帶除害功能的真空泵的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明提供帶除害功能的真空泵，不需要為了將廢氣處理至容許濃度以下而進(jìn)行除害部的定制（根據(jù)規(guī)格改變），能夠大幅縮短設(shè)計(jì)時(shí)間、驗(yàn)證時(shí)間，能夠削減交貨期，而且，與安全容許濃度相符地提供最低限度的規(guī)格，由此能夠以最小限度的初始成本、使用成本來(lái)提供帶除害功能的真空泵。在真空泵（1)的排氣口附設(shè)有對(duì)從真空泵（1)排出的廢氣進(jìn)行處理使之無(wú)害化的除害部(10)，在該真空泵（1)中，準(zhǔn)備多個(gè)類(lèi)型的、廢氣的處理形式以及/或者廢氣的處理量不同的除害部，并根據(jù)從真空泵（1)排出的廢氣的氣體量以及氣體種類(lèi)而從多個(gè)類(lèi)型的除害部（10)中選定1臺(tái)或者多臺(tái)除軎部（10)，將所選定的除軎部（10)與真空泵（1)的排氣口連接。
【專(zhuān)利說(shuō)明】帶除害功能的真空泵

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及在制造半導(dǎo)體設(shè)備、液晶、LED等的制造裝置的排氣系統(tǒng)中使用的真空泵，尤其涉及在用于對(duì)制造裝置的腔室進(jìn)行排氣的真空泵上附加了用于對(duì)從腔室排出的廢氣進(jìn)行處理而使之無(wú)害化的除害功能的帶除害功能的真空泵。

【背景技術(shù)】
[0002]在制造半導(dǎo)體設(shè)備、液晶面板、LED、太陽(yáng)能電池等的制造處理過(guò)程中，向被排氣為真空的處理腔室內(nèi)導(dǎo)入處理氣體來(lái)進(jìn)行蝕刻處理、CVD處理等各種處理。進(jìn)行這些蝕刻處理、CVD處理等各種處理的處理腔室通過(guò)真空泵而被真空排氣。而且，通過(guò)使清洗氣體(cleaning gas)流過(guò)處理腔室以及與處理腔室連接的排氣類(lèi)設(shè)備而對(duì)其定期地清洗。這些處理氣體和清洗氣體等廢氣包含硅烷類(lèi)氣體(SiH4、TEOS等)、鹵素類(lèi)氣體(NF3、C1F3、SF6,CHF3等)、PFC氣體(CF4、C2F6等)等，會(huì)對(duì)人體帶來(lái)不良影響，或成為地球變暖的原因等而對(duì)地球環(huán)境帶來(lái)不良影響，因此，不希望上述廢氣直接排放至大氣中。因此，將這些廢氣在經(jīng)設(shè)置在真空泵下游側(cè)的廢氣處理裝置進(jìn)行無(wú)害化處理之后，排放至大氣中。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0004]專(zhuān)利文獻(xiàn)1:日本專(zhuān)利第3305566號(hào)公報(bào)
[0005]在制造半導(dǎo)體設(shè)備、液晶面板、LED、太陽(yáng)能電池等的制造處理過(guò)程中，使用了多種處理氣體和清洗氣體等。對(duì)這些多種處理氣體和清洗氣體等的廢氣進(jìn)行處理的廢氣處理裝置具有下列問(wèn)題。
[0006]I)根據(jù)在半導(dǎo)體制造處理中使用的氣體的類(lèi)型(反應(yīng))以及氣體的流量，針對(duì)各用戶(hù)、各處理來(lái)分別制作裝置的規(guī)格，并實(shí)施裝置的評(píng)價(jià)后將其投放市場(chǎng)。該情況下，為了將廢氣處理至容許濃度以下，進(jìn)行處理部、冷卻部、粉末捕集部等的定制(與規(guī)格對(duì)應(yīng)地變更)。由此，需要針對(duì)各用戶(hù)、各處理而分別進(jìn)行裝置的設(shè)計(jì)、制作以及評(píng)價(jià)，需要大量的勞力，并且，會(huì)使裝置成本上升。
[0007]2)處理裝置通常由I個(gè)或者多個(gè)處理腔室構(gòu)成，相對(duì)于各處理腔室而連接有I臺(tái)(或者多臺(tái))干式真空泵，這些干式真空泵的各自的排氣管線與廢氣處理裝置連接。因此，廢氣處理裝置實(shí)施多個(gè)處理腔室的廢氣處理，多個(gè)處理腔室按腔室各自的處置(recipe)不同，所以所使用氣體的類(lèi)型、使氣體流動(dòng)的時(shí)間也不同。因此，若考慮流入至廢氣處理裝置中的氣體的類(lèi)型、氣體量的模式，則存在無(wú)數(shù)種組合，若要求裝置具有能夠應(yīng)對(duì)這些全部組合的處理性能，則會(huì)導(dǎo)致過(guò)剩性能(超規(guī)格)。
[0008]3)由于廢氣從以多個(gè)腔室運(yùn)用的裝置流入至廢氣處理裝置，所以，廢氣處理裝置的處理能力受到使用條件的左右。因此，需要選定與使用條件相符或涵蓋了設(shè)想的使用條件的廢氣處理裝置的硬件設(shè)定、公共管網(wǎng)(utility)設(shè)備設(shè)定、軟件設(shè)定，從而針對(duì)處置改變、處理改變難以進(jìn)行靈活且迅速的應(yīng)對(duì)。
[0009]4)廢氣處理裝置的規(guī)格通常為，通過(guò)I個(gè)除害裝置綜合處理多個(gè)腔室，在該情況下，存在無(wú)法避免廢氣處理裝置的大型化的狀況。由于廢氣處理裝置的大型化，基于工廠的設(shè)置場(chǎng)所的情況，廢氣處理裝置大多設(shè)置在離干式真空泵具有某種程度距離的位置處。在如產(chǎn)生生成物那樣的處理的情況下，若排氣管線長(zhǎng)則生成物發(fā)生堆積的情況就多，并且，因?yàn)榕艢夤芫€需要維護(hù)，所以會(huì)對(duì)處理裝置的停機(jī)時(shí)間產(chǎn)生影響。生成物的堆積會(huì)引起干式真空泵的背壓上升，成為泵故障的原因之一。
[0010]5)以抑止產(chǎn)生升華生成物為目的，需要在排氣管線的配管上施加加熱器，從而會(huì)對(duì)加熱器的初始成本和運(yùn)轉(zhuǎn)成本、安裝作業(yè)時(shí)間產(chǎn)生影響。排氣管線維護(hù)時(shí)的加熱器的修復(fù)也會(huì)對(duì)處理停機(jī)時(shí)間產(chǎn)生影響。
[0011]6)施加在配管上的加熱器通常使用了在加熱器的內(nèi)部組裝有加熱線的夾套型的加熱器，但是，通過(guò)設(shè)置在加熱線或者加熱對(duì)象部件表面的熱電偶來(lái)進(jìn)行對(duì)于控制所必要的溫度的監(jiān)視。在一點(diǎn)上的溫度控制無(wú)法避免加熱對(duì)象的溫度分布的不均，為了使其盡可能地均一化，測(cè)定結(jié)果的反饋和再制作等的設(shè)計(jì)耗力大。另外，在相對(duì)于長(zhǎng)的配管進(jìn)行加熱器施工的情況下，以溫度均一化為目的通常需要進(jìn)行加熱器的細(xì)分等，結(jié)果是會(huì)產(chǎn)生加熱器的復(fù)雜的獨(dú)立控制和配線的復(fù)雜化。由此，也會(huì)成為安裝作業(yè)勞力的增大和初始成本等增加的主要原因。
