專利名稱：集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)，更詳細(xì)地講，涉及一種 將在半導(dǎo)體制造或醫(yī)療及醫(yī)藥品制造、食品加工、化學(xué)工業(yè)等各種技術(shù)領(lǐng)域 的制造工序中使用的高純度液體或超純水、或者清洗液的管道系統(tǒng)等中預(yù)計(jì) 今后需要的流體用的集成板，與泵、閥、儲(chǔ)液器等流體器件經(jīng)由墊圈以密封 狀態(tài)連通而連接用的連接結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
作為上述連接結(jié)構(gòu)，例如存在使一對(duì)供排流道相互連通而將作為流體器 件一例的閥與內(nèi)部形成有流體通路的集成板相連而連接的結(jié)構(gòu)，己知在專利
文獻(xiàn)1或?qū)＠墨I(xiàn)2中公開的連接結(jié)構(gòu)。在專利文獻(xiàn)1中公開的連接結(jié)構(gòu)， 使一對(duì)供排流道接近配置，用多個(gè)螺栓通過(guò)各獨(dú)立的環(huán)狀的墊圈以密封不泄 漏液體的方式相連連接，在專利文獻(xiàn)2中公開的連接結(jié)構(gòu)，使一對(duì)供排流道 模近配置，僅用一個(gè)外螺紋螺母將具有與該一對(duì)供排流道相對(duì)應(yīng)的一對(duì)流道 孔的一個(gè)墊圈相連連接。
專利文獻(xiàn)1或2所公開的連接結(jié)構(gòu)均采用了使多個(gè)流體設(shè)備與流體部件 集成而安裝的結(jié)構(gòu)、即所謂的集成管道結(jié)構(gòu)，這從可實(shí)現(xiàn)管道系統(tǒng)整體的緊 湊化和模塊化方面來(lái)說(shuō)是有用的。因此，為了進(jìn)一步促進(jìn)緊湊化或模塊化， 不用說(shuō)要將單個(gè)流體器件小型化，在實(shí)現(xiàn)了該流體器件自身的緊湊化之后， 可以預(yù)計(jì)到產(chǎn)生了對(duì)集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)緊湊化的要求。
另外，在專利文獻(xiàn)1或2所公開的連接結(jié)構(gòu)中，通過(guò)將夾持墊圈的一對(duì) 凸緣部彼此用螺栓緊固直到達(dá)到規(guī)定的面壓，可獲取有效的密封性能。可是 由于不可避免的是螺栓的緊固力隨著時(shí)間會(huì)降低，為此，為了防止緊固力降 低、即防止因轉(zhuǎn)矩下降所致的連接部的泄漏，必須定期進(jìn)行螺栓增緊作業(yè)。 由于在使用墊圈密封時(shí)，需要非常高的緊固力，集成板或流體器件的流體供 排口部需要高的強(qiáng)度，同時(shí)從該相連連接用的作業(yè)性方面考慮也存在不利。
專利文獻(xiàn)l:日本特開2001—82609號(hào)公報(bào)；
專利文獻(xiàn)2:日本特開平10—169859號(hào)公報(bào)。

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的技術(shù)問題
因此，本發(fā)明的第l目的在于為了促進(jìn)使用具有上述優(yōu)點(diǎn)的集成板的管 道系統(tǒng)中的集成化而提供一種可進(jìn)一步緊湊化的集成板與流體器件的連接
結(jié)構(gòu)，并實(shí)現(xiàn)了上述目的。本發(fā)明的第2目的是提供一種通過(guò)對(duì)流體的管道
系統(tǒng)中的集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)進(jìn)行改進(jìn)，在幾乎不用進(jìn)行螺栓增緊 作業(yè)就可維持良好的密封性的同時(shí)，也改善其裝配作業(yè)性的集成板與流體器 件的連接結(jié)構(gòu)。
解、決技術(shù)問題的方案
權(quán)利要求1的發(fā)明為， 一種集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，
集成板1具有第1流體供排口部1A，該第1流體供排口部1A開口有同心狀 形成的管狀的流體通路3a或環(huán)狀的流體通路和一個(gè)以上的環(huán)狀的流體通路 4a，流體器件2具有第2流體供排口部2A，該第2流體供排口部2A開口有 同心狀形成的管狀的流體通路7或環(huán)狀的流體通路和一個(gè)以上的環(huán)狀的流體 通路8，將集成板1的所述第1流體供排口部1A與流體器件2的所述第2 流體供排口部2A，通過(guò)使各自的多個(gè)流體通路3a、 4a、 7、 8相對(duì)應(yīng)、且在 經(jīng)由介于所述第1流體供排口部1A與所述第2流體供排口部2A之間的多 個(gè)環(huán)狀的墊圈G1、 G2而使各流體通路3a、 4a、 7、 8密封的狀態(tài)下連通而連 接，
在這種狀態(tài)下，在所述第1流體供排口部1A以及第2流體供排口部2A 上，在開口于各端面的所述各流體通路3a、 4a、 7、 8的外徑側(cè)部分形成環(huán)狀 突起21、 11、 41、 31;
所述各墊圈G1、 G2由具有撓性的材料構(gòu)成，且具有為了將所述第l、 第2流體供排口部1A、 2A的相對(duì)應(yīng)的所述流體通路3a、 4a、 7、 8相互連通 而形成的流體路徑W1、 W2、以及為了與形成于所述第1和第2流體供排口 部1A、 2A的端面上的所述環(huán)狀突起21、 11、 41、 31分別嵌合而形成于所 述流體路徑W1、 W2的外徑側(cè)部分的一對(duì)環(huán)狀槽51、 61;
具備維持機(jī)構(gòu)I，該維持機(jī)構(gòu)I維持著接合狀態(tài)，該接合狀態(tài)是使所述第
1流體供排口部1A與所述第2流體供排口部2A隔著所述多個(gè)墊圈Gl、 G2 而相互拉靠，所述第1流體供排口部1A的所述環(huán)狀突起21、 41與所述各墊 圈G1、 G2的一端的環(huán)狀槽51、 61嵌合，所述第2流體供排口部2A的所述 環(huán)狀突起11、 31與所述各墊圈Gl、 G2的另一端的所述環(huán)狀槽51、 61嵌合， 從而形成嵌合密封部10的狀態(tài)，
同時(shí)，在所述多個(gè)墊圈dl、 G2中，在所述接合狀態(tài)下，在內(nèi)徑側(cè)和外 徑側(cè)這兩者上存在所述流體通路的中間墊圈Gl，其外周面55a形成為構(gòu)成 壁面的狀態(tài)，該壁面用于形成環(huán)狀的流體路徑W2，該環(huán)狀的流體路徑W2 將存在于所述中間墊圈Gl的外徑側(cè)的所述第1流體供排口部1A的所述環(huán) 狀的流體通路8以及所述第2流體供排口部2A的所述環(huán)狀的流體通路4a連 通。
權(quán)利要求2的發(fā)明為，在權(quán)利要求1所述的集成板與流體器件的連接結(jié) 構(gòu)中，其特征在于，在所述第1和第2流體供排口部1A、 2A的端面上的所 述環(huán)狀突起21、 11、 41、 31的內(nèi)徑側(cè)和外徑側(cè)上形成有環(huán)狀推壓部分22、 23、 12、 13、 42、 43、 32、 33，該環(huán)狀推壓部分抑制或阻止為了形成所述墊 圈Gl、 G2的所述環(huán)狀槽51、 61而向軸心P方向突出形成的內(nèi)外的周壁端 部52、 53、 62、 63因所述環(huán)狀槽51、 61與所述環(huán)狀突起21、 11、 41、 31 嵌合而引起的擴(kuò)寬變形。
權(quán)利要求3的發(fā)明為，在權(quán)利要求2所述的集成板與流體器件的連接結(jié) 構(gòu)中，其特征在于，所述周壁端部52、 53、 62、 63與所述環(huán)狀推壓部分22、 23、 12、 13、 42、 43、 32、 33在所述接合狀態(tài)下被壓接而形成密封部S2。
權(quán)利要求4的發(fā)明為，在權(quán)利要求3所述的集成板與流體器件的連接結(jié) 構(gòu)中，其特征在于，所述環(huán)狀推壓部分22、 23、 12、 13、 42、 43、 32、 33 形成為具有使所述環(huán)狀突起側(cè)的側(cè)周面傾斜的錐形周面22a、 23a、 12a、 13a、 42a、 43a、 32a、 33a的前窄狀的環(huán)狀突起，以使由所述環(huán)狀推壓部分與所述 環(huán)狀突起21、 11、 41、 31圍住的谷部24、 25、 14、 15、 44、 45、 34、 35成 內(nèi)窄狀，所述周壁端部52、 53、 62、 63形成為前窄狀的環(huán)狀突起，具有與 所述環(huán)狀推壓部分22、 23、 12、 13、 42、 43、 32、 33的錐形周面22a、 23a、 12a、 13a、 42a、 43a、 32a、 33a相抵接的錐形周面52a、 53a、 62a、 63a，并 且可自由進(jìn)入所述谷部24、 25、 14、 15、 44、 45、 34、 35內(nèi)，在所述接合
狀態(tài)下，所述周壁端部52、 53、 62、 63進(jìn)入所述谷部24、 25、 14、 15、 44、 45、 34、 35內(nèi)，使所述兩個(gè)錐形周面22a、 23a、 12a、 13a、 42a、 43a、 32a、 33a、 52a、 53a、 62a、 63a相互壓接。
權(quán)利要求5的發(fā)明為，在權(quán)利要求1 4中任一項(xiàng)所述的集成板與流體 器件的連接結(jié)構(gòu)中，其特征在于，所述墊圈G1、 G2的截面形狀呈相對(duì)于沿 著所述第1和第2流體供排口部1A， 2A的軸心P方向的中心線Z和垂直于 該中心線Z的中心線X這兩者成線對(duì)稱的近似H型形狀。
權(quán)利要求6的發(fā)明為，在權(quán)利要求1 5中任一項(xiàng)所述的集成板與流體 器件的連接結(jié)構(gòu)中，其特征在于，所述維持機(jī)構(gòu)I發(fā)揮將所述第1流體供排 口部1A與第2流體供排口部2A拉靠而獲得所述接合狀態(tài)的拉靠功能。
權(quán)利要求7的發(fā)明為，在權(quán)利要求6所述的集成板與流體器件的連接結(jié) 構(gòu)中，其特征在于，所述維持機(jī)構(gòu)I具有形成于所述第1流體供排口部1A 與第2流體供排口部2A的至少任意一個(gè)的端部2A(或1A)上的外向法蘭9、 形成于該外向法蘭9上的貫通孔9a、通過(guò)該貫通孔9a而與設(shè)置在所述第1 流體供排口部1A與第2流體供排口部2A的任意另一方1A (或2A)上的螺 母部67螺旋緊固的螺栓66，
通過(guò)使所述螺栓66與所述螺母部67螺旋緊固，所述第1流體供排口部 1A與第2流體供排口部2A隔著所述多個(gè)墊圈Gl、 G2而相互拉靠。
權(quán)利要求8的發(fā)明為，在權(quán)利要求6所述的集成板與流體器件的連接結(jié) 構(gòu)中，其特征在于，所述維持機(jī)構(gòu)I包括筒狀螺母81，其具有與形成在所 述第1流體供排口部1A和第2流體供排口部2A的任意一方1A (或2A)的 外周部上的外螺紋部ln可自由地螺紋配合的內(nèi)螺紋部81n;分切環(huán)82，其 以與形成于所述第1流體供排口部1A和第2流體供排口部2A的任意另一 方2A (或1A)的端部上的外向法蘭9在所述第1、第2流體供排口部1A、 2A的軸心P方向上發(fā)生干涉的方式外嵌在所述第1流體供排口部1A和第2 流體供排口部2A的任意另一方2A (或1A)的端部上，
在所述筒狀螺母81的一端部上形成有內(nèi)向法蘭83，該內(nèi)向法蘭83具有 容許所述外向法蘭9通過(guò)且與所述分切環(huán)82在所述軸心P方向干涉的開口 部83a，
通過(guò)所述筒狀螺母81對(duì)所述外螺紋部ln的緊固操作，所述第1流體供
排口部1A與第2流體供排口部2A隔著所述多個(gè)墊圈Gl、 G2而相互拉靠。
