專利名稱：真空以及真空破壞用復合閥的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及真空以及真空破壞用復合閥，更詳細地說是涉及構成為針對吸附臺等的負荷，交替供給真空壓和真空破壞用的壓力流體的復合閥。
背景技術：
例如，在各種加工裝置中，在將工件運送到規(guī)定的加工場所或收容場所等的情況下，使用真空吸附裝置。該真空吸附裝置具有吸附臺、吸入泵等的真空源、供給用于真空破壞的壓力流體的壓力流體源、連接在這些真空源以及壓力流體源和上述吸附臺之間的真空轉換裝置，利用該真空轉換裝置，通過將上述吸附臺連接到真空源來吸附工件，運送到規(guī)定的場所，然后，通過利用上述真空轉換裝置將吸附臺連接到壓力流體源，破壞真空而解除吸附，將工件釋放到該位置。
用于這樣的真空吸附裝置的上述真空轉換裝置，例如專利文獻1或者專利文獻2所述的那樣，是通過組合多個電磁閥和轉換閥等構成，這些電磁閥和轉換閥與節(jié)流閥等的其他的相關零件一起被組裝在裝置主體上。
特開平5-26367公報[專利文獻2]特開平8-309684公報但是，上述以往的真空轉換裝置，是通過象上述那樣將多個電磁閥和轉換閥與其他的相關零件一起一體組裝在裝置主體上而構成的，都是各個零件以各種各樣的朝向安裝在裝置主體的各種各樣的位置上，所以不僅作為整體大型雜亂，而且流路也復雜地伸入，流路長度也長，還有很多要改善的地方。
因此，本發(fā)明的目的就是替代上述以往的真空轉換裝置，提供一種真空以及真空破壞用的復合閥，該真空以及真空破壞用的復合閥通過采用簡單且合理的設計構造，使整體緊湊化且簡單化，同時也改善了與真空用以及加壓用的各流路的配置和流路長度相關的問題點。

發(fā)明內容
為了達到上述目的，本發(fā)明的復合閥的特征在于，具有主閥部、流路合流部以及先導閥部，該主閥部具有與真空源連接的真空口、與壓力流體源連接的加壓口、對連結上述真空口和合流口的真空流路進行開閉的真空側閥部件、以及對連結上述加壓口和合流口的加壓流路進行開閉的加壓側閥部件；該流路合流部具有用于與負荷連接的上述合流口、分別位于上述真空流路中以及加壓流路中的過濾室、可自由拆裝地配設在各過濾室內的濾清器；上述先導閥部具有兩個單獨對上述主閥部的真空側閥部件以及加壓側閥部件進行操作的先導閥，上述主閥部和流路合流部以及先導閥部被形成為同等的寬度，上述流路合流部結合在主閥部的軸線方向的一端側，同時，上述先導閥部結合在另一端側，據(jù)此，這些主閥部和流路合流部以及先導閥部沿上述軸線結合為一列。
希望在本發(fā)明中，上述主閥部具有在軸線方向延伸的一個閥孔，上述真空側閥部件以及加壓側閥部件可單獨動作地被收容在該閥孔內，這些閥部件在彼此相對的一側具有受壓面積小的恢復用受壓部，同時，在相反的一側具有受壓面積大的驅動用受壓部，來自上述加壓口的壓力流體總是作用于上述恢復用受壓部，由上述先導閥供給的先導流體作用于驅動用受壓部。
另外，也可以是上述合流口形成在上述流路合流部的前端面，并且，上述兩個過濾室，沿軸線方向形成于該流路合流部的內部的隔著上述合流口相對的位置，上述過濾器借助可從上述前端面?zhèn)茸杂刹鹧b的濾清器保持器與該濾清器保持器一起可自由拆卸地安裝在各過濾室內。
再有，在本發(fā)明中最好上述濾清器呈圓筒狀，另外，上述濾清器保持器呈圓柱狀，在該濾清器保持器的內部形成流路孔，該流路孔構成上述真空流路或者加壓流路的一部分，該流路孔的一端通過濾清器保持器的側面的孔開口與上述合流口連通，上述濾清器安裝在該濾清器保持器的外周，覆蓋該孔開口。