[0012]7)對(duì)處理腔室進(jìn)行排氣的干式真空泵和廢氣處理裝置分別進(jìn)行各自獨(dú)立的控制。即，關(guān)于運(yùn)轉(zhuǎn)的0N/0FF、燃燒模式切換、聯(lián)鎖等，在干式真空泵和廢氣處理裝置中分別與制造裝置各自獨(dú)立地進(jìn)行信號(hào)的接收發(fā)送。由此，需要對(duì)干式真空泵和廢氣處理裝置分別管理輸入輸出信號(hào)。另外，為了干式真空泵和廢氣處理裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)管理，分別進(jìn)行獨(dú)立的監(jiān)視。由此，在構(gòu)筑通過(guò)干式泵和廢氣處理裝置分別與裝置連動(dòng)的協(xié)定時(shí)，不僅會(huì)使制造裝置側(cè)的控制的硬件/軟件設(shè)計(jì)變得復(fù)雜，而且，構(gòu)成的配線也變得復(fù)雜，會(huì)產(chǎn)生制造裝置的設(shè)計(jì)工時(shí)的增大。其結(jié)果為，不僅成為初始成本增加的主要原因，而且成為驗(yàn)證時(shí)間增大的主要原因。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0013]本發(fā)明是鑒于上述情況而做出的，目的是提供一種帶除害功能的真空泵，該帶除害功能的真空泵不需要為了將廢氣處理至容許濃度以下而進(jìn)行除害部的定制(根據(jù)規(guī)格改變)，能夠大幅縮短設(shè)計(jì)時(shí)間、驗(yàn)證時(shí)間，能夠謀求交貨期的削減，而且，通過(guò)與安全容許濃度相符地提供最低限度的規(guī)格，能夠以最小限度的初始成本、使用成本來(lái)提供該帶除害功能的真空泵。
[0014]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的帶除害功能的真空泵是在真空泵的排氣口附設(shè)有對(duì)從真空泵排出的廢氣進(jìn)行處理而使之無(wú)害化的除害部的真空泵，該帶除害功能的真空泵的特征在于，準(zhǔn)備多個(gè)類(lèi)型的、廢氣的處理形式以及/或者廢氣的處理量不同的除害部，根據(jù)從所述真空泵排出的廢氣的氣體量以及氣體種類(lèi)，從多個(gè)類(lèi)型的所述除害部中選定I臺(tái)或者多臺(tái)除害部，將所選定的所述除害部與所述真空泵的排氣口連接。
[0015]根據(jù)本發(fā)明，準(zhǔn)備了廢氣處理形式不同的多個(gè)類(lèi)型的除害部，另外，按處理形式不同的各除害部分別準(zhǔn)備了廢氣處理量不同的多個(gè)除害部，并根據(jù)從真空泵排出的廢氣的氣體量以及氣體種類(lèi)，從多個(gè)類(lèi)型的上述除害部以及/或者廢氣的處理量不同的多個(gè)除害部中選定最佳的除害部，并使其與真空泵一體化。因此，不需要為了將廢氣處理至容許濃度以下而進(jìn)行除害部的定制(根據(jù)規(guī)格改變)，能夠大幅縮短設(shè)計(jì)時(shí)間、驗(yàn)證時(shí)間，作為結(jié)果有助于交貨期的削減。另外，能夠根據(jù)使用條件，以除害部的類(lèi)型、臺(tái)數(shù)的組合構(gòu)成來(lái)應(yīng)對(duì)。
[0016]根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選方式，其特征在于，所述真空泵由I臺(tái)真空泵構(gòu)成，或者由串聯(lián)以及/或者并聯(lián)連接的多臺(tái)真空泵構(gòu)成。
[0017]根據(jù)本發(fā)明，真空泵可以由I臺(tái)干式真空泵構(gòu)成，還可以將多臺(tái)干式真空泵串聯(lián)或者并聯(lián)連接來(lái)構(gòu)成。這些I臺(tái)或者多臺(tái)干式真空泵包括羅茨型干式真空泵、螺桿型干式真空泵、爪型干式真空泵、渦旋型干式真空泵等。
[0018]根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選方式，其特征在于，所述除害部由I臺(tái)除害部構(gòu)成，或者由串聯(lián)以及/或者并聯(lián)連接的多個(gè)除害部構(gòu)成。
[0019]根據(jù)本發(fā)明，I臺(tái)或者多臺(tái)真空泵與I臺(tái)或者多臺(tái)除害部連接。根據(jù)本發(fā)明，以串聯(lián)以及/或者并聯(lián)的組合來(lái)連接多臺(tái)除害部，由此能夠形成一連串的除害部組群，能夠應(yīng)對(duì)各種類(lèi)型的處理要求、復(fù)雜的處理要求。關(guān)于多臺(tái)除害部，可以根據(jù)廢氣的氣體量以及氣體種類(lèi)，將燃燒式、干式、濕式、固定式等多種除害部組合而連接，也可以將單--種除害部連接。
[0020]根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選方式，其特征在于，供給至所述真空泵以及所述除害部的冷卻水以及/或者不活性氣體能夠從通用的公共管網(wǎng)(utility)設(shè)備供給。
[0021]根據(jù)本發(fā)明，由于供給至所述真空泵以及所述除害部的冷卻水以及/或者不活性氣體能夠從通用的公共管網(wǎng)設(shè)備供給，所以，能夠?qū)崿F(xiàn)公共管網(wǎng)側(cè)管線的簡(jiǎn)潔化。因此，能夠謀求設(shè)計(jì)工時(shí)的降低(硬件、軟件)。另外，無(wú)需為了除害部用而確保公共管網(wǎng)管線，使公共管網(wǎng)規(guī)劃變得簡(jiǎn)單，并降低初始成本。而且，通過(guò)I個(gè)監(jiān)視器就能夠管理除害部和真空泵的公共管網(wǎng)狀況，由此，運(yùn)用管理變得容易。
[0022]根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選方式，其特征在于，所述不活性氣體在利用所述除害部中的廢氣無(wú)害化處理時(shí)所產(chǎn)生的熱量而被加熱之后，被供給至所述真空泵。
[0023]根據(jù)本發(fā)明，能夠在除害部中利用廢氣無(wú)害化處理時(shí)所產(chǎn)生的廢熱來(lái)加熱N2等不活性氣體，并將被加熱的不活性氣體供給真空泵。因此，能夠通過(guò)被加熱的不活性氣體進(jìn)行真空泵的吹掃，從而能夠防止生成物附著在真空泵的內(nèi)部。根據(jù)本發(fā)明，不需要設(shè)置用于加熱不活性氣體的專(zhuān)用加熱器，能夠謀求隨著設(shè)計(jì)工時(shí)的削減、零件個(gè)數(shù)的削減而實(shí)現(xiàn)的交貨期的削減以及成本削減。另外，不需要加熱器用的動(dòng)力，能夠謀求節(jié)能。
[0024]根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選方式，其特征在于，所述通用的公共管網(wǎng)設(shè)備能夠向燃燒式的所述除害部供給燃料以及空氣。
[0025]根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選方式，其特征在于，所述通用的公共管網(wǎng)設(shè)備能夠由可移動(dòng)的儲(chǔ)氣瓶供給燃料。
[0026]根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選方式，其特征在于，在通過(guò)所述除害部對(duì)廢氣進(jìn)行了無(wú)害化處理之后，將處理后的氣體向位于設(shè)置地的排氣通道直接排出。