權(quán)利要求9的發(fā)明為，在權(quán)利要求1 8中任一項(xiàng)所述的集成板與流體 器件的連接結(jié)構(gòu)中，其特征在于，所述墊圈G1、 G2由氟化乙烯樹脂形成。
權(quán)利要求10的發(fā)明為，在權(quán)利要求1 9中任一項(xiàng)所述的集成板與流體 器件的連接結(jié)構(gòu)中，其特征在于，所述第1流體供排口部1A與第2流體供 排口部2A由氟化乙烯樹脂形成。
權(quán)利要求11的發(fā)明為， 一種集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)，其特征在 于，集成板1具有開口有管狀的流體通路3、 4的第1流體供排口部1A，流 體器件2具有開口有管狀的流體通路7、 8的第2流體供排口部2A，在通過(guò) 介于這些第1流體供排口部1A與第2流體供排口部2A之間的環(huán)狀的墊圈G 而將各流體通路3、 4、 7、 8密封的狀態(tài)下將集成板的所述第1流體供排口 部1A與流體器件2的所述第2流體供排口部2A連通而連接，
在這種狀態(tài)下，在所述第1流體供排口部1A以及所述第2流體供排口 部2A上，在開口于各端面的所述各流體通路3、 4、 7、 8的外徑側(cè)部分形成 有環(huán)狀突起ll， 21;
所述墊圈G由具有撓性的材料構(gòu)成，并且具有為了將所述第l、第2 流體供排口部1A、 2A的相對(duì)應(yīng)的所述流體通路3、 4、 7、 8相互連通而形 成的流體路徑W;為了與形成于所述第1和第2流體供排口部1A、 2A的端 面上的所述環(huán)狀突起11、 21分別嵌合而形成于所述流體路徑W的外徑側(cè)部 分上的一對(duì)環(huán)狀槽51， 51，
具有維持機(jī)構(gòu)I，該維持機(jī)構(gòu)維持著接合狀態(tài)，該接合狀態(tài)是使所述第1 流體供排口部1A與所述第2流體供排口部2A隔著所述墊圈G而相互拉靠， 所述第1流體供排口部1A的所述環(huán)狀突起11與所述墊圈G的一端的環(huán)狀 槽51嵌合，所述第2流體供排口部2A的所述環(huán)狀突起21與所述墊圈G的 另一端的所述環(huán)狀槽51嵌合，從而形成嵌合密封部10的狀態(tài)。
權(quán)利要求12的發(fā)明為，在權(quán)利要求1所述的集成板與流體器件的連接 結(jié)構(gòu)中，其特征在于，在所述第1和第2流體供排口部1A、 2A的端面上的 所述環(huán)狀突起11、 21的內(nèi)徑側(cè)和外徑側(cè)上形成有環(huán)狀推壓部分12、 13、 22、 23，該環(huán)狀推壓部分抑制或阻止為了形成所述墊圈G的所述環(huán)狀槽51而向 軸心方向突出形成的內(nèi)外的周壁端部52、 53因所述環(huán)狀槽51與所述環(huán)狀突
起11、 21嵌合引起的擴(kuò)寬變形。
權(quán)利要求13的發(fā)明為，在權(quán)利要求12所述的集成板與流體器件的連接
結(jié)構(gòu)中，其特征在于，所述周壁端部52、 53與所述環(huán)狀推壓部分12、 13、 22、 23在所述接合狀態(tài)下被壓接以形成密封部S2。
權(quán)利要求14的發(fā)明為，在權(quán)利要求13所述的集成板與流體器件的連接 結(jié)構(gòu)中，其特征在于，所述環(huán)狀推壓部分12、 13、 22、 23形成為具有使所 述環(huán)狀突起側(cè)的側(cè)周面傾斜的錐形周面12a、 13a、 22a、 23a的前窄狀的環(huán)狀 突起，以使由所述環(huán)狀推壓部分與所述環(huán)狀突起11、 21圍住的谷部14、 15、 24、 25成內(nèi)窄狀，所述周壁端部52、 53形成為前窄狀的環(huán)狀突起，具有與 所述環(huán)狀推壓部分12、 13、 22、 23的錐形周面12a、 13a、 22a、 23a相抵接 的錐形周面52a、 53a，并且可自由進(jìn)入所述谷部14、 15、 24、 25內(nèi)，在所 述接合狀態(tài)下，所述周壁端部52、 53進(jìn)入所述谷部14、 15、 24、 25內(nèi)，使 所述兩個(gè)錐形周面12a、 13a、 22a、 23a、 52a、 53a相互壓接。
權(quán)利要求15的發(fā)明為，在權(quán)利要求11 14中任一項(xiàng)所述的集成板與流 體器件的連接結(jié)構(gòu)中，其特征在于，在所述集成板l上，所述第l流體供排 口部1A形成有多個(gè)，在所述流體器件2上，所述第2流體供排口部2A與 所述第1流體供排口部1A的存在數(shù)相對(duì)應(yīng)而形成有多個(gè)，并且，這些多個(gè) 第1和第2流體供排口部1A、 2A相互在同一平面上分別隔著墊圈G而可自 由地連通而連接。
權(quán)利要求16的發(fā)明為，在權(quán)利要求11 15中任一項(xiàng)所述的集成板與流 體器件的連接結(jié)構(gòu)中，其特征在于，所述墊圈G的截面形狀呈相對(duì)于沿著所 述第1和第2流體供排口部1A、 2A的軸心P方向的中心線Z和垂直于該中 心線Z的中心線X這兩者成線對(duì)稱的近似H型形狀。
權(quán)利要求17的發(fā)明為，在權(quán)利要求11 16中任一項(xiàng)所述的集成板與流 體器件的連接結(jié)構(gòu)中，其特征在于，所述維持機(jī)構(gòu)I發(fā)揮將所述第1流體供 排口部1A與第2流體供排口部2A拉靠而獲得所述接合狀態(tài)的拉靠功能。
權(quán)利要求18的發(fā)明為，在權(quán)利要求17所述的集成板與流體器件的連接 結(jié)構(gòu)中，其特征在于，所述維持機(jī)構(gòu)I具有形成在所述第1流體供排口部 1A和第2流體供排口部2A的至少任意一方的端部上的外向法蘭9B;形成 于該外向法蘭9B上的貫通孔9a;通過(guò)該貫通孔9a而與設(shè)置于所述第1流體
供排口部1A和第2流體供排口部2A的任意另一方上的螺母部67螺旋緊固 的螺栓66，
通過(guò)將所述螺栓66螺旋緊固到所述螺母部67上，所述第1流體供排口 部1A與第2流體供排口部2A隔著所述墊圈G相互拉靠。
權(quán)利要求19的發(fā)明為，在權(quán)利要求17所述的集成板與流體器件的連接 結(jié)構(gòu)中，其特征在于，所述維持機(jī)構(gòu)I包括筒狀螺母81，其具有與形成在 所述第1流體供排口部1A和第2流體供排口部2A的任意一方的外周部上 的外螺紋部ln可自由地螺紋配合的內(nèi)螺紋部81n;分切環(huán)82，其以與形成 于所述第1流體供排口部1A和第2流體供排口部2A的任意另一方的端部 上的外向法蘭9B在所述第1、第2流體供排口部1A、 2A的軸心P方向上發(fā) 生干涉的方式外嵌在所述第1流體供排口部1A和第2流體供排口部2A的 任意另一方的端部上，
在所述筒狀螺母81的一端部上形成有內(nèi)向法蘭83，該內(nèi)向法蘭83具有 容許所述外向法蘭9B通過(guò)且與所述分切環(huán)82在所述軸心P方向干涉的開口 部83a，
通過(guò)所述筒狀螺母81對(duì)所述外螺紋部ln的緊固操作，所述第1流體供 排口部1A與第2流體供排口部2A隔著所述多個(gè)墊圈Gl、 G2而相互拉靠。
權(quán)利要求20的發(fā)明為，在權(quán)利要求11 19中任一項(xiàng)所述的集成板與流 體器件的連接結(jié)構(gòu)中，其特征在于，所述墊圈G由氟化乙烯樹脂形成。
權(quán)利要求21的發(fā)明為，在權(quán)利要求11 20中任一項(xiàng)所述的集成板與流 體器件的連接結(jié)構(gòu)中，其特征在于，所述第1流體供排口部A與第2流體 供排口部2A由氟化乙烯樹脂形成。
發(fā)明的效果
根據(jù)權(quán)利要求1的發(fā)明，通過(guò)將兩個(gè)以上的流體通路同心狀地多重配置， 與多個(gè)流體通路獨(dú)立配置的構(gòu)造相比，成為可使連接結(jié)構(gòu)部分緊湊化的機(jī) 構(gòu)。由于分別形成于第1、 2流體供排口部上的環(huán)狀突起與分別形成于墊圈 的一端面及另一端面上的環(huán)狀槽相互嵌合而形成嵌合密封部，能夠阻止第1、 2流體供排口部間的液漏，可獲得優(yōu)越的密封性。如果例如將如此連接結(jié)構(gòu) 用于半導(dǎo)體制造設(shè)備中的清洗裝置的管道系統(tǒng)，可確保獲得良好的密封性和 可減少裝置的占有面積，在成本上有利，同時(shí)，因可確保較大的流道，可具
有加大循環(huán)流量、提高藥液的高純度、提高合格率方面具有有效的效果。
并且，由于通過(guò)維持機(jī)構(gòu)，可將兩個(gè)流體供排口部相互經(jīng)墊圈維持在相 互拉靠的接合狀態(tài)，可將集成板與流體器件長(zhǎng)期穩(wěn)定地維持在不液漏、可確 保良好的密封性的狀態(tài)，能夠提供一種可靠性優(yōu)越的集成板與流體器件的連 接結(jié)構(gòu)。
但是， 一般己知在將凸插入凹的嵌合構(gòu)造中，即使例如這樣的兩者相互 為同一材質(zhì)，凸側(cè)的部件幾乎也不會(huì)變化(壓縮變形)，凹側(cè)的部件具有擴(kuò) 寬變形的傾向。為此，在本權(quán)利要求l中，成為在流體器件上形成作為凸的 環(huán)狀突起，而在墊圈上形成作為凹的環(huán)狀槽的構(gòu)成，從而在因蠕動(dòng)或隨時(shí)間 變化而變形的話，與流體器件相比，墊圈側(cè)作為小的部件，因流體器件側(cè)幾 乎不變形，因此，通過(guò)更換墊圈，具有可低成本地實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)期可維持良好的密 封性能的優(yōu)點(diǎn)的效果。此外，在流體通路形成于墊圈內(nèi)外上的中間墊圈中， 由于成為無(wú)論是其內(nèi)周部還是外周部均兼作流體路徑的壁面的構(gòu)造，內(nèi)外相 鄰的流體通路的間隔僅是中間墊圈的厚度，可將多個(gè)流體通路盡量在徑向上 接近配置，具有可使集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)部分進(jìn)一步緊湊的優(yōu)點(diǎn)。 結(jié)果，通過(guò)可實(shí)現(xiàn)將多個(gè)流體通路同心狀配置而連接的集成板與流體器件的 連接結(jié)構(gòu)，可提供一種能夠有利于促進(jìn)模塊化或緊湊化的流體器件的集成 化，長(zhǎng)期維持良好的密封性能，可靠性優(yōu)并且可緊湊化的集成板與流體器件 的連接結(jié)構(gòu)。
根據(jù)權(quán)利要求2的發(fā)明，具有如下的作用和效果。正如前述，因在凹凸 嵌合中，具有凹側(cè)易擴(kuò)寬變形的傾向，這意味著在本發(fā)明中，因形成環(huán)狀槽， 形成于墊圈上的內(nèi)外的周壁端部要擴(kuò)寬變形。為此，因在第1和第2流體供 排口部上形成抑制或阻止該周壁端部擴(kuò)寬變形的環(huán)狀推壓部分，從而解除或 減輕了周壁端部的擴(kuò)寬變形，環(huán)狀突起與環(huán)狀槽即使在強(qiáng)壓接力下也可嵌 合，能夠如預(yù)期地發(fā)揮這兩者的嵌合所致的優(yōu)越的密封性能。并且，由于因 環(huán)狀推壓部分的存在，可補(bǔ)充周壁端部的剛性不足，與不存在這些構(gòu)件相比， 可將墊圈的周壁端部的厚度減薄，從而也可獲得墊圈的寬度尺寸小、同心狀 配置的多個(gè)流體通路整體的直徑緊湊、即作為集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu) 可進(jìn)一步緊湊的優(yōu)點(diǎn)。
根據(jù)權(quán)利要求3的發(fā)明，在接合狀態(tài)下，由于第1和第2流體供排口部
的環(huán)狀突起與各墊圈的一端面或另一端面的環(huán)狀槽形成壓接所致的密封部， 由此構(gòu)成密封性優(yōu)的嵌合密封部，可成為密封性能優(yōu)的集成板與流體器件的 連接結(jié)構(gòu)。
