專利名稱:一種高真空閘板閥的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種高真空閘板閥，包括：閥體、閥門及動力裝置，閥門由連接板、設(shè)于連接板上的主板和副板構(gòu)成，主板底端與連接板固定，副板底端與連接板之間設(shè)有支撐彈簧，主板與副板之間通過至少一個鉸接軸鉸接，動力裝置連接于連接板下方；副板上設(shè)有與閥孔外圈側(cè)壁配合的密封圈，閥體的頂端設(shè)有可容納主板升降的缺口，動力裝置推動連接板向上運動至副板的密封圈與閥孔外圈的側(cè)壁緊貼。本實用新型通過主板與副板之間的鉸接結(jié)構(gòu)，氣缸推動連接板向上運動之后，鉸接軸在主、副板間相對轉(zhuǎn)動，產(chǎn)生一個將副板向閥體壓緊的力，使閥門緊密貼合在閥體上，達(dá)到高真空密封效果。
【專利說明】一種高真空閘板閥

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種閘板閥，尤其涉及一種高真空閘板閥。

【背景技術(shù)】
[0002]閘板閥是一種很常用的截斷閥，主要用來接通或截斷流體或氣路系統(tǒng)中的介質(zhì)，一般不運用于調(diào)節(jié)介質(zhì)流量。閘板閥運用的壓力、溫度及直徑范圍非常大，尤其運用于中、大直徑的管道。例如，閘板閥被廣泛應(yīng)用在MOCVD設(shè)備領(lǐng)域中，由于國產(chǎn)MOCVD設(shè)備目前仍處于起步成長階段，工藝和設(shè)備制造技術(shù)都不完善，不具備完善的功能及大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)的能力。國產(chǎn)MOCVD設(shè)備涉及的閘板閥存在以下不足和缺陷:
[0003]1、一般平行式閘板閥因結(jié)構(gòu)簡單，不能靠自身達(dá)到強制密封效果，閥門關(guān)閉時，可能還存在反應(yīng)氣體的泄露，閘板閥密封效果差；
[0004]2、閘板閥即使達(dá)到了所需密封效果，但閥門開啟和關(guān)閉運動過程中，閥門與閥座相接觸的密封面之間存在相對滑動，容易對密封面造成擦傷，久而久之又反過來影響了密封效果；
[0005]3、閘板閥的結(jié)構(gòu)功能不齊備，不具備產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)條件。
[0006]因此，如何設(shè)計一種密封效果好、減少密封面擦傷且生產(chǎn)功能完善的高真空閘板閥是業(yè)界亟待解決的技術(shù)問題。
實用新型內(nèi)容
[0007]為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提出一種能依靠自身結(jié)構(gòu)達(dá)到高真空密封效果且閥門啟閉過程中密封面間無摩擦碰撞的平行式高真空閘板閥。
[0008]本實用新型采用的技術(shù)方案是，設(shè)計一種高真空閘板閥，包括:閥體，所述閥體內(nèi)設(shè)有空腔，閥體的前后兩側(cè)壁平行并設(shè)有閥孔；閥門，所述閥門配合設(shè)于閥體的空腔內(nèi)，閥門由連接板、設(shè)于連接板上的主板和副板構(gòu)成，主板、副板分別與閥體的前、后兩側(cè)壁平行，主板底端與連接板固定，副板底端與連接板之間設(shè)有支撐彈簧，所述主板與副板之間通過至少一個鉸接軸鉸接，鉸接軸的兩端分別橫向鉸接于主板、副板上，所述鉸接軸在垂直面內(nèi)轉(zhuǎn)動；動力裝置，所述動力裝置連接于連接板下方；所述副板尺寸大于閥體后側(cè)壁上的閥孔，所述副板上設(shè)有與該閥孔外圈側(cè)壁配合的密封圈，閥體的頂端設(shè)有可容納主板升降的缺口，所述動力裝置推動連接板向上運動至副板的密封圈與所述閥孔外圈的側(cè)壁緊貼。
[0009]所述副板頂面設(shè)有副滾輪，所述副滾輪可沿閥體內(nèi)頂壁前后滾動；所述主板前側(cè)上設(shè)有主滾輪，所述主滾輪可沿閥體內(nèi)前側(cè)壁上下滾動。
[0010]所述閥體頂部一側(cè)設(shè)有連通閥體內(nèi)的氮氣吹掃進(jìn)氣口。
[0011]所述主板與副板之間設(shè)有兩個平行的鉸接軸鉸接。
[0012]所述動力裝置為氣缸。
[0013]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有以下優(yōu)點:
[0014]1、通過主板與副板之間的鉸接結(jié)構(gòu)，氣缸推動連接板向上運動，副板接觸到閥體頂端時，主板被繼續(xù)向閥體缺口上推動，副板與連接板之間的彈簧被壓縮，鉸接軸在主、副板間相對轉(zhuǎn)動，產(chǎn)生一個將副板向閥體壓緊的力，使閥門緊密貼合在閥體上，達(dá)到高真空密封效果。
[0015]2、閥門運動時，通過滾輪與閥體接觸，從而減少閥門與閥體間的磨損。
[0016]3、增加一個氮氣吹掃進(jìn)氣口，保證基片的潔凈度。

【附圖說明】

[0017]下面結(jié)合實施例和附圖對本實用新型進(jìn)行詳細(xì)說明，其中:
[0018]圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖2是閥門關(guān)閉的第一階段示意圖；
[0020]圖3是圖2中A的局部放大圖；
[0021]圖4是閥門關(guān)閉的第二階段示意圖；
[0022]圖5是圖4中B的局部放大圖。