另外，在本發(fā)明中，也可以是在上述主閥部的上面安裝節(jié)流閥，通過該節(jié)流閥對在上述加壓主流路內流動的壓力流體的流量進行調節(jié)。
再有，希望在本發(fā)明中，復合閥的兩側面是用于連接其他的復合閥的實質上為平的連接面，另外，上述加壓口和真空口在寬度方向貫通上述主閥部，可以與所連接的其他的復合閥的加壓口和真空口連接。
發(fā)明的效果通過采用將主閥部和流路合流部以及先導閥部沿閥的軸線一列并且一體地結合這樣非常簡單合理的設計構造，可以作為具有與通常的電磁閥同樣的構成的復合閥而構成，其結果為，整體被緊湊化且被簡單化，同時，真空用以及加壓用的各流路的配置也被簡單化，可以謀求縮短流路的長度。


圖1是有關本發(fā)明的復合閥的一個實施方式的剖視圖。
圖2是放大圖1的主閥部所示的主要部位放大圖。
圖3是放大圖1的流路合流部所示的主要部位放大圖。
圖4是圖1的分解立體圖。
圖5是表示通過有關本發(fā)明的復合閥，構成閥總成情況的中途的組裝狀態(tài)的立體圖。
具體實施例方式
圖1-圖4是表示有關本發(fā)明的真空以及真空破壞復合閥的一個實施方式，該復合閥V是由主閥部1、流路合流部2以及先導閥部3構成，該主閥部1通過真空側以及加壓側的兩個閥部件8、9，單獨開閉用于將真空壓供給到負荷的真空流路6以及用于將真空破壞用的壓力流體(例如空氣)供給到負荷的加壓流路7；該流路合流部2通過一個合流口10，將上述真空流路6和加壓流路7連接到負荷；該先導閥部3通過兩個先導閥11、12，單獨對上述兩個閥部件8、9進行開閉操作，這些主閥部1和流路合流部2以及先導閥部3沿閥的軸線L一列并且一體地結合。
另外，該復合閥V如圖5所示，其構成為，通過具有同樣的構成的其他的復合閥V相互連接，與被稱為配管單元100和配電單元101的相關部件一起，集中搭載在軌道102上，可以作為閥總成使用。因此，該復合閥V的寬度(厚度)作為整體大致一定，其寬度方向的兩側面為了連接其他的復合閥V或相關零件等，實質上成為平的連接面13。
下面，詳細敘述上述復合閥V的具體的構成。
上述復合閥V的主閥部1具有主閥部殼體16，該主閥部殼體16具有矩形且縱向長的剖面形狀。該主閥部殼體16由多個單元構成，是通過將位于中央的閥單元16a、位于該閥單元16a的軸線L方向一端側的手動單元16b、跨越兩單元16a、16b，位于這些閥單元16a和手動單元16b的底部的端口單元16c相互結合而構成。
在上述閥單元16a上形成沿上述軸線L延伸的一個閥孔17，在該閥孔17內的一個半部側和另一個半部側，可單獨動作地收容著滑閥式的上述真空側閥部件8和加壓側閥部件9。這些閥部件8、9在相互相對的一側的端面具有受壓面積小的恢復用受壓部8a、9a，同時在相互相反的一側的端部具有受壓面積大的驅動用受壓部8b、9b。該驅動用受壓部8b、9b由與該閥部件8、9的端面接觸的活塞18、19形成，在該活塞18、19的外側形成先導用的受壓室21、22。這樣，若從上述先導閥11、12向對應的受壓室21、22供給先導流體，則象圖1以及圖2的加壓側閥部件9那樣，閥部件8、9被活塞18、19推動，向閥孔17的內側的連通位置移動，另外，若上述受壓室21、22的先導流體被排出，則象圖1以及圖2的真空側閥部件8那樣，通過作用在恢復用受壓部8a、9a上的、來自加壓口5的流體壓，上述閥部件8、9被推動，恢復到外側的斷開位置。