[0027]根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選方式，其特征在于，在通過(guò)所述除害部對(duì)廢氣進(jìn)行了無(wú)害化處理之后，將處理后的氣體向洗滌塔排出。
[0028]根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選方式，其特征在于，具有綜合控制所述真空泵和所述除害部的控制部。
[0029]根據(jù)本發(fā)明，控制部以綜合進(jìn)行真空泵的控制以及除害部的控制的方式構(gòu)成，由此，不需要如以往那樣地與真空泵用以及廢氣處理裝置用區(qū)別地準(zhǔn)備與裝置的接口。主要的信號(hào)的窗口為真空泵，由此，使得裝置側(cè)或者工廠側(cè)的控制簡(jiǎn)化。配合著真空泵的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)由泵控制部進(jìn)行除害部的控制，由此，能夠與使用條件、使用環(huán)境相符地實(shí)現(xiàn)除害部、真空泵的單獨(dú)運(yùn)轉(zhuǎn)、安全運(yùn)轉(zhuǎn)。并能夠與真空泵的使用狀況相符地謀求除害部的運(yùn)轉(zhuǎn)模式最優(yōu)化。
[0030]本發(fā)明的除害部，其特征在于，具有I臺(tái)或者多臺(tái)對(duì)廢氣進(jìn)行處理而使之無(wú)害化的除害部，還具有對(duì)I臺(tái)或者多臺(tái)所述除害部的整體進(jìn)行控制的控制部，所述控制部能夠與設(shè)在設(shè)置地的裝置中的控制部收發(fā)信息，并且，能夠向設(shè)置地的監(jiān)視系統(tǒng)輸出I臺(tái)或者多臺(tái)所述除害部的狀態(tài)信號(hào)。
[0031]在將本發(fā)明的除害部與具有已設(shè)真空泵的排氣系統(tǒng)連接的情況下、或者將本發(fā)明的除害部投入至不需要真空泵的市場(chǎng)的情況下等，需要單獨(dú)控制除害部。根據(jù)本發(fā)明，除害部具有控制除害部的整體的控制部，由此，能夠構(gòu)成獨(dú)立型的除害部。通過(guò)獨(dú)立型的除害部，能夠使用送風(fēng)機(jī)和除害部的組合或單獨(dú)使用除害部。因此，也能夠?qū)哂幸言O(shè)真空泵的排氣系統(tǒng)投入除害部。
[0032]發(fā)明效果
[0033]本發(fā)明起到下列效果。
[0034](I)準(zhǔn)備了廢氣處理形式不同的多個(gè)類(lèi)型的除害部，另外，按處理形式不同的各除害部分別準(zhǔn)備了廢氣處理量不同的多個(gè)除害部，根據(jù)從真空泵排出的廢氣的氣體量以及氣體種類(lèi)，從上述多個(gè)類(lèi)型的除害部以及/或者廢氣的處理量不同的多個(gè)除害部中選定最佳的除害部，并使其與真空泵一體化。因此，不需要為了將廢氣處理至容許濃度以下而進(jìn)行除害部的定制(根據(jù)規(guī)格改變)，能夠大幅縮短設(shè)計(jì)時(shí)間、驗(yàn)證時(shí)間，作為結(jié)果有助于交貨期的削減。另外，能夠與使用條件相符地以除害部的類(lèi)型、個(gè)數(shù)的組合構(gòu)成來(lái)應(yīng)對(duì)。
[0035](2)以往，廢氣處理裝置是大型的，由此，不容易進(jìn)行運(yùn)送、設(shè)置、拆除、移設(shè)，另外還需要復(fù)雜的控制，但是，根據(jù)本發(fā)明的除害部，成為小型且緊湊的構(gòu)成，部件數(shù)量變少，能夠謀求故障率的降低。在發(fā)生故障的情況下，能夠在現(xiàn)場(chǎng)通過(guò)更換備用的除害部來(lái)應(yīng)對(duì)，從而能夠謀求處理停機(jī)時(shí)間的降低。對(duì)于維護(hù)，也能夠在現(xiàn)場(chǎng)通過(guò)更換備用除害部來(lái)應(yīng)對(duì)，能夠謀求處理停機(jī)時(shí)間的降低。
[0036](3)從真空泵排出的廢氣通過(guò)真空泵中的壓縮熱而被加熱至200°C左右，能夠?qū)⒃摫患訜岬膹U氣從排氣管直接向除害部導(dǎo)入來(lái)進(jìn)行無(wú)害化處理。因此，不需要將廢氣從常溫加熱，能夠削減除害部中的燃料使用量，而能夠謀求節(jié)能。在真空泵的排氣管的內(nèi)部流動(dòng)有加熱至200°C左右的廢氣，因此，不需要由配管加熱器來(lái)使排氣管升溫。因此，不設(shè)置配管加熱器也行，由此能夠?qū)崿F(xiàn)節(jié)能。
[0037](4)能夠在除害部中利用廢氣無(wú)害化處理時(shí)所產(chǎn)生的廢熱來(lái)加熱N2等不活性氣體，并將被加熱的不活性氣體供給真空泵。因此，能夠通過(guò)被加熱的不活性氣體進(jìn)行真空泵的吹掃，而能夠防止生成物附著在真空泵的內(nèi)部。根據(jù)本發(fā)明，不需要設(shè)置用于加熱不活性氣體的專(zhuān)用加熱器，能夠謀求隨著設(shè)計(jì)工時(shí)的削減、零件個(gè)數(shù)的削減而實(shí)現(xiàn)的交貨期的削減以及成本削減。另外，不需要加熱器用的動(dòng)力，能夠謀求節(jié)能。
[0038](5)以串聯(lián)以及/或者并聯(lián)的組合來(lái)連接多個(gè)除害部，由此能夠形成一連串的除害部組群,能夠應(yīng)對(duì)各種類(lèi)型的處理要求、復(fù)雜的處理要求。關(guān)于多個(gè)除害部,根據(jù)廢氣的氣體量以及氣體種類(lèi)，可以將燃燒式、干式、濕式、固定式等多種除害部組合而連接，也可以將單一一種除害部連接。與安全容許濃度相符地提供所需最低限度的規(guī)格，由此，能夠?qū)崿F(xiàn)最小限度的初始成本、使用成本。通過(guò)將除害部并聯(lián)排列，能夠在一方的除害部的故障、維護(hù)時(shí)通過(guò)其他的除害部進(jìn)行應(yīng)對(duì)，能夠使處理停機(jī)時(shí)間為零。
[0039](6)泵控制部以綜合進(jìn)行真空泵的控制以及除害部的控制的方式構(gòu)成，由此，不需要如以往那樣地與真空泵用以及廢氣處理裝置用區(qū)別地準(zhǔn)備與裝置的接口。主要的信號(hào)的窗口為真空泵，由此，使得裝置側(cè)或者工廠側(cè)的控制簡(jiǎn)化。泵控制部與真空泵的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)配合地進(jìn)行除害部的控制，由此，能夠與使用條件、使用環(huán)境相符地實(shí)現(xiàn)除害部、真空泵的單獨(dú)運(yùn)轉(zhuǎn)、安全運(yùn)轉(zhuǎn)。并能夠與真空泵的使用狀況配合地謀求除害部的運(yùn)轉(zhuǎn)模式最優(yōu)化。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0040]圖1的(a)、(b)、(C)是表示本發(fā)明的帶除害功能的真空泵的構(gòu)成例的示意立體圖。
[0041]圖2的(a)?(e)是表示本發(fā)明的帶除害功能的真空泵的其他構(gòu)成例的示意立體圖。