根據(jù)權(quán)利要求4的發(fā)明，在接合狀態(tài)下，在第1和第2流體供排口部的 環(huán)狀突起與各墊圈的一端面或另一端面的環(huán)狀槽的嵌合部分的內(nèi)徑側(cè)和外 徑側(cè)，存在著第1和第2流體供排口部的錐形周面與墊圈的錐形周面壓接的 構(gòu)成，通過(guò)這些錐形周面相互的壓接，可獲取連接結(jié)構(gòu)部分的緊湊化(權(quán)利
要求2)和密封性能提高(權(quán)利要求3)的兩方面效果。此外，由于為錐形
周面相互接觸的構(gòu)造，具有隨著各流體器件與墊圈的強(qiáng)制推壓，壓接力增加， 具有可進(jìn)一步強(qiáng)化上述的緊湊化和密封性能提高的效果的優(yōu)點(diǎn)，由此，可成 為錐形周面相互間不產(chǎn)生貯液的連接結(jié)構(gòu)。
根據(jù)權(quán)利要求5的發(fā)明，由于墊圈形成上下左右成線對(duì)稱的截面為大致 H型形狀，與例如非對(duì)稱形狀的截面相比，墊圈容易制作，同吋，能夠使嵌 合于各流體器件中時(shí)的平衡(強(qiáng)度平衡、裝配平衡)優(yōu)。由此，作為墊圈的 種類也具有l(wèi)種即可的優(yōu)點(diǎn)。
根據(jù)權(quán)利要求6的發(fā)明，由于也能夠發(fā)揮維持機(jī)構(gòu)I不僅維持多重管道 接合構(gòu)造的接合狀態(tài)，而且可獲取將第1流體供排口部與第2流體供排口部 拉靠以獲得接合狀態(tài)的拉靠功能，具有無(wú)需準(zhǔn)備其他的拉靠機(jī)構(gòu)，可省略整 體的裝配工夫或降低成本的優(yōu)點(diǎn)。
根據(jù)權(quán)利要求7的發(fā)明，如果在兩個(gè)流體供排口部的至少一方上形成帶 孔的外向法蘭，則僅通過(guò)設(shè)有通過(guò)該孔的螺栓和設(shè)置于另一方的流體供排口 部上的螺母部的簡(jiǎn)單的機(jī)構(gòu)，就可進(jìn)行兩個(gè)流體供排口部相互的拉靠并維 持。即^能句名獲得縣有誦付簡(jiǎn)單的構(gòu)誥就可作為低成本的帶拉靠功能的維持 機(jī)構(gòu)和具有各種優(yōu)點(diǎn)的流體機(jī)器相互的連接結(jié)構(gòu)。
根據(jù)權(quán)利要求8的發(fā)明，通過(guò)將經(jīng)分切環(huán)而與形成于第1、 2流體供排 口部的任意一方端部上的外向法蘭接合的筒狀螺母，只與另一方的第1、 2 流體供排口部的外螺紋螺旋送進(jìn)的簡(jiǎn)單操作，就可使第1、 2流體供排口部 的環(huán)狀突起與墊圈的環(huán)狀槽嵌合，以將集成板與流體器件在密封狀態(tài)下連通 連接，同時(shí)，僅停止筒狀螺母的螺旋送進(jìn)就可維持該連接狀態(tài)的方便且容易 處置的帶拉靠功能的維持機(jī)構(gòu)可作為緊湊且場(chǎng)所要求低的合理的機(jī)構(gòu)。
另外，由于筒狀螺母可自由地外嵌安裝在第1或第2流體供排口部的端 部并可從其上自由地脫離，在外嵌狀態(tài)下，外向法蘭和分切環(huán)這兩者在軸向 干涉，從而因筒狀螺母，第1、 2流體供排口部相互可直接連接，并且可將 分切環(huán)和筒狀螺母自由地后安裝到第1、 2流體供排口部上。此外，用較少 的部件并且作為部件的種類只為1種就可成為積極、合理的機(jī)構(gòu)，并且可將 筒狀螺母的緊固力可靠地傳遞給外向法蘭。因此，在第1或第2流體器件的 制造時(shí)將筒狀螺母外嵌安裝到流體供排口部上，不用采用較難的制造機(jī)構(gòu)， 使用筒狀螺母就可簡(jiǎn)單且方便地進(jìn)行將集成板與流體器件連接的操作。
根據(jù)權(quán)利要求9或10的發(fā)明，由于墊圈或兩個(gè)流體供排口部由具有耐
藥性和耐熱性優(yōu)的特性的氟化乙烯樹脂形成，流體無(wú)論為藥液還是化學(xué)液 體，或者還是高溫流體，管接頭構(gòu)造部分也不會(huì)容易變形和泄漏，可維持良 好的密封性。另外，氟化乙烯樹脂為用氟置換氫原子一個(gè)以上的乙烯和通過(guò) 其感應(yīng)體的重合獲得的樹脂狀物質(zhì)，即使在高溫下也穩(wěn)定，防水性優(yōu)。另外， 磨擦系數(shù)小，耐藥性也非常高，電絕緣性也高。
根據(jù)權(quán)利要求11的發(fā)明，由于分別形成于第1、 2流體供排口部上的環(huán)
狀突起和分別形成于墊圈的一端面和另一端面上的環(huán)狀槽通過(guò)在軸線方向 的相對(duì)移動(dòng)而相互嵌合地形成嵌合密封部，即使這兩者多少在軸線方向上錯(cuò)
動(dòng)，也可維持著環(huán)狀突起與環(huán)狀槽的嵌合狀態(tài)，可繼續(xù)發(fā)揮著阻止第1、 2 流體供排口部間液漏的優(yōu)越的密封性。如果例如將如此連接結(jié)構(gòu)用于半導(dǎo)體 制造設(shè)備中的清洗裝置的管道系統(tǒng)，可確保獲得良好的密封性和可減少裝置 的占有面積，在成本上有利，同時(shí)，因可確保較大的流道，可具有加大循環(huán) 流量、提高藥液的高純度、付與有效利用的效果。
并且，由于通過(guò)維持機(jī)構(gòu)，可將兩個(gè)流體供排口部相互經(jīng)墊圈維持在相 互拉靠的接合狀態(tài)，可將集成板與流體器件長(zhǎng)期穩(wěn)定地維持在不液漏、可確 保良好的密封性的狀態(tài)，能夠提供一種可靠性優(yōu)越的集成板與流體器件的連 接結(jié)構(gòu)。結(jié)果，即使不進(jìn)行螺栓加固也可維持良好的密封性，同時(shí)，能夠提 供也可改善其裝配作業(yè)性的集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)。
但是， 一般已知在將凸插入凹的嵌合構(gòu)造中，即使例如這樣的兩者相互 為同一材質(zhì)，凸側(cè)的部件幾乎也不會(huì)變形(壓縮變形)，凹側(cè)的部件具有擴(kuò) 寬變形的傾向。為此，在本權(quán)利要求11中，成為在流體器件上形成為凸的
環(huán)狀突起，而在墊圈上形成為凹的環(huán)狀槽的構(gòu)成，從而在因蠕動(dòng)或隨時(shí)間變 化而變形的話，與流體器件相比，墊圈側(cè)作為小的部件，因流體器件側(cè)幾乎 不變形，因此，通過(guò)更換墊圈，具有可低成本地實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)期可維持良好的密封 性能的優(yōu)點(diǎn)的效果。
根據(jù)權(quán)利要求12的發(fā)明，具有如下的作用和效果。正如前述，因在凹 凸嵌合中，具有凹側(cè)易擴(kuò)寬變形的傾向，這意味著在本發(fā)明中，因形成環(huán)狀 槽，形成于墊圈上的內(nèi)外的周壁端部要擴(kuò)寬變形。為此，因在第1和第2流 體供排口部上形成抑制或阻止該周壁端部的擴(kuò)寬變形的環(huán)狀推壓部分，從而 解除或減輕了周壁端部的擴(kuò)寬變形，環(huán)狀突起與環(huán)狀槽即使在強(qiáng)壓接力下也 可嵌合，能夠如預(yù)期地發(fā)揮這兩者的嵌合所致的優(yōu)越的密封性能。并且，由 于因環(huán)狀推壓部分的存在，可補(bǔ)充周壁端部的剛性不足，與不存在這些構(gòu)件 相比，可將墊圈的周壁端部的厚度減薄，從而也可獲得墊圈的寬度尺寸小、 流體通路整體的直徑緊湊即作為集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)可進(jìn)一步緊 湊的優(yōu)點(diǎn)。
根據(jù)權(quán)利要求13的發(fā)明，在接合狀態(tài)下，由于第1和第2流體供排口
部的環(huán)狀突起與各墊圈的一端面或另一端面的環(huán)狀槽形成壓接所致的密封 部，由此構(gòu)成密封性優(yōu)的嵌合密封部，可成為密封性能優(yōu)的集成板與流體器 件的連接結(jié)構(gòu)。
根據(jù)權(quán)利要求14的發(fā)明，在接合狀態(tài)下，在第1和第2流體供排口部 的環(huán)狀突起與各墊圈的一端面或另一端面的環(huán)狀槽的嵌合部分的內(nèi)徑側(cè)和 外徑側(cè)，存在著第1和第2流體供排口部的錐形周面與墊圈的錐形周面壓接 的構(gòu)成，通過(guò)這些錐形周面相互的壓接，可獲取連接結(jié)構(gòu)部分的緊湊化(權(quán) 利要求12)和密封性能提高(權(quán)利要求13)的兩方面效果。此外，由于為 錐形周面相互接觸的構(gòu)造，具有隨著集成板或流體器件與墊圈的強(qiáng)制推壓， 壓接力增加，具有可進(jìn)一步強(qiáng)化上述的緊湊化和密封性能提高的效果的優(yōu) 點(diǎn)，由此，可成為錐形周面相互間不產(chǎn)生貯液的連接結(jié)構(gòu)。
根據(jù)權(quán)利要求15的發(fā)明，由于集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)的多個(gè)相 互在同一平面上構(gòu)筑，與不在同一平面上的場(chǎng)合相比，具有部件加工少和容 易進(jìn)行裝配等的優(yōu)點(diǎn)。另外，可將各連接結(jié)構(gòu)中的構(gòu)成部件(第l流體供排 口部或墊圈等)通用化或一體化(供排用的各第1流體供排口部通過(guò)將一對(duì)
流體通路形成為一個(gè)塊體而一體化)，也具有更合理的優(yōu)點(diǎn)。
根據(jù)權(quán)利要求16的發(fā)明，由于墊圈形成上下左右成線對(duì)稱的截面為大
致H型形狀，與例如非對(duì)稱形狀的截面相比，墊圈或者作為與之嵌合的部分
的第l、第2流體供排口部的設(shè)計(jì)、制作容易，同時(shí)，能夠使嵌合于集成板
或流體器件中時(shí)的平衡(強(qiáng)度平衡、裝配平衡)優(yōu)。
根據(jù)權(quán)利要求17的發(fā)明，由于也能夠發(fā)揮維持機(jī)構(gòu)不僅維持第1流體
供排口部與第2流體供排口部的接合狀態(tài)，而且可獲取將第1流體供排口部 與第2流體供排口部拉靠以獲得接合狀態(tài)的拉靠功能，具有無(wú)需準(zhǔn)備其他的
拉靠機(jī)構(gòu)，可省略整體的裝配工夫或降低成本的優(yōu)點(diǎn)。
根據(jù)權(quán)利要求18的發(fā)明，如果在兩個(gè)流體供排口部的至少一方上形成帶孔的外向法蘭，則僅通過(guò)設(shè)有通過(guò)該孔的螺栓和設(shè)置于另一方的流體供排 口部上的螺母部的簡(jiǎn)單的機(jī)構(gòu)，就可進(jìn)行兩個(gè)流體供排口部相互的拉靠并維 持。即，能夠獲得具有通過(guò)簡(jiǎn)單的構(gòu)造就可作為低成本的帶拉靠功能的維持 機(jī)構(gòu)和具有各種優(yōu)點(diǎn)的集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)。
根據(jù)權(quán)利要求19的發(fā)明，通過(guò)將經(jīng)分切環(huán)而與形成于第1、 2流體供排 口部的任意一方端部上的外向法蘭接合的筒狀螺母，只與另一方的第1、 2 流體供排口部的外螺紋螺旋送進(jìn)的簡(jiǎn)單操作，就可使第1、 2流體供排口部 的環(huán)狀突起與墊圈的環(huán)狀槽嵌合，以將集成板與流體器件在密封狀態(tài)下連通 連接，同時(shí)，僅停止筒狀螺母的螺旋送進(jìn)就可維持該連接狀態(tài)的方便且容易 處置的帶拉靠功能的維持機(jī)構(gòu)可作為緊湊且場(chǎng)所要求低的合理的機(jī)構(gòu)。
另外，由于筒狀螺母可自由地外嵌安裝在第1或第2流體供排口部的端 部并可從其上自由地脫離，在外嵌狀態(tài)下，外向法蘭和分切環(huán)這兩者在軸向 干涉，從而因筒狀螺母，第1、 2流體供排口部相互可直接連接，并且可將 分切環(huán)和筒狀螺母自由地后安裝到第1、 2流體供排口部上。因此，采用筒 狀螺母和分切環(huán)這樣較少的部件就可成為經(jīng)濟(jì)、合理的機(jī)構(gòu)，并且，在第1 或第2流體器件的制造時(shí)將筒狀螺母外嵌安裝到流體供排口部上，不用采用 較難的制造機(jī)構(gòu)，使用筒狀螺母就可簡(jiǎn)單且方便地進(jìn)行將集成板與流體器件 連接的操作。