另外，在上述閥單元16a上，形成真空第一通孔6a以及真空第二通孔6b和加壓第一通孔7a以及加壓第二通孔7b，該真空第一通孔6a以及真空第二通孔6b在上述真空側閥部件8的動作區(qū)域、在與上述閥孔17不同的位置上開口；該加壓第一通孔7a以及加壓第二通孔7b在加壓側閥部件9的動作區(qū)域、在與上述閥孔17不同的位置上開口。上述真空第一通孔6a與形成在上述端口單元16c上的真空口4連通，真空第二通孔6b與真空連通孔6c連通，該真空連通孔6c在與上述流路合流部2的接合面上開口，通過這些真空第一通孔6a和閥孔17以及真空第二通孔6b和真空連通孔6c，形成作為上述真空流路6的一部分的主閥部側真空流路部分6A。這樣，該主閥部側真空流路部分6A，在上述真空第一通孔6a和真空第二通孔6b之間的閥孔部分，通過上述真空側閥部件8的閥密封部件24接近或離開閥孔內周面的凸臺(ランド)進行開閉。
另外，上述主閥部側真空流路部分6A與在后述的流路合流部2中的合流部側真空流路部分6B連通，構成上述真空流路6。
另外，上述加壓第一通孔7a與形成在上述端口單元16c上的加壓口5連通，加壓第二通孔7b經(jīng)過節(jié)流閥27以及中間通孔7d與加壓連通孔7c連通，該加壓連通孔7c在與上述流路合流部2的接合面上開口，通過這些加壓第一通孔7a和閥孔17和加壓第二通孔7b和節(jié)流閥27和中間通孔7d以及加壓連通孔7c，形成作為上述加壓流路7的一部分的主閥部側加壓流路部分7A。這樣，該主閥部側加壓流路部分7A，在上述加壓第一通孔7a和加壓第二通孔7b之間的閥孔部分，通過上述加壓側閥部件9的閥密封部件26接近或離開閥孔內周面的凸臺進行開閉。
另外，上述主閥部側加壓流路部分7A與在后述的流路合流部2中的合流部側加壓流路部分7B連通，構成上述加壓流路7。
另外，通過加壓口5的上述加壓第一通孔7a在兩個閥部件8、9的恢復用受壓部8a、9a之間的位置上，在閥孔17內開口，通過該加壓第一通孔7a被供給到閥孔17內的、來自加壓口5的壓力流體，總是作用在這些兩個閥部件8、9的恢復用受壓部8a、9a上。
上述真空口4以及加壓口5在寬度方向貫通上述端口單元16c，在其一端側，形成從連接面13向外方突出的連接管部29，在另一端側，形成具有環(huán)狀的密封部件的連接孔部(省略圖示)。這樣，在將其他的復合閥V連接到該復合閥V的兩側的連接面13上時，上述連接管部29和連接孔部與其他的復合閥V的連接孔部和連接管部29嵌合，端口彼此氣密性地連接。
另外，上述真空口4以及加壓口5通過圖5所示的配管單元100，與空吸泵等的真空源和供給壓縮空氣等的壓力流體源連接。
上述端口單元16c還具有在寬度方向貫通的先導排出口31。該先導排出口31通過省略了圖示的先導連通孔，與上述先導閥部3的兩個先導閥11、12連通。這樣，在該先導排出口31的兩端，也設置用于與所連接的其他的復合閥V的先導排出口31連接的連接管部和連接孔部。
上述手動單元16b具有兩組手動操作部32、33。這些手動操作部32、33用于通過手動操作再現(xiàn)由兩個先導閥11、12進行的轉換狀態(tài)，在上述手動單元16b的上面具有在寬度方向并列設置的兩個手動鈕32a、33a，第一手動鈕32a與操作真空側閥部件8的第一先導閥11對應，第二手動鈕33a與操作加壓側閥部件9的第二先導閥12對應。這樣，若下壓上述第一手動鈕32a，則先導流體直接供給到真空側受壓室21，真空側閥部件8被轉換到連通位置，若下壓第二手動鈕33a，則先導流體直接供給到加壓側受壓室22，加壓側閥部件9被轉換到連通位置。但是，這樣的手動操作部32、33的構造以及作用是公知的。
