專利名稱：一種集成式微型端面磁懸浮軸承的制作方法
技術領域：
本實用新型的屬于機械領域軸承類，涉及一種對傳統(tǒng)的端面磁懸浮軸承的改進。
端面磁懸浮軸承主要用于高速旋轉機械轉子的軸向定位。目前國內外普遍采用的端面磁懸浮軸承的結構如圖1所示，包括有鐵芯1、線圈2、位置傳感器3和工作對象4組成，其各個部分由單個零件組裝而成。其工作原理為位置傳感器感知工作對象的軸向位置，根據位置的不同，按照一定的算法，線圈中通以一定的電流，在此感應電流的作用下，鐵芯對工作對象產生一定的吸引力，使工作對象運動到正確的位置(一般是中間位置)。由于目前的端面磁懸浮軸承的鐵芯、線圈和位置傳感器都是分離的，則成本較高，體積較大。
本實用新型的目的在于克服已有技術的缺點，提供一種集成度高，體積小的微型端面磁懸浮軸承。
本實用新型的整體結構如圖2、圖3所示，由相同的兩組鐵芯1、線圈2、基底3、導磁體5結構組成，兩組結構相對放置，在兩組結構之間置有導磁的工作對象4，在基底本體的一側面上按輻射狀均勻分布制備出與鐵芯和線圈相同的凹槽，多組鐵芯和多組線圈置于基底本體上的凹槽內，導磁體的側面與基底的另一側面固定連接，在鐵芯的外徑上按一定距離安置線圈，線圈在鐵芯的徑向方向排列。
本實用新型的工作原理為基底上的任意一組鐵芯和線圈，或任意相鄰的兩組鐵芯和線圈構成電感位移傳感器，感知工作對象的相對位置，根據所感知的軸向位置的不同，按照一定的算法，在兩片基底上的其它線圈中通以一定的電流，對工作對象產生與電感位移傳感器感知的軸向位置相應的吸引力；使工作對象保持在一定的位置上既基本上保持在兩組結構的中間位置。
本實用新型的積極效果由于線圈、鐵芯和電感位移傳感器都在一個基底上集成，所以能夠克服已有技術中集成度低，制造成本高，體積較大的缺點。提供一種集成度高，體積小的微型端面磁懸浮軸承。


圖1是已有技術結構圖圖2是本實用新型的結構圖圖3是本實用新型A向剖視圖本實用新型的實施例如圖2、圖3所示為鐵芯1、線圈2、基底3、導磁體5。鐵芯1采用坡莫合金，應用微機械工藝電鑄到基底1上面或其凹槽內部。線圈2采用銅，應用微機械工藝電鑄到基底1上面或凹槽內部。基底3可采用硅片，如果鐵芯1和線圈2是向上生長的，基底3也可以采用玻璃片，基底3采用環(huán)形結構。工作對象4采用環(huán)形或圓形導磁體。導磁體5可采用電工純鐵或A3鋼。如果本實用新型放置在轉子的端部，基底3和導磁體5可以是其它形狀，線圈也可采用矩陣等其它排布方式。
權利要求1.一種集成式微型端面磁懸浮軸承，它包括鐵芯1、線圈2，其特征在于由相同的兩組鐵芯1、線圈2、基底3、導磁體5結構組成，兩組結構相對放置，在兩組結構之間置有導磁的工作對象4，在基底3本體的一側面上按輻射狀均勻分布制備出與鐵芯1和線圈2相同的凹槽，多組鐵芯1和多組線圈2置于基底3本體上的凹槽內，導磁體5的側面與基底3的另一側面固定連接，在鐵芯1的外徑上按一定距離安置線圈2，線圈2在鐵芯1的徑向方向排列。
專利摘要本實用新型屬于機械領域軸承類,涉及一種對傳統(tǒng)的端面磁懸浮軸承的改進。由相同的兩組鐵芯、線圈、基底、導磁體結構組成,兩組結構相對放置,在兩組結構之間置有導磁的工作對象,在基底本體的一側面上按輻射狀均勻分布制備出與鐵芯和線圈相同的凹槽,多組鐵芯和多組線圈置于基底本體上的凹槽內,導磁體的側面與基底的另一側面固定連接,在鐵芯的外徑上按一定距離安置線圈,線圈在鐵芯的徑向方向排列。本實用新型由于線圈、鐵芯都在一個基底上集成,提供一種集成度高,體積小的微型端面磁懸浮軸承。
文檔編號F16C32/04GK2454584SQ0026446
公開日2001年10月17日 申請日期2000年12月6日 優(yōu)先權日2000年12月6日
發(fā)明者賈宏光, 吳一輝, 梁靜秋, 王淑榮 申請人:中國科學院長春光學精密機械與物理研究所