根據(jù)權(quán)利要求20或21的發(fā)明，由于墊圈或兩個(gè)流體供排口部由具有耐 藥性和耐熱性優(yōu)的特性的氟化乙烯樹脂形成，流體無(wú)論為藥液還是化學(xué)液
體，或者還是高溫流體，管接頭構(gòu)造部分也不會(huì)容易變形和泄漏，可維持良 好的密封性。另外，氟化乙烯樹脂為用氟置換氫原子一個(gè)以上的乙烯和通過(guò) 其感應(yīng)體的重合獲得的樹脂狀物質(zhì)，即使在高溫下也穩(wěn)定，防水性優(yōu)。另外， 磨擦系數(shù)小，耐藥性也非常高，電絕緣性也高。


圖1為示出集成板與閥的同心多重流道型連接結(jié)構(gòu)的剖視圖(實(shí)施例1 )。
圖2為圖1的連接結(jié)構(gòu)中使用的墊圈與流體供排口部的要部剖視圖。 圖3為詳細(xì)地示出墊圈與流體器件的嵌合構(gòu)造的要部放大的剖視圖。 圖4為示出經(jīng)法蘭管道的集成板與閥的同心狀多重流道連接結(jié)構(gòu)的剖視 圖(實(shí)施例2)。
圖5為示出帶拉靠功能的維持機(jī)構(gòu)的第1變形構(gòu)造的要部剖視圖(實(shí)施 例3)。
圖6為示出具有圖5的維持機(jī)構(gòu)的連接結(jié)構(gòu)的連接順序的說(shuō)明圖。 圖7為示出帶拉靠功能的維持機(jī)構(gòu)的第2變形構(gòu)造的要部剖視圖(實(shí)施 例4)。
圖8為示出具有圖6的維持機(jī)構(gòu)的連接結(jié)構(gòu)的連接順序的說(shuō)明圖。
圖9為示出維持機(jī)構(gòu)的構(gòu)造的要部剖視圖(實(shí)施例5)。
圖IO為示出集成板與閥的單流道型連接結(jié)構(gòu)的剖視圖(實(shí)施例6)。
圖11為圖IO的連接結(jié)構(gòu)中使用的墊圈與流體供排口部的要部剖視圖。
圖12為詳細(xì)地示出墊圈與流體器件的嵌合構(gòu)造的要部放大的剖視圖。
圖13為示出集成板與真空管式閥的連接結(jié)構(gòu)的剖視圖(實(shí)施例7)。
圖14為示出集成板與過(guò)濾器的連接結(jié)構(gòu)的剖視圖(實(shí)施例8)。
圖15為示出將圖5的維持機(jī)構(gòu)適用于單流道型連接結(jié)構(gòu)時(shí)的要部的剖
視圖(實(shí)施例9)。
圖16為示出具有圖15的維持機(jī)構(gòu)的連接結(jié)構(gòu)的連接順序的說(shuō)明圖。 圖17為示出將圖7的維持機(jī)構(gòu)適用于單流道型連接結(jié)構(gòu)吋的要部的剖
視圖(實(shí)施例10)。
圖18為示出具有圖17的維持機(jī)構(gòu)的連接結(jié)構(gòu)的連接順序的說(shuō)明圖。 圖19為示出將圖9的維持機(jī)構(gòu)適用于單流道型連接結(jié)構(gòu)時(shí)的要部的剖
視圖(實(shí)施例11)。
圖20為示出具有帶拉靠功能的維持機(jī)構(gòu)的第3變形構(gòu)造的要部剖視圖
圖21為示出具有帶拉靠功能的維持機(jī)構(gòu)的第4變形構(gòu)造的要部剖視圖 (實(shí)施例13)。
附圖標(biāo)記說(shuō)明
1集成板
1A第1流體供排口部
ln外螺紋部
2流體器件
2A第2流體供排口部
3、 4集成板的流體通路
3a， 4a管狀的流體通路
7管狀的流體通路、流體器件的流體通路
8環(huán)狀的流體通路、流體器件的流體通路
9外向法蘭
9a貫通孔
9B外向法蘭
10嵌合密封部
11、 21、 31、 41 環(huán)狀突起
12、 13、 22、 23、 32、 33、 42、 43 環(huán)狀推壓部分 12a、 13a、 22a、 23a、 32a、 33a、 42a、 43a 錐形周面 14、 15、 24、 25、 34、 35、 44、 45 谷部
51、 61環(huán)狀槽
52、 53、 62、 63 周壁端部 52a、 53a、 62a、 63a 錐形周面 55a中間墊圈的外周部
66螺栓 67螺母部81筒狀螺母
8 In 內(nèi)螺紋部
82分切環(huán)
83內(nèi)向法蘭
83a開口部
G、 Gl、 G2墊圈
I維持機(jī)構(gòu)
P軸心
Sl、 S2密封部 W、 Wl、 W2流體路徑 X與中心線垂直的中心線 Z沿著軸心方向的中心線
具體實(shí)施例方式
下面，參照

本發(fā)明的集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)的實(shí)施例。 圖1 圖9示出同心狀多重流道型連接結(jié)構(gòu)，而圖10 圖21示出單流道型 連接結(jié)構(gòu)。圖1，圖2為示出實(shí)施例1的集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)的整 體圖和要部剖視圖，圖3為詳細(xì)地示出第1墊圈與第1流體供排口部的嵌合 構(gòu)造的要部剖視圖，圖4為示出實(shí)施例2的集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)的 整體圖，圖5，圖6為第1變形構(gòu)造的維持機(jī)構(gòu)的局剖視圖和裝配說(shuō)明圖， 圖7，圖8為第2變形構(gòu)造的維持機(jī)構(gòu)的局剖視圖和裝配說(shuō)明圖，圖9為第 3變形構(gòu)造的維持機(jī)構(gòu)的剖視圖。并且，圖10 圖12示出實(shí)施例6的集成 板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)，圖13，圖14分別示出實(shí)施例7。 8的集成板與流 體器件的連接結(jié)構(gòu)，圖15 圖21示出維持機(jī)構(gòu)的變形構(gòu)造。
圖1，圖2示出實(shí)施例1的集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)。該集成板與 流體器件的連接結(jié)構(gòu)為，跨越著內(nèi)部形成多個(gè)管狀流體通路3， 4的集成板1 和經(jīng)內(nèi)外計(jì)2個(gè)環(huán)狀墊圈G1，G2而搭載于集成板的上面la上的閥(開關(guān)閥、 斷流閥等)2而成的、共有縱向的軸心P的同心狀雙重流道型構(gòu)造。
實(shí)施例1
集成板1正如圖1、圖2所示，在PFA或PTFE等的氟化乙烯樹脂制成 的板材(或塊體部件)5的內(nèi)部，形成由在板上面la開口的上下方向的縱向 通路3a和橫向的橫向通路3b構(gòu)成的管狀供給側(cè)流體通路3,和由形成于縱 向通路3a的外徑側(cè)且在板上面la幵口的環(huán)狀的縱環(huán)通路4a和與其底部連通 的橫向的橫向通路4b構(gòu)成的排出側(cè)流體通路4。將該集成板1中的供排流體 通路3， 4成雙重管道狀開口的部分稱為第1流體供排口部1A，在該第1流 體供排口部1A中，管狀的縱向通路3a和環(huán)狀的縱環(huán)通路4a形成相互具有 同一軸心P的同心狀的通路。另外，在第1流體供排口部1A中，對(duì)于在其 上端面開口的各流體通路3， 4的外徑側(cè)部分均為以軸心P為中心的環(huán)狀， 并且形成具有向上方突出的內(nèi)外的環(huán)狀突起21， 41的下第1密封端部t21 和下第2密封端部t22。
閥(流體器件的一例)2正如圖1、圖2所示，由PFA或PTFE等的氟 化乙烯樹脂制成，具有上下方向看其形狀為圓形的閥套6，該閥套6的下端 部形成第2流體供排口部2A，該第2流體供排口部2A具有在底面6a開口 的狀態(tài)下其中心縱向配置的管狀的供給側(cè)流體通路7，和形成于該供給側(cè)流 體通路7的外徑側(cè)且在底面6a開口的狀態(tài)下縱向配置的環(huán)狀的排出側(cè)流體 通路8。即，在該第2流體供排口部2A中，管狀的供給側(cè)流體通路7和環(huán) 狀的排出側(cè)流體通路8形成相互具有同一軸心P的同心狀的通路。并且，在 閥套6下端的外周部，通過(guò)熔融粘接成一體地形成具有一對(duì)螺栓穿通孔9a 的PFA或PTFE等的氟化乙烯樹脂或其他材料制成的安裝法蘭9。另外，閥 套6和安裝法蘭9可以為通過(guò)切削加工或成形加工而成一體的一體型構(gòu)件。 此外，在第2流體供排口部2A中，在其下端面開口的各流體通路7， 8的外 徑側(cè)部分均成為以軸心P為中心的環(huán)狀，并且，形成具有向上方突出的內(nèi)外 的環(huán)狀突起11， 31的上第1密封端部tll和上第2密封端部t12。
只內(nèi)外墊圈G1， G2的直徑不同，截面形狀形成為同一的形狀。其構(gòu)造 以內(nèi)側(cè)的第1墊圈Gl為例進(jìn)行說(shuō)明。另外，在省略說(shuō)明的外側(cè)的第2墊圈 G2上，在與第1墊圈Gl相對(duì)應(yīng)的場(chǎng)所標(biāo)注上相對(duì)應(yīng)的符號(hào)(例54a—64a)。 第1墊圈Gl由PFA或PTFE等氟化乙烯樹脂制成，具有應(yīng)將與第1，第2 流體供排口部1A，2A相對(duì)應(yīng)的作為流體通路的縱向通路3a和供給側(cè)流體通 路7相互連通而成的管狀的流體路徑Wl，為了分別與在第1和第2流體供
排口部1A， 2A的端面上形成的上第i密封端部U1的環(huán)狀突起11和上第2
密封端部12的環(huán)狀突起31嵌合而形成于流體路徑Wl的外徑側(cè)部分的上下 一對(duì)環(huán)狀槽51， 51。
艮口，第1墊圈G1的截面形狀為，具有上下一對(duì)環(huán)狀槽51， 51和用于形 成這些環(huán)狀槽51， 51的內(nèi)周壁54和外周壁55，同時(shí)，上下環(huán)狀槽5i， 51 成為深度和寬度相同的上下對(duì)稱狀，并且，內(nèi)和外周壁54， 55也左右對(duì)稱， 形成為沿著第1和第2流體供排口部1A， 2A的軸心P方向的縱中心Z以及 垂直于該縱中心線Z的橫向中心線X這兩者線對(duì)稱(也可以為大致對(duì)稱)的 略H狀的形狀。內(nèi)周壁54的上下端部形成為作為內(nèi)周面54a的流體路徑Wl 的上下端部前擴(kuò)狀外向傾斜的錐形內(nèi)周面52a， 52a，同時(shí)，外周壁55的上 下端部也形成為其內(nèi)周面55a的上下端部?jī)?nèi)向傾斜的錐形外周面53a， 53a。
在集成板1的第1流體供排口部1A的下第1和下第2密封端部t21,t22 的環(huán)狀突起21， 41以及閥2的第2流體供排口部2A的上第1和上第2密封 端部tll,t12中的環(huán)狀突起11， 31的內(nèi)和外徑側(cè)，形成環(huán)狀推壓突起(環(huán)狀 推壓部分的一例)12， 13， 22， 23， 32， 33， 42, 43，使得為了形成各墊圈 Gl， G2中的環(huán)狀槽51， 61而向軸心P方向突出形成的內(nèi)外周壁端部52， 53， 62， 63，通過(guò)相對(duì)應(yīng)的環(huán)狀槽51， 61與相對(duì)應(yīng)的環(huán)狀突起11 ， 21， 31， 41的嵌合，阻止了其擴(kuò)張變形。
針對(duì)第1墊圈Gl和上第1密封端部tll說(shuō)明與上述環(huán)狀推壓突起有關(guān) 的構(gòu)造。內(nèi)外環(huán)狀推壓突起12， 13是對(duì)稱的構(gòu)件，形成為前窄狀的環(huán)狀突 起，該環(huán)狀突起具有為了使由內(nèi)外環(huán)狀推壓突起12， 13和環(huán)狀突起11圍住 的谷部14， 15成內(nèi)窄狀(上窄狀)、環(huán)狀突起側(cè)的側(cè)周面傾斜的錐形外周 面12a和錐形內(nèi)周面13a。即，上第1密封端部tl 1環(huán)狀突起U和在其內(nèi)外 兩側(cè)形成的環(huán)狀推壓突起12， 13以及谷部14， 15的總稱。