另外，在上述主閥部殼體16的上面形成凹部，通過墊片34，利用固定螺釘36，將節(jié)流閥體35固定在該凹部內，在該節(jié)流閥體35上搭載上述節(jié)流閥27。該節(jié)流閥27是使閥桿37進退、調節(jié)節(jié)流孔38的開口量的方式，該閥桿37通過密封部件39，可自由旋轉且可自由進退地被收容在豎起于上述節(jié)流閥體35的上面的筒部35a的內部，該閥桿37的基端部的陽螺紋部40和筒部側的陰螺紋部41嚙合。這樣，若轉動操作該閥桿37，則該閥桿37在上下方向，即，與閥的軸線L正交的方向進退，通過其前端的調節(jié)部37a，調節(jié)上述節(jié)流孔38的開口面積，該節(jié)流孔38位于連結上述加壓第二通孔7b和加壓連通孔7c的流路中。
另外，通過與閥單元16a一體形成上述墊片34，也可以省略該墊片34。
上述流路合流部2具有與在上述主閥部1中的主閥部殼體16的接合面結合的合流部殼體45。該合流部殼體45具有與上述主閥部殼體16實質上相同的高度以及寬度(厚度)，在軸線L方向的前端面45a的大致中央位置，具有用于與負荷連接的一個上述合流口10。該合流口10形成在與上述主閥部1中的閥孔17大致同軸上的位置，通過分支為兩個的分支通孔46、47和真空側以及加壓側的過濾室48、49，與上述主閥部1的真空連通孔6c和加壓連通孔7c連接。因此，通過上述分支通孔46和真空側過濾室48，形成上述合流部側真空流路部分6B，另外，通過上述分支通孔47和加壓側過濾室49，形成上述合流部側加壓流路部分7B。
作為連接到上述合流口10的負荷，例如是吸附并運送工件的吸附臺。
上述過濾室48、49是由細長的圓形的孔構成的，這兩個過濾室48、49從上述合流部殼體45的前端面45a側與上述軸線L平行，并且相互平行地形成在隔著上述合流口10上下相對的位置上。這樣，各過濾室48、49的前端通過連接孔48a、49a，與主閥部1的真空連通孔6c以及加壓連通孔7c連通，上述分支通孔46、47連通在該過濾室48、49的中間部側面位置上。
在上述各過濾室48、49內，分別可自由拆裝地配設著濾清器51。該濾清器51通過被安裝在濾清器保持器52上而與該濾清器保持器52一起構成濾清器組件50，該濾清器組件50可自由拆卸地安裝在上述各過濾室48、49內。對此進行更具體的說明，上述濾清器保持器52呈圓柱狀，在其內部具有在該濾清器保持器52的長度方向延伸的流路孔53。該流路孔53形成上述流路部分6B、7B的一部分，其一端在該濾清器保持器52的前端部開口，另一端到達該濾清器保持器52的長度方向的中間位置，與在該濾清器保持器52的側面開口的多個孔開口53a連通。
另外，在上述濾清器保持器52的前端部形成外周具有陽螺紋的螺紋部52a，在基端部形成用于轉動操作的操作部52b，該操作部52b具有用于卡定螺絲刀等的工具的卡定槽52c。
另外，上述濾清器51呈圓筒狀，被嵌在形成有上述濾清器保持器52的外周的上述孔開口53a的部分，覆蓋該孔開口53a，通過螺合在上述螺紋部52a的固定環(huán)54支撐端部，據(jù)此，被固定在該位置。
這樣，從合流部殼體45的前端面45a側將上述濾清器保持器52插入各過濾室48、49內，通過將前端的螺紋部52a螺合到固定在該過濾室48、49內的螺紋接受部55，上述濾清器組件50可自由拆裝地被安裝在過濾室48、49內。此時，通過上述分支通孔46、47在包圍上述濾清器51的外周的區(qū)域內與過濾室48、49連通，而借助該濾清器51與上述濾清器保持器52的孔開口53a連通，據(jù)此，上述合流口10和主閥部1的真空流路部分6A以及加壓流路部分7A通過上述濾清器51相互連通。