[0042]圖3是表示為了將多個(gè)處理腔室排氣而設(shè)置了多臺(tái)本發(fā)明的帶除害功能的真空泵的情況的示意主視圖。
[0043]圖4是表示在無(wú)法將在真空泵的除害部中產(chǎn)生的粉末向排氣通道直接排出時(shí)設(shè)置洗滌塔的情況的示意主視圖。
[0044]圖5的(a)?(e)是表示圓筒容器狀的除害部縱向設(shè)置(圖5的(a)?(d))或者橫向設(shè)置(圖5(e))且除害部的廢氣入口以及除害部的廢氣出口沿各個(gè)方向配置從而能夠應(yīng)對(duì)各種連接形態(tài)的構(gòu)成例的示意立體圖。
[0045]圖6的(a)、(b)是表示將多臺(tái)除害部串聯(lián)以及/或者并聯(lián)地連接而能夠應(yīng)對(duì)從I臺(tái)或者多臺(tái)真空泵排出的廢氣的氣體量以及氣體種類(lèi)的構(gòu)成的示意立體圖。
[0046]圖7的(a)、(b)是表示本發(fā)明的帶除害功能的真空泵的公共管網(wǎng)設(shè)備的通用化的構(gòu)成的示意圖。
[0047]圖8是表示本發(fā)明的帶除害功能的真空泵的控制部的構(gòu)成的示意圖。
[0048]圖9是表示設(shè)置在除害部中的單獨(dú)控制除害部的控制部的構(gòu)成的示意圖。
[0049]圖10是表示作為本發(fā)明的帶除害功能的真空泵的除害部而優(yōu)選的小型的燃燒式除害部的示意剖視圖。
[0050]附圖標(biāo)記說(shuō)明
[0051]I真空泵
[0052]Ia排氣管
[0053]10除害部
[0054]1a控制箱
[0055]20泵設(shè)備架
[0056]21排氣通道
[0057]22連接用配管
[0058]23洗滌塔
[0059]30泵控制部
[0060]31控制部
[0061]32集中監(jiān)視系統(tǒng)
[0062]41圓筒體
[0063]42外筒
[0064]43加熱室
[0065]45空氣噴嘴
[0066]46燃料噴嘴
[0067]48UV 傳感器
[0068]49火花塞
[0069]50導(dǎo)燃器部
[0070]51燃料供給口
[0071]52空氣供給口
[0072]53點(diǎn)火變壓器
[0073]54計(jì)測(cè)部
[0074]55脈沖產(chǎn)生器
[0075]56電源
[0076]57CPU
[0077]VAC真空泵

【具體實(shí)施方式】
[0078]以下，參照?qǐng)D1至圖10來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的帶除害功能的真空泵的實(shí)施方式。此外，在圖1至圖10中，對(duì)于相同或者相當(dāng)?shù)臉?gòu)成要素標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記并省略重復(fù)的說(shuō)明。
[0079]圖1的(a)、(b)、(C)是表示本發(fā)明的帶除害功能的真空泵的構(gòu)成例的示意立體圖。
[0080]如圖1的(a)、(b)、(C)所示，本發(fā)明的帶除害功能的真空泵具有在真空泵I的排氣管Ia上附設(shè)有除害部10的構(gòu)成。真空泵I可以由I臺(tái)干式真空泵構(gòu)成，也可以由多臺(tái)干式真空泵串聯(lián)或者并聯(lián)連接來(lái)構(gòu)成。這些I臺(tái)或者多臺(tái)干式真空泵包括羅茨型干式真空泵、螺桿型干式真空泵、爪型干式真空泵、渦旋型干式真空泵等，這些干式真空泵的構(gòu)成是公知的，由此，省略圖示以及說(shuō)明。在圖1的(a)、(b)、(c)中，例示了真空泵I具有殼體C的形式的真空泵。除害部10整體上構(gòu)成為圓筒狀的容器。另外，在連接了各除害部的情況下，干式泵的控制部自動(dòng)識(shí)別除害部的類(lèi)型。
[0081]在圖1的(a)、(b)、(C)中，真空泵I與除害部10的配置關(guān)系是分別不同的，在圖1的(a)中，真空泵I與除害部10并列設(shè)置，在圖1的(b)中，除害部10配置在真空泵I的下方，在圖1的(c)中，除害部10配置在真空泵I的上方。在圖1的(a)、(b)、(c)中，除害部10的類(lèi)型為燃燒式、干式、濕式、加熱器式、氟固定式、催化劑式、等離子式、稀釋單元式(送風(fēng)機(jī)、添加N2、添加空氣)等。本發(fā)明準(zhǔn)備了廢氣處理形式不同的這些多個(gè)類(lèi)型的除害部10。另外，對(duì)于處理形式不同的各除害部10，分別準(zhǔn)備了廢氣的處理量不同的多個(gè)除害部10。在本發(fā)明中，關(guān)于除害部10，根據(jù)從真空泵I排出的廢氣的氣體量以及氣體種類(lèi)，從上述多個(gè)類(lèi)型的除害部10以及/或者廢氣的處理量不同的多個(gè)除害部10中選定最佳的除害部，并使其與真空泵I 一體化。
[0082]在圖1的(a)、(b)、(c)中，將真空泵I的排氣口與除害部10的氣體導(dǎo)入口之間連接的排氣管Ia的配管長(zhǎng)度為500mm以下,設(shè)定為200mm?400mm。另外,排氣管Ia的排氣口直徑在考慮了干式真空泵的背壓的情況下為15mm以上,設(shè)定為16mm?40mm。此外，也可以為，不設(shè)置排氣管la，將除害部10與真空泵I的排氣部直接連接。
[0083]圖2的(a)?(e)為表示本發(fā)明的帶除害功能的真空泵的其他構(gòu)成例的示意立體圖。
[0084]圖2的(a)、(b)表示使I臺(tái)真空泵I的排氣管Ia分支而附設(shè)了 2個(gè)除害部10、10的構(gòu)成的帶除害功能的真空泵。
[0085]在圖2(a)所示的例中，將分支的排氣管Ia直接與2個(gè)除害部10、10連接，在圖2(b)所示的例中，在分支的排氣管Ia上分別配置有自動(dòng)開(kāi)閉(或者手動(dòng)開(kāi)閉)的閥VI，由此，能夠控制廢氣向各除害部10的流入。
[0086]圖2的(c)、(d)表示由歧管2連結(jié)2臺(tái)真空泵1、I的排氣管la、Ia并在歧管2上附設(shè)了 I臺(tái)除害部10的構(gòu)成的帶除害功能的真空泵。
[0087]在圖2的(C)所示的例中，將歧管2與除害部10連接，在圖2的(d)所示的例中，在歧管2上配置有2個(gè)自動(dòng)開(kāi)閉(或者手動(dòng)開(kāi)閉〉的閥V2、V2，由此，能夠控制廢氣從各真空泵I向除害部10的流入。
[0088]圖2(e)表示由歧管2連結(jié)2臺(tái)真空泵I的排氣管la、la并在歧管2上附設(shè)了 3臺(tái)除害部10的構(gòu)成的帶除害功能的真空泵。
[0089]如圖1以及圖2所示，根據(jù)本發(fā)明，在I臺(tái)或者多臺(tái)真空泵I的排氣口上直接地設(shè)有緊湊的除害部10而為一體型，由此，不需要如以往那樣地探討I臺(tái)或者多臺(tái)廢氣處理裝置和干式真空泵收納用設(shè)備架這一構(gòu)成。其結(jié)果為，能夠大幅縮短設(shè)計(jì)時(shí)間、驗(yàn)證時(shí)間，作為結(jié)果而有助于交貨期的削減。另外，在除害部10中，通過(guò)進(jìn)行獨(dú)立的模塊設(shè)計(jì)，而能夠謀求縮短針對(duì)I個(gè)除害部所需要的設(shè)計(jì)時(shí)間。而且，能夠與使用條件配合地以除害部10的類(lèi)型、個(gè)數(shù)的組合構(gòu)成來(lái)進(jìn)行應(yīng)對(duì)。在各干式真空泵(處理腔室)中分別設(shè)置模塊化的除害部，由此，針對(duì)各個(gè)腔室的負(fù)荷率能夠?qū)崿F(xiàn)靈活的應(yīng)對(duì)。
