路與第四電磁閥連接處，所述輔助真空泵的進(jìn)氣口與輔助抽空電磁閥一端連接，輔助抽空電磁閥另一端旁路連接在檢漏口向公共管路、第四電磁閥連接處的管路上。

所述的一種能夠輔助抽空的氦質(zhì)譜檢漏儀，其特征在于：所述檢漏口向公共管路、第四電磁閥連接處的管路上還旁路連接有真空計(jì)。

本發(fā)明的工作原理為：

在氦質(zhì)譜檢漏儀中增加輔助抽空閥、大抽速輔助抽空泵。氦質(zhì)譜檢漏儀通過(guò)增加大抽速的輔助抽空泵，縮短氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)入檢漏壓力的抽空時(shí)間，從而縮短氦質(zhì)譜檢漏儀對(duì)大容器檢測(cè)時(shí)的檢測(cè)時(shí)間，提高工作節(jié)拍。

本發(fā)明是一種能夠輔助抽空的氦質(zhì)譜檢漏儀，能夠?qū)崿F(xiàn)氦質(zhì)譜檢漏儀檢大容積工件時(shí)，快速進(jìn)入檢漏狀態(tài)，縮短儀器在檢漏時(shí)的抽空時(shí)間，提高氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏節(jié)拍。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明結(jié)構(gòu)原理圖。

具體實(shí)施方式

如圖1所示，一種能夠輔助抽空的氦質(zhì)譜檢漏儀，包括質(zhì)譜室4、分子泵3、前級(jí)泵2、輔助抽空泵1、第一至第六電磁閥6、7、8、9、10、輔助抽空電磁閥5、檢漏口15，質(zhì)譜室4的出氣口通過(guò)管路與分子泵3的進(jìn)氣口連接，分子泵3的排氣口通過(guò)管路與前級(jí)泵2的進(jìn)氣口連接，第二電磁閥7安裝在分子泵3、前級(jí)泵2之間的管路上，第二電磁閥7與前級(jí)泵2進(jìn)氣口之間還通過(guò)旁路管路與第一電磁閥6的一端連接，第二電磁閥7與分子泵3排氣口之間還通過(guò)旁路管路連接有真空規(guī)管14，分子泵3的中檢口通過(guò)管路與第三電磁閥8的一端連接，分子泵3的精檢口通過(guò)管路與第四電磁閥9的一端連接，第一電磁閥6的另一端通過(guò)公共管路分別與第三電磁閥8、第四電磁閥9的另一端連接，其中公共管路與第三電磁閥8連接處還通過(guò)旁路管路與第五電磁閥10的一端連接，公共管路與第四電磁閥9連接處還通過(guò)旁路管路與第六電磁閥11的一端連接，第六電磁閥11的另一端通過(guò)螺紋連接標(biāo)準(zhǔn)漏孔12，標(biāo)準(zhǔn)漏孔12用于對(duì)儀器進(jìn)行漏率標(biāo)定，檢漏口15通過(guò)管路旁路連接在公共管路與第四電磁閥9連接處，輔助真空泵1的進(jìn)氣口與輔助抽空電磁閥5一端連接，輔助抽空電磁閥5另一端旁路連接在檢漏口15向公共管路、第四電磁閥9連接處的管路上。檢漏口15向公共管路、第四電磁閥9連接處的管路上還旁路連接有真空計(jì)13。

儀器上電，前級(jí)泵2、輔助抽空泵1工作，第二電磁閥7打開，待真空規(guī)管14達(dá)到要求的壓力時(shí)，分子泵3啟動(dòng)，分子泵3完成預(yù)定轉(zhuǎn)速后，質(zhì)譜室4中器件上電，儀器進(jìn)入待機(jī)狀態(tài)。在檢漏口15連接被檢工件，開始檢漏。儀器按下開始鍵，打開輔助抽空電磁閥5，輔助抽空泵1對(duì)被檢工件進(jìn)行抽空，待真空計(jì)13達(dá)到設(shè)定壓力時(shí)（如：10000Pa,5000Pa,2000Pa)，開啟第一電磁閥6，待真空計(jì)13壓力值達(dá)到1500Pa時(shí)，開啟第二電磁閥7，同時(shí)關(guān)閉輔助抽空電磁閥5，這時(shí)可以完成對(duì)工件粗檢，待真空計(jì)壓力值13達(dá)到200Pa時(shí)，關(guān)閉第一電磁閥6，開啟第三電磁閥8，這時(shí)可以完成對(duì)工件中檢，待真空計(jì)13壓力值達(dá)到40Pa時(shí)，關(guān)閉第三電磁閥8，開啟第四電磁閥9，這時(shí)可以完成對(duì)工件精檢。