第1墊圈Gl的內(nèi)外周壁54， 55的上端部具有帶有分別與環(huán)狀推壓突起 12， 13的錐形外周面12a和錐形內(nèi)周面13a接觸的錐形內(nèi)周面52a和錐形外 周面53a且可自由進(jìn)入谷部14， 15中的前窄狀的環(huán)狀密封突起(周壁端部 的一例)52， 53，在接合狀態(tài)下(參照?qǐng)Dl)，作為內(nèi)外周壁54， 55的上端 部的環(huán)狀密封突起52， 53進(jìn)入相對(duì)應(yīng)的谷部14， 15，成為使上第l密封端 部tll的錐形外周面12a和第1墊圈Gl的錐形內(nèi)周面52a壓接，上第1密封
端部tll的錐形內(nèi)周面13a和第1墊圈Gl的錐形外周面53a壓接的結(jié)構(gòu)。
即，在第1墊圈Gl的上端部，通過(guò)環(huán)狀槽51和其內(nèi)外的環(huán)狀密封突起 52， 53形成上密封部g11，同樣地，在下端部形成下密封部g12。上密封部 gll與上第1密封端部tll嵌合以形成嵌合密封部10，下密封部g12與下第 2密封端部tl2嵌合以形成嵌合密封部10。同樣地，在第2墊圈上也形成上 密封部g12和下密封部g22，分別與上第2密封端部t12和下第2密封端部 t22嵌合以形成嵌合密封部10。
嵌合密封部10的嵌合構(gòu)造相對(duì)于上第1密封端部tll和第1墊圈Gl的 上密封部gll進(jìn)行詳細(xì)地說(shuō)明，正如圖2，圖3所示，內(nèi)外谷部14， 15以及 內(nèi)外環(huán)狀密封突起52， 53相互是對(duì)稱的，內(nèi)外谷部14， 15全體的夾角a" 與內(nèi)外的環(huán)狀密封突起52， 53全體的對(duì)置角P"之間設(shè)定成a"〈纊'的關(guān)系， 最好是可設(shè)定成0('+ (20 40(') 二P。的關(guān)系。通過(guò)該結(jié)構(gòu)，在上第l密封 端部tll的上環(huán)狀突起11與環(huán)狀槽51嵌合的接合狀態(tài)下(后述)，作為上 內(nèi)環(huán)狀推壓突起12和上內(nèi)環(huán)狀密封突起52，具有使其錐形外周面12a和錐 形內(nèi)周面52a成為在最內(nèi)徑側(cè)部分壓接的狀態(tài)(參照?qǐng)D3的假想線)，也阻 止通過(guò)流體通路W1的流體進(jìn)入其內(nèi)外錐形周面12a， 52a彼此間的二次密封 部S2的功能分優(yōu)點(diǎn)。
并且，在上環(huán)狀突起11的寬度dl與上環(huán)狀槽51的寬度d2之間設(shè)定成 Dl〉d2的關(guān)系，最好是可設(shè)定成dlX (0. 75 0.85) =d2的關(guān)系。而且，上 環(huán)狀突起11的突出長(zhǎng)度hl與上環(huán)狀槽51的深度h2之間設(shè)定成Hl〈h2的關(guān) 系。通過(guò)如此結(jié)構(gòu)，具有使上環(huán)狀突起11和環(huán)狀槽51詳細(xì)地講使上環(huán)狀突 起11的內(nèi)外兩側(cè)周面與相對(duì)應(yīng)的環(huán)狀槽51的內(nèi)外側(cè)周面牢固壓接，形成有 發(fā)揮了阻止流體泄漏的優(yōu)良的密封性能的一次密封部S1，同時(shí)，上內(nèi)環(huán)狀推 壓突起12的錐形外周面12a與上內(nèi)環(huán)狀密封突起52的錐形內(nèi)周面52必定 接觸，良好地形成前述的二次密封部S2的優(yōu)點(diǎn)。
另外，環(huán)狀推壓突起12， 13的前端以及環(huán)狀密封突起52， 53的前端形 成非銷角切削的形狀，即形成為傾斜切削面12b， 13b以及切削面52b， 53b。 通過(guò)如此結(jié)構(gòu)，即使上內(nèi)環(huán)狀推壓突起12的前端向流體通路Wl側(cè)稍許擴(kuò)寬 變形，由于為原本被切削的形狀，在流體通路Wl途中，盡可能地成為在流 體通路Wl中途為較大擴(kuò)開的截面三角形的凹部，存于該凹部中的流體容易
流出，實(shí)質(zhì)上不會(huì)發(fā)生貯液。此外，該凹部的開角即傾斜切削面12b與錐形
內(nèi)周面52a的夾角足夠大，也可避免表面張力所致的貯液可能性。另外，由 于環(huán)狀突起11前端的內(nèi)角和外角成為倒棱加工的形狀lla，不會(huì)發(fā)生對(duì)寬度 窄的環(huán)狀槽51的壓入移動(dòng)卡住等的不良現(xiàn)象，可以順暢地進(jìn)行。
對(duì)嵌合密封部IO進(jìn)行詳細(xì)地說(shuō)明。正如圖2，圖3所示，環(huán)狀推壓突起 12， 13中的環(huán)狀突起側(cè)的錐形周面12a， 13a的開角(谷部14， 15的開角) D設(shè)定成50 70度的范圍(50('^D('S70° )，環(huán)狀密封突起52， 53的錐形 周面52a， 53a的尖角E設(shè)定成60 80度的范圍(60'^D"S80")。并且， 對(duì)于開角D與尖角E設(shè)定成尖角E為開角D加10 20度的"D^+( 10 20e) =EQ"。作為更好的數(shù)值，開角D可以設(shè)定為69 71度(DQ = 70±1Q)， 尖角E可以設(shè)定為79 81度(EG二80士 1q)，以及尖角E可以設(shè)定為D + 9 11度(E0—D0=10±l0)。
此外，環(huán)狀推壓突起12， 13的傾斜切削面12b, 13b的切削角Ds設(shè)定 成49 51度(DsG二5O士10)，周壁端部52， 53的前端切削面52b， 53b的 傾角Es設(shè)定成124 126度(EsG=125±lQ)。通過(guò)角度如此設(shè)定，錐形外 周面12a與錐形內(nèi)周面52a以及錐形內(nèi)周面13a和錐形外周面53a分別在環(huán) 狀的線接觸狀態(tài)下接觸，在二次密封部S2可發(fā)揮密封唇效果。
艮P，相對(duì)于作為前述第1流體供排口部1A與前述第2流體供排口部2A 相互拉靠方向的拉靠方向的前述環(huán)狀密封突起(周壁端部)52, 53的錐形周 面52a， 53a (錐形內(nèi)周面52a，錐形外周面53a)的尖角E設(shè)定成對(duì)相對(duì)于 前述拉靠方向的前述環(huán)狀推壓突起12， 13中的環(huán)狀突起11側(cè)的錐形周面 12a， 13a (錐形外周面12a，錐形內(nèi)周面13a)的開角D加上10 20度最好 為加上IO度或大致IO度的數(shù)值。并且，前述尖角E設(shè)定成60 80度，最 好設(shè)定成80度或大致80度。
如果如此成為將尖角E和開角D設(shè)定成拉靠90度的鈍角值的構(gòu)成，則 具有環(huán)狀推壓突起12， 13在拉靠方向(軸向)的突出量與其徑向?qū)挾认啾?變小，相對(duì)強(qiáng)度、剛性提高，限制了環(huán)狀密封突起52， 53的擴(kuò)開，也可更 有效地抑制自身(環(huán)狀推壓突起12， 13)向徑向擴(kuò)開變形的可能性的優(yōu)點(diǎn)。 并且，通過(guò)環(huán)狀密封突起52， 53向谷部14， 15的刺入，可使錐形周面52a， 53a將環(huán)狀推壓突起12， 13向徑向擴(kuò)寬的分力較小，由此也可抑制環(huán)狀推壓
突起12， 13向徑向的擴(kuò)開變形。
上述的嵌合密封部10的構(gòu)造在第1墊圈Gl的下側(cè)以及第2墊圈G2中 也具有同樣的構(gòu)成，對(duì)于相對(duì)應(yīng)的場(chǎng)所標(biāo)以相對(duì)應(yīng)的符號(hào)。第2墊圈G2雖 然直徑不同，但在截面形狀上與第1墊圈Gl完全相同。但是，對(duì)于第1和 第2流體供排口部1A， 2A的上第2密封端部t12和下第2密封端部t22，由 于在其外周側(cè)不存在流體通路，與各上第1密封端部tll和下第2密封端部 t21在形狀上稍稍不同。
艮口，在上第2密封端部tl2方面，是在與環(huán)狀推壓突起33的錐形內(nèi)周面 33a接續(xù)的狀態(tài)下，存在著形成閥套6的下端部用的下端內(nèi)周部6b這點(diǎn)上。 該下端內(nèi)周部6b具有作為將第2墊圈G2的上密封部g21與上第2密封端部 t12嵌合之際的導(dǎo)引件功能，同時(shí)，也可發(fā)揮著與錐形內(nèi)周面33a—同阻止 第2墊圈G2的外周壁65擴(kuò)開變形的功能。并且，在下第2密封端部t22方 面，是在外側(cè)的環(huán)狀推壓突起43的外周側(cè)連續(xù)地存在板件5這點(diǎn)上，下密 封部g22與下第2密封端部t22嵌合時(shí)，強(qiáng)化了第2墊圈G2的下密封部g22 的外環(huán)狀密封突起63的擴(kuò)開變形由錐形內(nèi)周面43a阻止的作用效果。
另外，第1和第2墊圈G1， G2中，在接合狀態(tài)下內(nèi)徑側(cè)和外徑側(cè)雙方 上作為存在著流體通路7， 8的中間墊圈的第1墊圈Gl形成為，作為其外周 部的外周面55a成為形成有將在第1墊圈Gl的外徑側(cè)的第1流體供排口部 1A的環(huán)狀流體通路4a與第2流體供排口部2A的環(huán)狀流體通路8連通的環(huán) 狀流體路徑W2用的壁面的狀態(tài)。如此成為第1墊圈Gl的內(nèi)外周面54a，55a 的雙方兼作形成流體通路Wl， W2的壁面的構(gòu)成，則成為"第1墊圈Gl的 厚度"="環(huán)狀流體通路3a， 7和管狀流體通路4a， 8的間隔"，可將第1 和第2流體供排口部1A， 2A的連接部更緊湊。
此外，正如圖1假想線所示，如將在第2墊圈G2的外周壁65橫向突出 的桿狀可裝脫法蘭lf一體形成，則從第1或第2流體供排口部1A， 2A拔出 第2墊圈G2之際，可用工具或手指將法蘭lf拉著法蘭lf等容易地卸下的優(yōu) 點(diǎn)。此時(shí)，可裝脫法蘭lf的厚度成為比接合狀態(tài)下的第I和第2流體供排口 部1A， 2A相互的間隙小的數(shù)值。
接下來(lái)對(duì)維持機(jī)構(gòu)I進(jìn)行說(shuō)明。維持機(jī)構(gòu)I如圖2，圖3所示，集成板1 的第1流體供排口部1A與閥2的第2流體供排口部2A相互通過(guò)第1和第2 墊圈Gl， G2拉靠的同時(shí)，通過(guò)該拉靠作用，第1流體供排口部1A的上第1
密封端部tll和上第2密封端部t12，以及第1和第2墊圈G1， G2的上密封 部gll ， g21分別與第2流體供排口部2A的下第1和下第2密封端部t21 ， t22以及第l和第2墊圈Gl， G2的下密封部g12， g22嵌合，維持著形成各 嵌合密封部10的接合狀態(tài)而成。即，第2流體供排口部2A的環(huán)狀突起11， 31以及第1和第2墊圈Gl， G2的上側(cè)的環(huán)狀槽51， 61分別與第1流體供 排口部1A的環(huán)狀突起21， 41以及第1和第2墊圈G1， G2的下側(cè)的環(huán)狀槽 51， 61嵌合。
維持機(jī)構(gòu)I的具體構(gòu)造由穿過(guò)第2流體供排口部2A的安裝法蘭9的螺 栓穿通孔9a的一對(duì)螺栓66，與一對(duì)螺栓穿通孔9a， 9a相對(duì)應(yīng)地形成于第1 流體供排口部1A (板件5)上的螺母部67， 67構(gòu)成，通過(guò)將螺栓66擰緊到 螺母部67上的緊固操作，將閥2拉靠到集成板1上，并且，可維持著該拉 靠狀態(tài)。另外，隨著時(shí)間變化或蠕動(dòng)等的發(fā)生，各嵌合密封部10的壓接力 降低時(shí)，可通過(guò)加固螺栓67加以處置，可維持良好的密封性能。
實(shí)施例2
實(shí)施例2的集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)如圖4所示，將集成板1與作 為流體器件一例的泵(清洗裝置循環(huán)線用的真空泵等)2通過(guò)法蘭管道71而 連通連接。通過(guò)內(nèi)外墊圈G1， G2的連接部自身的構(gòu)成與實(shí)施例1的相同， 因此只附上主要的符號(hào)，其詳細(xì)說(shuō)明加以省略。