圖中56是氣密性地保持上述濾清器保持器52、52的外周和過濾室48、49的內周之間的密封部件。
在上述合流部殼體45的上面形成與上述加壓側過濾室49連通的傳感器口60，檢測加壓用流體的壓力的壓力傳感器61通過傳感器保持器62安裝在該傳感器口60上。該傳感器保持器62其筒狀的腳部62a以擰入方式安裝在上述口60上，在該腳部62a的上端的安裝部62b上安裝著上述壓力傳感器61，壓力流體通過上述腳部62a的內部的檢測孔62c，被導入壓力傳感器61的檢測部。
上述傳感器口60在包圍上述濾清器51的外周的區(qū)域，換言之，在可通過該濾清器51與上述濾清器保持器52的孔開口53a連通的區(qū)域，與上述過濾室49連通，據(jù)此，被該濾清器51過濾后的壓力流體被導入上述壓力傳感器61。
但是，上述傳感器口60以及壓力傳感器61也可以設置在主閥部1的主閥部殼體16上。或者，還可以不將該壓力傳感器61附設在主閥部殼體16上或者合流部殼體45上，而是作為單獨部件形成，另行設置并與流路連接。
另外，在圖示的實施方式中，上述合流部殼體45是通過一個單元一體形成的，也可以是將多個單元結合而形成。
另外，上述先導閥部3在先導殼體65的上下具有電磁操作式的上述兩個先導閥11、12，同時在該先導殼體65的下端部，具有做成集中端子形的用于匯總配線的電氣連接器66，并且，在該先導殼體65的中間位置具有先導供給口67。
上述兩個先導閥11、12通過省略了圖示的多個先導用的流路，共通地連通到上述先導供給口67，同時單獨與上述真空側受壓室21和加壓側受壓室22連通，并且也與上述先導排出口31連通。另外，通過內置在上述先導殼體65內的導電機構，與上述電氣連接器66電連接。這樣，若對兩個先導閥11、12的一個通電，則先導流體被供給到相應的受壓室21、22，閥部件8、9移動到連通位置，若解除通電，則上述受壓室21、22的先導流體被排出，閥部件8、9恢復到斷開位置。
但是，因為這樣的先導閥11、12的構造以及作用與公知的相同，所以省略更具體的說明。
另外，在上述先導供給口67的兩端部，與上述先導排出口31相同，也設置用于與所連接的其他的復合閥V的先導供給口連接的連接管部和連接孔部。
另外，上述電氣連接器66為了能夠與所連接的其他的復合閥V的電氣連接器插入式地連接，也構成為在連接面13的一側具有插入部，在另一側具有被插入部。
圖中69a、69b是安裝部，為了使上述復合閥V與軌道102(參照圖5)的凸緣部102a卡合，跨主閥部殼體16和合流部殼體45而形成。其中的一個安裝部69a可相對于另一個安裝部69b彈性開閉。
在具有上述構成的復合閥V中，圖1以及圖2的動作狀態(tài)是通過對先導閥部3的第二先導閥12通電，并且使第一先導閥11為非通電，而成為真空破壞狀態(tài)。此時，因為從上述第二先導閥12向加壓側受壓室22供給先導流體，通過活塞19，使加壓側閥部件9前進到圖示的連通位置，據(jù)此，加壓第一通孔7a和加壓第二通孔7b通過閥孔17連通，所以加壓流路7開放。因此，在來自加壓口5的壓力流體從上述加壓第一通孔7a經(jīng)過加壓第二通孔7b并被節(jié)流閥27調節(jié)流量后，從加壓連通孔7c到達流路合流部2的加壓流路部分7B，在經(jīng)過位于該加壓流路部分7B中的濾清器51到達合流口10后，被供給負荷。
另外，因為真空側閥部件8通過作用在恢復用受壓部8a上的上述壓力流體占據(jù)圖示的恢復位置，將真空第一通孔6a和真空第二通孔6b之間斷開，所以真空流路6被斷開。