[0090]通過(guò)除害部10的開(kāi)發(fā)時(shí)間的縮短，實(shí)現(xiàn)交貨期的削減。通過(guò)制品的標(biāo)準(zhǔn)化，易于實(shí)現(xiàn)各處理的處理實(shí)際成績(jī)等的數(shù)據(jù)庫(kù)化。由于每個(gè)除害部的性能明確化，所以，除害部的式樣、方案變得容易。
[0091]通過(guò)除害部10的構(gòu)造的簡(jiǎn)潔化，能夠謀求部件的通用化。因此，能夠謀求制造交貨期的削減、制造成本削減。
[0092]由于謀求除害部10的標(biāo)準(zhǔn)化，所以，除害部10單體的安全規(guī)格、對(duì)引導(dǎo)管線的適用、適配都變得容易。
[0093]以往，廢氣處理裝置是大型的，由此，不容易進(jìn)行運(yùn)送、設(shè)置、拆除、移設(shè)，另外還需要復(fù)雜的控制，但是，根據(jù)本發(fā)明的除害部10，則是小型且緊湊的構(gòu)成，部件數(shù)量變少，能夠謀求故障率的降低。在發(fā)生故障的情況下，能夠通過(guò)在現(xiàn)場(chǎng)更換備用除害部來(lái)應(yīng)對(duì)，從而能夠謀求處理停機(jī)時(shí)間的降低。
[0094]對(duì)于維護(hù)，也能夠通過(guò)在現(xiàn)場(chǎng)更換備用除害部來(lái)應(yīng)對(duì)，能夠謀求處理停機(jī)時(shí)間的降低。在發(fā)生異常時(shí)，能夠?qū)⒊Σ?0單獨(dú)地退回至工廠、服務(wù)中心進(jìn)行調(diào)查。
[0095]根據(jù)本發(fā)明，從真空泵I排出的廢氣通過(guò)真空泵I中的壓縮熱而被加熱至200°C左右，能夠?qū)⒃摫患訜崃说膹U氣從排氣管Ia直接向除害部10導(dǎo)入來(lái)進(jìn)行基于燃燒的無(wú)害化處理。因此，不需要將廢氣從常溫加熱，能夠削減除害部10中的燃料使用量，能夠謀求節(jié)能。由于在真空泵I的排氣管Ia的內(nèi)部流動(dòng)有加熱至200°C左右的廢氣，所以，不需要用配管加熱器來(lái)使排氣管Ia升溫。因此，不設(shè)置配管加熱器也行，由此能夠?qū)崿F(xiàn)節(jié)能。另外，將真空泵I與除害部10連接的排氣管Ia的配管長(zhǎng)度為500mm以下，還能夠防止在該部分上附著生成物。
[0096]圖3是表示為了對(duì)多個(gè)處理腔室排氣而設(shè)置多臺(tái)本發(fā)明的帶除害功能的真空泵的情況的示意主視圖。在圖3中，使用附圖標(biāo)記VAC來(lái)表示以在真空泵I的排氣管Ia上附設(shè)有除害部10的方式構(gòu)成的本發(fā)明的帶除害功能的真空泵。如圖3所示，多臺(tái)帶除害功能的真空泵VAC收納在泵設(shè)備架20上。真空泵VAC的除害部10與安全容許濃度相符地提供最低限度的規(guī)格，從而能夠?qū)崿F(xiàn)最小限度的初始成本、使用成本。真空泵VAC的除害部10的出口直接與工廠的排氣通道21連接。在除害部10中的處理中產(chǎn)生的粉末以除害部10的排氣的流速飛行而向排氣通道21排出。
[0097]圖4是表示在無(wú)法將由真空泵VAC的除害部10所產(chǎn)生的粉末向排氣通道21直接排出時(shí)設(shè)置洗滌塔的情況的示意主視圖。如圖4所示，多臺(tái)真空泵VAC的除害部10的出口經(jīng)由連接用配管22而與洗滌塔23連接。洗滌塔23例如由水洗滌塔構(gòu)成。而且，洗滌塔23的出口與排氣通道21 (參照?qǐng)D3)連接。此外，還可以替代洗滌塔來(lái)設(shè)置過(guò)濾器。
[0098]如圖1以及圖2所示，真空泵I和除害部10以各種姿勢(shì)相互連接。另外，I臺(tái)或者多臺(tái)真空泵I與I個(gè)或者多個(gè)除害部10連接。而且，在本發(fā)明中，還具有多個(gè)除害部10以直接或者并聯(lián)的方式連接的情況。因此，在本發(fā)明中使用的除害部10要求廢氣入口 1in以及廢氣出口 10tit具有能夠應(yīng)對(duì)各種連接方式的構(gòu)成。
[0099]圖5的(a)?(e)是表示圓筒容器狀的除害部10縱向設(shè)置(圖5 (a)?(d))或者橫向設(shè)置(圖5(e))且除害部10的廢氣入口 1in以及除害部10的廢氣出口 1qut沿各種方向配置而能夠應(yīng)對(duì)各種連接形態(tài)的構(gòu)成例的示意立體圖。在圖5(a)所示的例中，除害部10的入口 1in(或者出口 1qut)位于除害部10的上部側(cè)面，除害部10的出口 1qut(或者入口 1in)位于除害部10的下部側(cè)面。在圖5(b)所示的例中，除害部10的入口 10IN(或者出口 1qut)位于除害部10的下表面，除害部10的出口 1qut (或者入口 1in)位于除害部10的上表面。在圖5(c)所示的例中，除害部10的入口 1in(或者出口 1qut)位于除害部10的上表面，除害部10的出口 1qut(或者入口 1in)位于除害部10的下部側(cè)面。在圖5(d)所示的例中，除害部10的入口 1in(或者出口 1qut)位于除害部10的下表面，除害部10的出口 1qut(或者入口 1in)位于除害部10的上部側(cè)面。在圖5(e)所示的例中，除害部10的入口 1in位于一側(cè)面，除害部10的出口 1tot位于另一側(cè)面。
[0100]圖6的(a)、(b)是表示多個(gè)除害部10串聯(lián)以及/或者并聯(lián)連接從而能夠應(yīng)對(duì)從I臺(tái)或者多臺(tái)真空泵I排出的廢氣的氣體量以及氣體種類(lèi)的構(gòu)成的示意立體圖。
[0101]在圖6(a)所示的例中，多個(gè)(圖示例中為3個(gè))除害部10串聯(lián)連接。多個(gè)除害部10可以經(jīng)由連接配管11連接，也可以無(wú)連接配管11而是將相鄰的2個(gè)除害部10的氣體出口和氣體入口直接連接。
[0102]在圖6(b)所示的例中，以使除害部10的臺(tái)數(shù)在廢氣的流動(dòng)方向上逐漸增加的方式，將多個(gè)除害部10經(jīng)由連接配管11以及歧管12串聯(lián)以及并聯(lián)地連接。即，除害部10從廢氣的流動(dòng)方向的上流側(cè)向著下流側(cè)以多級(jí)狀配置，臺(tái)數(shù)增加為I臺(tái)、2臺(tái)、3臺(tái)，這些除害部10從上流側(cè)向下流側(cè)串聯(lián)連接。另外，處于各級(jí)的多個(gè)除害部10通過(guò)歧管12并聯(lián)連接。
[0103]如圖6的(a)、(b)所示，以串聯(lián)以及/或者并聯(lián)的組合來(lái)連接多臺(tái)除害部10，由此能夠形成一連串的除害部組群，從而能夠應(yīng)對(duì)各種類(lèi)型的處理要求、復(fù)雜的處理要求。多個(gè)除害部10根據(jù)廢氣的氣體量以及氣體種類(lèi),可以將燃燒式、干式、濕式、固定式等多種除害部10組合而連接，也可以將單一一種除害部10連接。