對(duì)于集成板i除了排出側(cè)的流體通路4的取出方向與實(shí)施例1的集成板
1的場(chǎng)合相反外，基本上是同樣的構(gòu)造。但是，相對(duì)于實(shí)施例1的集成板與 流體器件的連接結(jié)構(gòu)構(gòu)成在集成板的上面，實(shí)施例2的連接結(jié)構(gòu)構(gòu)成在集成 板1的橫向側(cè)面上。泵2的供排用的流體通路7， 8為在橫向側(cè)面開口的構(gòu) 造，在集成板1中，相對(duì)于一對(duì)流體通路3， 4為雙重管構(gòu)造，為縱向并排 設(shè)置的獨(dú)立型構(gòu)造。
法蘭管道71由具有前述的安裝法蘭9的法蘭部72，與其相連地大致二 股狀的管路部73構(gòu)成，管路部73由持有管狀的供給側(cè)流體通路74的供給 側(cè)管道73A，持有管狀的排出側(cè)流體通路75的排出側(cè)的流體通路73B構(gòu)成。 在法蘭部72中，供給側(cè)流體通路74作為以軸心P為中心的管狀通路正對(duì)著
集成板1的縱向通路3a開口，同時(shí)，正對(duì)著集成板l的縱向環(huán)形通路4a開 口的環(huán)狀通路部分75a與排出側(cè)流體通路75連續(xù)的狀態(tài)下形成。各流體通 路74， 75通過(guò)熔融粘接等手段與泵2的內(nèi)側(cè)入口 76和外側(cè)入口 77連通的 狀態(tài)下接續(xù)連接。
如此，通過(guò)使用雙重管道構(gòu)造的法蘭部72和獨(dú)立的2根管道部73的法 蘭管道71，集成板1中的雙重管道構(gòu)造的第1流體供排口部1A和由并排設(shè) 置的一對(duì)內(nèi)側(cè)和外側(cè)入口 76， 77構(gòu)成的第2流體供排口部2A即集成板1與 泵2能夠以流體通路的開口構(gòu)造相互不同地、且相互接近且不勉強(qiáng)地緊湊地 連通連接。
實(shí)施例3
圖5， 6示出實(shí)施例3的集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)。其與實(shí)施例1 的構(gòu)造只是維持機(jī)構(gòu)I不同，因此多其第1變形構(gòu)造的維持機(jī)構(gòu)I進(jìn)行說(shuō)明。 另外，在圖5，圖6中，與圖1 圖3所示的實(shí)施例1相對(duì)應(yīng)的場(chǎng)所標(biāo)以相 對(duì)應(yīng)的符號(hào)。第1變形構(gòu)造的維持機(jī)構(gòu)I正如圖5，圖6所示，由在形成于 集成板1上面的俯視看呈圓形的突起狀的第1流體供排口部1A的外周部形 成外螺紋ln，且具有可與該外螺紋ln螺紋配合的內(nèi)螺紋81n的筒狀螺母81 ， 和在形成于閥2的閥套6的下端部的外向法蘭9上、在環(huán)狀的流體通路7的 軸心P方向不干涉的分成二個(gè)或分成三個(gè)以上的分切環(huán)82構(gòu)成。通過(guò)使內(nèi) 螺紋81n擰緊到的第1流體供排口部1A的外螺紋ln上的筒狀螺母81的緊 固操作，構(gòu)成可將兩個(gè)流體供排口部1A， 2A通過(guò)2個(gè)墊圈G， G2相互朝接 近方向拉靠且可維持在拉靠狀態(tài)下的帶拉靠功能的維持機(jī)構(gòu)I。
在筒狀螺母81的閥2側(cè)(上側(cè))形成的內(nèi)向法蘭83的開口部83a設(shè)定 成，足以容許外向法蘭9通過(guò)的最小限度的內(nèi)徑尺寸。分切環(huán)82的外徑設(shè) 定成比內(nèi)螺紋81n的內(nèi)徑稍小的尺寸，以可自由地進(jìn)入筒狀螺母81中，并 且，內(nèi)徑設(shè)定成可自由地外嵌在閥2的圓形的第2流體供排口部2A的外徑 部的最小限度的尺寸。此時(shí)，裝備分切環(huán)82時(shí)，需要使得除了第2流體供 排口部2A中的外向法蘭9外的直徑較細(xì)部分的軸向長(zhǎng)度成為超過(guò)筒狀螺母 81的軸向長(zhǎng)度與分切環(huán)82的厚度之和的數(shù)值。具體地成為如下的如圖6(b) 所示，與閥套6的根部6t接觸狀態(tài)下的筒狀螺母81與外向法蘭9之間的長(zhǎng)
度d3比分切環(huán)82的厚度d4大(d3>d4)的條件。
另外，在筒狀螺母81中的內(nèi)螺紋81n的內(nèi)里端部與內(nèi)向法蘭83之間， 可在分切環(huán)82上沿軸向自由滑動(dòng)且具有將分切環(huán)82的寬度尺寸蓋住的軸向 P方向長(zhǎng)度的內(nèi)周面部81m與軸向P同心地形成在扁平的內(nèi)周面上。即，筒 狀螺母81的內(nèi)螺紋81n與內(nèi)向法蘭83之間的內(nèi)徑部81a與供給側(cè)流體通路 7同心地形成于扁平的內(nèi)周面上，并且，尺寸設(shè)定成該內(nèi)周面部81m的內(nèi)徑 比截面形成矩形的分切環(huán)82的外徑稍大的嵌合公差的狀態(tài)，而第2流體{共 排口部2A的外徑部與供給側(cè)流體通路7同心地形成于扁平的外周面上，并 且，該外徑部的外徑與分切環(huán)82的內(nèi)徑大致形成為同一直徑。由此，防止 了發(fā)生筒狀螺母81螺旋送進(jìn)之際，分W環(huán)82傾斜成為抓仆:的狀態(tài)，或者不 能向外向法蘭9順利地傳遞筒狀螺母81的螺旋送進(jìn)所致的軸向P方向的推 壓力的不良現(xiàn)象，能夠有效地推壓外向法蘭9，將第l、第2流體供排口部 1A， 2A向相互接近方向良好地拉靠。
使用第1變形構(gòu)造的維持機(jī)構(gòu)以將兩個(gè)流體供排口部1A， 2A彼此相連 連接的操作順序正如下述。首先，如圖6 (a)所示，拉過(guò)外向法蘭，將筒狀 螺母81嵌裝到閥2的第2流體供排口部2A的外周上，并移動(dòng)到其最內(nèi)里側(cè)
(直到與根部6t接觸)。接著，如圖6 (b)所示，將分切環(huán)82通過(guò)外向法 蘭9和筒狀螺母81的前端之間，外嵌裝到第2流體供排口部2A上。此吋或 在其之前，可將第1和第2墊圈G1， G2通過(guò)環(huán)狀突起11, 21， 31， 41與 環(huán)狀槽51， 61的臨時(shí)嵌合而安裝到任意一個(gè)流體供排口部1A， 2A的端面 上。接下來(lái)，通過(guò)兩個(gè)墊圈Gl， G2，將第1流體供排口部1A貼到第2流體 供排口部2A上，通過(guò)在該狀態(tài)下使筒狀螺母81滑動(dòng)式移動(dòng)開始的緊固操作
(參照?qǐng)D6 (c))，獲得圖5所示的連接狀態(tài)。另外，在圖6中，上下層積 的集成板1和閥2通過(guò)圖面記載的狀況下，以橫向JMill的狀態(tài)進(jìn)行的描述。
實(shí)施例4
圖7，圖8示出實(shí)施例4的集成板1和流體器件的連接結(jié)構(gòu)。只是與實(shí) 施例1的維持機(jī)構(gòu)I不同，下面對(duì)該第2變形構(gòu)造的維持機(jī)構(gòu)I進(jìn)行說(shuō)明。 另外，在圖7，圖8中，與圖1 圖3所示的實(shí)施例1相對(duì)應(yīng)的場(chǎng)所標(biāo)以相 對(duì)應(yīng)的符號(hào)。第2變形構(gòu)造的維持機(jī)構(gòu)I具有將第1和第2流體供排口部A，
2A以越是其端面?zhèn)戎睆皆酱蟮姆绞綌U(kuò)徑而成的第1和第2圓錐臺(tái)狀端部1D，
2D，因與第1圓錐臺(tái)狀端部1D的錐形外周面ld接觸的第1錐形內(nèi)周面84a 和與第2圓錐臺(tái)狀端部2D的錐形外周面2d接觸的第2錐形內(nèi)周面84b、有 截面呈大致〈字形的內(nèi)周面的一對(duì)半組合圓弧部件84， 84構(gòu)成的組合型壓 環(huán)85，將半組合圓弧部件84， 84相互拉靠的螺栓86和形成于一方半組合圓 弧部件84上的螺母87。
在跨越接合狀態(tài)下的第1圓錐臺(tái)狀端部1D和第2圓錐臺(tái)狀端部2D以 覆蓋一對(duì)半組合圓弧部件84的狀態(tài)下，通過(guò)通入另一方的半組合圓弧部件 84的穿通孔84h中的螺栓86和螺母87的緊固，通過(guò)一端在支點(diǎn)Q處鉸鏈 狀樞軸支承的半組合圓弧部件84， 84相互拉靠引起的錐面相互的接觸力， 各流體供排口部1A， 2A相互拉靠。組合型壓環(huán)85最好由氟化乙烯樹脂材 料形成，也可由鋁合金等以外的材料構(gòu)成。
使用第2變形構(gòu)造的維持機(jī)構(gòu)I，將兩個(gè)流體供排口部1A， 2A相互相 連連接的操作順序如下。首先，如圖8 (a)所示，先進(jìn)行將第l，第2流體 供排口部1A， 2A通過(guò)第1和第2墊圈Gl， G2而輕輕相連連接的預(yù)連接操 作。接著，將組合型壓環(huán)85覆蓋在該預(yù)連接的第1和第2圓錐臺(tái)狀端部1D， 2D上，進(jìn)行螺栓86所致的緊固操作。通過(guò)該螺栓86的緊固，兩個(gè)墊圈G1， G2深深地嵌入各流體供排口部1A， 2A中，如圖8 (c)所示，獲得集成板l 與閥2的相連連接狀態(tài)。
實(shí)施例5
圖9示出實(shí)施例5的集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)。只是與實(shí)施例1的 維持機(jī)構(gòu)I不同，下面對(duì)該第3變形構(gòu)造的維持機(jī)構(gòu)I進(jìn)行說(shuō)明。另外，在 圖9中，與圖1 圖3所示的實(shí)施例1相對(duì)應(yīng)的場(chǎng)所標(biāo)以相對(duì)應(yīng)的符號(hào)。第 3變形構(gòu)造的維持機(jī)構(gòu)I由在集成板1的上面、在外周部上具有外螺紋ln的 狀態(tài)下形成的俯視呈圓形的突起狀的第1流體供排口部1A，在第2流體供 排口部2A中、外周部具有外螺紋9n的狀態(tài)下形成于閥套6的下端部的法蘭 9，具有可自由地螺紋緊固到這兩個(gè)外螺紋ln，9n上的內(nèi)螺紋91n， 91n的第 l和第2圓頂螺母91， 92，可嵌合于圓頂螺母91， 92的外周槽91m， 91m 中的截面形狀大致為-字形的接合環(huán)93構(gòu)成。
兩個(gè)圓頂螺母91， 92和接合環(huán)93的材質(zhì)例如為PFA或PTFE等的氟化 乙烯樹脂制成，具有某種程度的撓性。為此，使用第3變形構(gòu)造的維持機(jī)構(gòu) I，將兩個(gè)流體供排口部1A， 2A相互相連連接的順序?yàn)椋A(yù)先將各圓頂螺母 91， 92與接合環(huán)93連接固定而成一體化的第1和第2圓頂螺母91， 92，將 該一體化的第l，第2圓頂螺母91， 92通過(guò)墊圈G1， G2相互拉靠地?cái)Q緊到 成裝配狀態(tài)的第1和第2流體供排口部1A， 2A上，以形成集成板與流體器 件的連接結(jié)構(gòu)。不用說(shuō)此時(shí)的條件為，各外螺紋ln， 9n相互為同一螺紋， 螺旋裝配后，通過(guò)回轉(zhuǎn)各圓頂螺母91， 92，可實(shí)現(xiàn)更強(qiáng)的緊固或此后的螺栓 加緊。
另外，也可以是如下的裝配順序。即，將各圓頂螺母91， 92螺旋裝配 到相對(duì)應(yīng)的外螺紋ln， 9n上的狀態(tài)下，將兩個(gè)流體供排口部1A， 2A通過(guò) 第1和第2墊圈G1， G2拉靠，進(jìn)行使墊圈G1， G2壓接的密封狀態(tài)下連接 的拉靠工序。該拉靠工序使用與維持機(jī)構(gòu)I不同的專用的拉靠機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)。由 此，在相互以鄰接的狀態(tài)下螺旋安裝到各外螺紋ln， 9n每個(gè)上的第1和第2 圓頂螺母91, 92的外周槽91m， 92m中，通過(guò)將接合環(huán)93強(qiáng)制擴(kuò)徑變形而 進(jìn)入，形成集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)。即，接合環(huán)93通過(guò)過(guò)度嵌合而 與兩個(gè)圓頂螺母91， 92固定著。