因此，例如在與上述合流口10連接的吸附臺上吸附著工件的情況下，該工件從吸附狀態(tài)被釋放。
另外，從上述合流口10輸出的壓力流體的壓力由被安裝在傳感器口60上的壓力傳感器61檢測。
因為若從該狀態(tài)對上述第一先導閥11通電，并使第二先導閥12為非通電，則先導流體從上述第一先導閥11供給到真空側受壓室21，所以真空側閥部件8被活塞18推壓，被轉換到作為與圖示相反的轉換位置的連通位置，真空第一通孔6a和真空第二通孔6b通過閥孔17連通，真空流路6開放。因此，來自負荷的壓力流體從合流口10通過分支通孔46以及濾清器51被吸引到濾清器保持器52的內部的流路孔53，再有，從主閥部1的真空連通孔6c經(jīng)過真空第二通孔6b、閥孔17、真空第一通孔6a被向上述真空口4吸引。
另外，因為加壓側受壓室22成為排氣狀態(tài)，所以上述加壓側閥部件9通過作用于恢復用受壓部9a的壓力流體，后退到恢復位置，將加壓第一通孔7a和加壓第二通孔7b之間斷開。因此，加壓流路7被封閉。
因此，例如對與上述合流口10連接的吸附臺供給真空壓，通過該吸附臺吸附工件。
在這里，如上所述，在將來自加壓口5的壓力流體從加壓流路7通過合流口10向負荷供給，破壞真空的情況下，由加壓流路6中的濾清器51除去壓力流體中的雜質，不會污染工件。另外，在將來自真空口4的真空壓從真空流路6通過合流口10供給到負荷的情況下，即，在從該合流口10吸引空氣的情況下，吸引的空氣中的雜質被真空流路中的濾清器51除去，不會被吸入到主閥部1。
通過將濾清器組件50整體從各過濾室48、49上拆下，可以單獨更換發(fā)生了阻塞的濾清器51。
這樣，上述復合閥V通過采用將上述主閥部1和流路合流部2及先導閥部3沿閥的軸線L一列并且一體地結合這樣非常簡單合理的設計構造，可以構成為作為具有與通常的電磁閥同樣的構成的復合閥，其結果為，在整體緊湊化并且簡單化的同時，真空用以及加壓用的各流路的配置也被簡單化，可以謀求縮短流路長度。
另外，因為上述復合閥的寬度方向的兩側面實質上為平的連接面13，所以通過與其他的復合閥相互連接，可以作為閥總成使用。圖5表示通過連接多個上述復合閥V，同時與配管單元100和配電單元101等的相關部件一起集中搭載在軌道102上，構成歧管形的閥總成的情況下的中途的組裝狀態(tài)。另外，在完成組裝的狀態(tài)下，位于離開圖的最右端的復合閥V被接合在已經(jīng)完成接合的四個復合閥V的外側，另外，在其外側配置省略了圖示的末端單元。
上述復合閥V通過使下面的安裝部卡合到軌道102的凸緣部102a上而搭載在該軌道102上，其他的配管單元100和配電單元101以及末端單元也用同樣的方法搭載，位于兩端的配電單元101和末端單元通過螺釘緊固等被固定在軌道102上。
在上述配管單元100上設置著連接有管接頭103的真空用配管口104和加壓用配管口105，其中的真空用配管口104與吸入泵等的真空源連接，加壓用配管口105與壓力流體源連接，據(jù)此，真空壓和壓力流體通過該配管單元100被集中地供給到上述各復合閥V。
另外，上述配電單元101具有作為用于匯總配線的基點的集中端子形的基礎連接器106，該基礎連接器106被設置在上述復合閥V上，與依次連接的集中端子形的電氣連接器66連接，據(jù)此，以該基礎連接器106為基點向各復合閥V匯總供電。
另外，雖然上述復合閥V具有作為與其他的復合閥連接使用的連接形復合閥的構成，真空口以及加壓口、先導供給口以及先導排出口分別作為共通的口，與其他的復合閥的口依次連接，但是，也可以作為獨立使用復合閥的單體形的復合閥來構成。在該情況下，上述各口作為單獨口形成。