[0104]與安全容許濃度相符地提供所需最低限度的規(guī)格，由此，能夠?qū)崿F(xiàn)最小限度的初始成本、使用成本。
[0105]通過(guò)將除害部10并聯(lián)排列，容易實(shí)現(xiàn)備用(backup)運(yùn)轉(zhuǎn)。即，能夠在一方的除害部10故障、維護(hù)時(shí)通過(guò)其他的除害部10進(jìn)行應(yīng)對(duì)，從而能夠使處理停機(jī)時(shí)間為零。
[0106]另外，為了與真空泵I的大修周期(overhaullife)配合而設(shè)置多個(gè)除害部10,從而能夠?qū)崿F(xiàn)相互備用的運(yùn)用。
[0107]即使相對(duì)于納入后的處理規(guī)格變更，每個(gè)除害部的設(shè)定值的變更也變得容易，還存在通過(guò)特定的除害部的變更而能夠容易應(yīng)對(duì)的情況。
[0108]除害部10單體的設(shè)計(jì)變得不需要或者變得最小，由此，僅進(jìn)行布局探討即可。另夕卜，針對(duì)各個(gè)要求性能而將除害部10標(biāo)準(zhǔn)化，由此，改造部品的制造變得容易。而且，能夠謀求部件交付期的縮短、改造要領(lǐng)的簡(jiǎn)潔化。
[0109]由于按各個(gè)除害部來(lái)進(jìn)行規(guī)格應(yīng)對(duì)，所以，相對(duì)于新的要求規(guī)格不需要探討、取得規(guī)格的認(rèn)證。所有的配管也可以不是集合配管。根據(jù)需要，可以在配管部設(shè)置閥。在將多個(gè)除害部10以串聯(lián)和/或并聯(lián)連接的情況下，除害部10的設(shè)置位置方向能夠自由地設(shè)定。另外，還能夠通過(guò)使I個(gè)或者多個(gè)除害部10和控制臺(tái)13組合來(lái)構(gòu)筑獨(dú)立型(stand alonetype)的單體/復(fù)合除害系統(tǒng)。另外，還可以在圖6的(a)、(b)所示的構(gòu)成中適當(dāng)?shù)亟M合輔機(jī)類(lèi)設(shè)備。
[0110]接著，說(shuō)明本發(fā)明的帶除害功能的真空泵的公共管網(wǎng)(utility)設(shè)備。圖7的(a)、(b)是表示本發(fā)明的帶除害功能的真空泵的公共管網(wǎng)設(shè)備的通用化構(gòu)成的示意圖。
[0111]在圖7的(a)所示的例中，向真空泵I供電，除害部10用的電源從真空泵I供給。此外，還可以通過(guò)設(shè)置在真空泵I上的接口箱向除害部10供給電源。冷卻水被供給到真空泵I而將真空泵I冷卻，然后被供給到除害部10而將除害部10冷卻。將除害部10冷卻了的冷卻水返回至公共管網(wǎng)設(shè)備。另外，為了防止在真空泵I的內(nèi)部附著生成物，能夠從公共管網(wǎng)設(shè)備向真空泵I供給n2。在除害部10為燃燒式除害部的情況下，能夠從公共管網(wǎng)設(shè)備向除害部10供給燃料和氧化劑。燃料和氧化劑還能夠由可移動(dòng)的儲(chǔ)氣瓶來(lái)供給。在該情況下，能夠在沒(méi)有燃料供給管線的場(chǎng)所使用燃燒式除害部?？梢苿?dòng)的儲(chǔ)氣瓶能夠設(shè)置多列，能夠在運(yùn)轉(zhuǎn)中對(duì)已使用的儲(chǔ)氣瓶進(jìn)行更換。在從可移動(dòng)的儲(chǔ)氣瓶供給燃料或氧化劑的情況下，還可以設(shè)置壓力計(jì)P來(lái)進(jìn)行剩余量檢測(cè)(壓力監(jiān)視)。在該情況下，在可移動(dòng)的儲(chǔ)氣瓶的剩余量比一定量低的情況下，能夠?qū)崿F(xiàn)基于信號(hào)/亮燈/聲音的通知功能。
[0112]在圖7的(b)所示的例中，在除害部10為燃燒式除害部、或者為加熱氧化式除害部的情況下，從公共管網(wǎng)設(shè)備向除害部10供給N2，利用由除害部10中的廢氣的無(wú)害化處理所產(chǎn)生的廢熱來(lái)加熱N2,并將被加熱的N2向真空泵I供給。因此，能夠通過(guò)被加熱的N2氣體進(jìn)行真空泵I的吹掃，能夠防止在真空泵I的內(nèi)部附著生成物。根據(jù)本發(fā)明，不需要設(shè)置用于加熱N2氣體的專(zhuān)用加熱器，能夠謀求隨著設(shè)計(jì)工時(shí)的削減、零件個(gè)數(shù)的削減而實(shí)現(xiàn)的交貨期的削減以及成本削減。另外，不需要加熱器用的動(dòng)力，能夠謀求節(jié)能。作為吹掃用的氣體，除了 N2以外，只要是不與含有氣體反應(yīng)的不活性氣體即可，例如，可以為He、Ar、Kr等稀有氣體或CO2等。
[0113]此外，即使在無(wú)法通過(guò)廢熱來(lái)確保足夠的溫度情況下，也能夠?qū)囟壬仙四撤N程度的N2投入至N2升溫用的加熱器，由此，與從常溫升溫的情況相比，能夠降低N2升溫用的加熱器的負(fù)荷率，從而有助于削減所需消耗電力。在圖7的(b)所示的例中，電源和冷卻水等的其他的公共管網(wǎng)設(shè)備與圖7的(a)所示的例同樣地供給。
[0114]如圖7的(a)、(b)所示，將N2和冷卻水的供給管線與真空泵I和除害部10串聯(lián)連接，由此，能夠?qū)崿F(xiàn)公共管網(wǎng)設(shè)備側(cè)的管線的簡(jiǎn)潔化。因此，能夠謀求設(shè)計(jì)工時(shí)的降低(硬件、軟件)。另外，無(wú)需為了除害部10用來(lái)確保公共管網(wǎng)設(shè)備管線，從而公共管網(wǎng)設(shè)備計(jì)劃變得簡(jiǎn)單，降低初始成本。而且，通過(guò)I個(gè)監(jiān)視器就能夠進(jìn)行除害部10與真空泵I的效用狀況的管理，由此，運(yùn)用管理變得容易。
[0115]接著，說(shuō)明本發(fā)明的帶除害功能的真空泵的控制部的構(gòu)成。本發(fā)明的帶除害功能的真空泵為在I臺(tái)或者多臺(tái)真空泵I上附設(shè)有I個(gè)或多個(gè)除害部10的一體型真空泵，由此構(gòu)成為，通過(guò)設(shè)在真空泵I上的控制部來(lái)進(jìn)行帶除害功能的真空泵的整體控制。
[0116]圖8是表示本發(fā)明的帶除害功能的真空泵的控制部的構(gòu)成的示意圖。如圖8所示，本發(fā)明的帶除害功能的真空泵具有在真空泵I的排氣管Ia上附設(shè)有除害部10的構(gòu)成，在真空泵I上設(shè)有泵控制部30。泵控制部30能夠經(jīng)由通信線路等與位于制造裝置等中的控制部31進(jìn)行信息發(fā)送接收。另外，泵控制部31能夠向集中監(jiān)視系統(tǒng)32輸出真空泵I和除害部10的狀態(tài)信號(hào)。泵控制部30以綜合進(jìn)行真空泵I的控制以及除害部10的控制的方式構(gòu)成，泵的信號(hào)輸入輸出的一部分與除害部10連接，并且由泵控制部30實(shí)施除害部10的運(yùn)轉(zhuǎn)控制以及狀態(tài)監(jiān)視。即，構(gòu)成為，從泵控制部30向除害部10的控制箱1a輸出運(yùn)轉(zhuǎn)、停止信號(hào)，從控制箱1a向泵控制部30輸出除害部10的狀態(tài)信號(hào)。泵的運(yùn)轉(zhuǎn)能夠通過(guò)遠(yuǎn)控制程運(yùn)轉(zhuǎn)、本地控制運(yùn)轉(zhuǎn)、COM運(yùn)轉(zhuǎn)的任意一種方式應(yīng)對(duì)。由于在真空泵I的操作盤(pán)上設(shè)置有主斷路器(main breaker)，所以，能夠在除害部10中以所需最低限度的電源部件來(lái)應(yīng)對(duì)。