該構(gòu)成的維持機(jī)構(gòu)I正如文字所述，具有僅維持著第1和第2流體供排 口部1A， 2A的通過(guò)墊圈G1， G2的密封連接狀態(tài)的功能?？墒牵蚋鲌A頂 螺母91， 92與接合環(huán)93可相對(duì)回轉(zhuǎn)，這些圓頂螺母91， 92可同時(shí)單獨(dú)的 回轉(zhuǎn)移動(dòng)，隨著時(shí)間變化或蠕動(dòng)等密封壓接力降低時(shí)，可強(qiáng)制回轉(zhuǎn)圓頂螺母 91， 92之一或兩者，可進(jìn)行螺栓加緊操作。
實(shí)施例6
圖10，圖11示出實(shí)施例6的集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)。該集成板 與流體器件的連接結(jié)構(gòu)為，將內(nèi)部形成一對(duì)圓管狀的流體通路3， 4的集成 板1和通過(guò)環(huán)狀墊圈G搭載在其上面la上的閥(開關(guān)閥、斷流閥等)2跨接 而成的、共有縱向的軸心P的單流道型連接結(jié)構(gòu)。即，作為供排用的一對(duì)連 接結(jié)構(gòu)作為相互同一的連接結(jié)構(gòu)而成。
集成板1如圖10，圖11所示，在PFA或PTFE等的氟化乙烯樹脂制成
的板材(或塊材)5的內(nèi)部，形成由在板上面la開口的上下方向的縱向通路 3a， 4a和橫向的橫向通路3b， 4b構(gòu)成的一對(duì)圓管狀的供給側(cè)流體通路3 ， 4。 在該集成板1中開口成供排流體通路3，4的部分稱作第1流體供排.口部1A， 在該第1流體供排口部1A中，圓管狀的縱向通路3a， 4a分別形成在具有軸 心P的通路中。另外，在第1流體供排口部1A中，在其上端面開口的各流 體通路3， 4的外徑側(cè)部分分別成為以軸心P為中心的環(huán)狀，并且，形成向 上方突出的有內(nèi)外的環(huán)狀突起21的下第1密封端部t21和下第2密封端部 t22。
閥(流體器件的一例)2如圖10，圖11所示，由PFA或PTFE等的氣 化乙烯樹脂制成，具有上下方向看形狀為圓形的閥套6，該閥套6的下端部 形成于第2流體供排口部2A上，該第2流體供排口部2A具有從底面6a向 下方突出狀態(tài)下縱向布置的圓管狀的供給側(cè)流體通路7，和離開該供給側(cè)流 體通路7的橫側(cè)方并開口狀態(tài)下縱向配置的圓管狀的排出側(cè)流體通路8。艮口， 在該第2流體供排口部2A中，圓管狀的供給側(cè)流體通路7， 8分別形成在具 有軸心P的通路中。也就是說(shuō)，在閥套6下端，具有一對(duì)螺栓穿通孔9a的 PFA或PTFE或者其他材料構(gòu)成的氟化乙烯樹脂制成的安裝法蘭9的一對(duì)向 下方突出形成，由具有流體通路7， 8的管部9A和法蘭部(外向法蘭)9B 形成各安裝法蘭9。供給側(cè)的安裝法蘭9在具有向下方突出的環(huán)狀突起11的 上第1密封端部tll上形成，排出側(cè)的安裝法蘭9在具有上方突出的環(huán)狀突 起11的上第2密封端部tl2上形成。
一對(duì)墊圈G相互是相同的，其構(gòu)造以供給側(cè)的墊圈G為例進(jìn)行說(shuō)明。 墊圈G由PFA或PTFE等氟化乙烯樹脂制成，具有為了將供給側(cè)的上下流體 供排口部1A， 2A相對(duì)應(yīng)的作為流體通路的縱向通路3a和供給側(cè)流體通路7 相互連通而成的管狀的流體路徑Wl，為了與形成在第1和第2連通供排口 部1A， 2A端面上的上第1密封端部tll的環(huán)狀突起11以及上第2密封端部 t12的環(huán)狀突起21分別嵌合且在流體路徑Wl的外徑側(cè)部分形成的一對(duì)環(huán)狀 槽51， 51。
艮口，墊圈G的截面形狀為，具有上下一對(duì)環(huán)狀槽51， 51，和形成這些 環(huán)狀槽51， 51用的內(nèi)周壁54和外周壁55，同時(shí)，上下環(huán)狀槽51， 51為深 度和寬度相同的上下對(duì)稱件，并且，內(nèi)和外周壁54， 55也左右對(duì)稱，形成
為與沿著第1和第2流體供排口部1A， 2A的軸心P方向的縱向中心Z以及
垂直于該縱向中心線z的橫向中心線X的這兩者成線對(duì)稱(也可大致線對(duì)稱) 的略H狀的形狀。內(nèi)周壁54的上下端部形成在作為內(nèi)周面54a的流體路徑 W的上下端部前擴(kuò)狀外向傾斜的錐形內(nèi)周面52a， 52a上，同時(shí)，外周壁55 的上下端部也形成在其外周面55a的上下端部?jī)?nèi)向傾斜的錐形內(nèi)周面53a， 53a上。
在集成板1的第1流體供排口部1A的下第1密封端部t21的環(huán)狀突起 21和閥2的第2流體供排口部2A的上第1密封端部tl 1中的環(huán)狀突起11的 內(nèi)和外徑側(cè)，形成環(huán)狀推壓突起(環(huán)狀推壓部分的一例)12， 13， 22， 23， 通過(guò)環(huán)狀槽51和環(huán)狀突起11， 21的嵌合，阻止了為了形成墊圈G中的環(huán)狀 槽51而向軸心P方向突出而成的內(nèi)外的周壁端部52， 53擴(kuò)張變形。
與上述環(huán)狀推壓突起有關(guān)的構(gòu)造針對(duì)墊圈G和上第1密封端部tll加以 說(shuō)明。內(nèi)外的環(huán)狀推壓突起12， 13是對(duì)稱的，為了使由這些環(huán)狀推壓突起 12， 13和環(huán)狀突起11圍住的谷部14， 15成里窄狀(上窄狀)，在具有環(huán)狀 突起側(cè)的側(cè)周面傾斜的錐形外周面12a和錐形內(nèi)周面13a的前窄狀的環(huán)狀突 起上形成。g卩，上第1密封端部tll為環(huán)狀突起11和形成于其內(nèi)外兩側(cè)上的 環(huán)狀推壓突起12， 13和谷部14， 15的統(tǒng)稱。
墊圈G的內(nèi)外的周壁54， 55的上端部具有帶有分別與環(huán)狀推壓突起12， 13的錐形外周面12a和錐形內(nèi)周面13a接觸的錐形內(nèi)周面52a和錐形外周面 53a、且可自由地進(jìn)入谷部M， 15中的前窄狀的環(huán)狀密封突起(周壁端部的 一例)52， 53，在接合狀態(tài)下(參照?qǐng)D10)，進(jìn)入與作為內(nèi)外周壁54， 55 上端部的環(huán)狀密封突起52， 53相對(duì)應(yīng)的谷部14， 15中，使上第1密封端部 tll的錐形外周面12a和墊圈G的錐形內(nèi)周面52a壓接，并且，上第1密封 端部tll的錐形內(nèi)周面13a和墊圈G的錐形外周面53a壓接。
艮P，在墊圈G的上端部，由環(huán)狀槽51和其內(nèi)外的環(huán)狀密封突起52， 53 形成上密封部gll，同樣，在下端部形成下密封部g12。上密封部gll與上 第l密封端部tll嵌合，以形成嵌合密封部IO，下密封部gl2與下第2密封 端部t21嵌合，以形成嵌合密封部IO。
嵌合密封部10的嵌合構(gòu)造針對(duì)上第1密封端部tll和墊圈G的上密封 部gll進(jìn)行詳細(xì)的說(shuō)明，正如圖11，圖12所示，內(nèi)外谷部14， 15相互對(duì)稱，
內(nèi)外環(huán)狀密封突起52， 53相互對(duì)稱，內(nèi)外谷部14， 15全體的夾角a"與內(nèi)外 的環(huán)狀密封突起52， 53全體的對(duì)置角0 "之間設(shè)定成a ('< P ° ，最好設(shè)定成a "+ (20 40Q) 二P"的關(guān)系。通過(guò)該結(jié)構(gòu)，在上第l密封端部tll的上環(huán)狀 突起11與環(huán)狀槽51嵌合的接合狀態(tài)下(后述)，上內(nèi)環(huán)狀推壓突起12與 上內(nèi)環(huán)狀密封突起52、其錐形外周面12a和錐形內(nèi)周面52a成為在最內(nèi)徑側(cè) 部分壓接的狀態(tài)(參照?qǐng)D12的假想線)，獲得了作為二次密封部S2的功能 的優(yōu)點(diǎn)，該二次密封部S2也阻止了通過(guò)流體通路W1的流體進(jìn)入這些外內(nèi)的 這些周面12a， 52a相互間。
并且，對(duì)于上環(huán)狀突起ll的寬度dl與上環(huán)狀槽51的寬度d2，可設(shè)定 成dl〉d2的關(guān)系，最好設(shè)定成dlX (0.6 0.8) =d2的關(guān)系。對(duì)于上環(huán)狀 突起11的突出長(zhǎng)度hl與上環(huán)狀槽51的深度h2可設(shè)定成hl〈h2的關(guān)系。通 過(guò)這些結(jié)構(gòu)，上環(huán)狀突起11與上環(huán)狀槽51更詳細(xì)地講，上環(huán)狀突起11的 內(nèi)外兩側(cè)周面與相對(duì)應(yīng)的上環(huán)狀槽51的內(nèi)外的側(cè)周面強(qiáng)制壓接，形成了可 發(fā)揮阻止流體泄漏優(yōu)的密封性能的一次密封部S1，同時(shí)，上內(nèi)環(huán)狀推壓突起 12的錐形外周面12a與上內(nèi)環(huán)狀密封突起52的錐形內(nèi)周面52a必定接觸， 具有可良好地形成前述的二次密封部S2的優(yōu)點(diǎn)。
另外，內(nèi)側(cè)的環(huán)狀推壓突起12的前端以及環(huán)狀密封突起52， 53的前端 形成不成銷角的切削形狀，即形成傾斜切削面12b以及切削面52b， 53b。通 過(guò)如此結(jié)構(gòu)，上內(nèi)環(huán)狀推壓突起12的前端即使朝向流體通路W1側(cè)稍許擴(kuò)寬 變形，由于還成為原本形狀，盡可能成為在流體通路Wl途中的有較大開口 的截面三角形的凹部，存在于該凹部的流體容易流出，實(shí)質(zhì)上不會(huì)產(chǎn)生貯液。 此外，該凹部的開角即傾斜切削面12b與錐形內(nèi)周面52a的夾角足夠大，也 避免了表面張力所致的貯液現(xiàn)象。另外，由于環(huán)狀突起11前端的內(nèi)角和外 角作成倒棱加工的形狀lla，對(duì)窄幅的環(huán)狀槽51的壓入移動(dòng)能夠順暢地進(jìn)行， 不會(huì)發(fā)生咬住等不良現(xiàn)象。
外側(cè)的環(huán)狀推壓突起13與內(nèi)側(cè)的環(huán)狀推壓突起12作為整體的形狀是不 同的，在與環(huán)狀推壓突起13的錐形內(nèi)周面13a接續(xù)的狀態(tài)下，存在著形成 閥套6的下端部用的下端內(nèi)周部9b。并且，與下第1密封端部t21有關(guān)地， 也在與環(huán)狀推壓突起23的錐形內(nèi)周面23a接續(xù)的狀態(tài)下，存在著形成板材5 的上端部用的上端內(nèi)周部5b，同樣，與內(nèi)側(cè)的環(huán)狀推壓突起22在整體的形
狀上是不同的。這些上和下端內(nèi)周部5b， 9b在將墊圈G的上、下密封部gl 1 ，
gl2與上、下第l密封端部tll， t21嵌合之際作為導(dǎo)引件的功能，同時(shí)，也 發(fā)揮著與錐形內(nèi)周面13a，23a—同阻止墊圈G的外周壁55擴(kuò)寬變形的功能。
另外，如圖15的假想線所示，如將橫向突出的環(huán)狀的可裝脫法蘭lf與 墊圈G的外周壁55 —體形成，則在從第1或第2流體供排口部1A， 2A拔 出墊圈G之際，具有可用工具或手指牽拉法蘭lf等容易拆卸的優(yōu)點(diǎn)。此吋， 可裝脫法蘭lf的厚度成為比接合狀態(tài)下的第1和第2流體供排口部1A， 2A 相互的間隙小的數(shù)值。