權利要求
1.一種真空以及真空破壞用復合閥，其特征在于，具有主閥部、流路合流部以及先導閥部，該主閥部具有與真空源連接的真空口、與壓力流體源連接的加壓口、對連結所述真空口和合流口的真空流路進行開閉的真空側閥部件、以及對連結所述加壓口和合流口的加壓流路進行開閉的加壓側閥部件；該流路合流部具有用于與負荷連接的上述合流口、分別位于所述真空流路中以及加壓流路中的過濾室、可自由拆裝地配設在各過濾室內的濾清器；所述先導閥部具有兩個單獨對所述主閥部的真空側閥部件以及加壓側閥部件進行操作的先導閥，所述主閥部和流路合流部以及先導閥部被形成為同等的寬度，所述流路合流部結合在主閥部的軸線方向的一端側，同時，所述先導閥部結合在另一端側，據(jù)此，這些主閥部和流路合流部以及先導閥部沿所述軸線結合為一列。
2.如權利要求1所述的真空以及真空破壞用復合閥，其特征在于，所述主閥部具有在軸線方向延伸的一個閥孔，所述真空側閥部件以及加壓側閥部件可單獨動作地被收容在該閥孔內，這些閥部件在彼此相對的一側具有受壓面積小的恢復用受壓部，同時，在相反的一側具有受壓面積大的驅動用受壓部，來自所述加壓口的壓力流體總是作用于所述恢復用受壓部，由所述先導閥供給的先導流體作用于驅動用受壓部。
3.如權利要求1或者2所述的真空以及真空破壞用復合閥，其特征在于，所述合流口形成在所述流路合流部的前端面，并且，所述兩個過濾室，沿軸線方向形成于該流路合流部的內部的隔著所述合流口相對的位置，所述過濾器借助可從所述前端面?zhèn)茸杂刹鹧b的濾清器保持器與該濾清器保持器一起可自由拆卸地安裝在各過濾室內。
4.如權利要求3所述的真空以及真空破壞用復合閥，其特征在于，所述濾清器呈圓筒狀，另外，所述濾清器保持器呈圓柱狀，在該濾清器保持器的內部形成流路孔，該流路孔構成所述真空流路或者加壓流路的一部分，該流路孔的一端通過濾清器保持器的側面的孔開口與所述合流口連通，所述濾清器安裝在該濾清器保持器的外周，覆蓋該孔開口。
5.如權利要求1或者2所述的真空以及真空破壞用復合閥，其特征在于，在所述主閥部的上面安裝節(jié)流閥，通過該節(jié)流閥對在所述加壓主流路內流動的壓力流體的流量進行調節(jié)。
6.如權利要求1或者2所述的真空以及真空破壞用復合閥，其特征在于，復合閥的兩側面是用于連接其它的復合閥的實質上為平的連接面，另外，所述加壓口和真空口在寬度方向貫通所述主閥部，可以與所連接的其他的復合閥的加壓口和真空口連接。
全文摘要
得到一種真空以及真空破壞用的復合閥，該真空以及真空破壞用的復合閥通過采用簡單且合理的設計構造，使整體緊湊化且簡單化，同時也改善了真空用以及加壓用的各流路的配置和流路長度的問題。將主閥部(1)和流路合流部(2)以及先導閥部(3)形成為同等的寬度，同時沿閥軸線(L)一列并且一體地結合，該主閥部(1)通過真空用以及加壓用的兩個閥部件(8)、(9)，單獨開閉用于將真空壓供給到負荷的真空流路(6)以及用于將真空破壞用的壓力流體供給到負荷的加壓流路(7)；該流路合流部(2)通過一個合流口(10)，將上述真空流路(6)和加壓流路(7)連接到負荷；該先導閥部(3)通過兩個先導閥(11)、(12)，單獨對上述閥部件(8)、(9)進行開閉操作。
文檔編號F16K24/00GK1854583SQ200610077098
公開日2006年11月1日 申請日期2006年4月26日 優(yōu)先權日2005年4月26日
發(fā)明者宮添真司, 松本拓實 申請人:Smc株式會社