[0117]當(dāng)由泵控制部30輸出真空泵I的運(yùn)轉(zhuǎn)信號(hào)時(shí)，同時(shí)從泵控制部30向除害部10輸出運(yùn)轉(zhuǎn)信號(hào)，除害部10開(kāi)始運(yùn)轉(zhuǎn)。在除害部10為燃燒式的情況下，開(kāi)始導(dǎo)燃器的點(diǎn)火?？辙D(zhuǎn)時(shí)，停止除害部10的運(yùn)轉(zhuǎn)。在泵控制部30中，能夠進(jìn)行除害部10的運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間的設(shè)定變更。
[0118]如圖8所示，泵控制部30以綜合進(jìn)行真空泵I的控制以及除害部10的控制的方式構(gòu)成，由此，不需要如以往那樣地與真空泵用以及廢氣處理裝置用區(qū)別地準(zhǔn)備與裝置的接口。另外，除害部10由最小限度的電裝系統(tǒng)構(gòu)成。
[0119]另外，主要的信號(hào)的窗口為真空泵1，由此，使裝置側(cè)或者工廠側(cè)的控制簡(jiǎn)化。
[0120]根據(jù)氣體的類(lèi)型和量來(lái)選定除害部10的類(lèi)型和數(shù)量。使該除害部10與泵控制部30連接，泵控制部30能夠自動(dòng)識(shí)別除害部10的類(lèi)型和數(shù)量。也能夠通過(guò)泵控制部30單獨(dú)選擇除害部10的類(lèi)型和數(shù)量。
[0121]泵控制部30與真空泵I的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相符地進(jìn)行除害部10的控制，由此，能夠與使用條件、使用環(huán)境相符地實(shí)現(xiàn)除害部、真空泵的單獨(dú)運(yùn)轉(zhuǎn)、安全運(yùn)轉(zhuǎn)。
[0122]與真空泵I的使用狀況配合地謀求除害部10的運(yùn)轉(zhuǎn)模式的最優(yōu)化。在用戶(hù)側(cè)，不需要除害部10的控制順序的構(gòu)筑。在除害部10的設(shè)置時(shí)，不需要配線作業(yè)，能夠減少工時(shí)。
[0123]在除害部10為燃燒式的情況下，具有在處理中根據(jù)在各步驟所使用的處理氣體的類(lèi)型來(lái)調(diào)整燃料和氧化劑的流量以變更燃燒模式的情況。以往，通過(guò)從裝置或者公共管網(wǎng)設(shè)備向除害部的輸入信號(hào)來(lái)進(jìn)行模式變更。在本發(fā)明的方式的情況下，向干式泵的控制部輸入信號(hào)來(lái)進(jìn)行除害部10的燃燒模式變更。
[0124]另外，能夠相對(duì)于真空泵I有效利用除害部10的信號(hào)。例如，在燃燒除害的情況下，通常為了處理Cl2等清洗氣體，需要增加燃料、氧氣而使氣體在高溫狀態(tài)下分解。雖然具有另外輸出用于該清洗氣體處理的處理信號(hào)的情況，但是，在將接口與真空泵的控制部統(tǒng)合的情況下，作為泵部品的防腐蝕對(duì)策，能夠?qū)⑺鎏幚硇盘?hào)作為稀釋N2的增量信號(hào)來(lái)利用。由此，能夠謀求真空泵的壽命延長(zhǎng)。
[0125]在真空泵I的狀態(tài)監(jiān)視的監(jiān)視器中進(jìn)行除害部10的狀態(tài)顯示，由此，使運(yùn)用變得容易。僅通過(guò)在主要的真空泵I中顯示的狀態(tài)就夠?qū)崿F(xiàn)綜合管理，用戶(hù)能夠綜合地監(jiān)視除害部和泵的異常。
[0126]另外，能夠收集真空泵I和除害部10的統(tǒng)合信息，由此，能夠把握問(wèn)題產(chǎn)生時(shí)的真空泵I與除害部10的狀態(tài)，使問(wèn)題分析變得容易，能夠謀求改善對(duì)應(yīng)的時(shí)間縮短。
[0127]在將本發(fā)明的除害部10與具有已設(shè)真空泵的排氣系統(tǒng)連接的情況下、或者將本發(fā)明的除害部10投入至不需要真空泵的市場(chǎng)的情況下等，需要單獨(dú)控制除害部10，由此，需要單獨(dú)控制除害部10的控制部。
[0128]圖9是表示對(duì)設(shè)置在除害部10上的除害部10進(jìn)行單獨(dú)控制的控制部的構(gòu)成的示意圖。如圖9所示，在除害部10設(shè)有控制箱10a?？刂葡?a能夠經(jīng)由通信線路等與制造裝置等中的控制部31進(jìn)行信息發(fā)送接收。另外，控制箱1a向集中監(jiān)視系統(tǒng)32輸出除害部10的狀態(tài)信號(hào)。
[0129]如圖9所示，除害部10具有對(duì)除害部10的整體進(jìn)行控制的控制箱10a，由此，能夠構(gòu)成獨(dú)立型的除害部10。通過(guò)獨(dú)立型的除害部10，而能夠使用送風(fēng)機(jī)和除害部10的組合或單獨(dú)地使用除害部10。因此，也能夠?qū)哂幸言O(shè)真空泵的排氣系統(tǒng)投入除害部10。
[0130]圖10是表示作為本發(fā)明的帶除害功能的真空泵的除害部而優(yōu)選的小型的燃燒式除害部10的示意剖視圖。如圖10所示，除害部10整體上構(gòu)成為圓筒狀的容器。圓筒容器狀的除害部10沿縱向配置，并以使其軸心成為垂直方向的方式配置。除害部10具有:形成燃燒室S的有底的圓筒體41，在該燃燒室S中通過(guò)燃燒器形成火焰而使廢氣燃燒；和從該圓筒體41離開(kāi)規(guī)定間隔并以將圓筒體41包圍的方式設(shè)置的外筒42。而且，在圓筒體41與外筒42之間，形成有將N2氣體等不活性氣體保持并加熱的加熱室43。N2氣體等不活性氣體從位于外筒42的上部的入口端Pin流入至加熱室43并被加熱，然后，從位于外筒42的下部的出口端Pott流出。雙重管構(gòu)造的加熱室43構(gòu)成熱交換器。被加熱的不活性氣體能夠被供給至真空泵I。在加熱室43中，不活性氣體的溫度是與真空泵I的內(nèi)部溫度大致相同的溫度，例如，被加熱至190°C?220°C。
[0131]如圖10所示，在除害部10的下部的周壁形成有將處理對(duì)象的廢氣向燃燒室內(nèi)導(dǎo)入的氣體導(dǎo)入口 1in，在除害部10的上端形成有將處理后的氣體排出的氣體出口 10QUT。在除害部10設(shè)有向燃燒室S供給空氣的多個(gè)空氣噴嘴45、和向燃燒室S供給燃料的多個(gè)燃料噴嘴46?？諝鈬娮?5以相對(duì)于除害部10的切線方向帶有規(guī)定角度的方式延伸，并以沿著圓筒體41的周壁的內(nèi)周面形成旋轉(zhuǎn)流的方式噴出空氣。燃料噴嘴46也同樣地以相對(duì)于除害部10的切線方向帶有規(guī)定角度的方式延伸，并以沿著圓筒體41的周壁的內(nèi)周面形成旋轉(zhuǎn)流的方式噴出燃料?？諝鈬娮?5以及燃料噴嘴46分別沿除害部10的圓周方向隔開(kāi)規(guī)定的間隔地配置有多個(gè)。在圓筒體41的底部設(shè)有用于檢測(cè)火焰的UV傳感器48、和用于進(jìn)行點(diǎn)火的火花塞49。