【具體實施方式】
[0023]如圖1所示，本實用新型提出的高真空閘板閥，包括:閥體1、閥門及動力裝置。
[0024]閥體I內(nèi)設(shè)有空腔，閥體I的前后兩側(cè)壁平行并設(shè)有閥孔。閥門配合設(shè)于閥體的空腔內(nèi)，閥門由連接板2、設(shè)于連接板2上的主板3和副板4構(gòu)成，主板3、副板4分別與閥體I的前、后兩側(cè)壁平行，主板3底端與連接板2固定，副板4底端與連接板2之間設(shè)有支撐彈簧，在彈簧的彈力作用下，副板4可以在垂直方向上保持平衡狀態(tài)。主板3與副板4之間通過至少一個鉸接軸5鉸接，鉸接軸5的兩端分別橫向鉸接于主板3、副板4上，鉸接軸5在垂直面內(nèi)轉(zhuǎn)動。副板4尺寸大于閥體I后側(cè)壁上的閥孔，副板4上設(shè)有與該閥孔外圈側(cè)壁配合的密封圈，閥體I的頂端設(shè)有可容納主板3升降的缺口 9。動力裝置連接于連接板下方。本實施例中，為了增強結(jié)構(gòu)可靠性及鉸接軸5對副板4的壓力，主板3與副板4之間設(shè)有兩個平行的鉸接軸5鉸接。其中，動力裝置為氣缸10，氣缸10推動連接板2向上運動至副板4與閥孔外圈的側(cè)壁緊貼。
[0025]副板4頂面設(shè)有副滾輪6，副滾輪6可沿閥體I內(nèi)頂壁前后滾動。主板3前側(cè)上設(shè)有主滾輪7，主滾輪7可沿閥體I內(nèi)前側(cè)壁上下滾動。高精度滾輪使主板3、副板4在閥門開啟和關(guān)閉過程中與閥體I間通過滾輪接觸，從而避免主板3、副板4與閥體間的磨損。
[0026]閥門關(guān)閉運動時，如圖2、3所示，第一階段:在氣缸10推力作用下，連接板2帶動主、副板做上升運動，然后副板4上的副滾輪6與閥體I內(nèi)腔頂壁接觸，副板4在垂直方向先達(dá)到上限位置，副板4向上運動終止。如圖4、5所示，第二階段:主板3在氣缸10推力作用下繼續(xù)做上升運動，向上伸出閥體I頂部的缺口 9，通過主、副板之間鉸鏈軸5的傳動作用，鉸鏈軸5轉(zhuǎn)動推開副板4使副板4做出水平運動，使副板4上的密封圈與閥體I緊貼達(dá)到密封效果。閥門開啟運動為閥門關(guān)閉運動的逆過程，主板3先通過氣缸10拉力做出下降運動，同時由于鉸鏈軸5的作用，使副板4做出水平運動，脫離閥體I內(nèi)側(cè)壁，然后主、副板一起做下降運動，閥門開啟。
[0027]閘板閥通過副板4與閥體I貼合進(jìn)行密封，副板4與閥體I進(jìn)行貼合與分開時的運動為水平方向運動，所以副板4與閥體I密封面之間不存在有刮擦現(xiàn)象。
[0028]再進(jìn)一步的，閥體I頂部一側(cè)設(shè)有連通閥體I內(nèi)的氮氣吹掃進(jìn)氣口 8，在出料通過閘板閥時，對石墨盤上的基片進(jìn)行充氮氣吹掃以保證基片的潔凈度，提升閘板閥的實用性能，便于將閘板閥應(yīng)用在大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)中。
[0029]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種高真空閘板閥，其特征在于包括: 閥體，所述閥體內(nèi)設(shè)有空腔，閥體的前后兩側(cè)壁平行并設(shè)有閥孔； 閥門，所述閥門配合設(shè)于閥體的空腔內(nèi)，閥門由連接板、設(shè)于連接板上的主板和副板構(gòu)成，主板、副板分別與閥體的前、后兩側(cè)壁平行，主板底端與連接板固定，副板底端與連接板之間設(shè)有支撐彈簧，所述主板與副板之間通過至少一個鉸接軸鉸接，鉸接軸的兩端分別橫向鉸接于主板、副板上，所述鉸接軸在垂直面內(nèi)轉(zhuǎn)動； 動力裝置，所述動力裝置連接于連接板下方； 所述副板尺寸大于閥體后側(cè)壁上的閥孔，所述副板上設(shè)有與該閥孔外圈側(cè)壁配合的密封圈，閥體的頂端設(shè)有可容納主板升降的缺口，所述動力裝置推動連接板向上運動至副板的密封圈與所述閥孔外圈的側(cè)壁緊貼。2.如權(quán)利要求1所述的高真空閘板閥，其特征在于，所述副板頂面設(shè)有副滾輪，所述副滾輪可沿閥體內(nèi)頂壁前后滾動； 所述主板前側(cè)上設(shè)有主滾輪，所述主滾輪可沿閥體內(nèi)前側(cè)壁上下滾動。3.如權(quán)利要求2所述的高真空閘板閥，其特征在于，所述閥體頂部一側(cè)設(shè)有連通閥體內(nèi)的氮氣吹掃進(jìn)氣口。4.如權(quán)利要求1所述的高真空閘板閥，其特征在于，所述主板與副板之間設(shè)有兩個平行的鉸接軸鉸接。5.如權(quán)利要求1所述的高真空閘板閥，其特征在于，所述動力裝置為氣缸。
【文檔編號】F16K27-04GK204284503SQ201420704271
【發(fā)明者】羅偉斌, 肖岳南, 肖四哲 [申請人]深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司