[0132]以將火花塞49的周?chē)鼑姆绞皆O(shè)有筒狀的導(dǎo)燃部50。在導(dǎo)燃部50形成有供給形成火焰用的燃料的燃料供給口 51、和供給半預(yù)混合空氣的空氣供給口 52，通過(guò)火花塞49對(duì)從燃料供給口 51供給的燃料點(diǎn)火而形成導(dǎo)燃器PB (pilot burner)。
[0133]除害部10的控制箱1a具有用于將空氣以及燃料向燃燒室S供給或停止供給的電磁弁EVl、EV2、EV3、火花塞49用的點(diǎn)火變壓器53、UV傳感器48用的計(jì)測(cè)部54、和脈沖產(chǎn)生器55。而且，控制箱1a具有電源56以及CPU57。電源56與泵控制部30 (參照?qǐng)D8)連接，CPU57與泵控制部30連接。
[0134]泵控制部30和除害部10的接口的機(jī)構(gòu)并不限于電源供給和通信(RS485)。
[0135]接著，說(shuō)明圖10所示的除害部10的作用。
[0136]燃料從設(shè)在除害部10上的多個(gè)燃料噴嘴46向著燃燒室S以制造出旋轉(zhuǎn)流的方式噴出。而且，空氣從多個(gè)空氣噴嘴45向著燃燒室S以制造出旋轉(zhuǎn)流的方式噴出。然后，當(dāng)燃料與空氣的混合氣由導(dǎo)燃器PB點(diǎn)火時(shí)，在圓筒體41的內(nèi)周面上形成火焰的旋轉(zhuǎn)流(旋轉(zhuǎn)火焰)。
[0137]另一方面，處理對(duì)象的廢氣從在圓筒體41的內(nèi)周面上開(kāi)口的廢氣導(dǎo)入口 1in向上述燃燒室S噴出。該噴出的廢氣與混合氣的旋轉(zhuǎn)火焰混合而燃燒，此時(shí)，由于燃料從圓周方向上的所有燃料噴嘴46向I個(gè)方向以旋轉(zhuǎn)的方式被強(qiáng)烈噴出，所以廢氣的燃燒效率變高。而且，從空氣噴嘴45噴出的空氣也旋轉(zhuǎn)，因此，該空氣流與火焰混合而使火焰的旋轉(zhuǎn)流加速，同時(shí)將廢氣氧化分解。處理后的氣體從除害部10的上端的氣體出口 1qut排出而向排氣通道排出。
[0138]根據(jù)圖10所示的燃燒式除害部，能夠利用在除害部10的加熱室43中在廢氣的無(wú)害化處理時(shí)產(chǎn)生的燃燒廢熱來(lái)加熱N2等不活性氣體，并將被加熱了的不活性氣體經(jīng)由配管14向真空泵I供給。因此，能夠通過(guò)被加熱了的不活性氣體進(jìn)行真空泵的吹掃，能夠防止在真空泵I的內(nèi)部附著生成物。根據(jù)本發(fā)明，不需要設(shè)置用于加熱不活性氣體的專(zhuān)用加熱器，因此能夠謀求節(jié)能。
[0139]在不需要廢氣處理的用途而僅實(shí)施稀釋即可的情況(例如CVD等在腔室內(nèi)處理氣體的消耗效率較高，干式泵排氣中的有害氣體成分濃度接近容許濃度的情況)下，不使用除害部，通過(guò)由送風(fēng)機(jī)供給N2或者空氣的系統(tǒng)構(gòu)成，從而系統(tǒng)簡(jiǎn)化，能夠降低成本。
[0140]至此說(shuō)明了本發(fā)明的實(shí)施方式，但本發(fā)明并不限于上述的實(shí)施方式，在其技術(shù)思想的范圍內(nèi)，當(dāng)然能夠以各種不同的方式來(lái)實(shí)施。
【權(quán)利要求】
1.一種帶除害功能的真空泵，在真空泵的排氣口附設(shè)有對(duì)從真空泵排出的廢氣進(jìn)行處理而使之無(wú)害化的除害部，該帶除害功能的真空泵的特征在于， 準(zhǔn)備多個(gè)類(lèi)型的、廢氣的處理形式以及/或者廢氣的處理量不同的除害部， 根據(jù)從所述真空泵排出的廢氣的氣體量以及氣體種類(lèi)，從多個(gè)類(lèi)型的所述除害部中選定I臺(tái)或者多臺(tái)除咅部， 將所選定的所述除害部與所述真空泵的排氣口連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶除害功能的真空泵，其特征在于， 所述真空泵由I臺(tái)真空泵構(gòu)成，或者由串聯(lián)以及/或者并聯(lián)連接的多臺(tái)真空泵構(gòu)成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶除害功能的真空泵，其特征在于， 所述除害部由I個(gè)除害部構(gòu)成，或者由串聯(lián)以及/或者并聯(lián)連接的多個(gè)除害部構(gòu)成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶除害功能的真空泵，其特征在于， 供給至所述真空泵以及所述除害部的冷卻水以及/或者不活性氣體能夠從通用的公共管網(wǎng)設(shè)備供給。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的帶除害功能的真空泵，其特征在于， 所述不活性氣體在利用所述除害部中的廢氣無(wú)害化處理時(shí)所產(chǎn)生的熱量而被加熱之后，被供給至所述真空泵。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的帶除害功能的真空泵，其特征在于， 所述通用的公共管網(wǎng)設(shè)備能夠向燃燒式的所述除害部供給燃料以及空氣。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的帶除害功能的真空泵，其特征在于， 所述通用的公共管網(wǎng)設(shè)備能夠由可移動(dòng)的儲(chǔ)氣瓶供給燃料。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的帶除害功能的真空泵，其特征在于， 在通過(guò)所述除害部對(duì)廢氣進(jìn)行了無(wú)害化處理之后，將處理后的氣體向位于設(shè)置地的排氣通道直接排出。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的帶除害功能的真空泵，其特征在于， 在通過(guò)所述除害部對(duì)廢氣進(jìn)行了無(wú)害化處理之后，將處理后的氣體向洗滌塔排出。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的帶除害功能的真空泵，其特征在于， 具有綜合控制所述真空泵和所述除害部的控制部。
11.一種除害部，其特征在于， 具有I臺(tái)或者多臺(tái)對(duì)廢氣進(jìn)行處理而使之無(wú)害化的除害部， 還具有對(duì)I臺(tái)或者多臺(tái)所述除害部的整體進(jìn)行控制的控制部， 所述控制部能夠與設(shè)在設(shè)置地的裝置中的控制部收發(fā)信息，并且，能夠向設(shè)置地的監(jiān)視系統(tǒng)輸出I臺(tái)或者多臺(tái)所述除害部的狀態(tài)信號(hào)。
【文檔編號(hào)】F04C29/12GK104214101SQ201410234030
【公開(kāi)日】2014年12月17日 申請(qǐng)日期:2014年5月29日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月30日
【發(fā)明者】中澤敏治, 杉浦哲郎, 川村興太郎, 筱原豐司, 京谷敬史, 石川敬一, 柏木誠(chéng)司, 鈴木康彥, 荒井秀夫 申請(qǐng)人:株式會(huì)社荏原制作所