進(jìn)一步詳述嵌合密封部10。如圖ll，圖12所示，將環(huán)狀推壓突起12， 13的錐形周面12a， 13a的開角(谷部14， 15的開角)D設(shè)定成50 70度 的范圍值(50'^d"s70")，同時(shí)，環(huán)狀密封突起(周壁端部)52， 53的錐 形周面52a， 53a的夾角E設(shè)定成60 80度的范圍值(60"sd(^80。)。并 且，對(duì)于開角D與尖角E設(shè)定成尖角E為開角D加10 20度的"D^十(10 20G) =EQ"。作為更好的數(shù)值，幵角D可以設(shè)定為69 71度(DQ=70± 1G)， 尖角e可以設(shè)定為79 81度(eG二80土iG)，以及尖角e可以設(shè)定為d + 9 11度(E0—D°=10±l0)。
此外，環(huán)狀推壓突起12的傾斜切削面12b的切削角Ds設(shè)定成49 51 度(DsQ=50±lQ)，周壁端部52， 53的前端切削面52b， 53b的傾角Es設(shè) 定成124 126度(EsQ=125±lQ)。通過(guò)角度如此設(shè)定，錐形外周面12a與 錐形內(nèi)周面52a在環(huán)狀的線接觸狀態(tài)下接觸，在二次密封部S2可發(fā)揮密封 唇效果。另外，錐形內(nèi)周面13a與錐形外周面53a之間也在其外徑側(cè)端部產(chǎn) 生密封作用。此外，盡管圖示省略，但在下端內(nèi)周部9b不存在時(shí)(與集成 板或流體器件中的墊圈G的嵌合部的截面形狀為左右對(duì)稱時(shí))，在外側(cè)的環(huán) 狀推壓突起13上也形成與傾斜切削面12b同樣的傾斜切削面，以產(chǎn)生前述 的密封唇效果。
艮口，相對(duì)于前述第1流體供排口部1A與前述第2流體供排口部2A作 為相互拉靠方向的拉靠方向的、前述環(huán)狀密封突起(周壁端部)52， 53的錐 形周面52a， 53a (錐形內(nèi)周面52a，錐形外周面53a)的尖角E設(shè)定成對(duì)相 對(duì)于前述拉靠方向的前述環(huán)狀推壓突起12， 13中的環(huán)狀突起11側(cè)的錐形周 面12a， 13a (錐形外周面12a，錐形內(nèi)周面13a)的開角D加上10 20度最
好為加上IO度或大致IO度的數(shù)值。并且，前述尖角E設(shè)定成60 80度， 最好設(shè)定成80度或大致80度。
如果如此成為將尖角E和開角D設(shè)定成拉靠90度的鈍角值的構(gòu)成，則 具有環(huán)狀推壓突起12， 13在拉靠方向(軸向)的突出量與其徑向?qū)挾认啾?變小，相對(duì)強(qiáng)度、剛性提高，限制了環(huán)狀密封突起52， 53的擴(kuò)開，也可更 有效地抑制自身(環(huán)狀推壓突起12， 13)向徑向擴(kuò)開變形的可能性的優(yōu)點(diǎn)。 并且，通過(guò)環(huán)狀密封突起52， 53向谷部14， 15的刺入，可使錐形周面52a， 53a將環(huán)狀推壓突起12， 13向徑向擴(kuò)寬的分力較小，由此也可抑制環(huán)狀推壓 突起12， 13向徑向的擴(kuò)開變形。
下面，對(duì)維持機(jī)構(gòu)I進(jìn)行說(shuō)明。維持機(jī)構(gòu)I如圖ll，圖12所示，集成板 1的第1流體供排口部1A與閥2的第2流體供排口部2A相互通過(guò)墊圈G 拉靠的同時(shí)，通過(guò)該拉靠作用，第1流體供排口部1A的上第1密封端部tll 與墊圈G的上密封部gll，以及第2流體供排口部2A的下第1密封端部t21 與墊圈G的下密封部g12分別嵌合，維持著形成各嵌合密封部10的接合狀 態(tài)而成。即，第2流體供排口部2A的環(huán)狀突起11以及墊圈G的上側(cè)的環(huán) 狀槽51分別與第1流體供排口部1A的環(huán)狀突起21以及墊圈G的下側(cè)的環(huán) 狀槽51嵌合。
維持機(jī)構(gòu)I的具體構(gòu)造由穿過(guò)第2流體供排口部2A的安裝法蘭9B的螺 栓穿通孔9a的一對(duì)螺栓66，與一對(duì)螺栓穿通孔9a, 9a相對(duì)應(yīng)地形成于第1 流體供排口部1A (板件5)上的螺母部67， 67構(gòu)成，通過(guò)將螺栓66擰緊到 螺母部67上的緊固操作，構(gòu)成將閥2拉靠到集成板1上，并且，可維持著 該拉靠狀態(tài)的帶有拉靠功能的維持機(jī)構(gòu)I。另外，隨著時(shí)間變化或蠕動(dòng)等的 發(fā)生，各嵌合密封部10的壓接力降低時(shí)，可通過(guò)加固螺栓67加以處置，可 維持良好的密封性能。
實(shí)施例7
圖13示出實(shí)施例7的集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)。為將作為流體器 件一例的過(guò)濾器2與集成板1接續(xù)連接的構(gòu)造，連接結(jié)構(gòu)自身與圖10 圖 12所示的實(shí)施例6的構(gòu)造相同。因此，對(duì)相同場(chǎng)所標(biāo)以相同的符號(hào)，對(duì)其說(shuō) 明加以省略。
過(guò)濾器2由本體罩2K、下部罩2B和過(guò)濾體2C構(gòu)成，在下部罩2B上 形成供給側(cè)的流體通路7和排出側(cè)的流體通路8以及具有這些流體通路7， 8 的狀態(tài)下橫向伸出而成的一對(duì)安裝法蘭9， 9。這些安裝法蘭9， 9與集成板 1通過(guò)墊圈G接續(xù)連接。
實(shí)施例8
實(shí)施例8的集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)如圖14所示，為集成板1與 作為流體器件一例的調(diào)節(jié)器2的連接結(jié)構(gòu)。調(diào)節(jié)器2具有由上部罩、中間罩 以及下部罩構(gòu)成的殼體2C，由外周部夾持于上部罩與中間罩之間的實(shí)空管 (未圖示)、外周部夾持于中間罩與下部罩之間的閥體(未圖示)、收納于 下部罩中的回簧(未圖示)等構(gòu)成。
在殼體2C上向橫向側(cè)方伸出而成的一對(duì)安裝法蘭9， 9成一體地裝備著， 使用這些安裝法蘭9， 9，調(diào)節(jié)器2通過(guò)墊圈G與集成板l的上面la接續(xù)連 接。借助于該墊圈G的安裝法蘭9與集成板1的上面la的連接結(jié)構(gòu)與圖10 圖12所示的實(shí)施例6是相同的，對(duì)其詳細(xì)的說(shuō)明加以省略。
實(shí)施例9
圖15，圖16示出實(shí)施例9的集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)。其與實(shí)施 例6的連接結(jié)構(gòu)只是維持機(jī)構(gòu)I不同，下面對(duì)該第1變形構(gòu)造的維持機(jī)構(gòu)I 進(jìn)行說(shuō)明。另外，在圖15，圖16中，與圖10 12所示實(shí)施例6中相對(duì)應(yīng)的 場(chǎng)所標(biāo)以相對(duì)應(yīng)的符號(hào)，變形構(gòu)造的維持機(jī)構(gòu)I如圖15和圖16所示，由在 形成于集成板1上面的、俯視看呈圓形的突起狀的第1流體給排口部1A的 外周部上形成外螺紋ln，具備可與該外螺紋ln自由地螺紋配合的內(nèi)螺紋81n 的筒狀螺母81，和在形成于閥2的閥套6的下端部的外向法蘭9上，沿環(huán)狀 的流體通路7的軸心P方向干涉的二個(gè)分開的、或者三個(gè)分開以上的分切環(huán) 82構(gòu)成。構(gòu)成的帶拉靠功能的維持機(jī)構(gòu)I為，通過(guò)使內(nèi)螺紋81n螺紋緊固 到第1流體供排口部1A的外螺紋ln上的筒狀螺母81的緊固操作，可將兩 個(gè)流體供排口部1A， 2A通過(guò)墊圈G朝著相互接近的方向拉靠并且可維持著 該拉靠狀態(tài)。
筒狀螺母81的形成在閥2側(cè)(上側(cè))的內(nèi)向法蘭83的開口部83a設(shè)定
成足以容許外向法蘭9通過(guò)的最小限度的內(nèi)徑尺寸。分切環(huán)82的外徑設(shè)定
成比內(nèi)螺紋81n的內(nèi)徑稍小的尺寸，以可自由進(jìn)入筒狀螺母8中，并且，內(nèi) 徑設(shè)定成可自由地外嵌在閥2的圓形的第2流體供排口部2A的外徑部的最 小限度的尺寸。此時(shí)，為了裝備分切環(huán)82，需要使得除了第2流體供排口部 2A中的外向法蘭9外的直徑較細(xì)部分的軸向長(zhǎng)度成為超過(guò)筒狀螺母81的軸 向長(zhǎng)度與分切環(huán)82的厚度之和的數(shù)值。具體為，如圖16 (b)所示，成為與 閥套6的根部6t接觸狀態(tài)下的筒狀螺母81與外向法蘭9之間的長(zhǎng)度d3比分 切環(huán)82的厚度d4大(d3>d4)的條件。
另外，在筒狀螺母81中的內(nèi)螺紋81n的內(nèi)進(jìn)深端部與內(nèi)向法蘭83之間， 可沿著軸向在分切環(huán)82中自由滑動(dòng)且具有將分切環(huán)82的寬度尺寸蓋住的軸 心P方向長(zhǎng)度的內(nèi)周面部81m與軸心P同心地形成在扁平的內(nèi)周面上，即， 筒狀螺母81的內(nèi)螺紋81n與內(nèi)向法蘭83之間的內(nèi)徑部81a與供給側(cè)流體通 路7同心地形成在扁平的內(nèi)周面上，并且，該內(nèi)周面部81m的內(nèi)徑設(shè)定成比 形成矩形截面的分切環(huán)82的外徑稍大的嵌合公差狀態(tài)下的尺寸，而第2流 體供排口部2A的外徑部與供給側(cè)流體通路7同心地形成在扁平的外周面上， 并且，該外徑部的外徑與分切環(huán)82的內(nèi)徑大致形成為同一直徑。由此，防 止了產(chǎn)生使筒狀螺母81螺旋送進(jìn)之際，分切環(huán)82成為傾斜抓住的狀態(tài)或者 筒狀螺母81的螺旋送進(jìn)所致的軸心P方向的推壓力不能順利地傳遞到外向 法蘭9上的不良現(xiàn)象，能夠有效地推壓外向法蘭9，使第l，第2流體供排 口部1A， 2A朝著相互接近方向良好地拉靠。
使用第1變形構(gòu)造的維持機(jī)構(gòu)I以將兩個(gè)流體供排口部1A， 2A相互接 續(xù)連接的操作順序如下。首先，如圖16 (a)所示，將外向法蘭9讓過(guò)去， 將筒狀螺母81嵌裝到閥2的第2流體供排口部2A的外周上，移動(dòng)到其最內(nèi) 進(jìn)深側(cè)(直到與根部6t接觸)。接著，如圖16 (b)所示，將分切環(huán)82通 過(guò)外向法蘭9與筒狀螺母81的前端之間，外嵌裝到第2流體供排口部2A上。 此時(shí)或在其前，可通過(guò)環(huán)狀突起ll， 21， 31， 41與環(huán)狀槽51， 61的臨時(shí)嵌 合以將墊圈G安裝到任意一個(gè)流體供排口部1A， 2A的端面上。之和，通過(guò) 墊圈G，將第1流體供排口部1A緊靠到第2流體供排口部2A上，通過(guò)在該 狀態(tài)下使筒狀螺母81滑移所致的緊固操作(參照?qǐng)D16 (c))，可獲得圖 15所示的連接狀態(tài)。此外，在圖16中，將上下層積的集成板1與閥2根據(jù)
附圖記載狀況在橫到的狀態(tài)下描繪。 實(shí)施例10
圖17，圖18示出實(shí)施例10的集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)。其與實(shí)施 例6的連接結(jié)構(gòu)只是維持機(jī)構(gòu)I不同，下面對(duì)該第2變形構(gòu)造的維持機(jī)構(gòu)I
進(jìn)行說(shuō)明。另外，在圖17，圖18中，與圖10 12所示實(shí)施例6中相對(duì)應(yīng)的 場(chǎng)所標(biāo)以相對(duì)應(yīng)的符號(hào)。第2變形構(gòu)造的維持機(jī)構(gòu)I由將第1和第2流體供 排口部1A， 2A以其端面?zhèn)仍酱髣t直徑越大方式擴(kuò)徑而成的第1和第2截頭 圓錐臺(tái)狀端部1D, 2D，通過(guò)與第1截頭圓錐臺(tái)狀端部1D的錐形外周面1 接觸的第1錐形內(nèi)周面84以及與第2截頭圓錐臺(tái)狀端部2D的錐形外周面 2d接觸的第2錐形內(nèi)周面84b而具有截面略〈字形的內(nèi)周面的的一對(duì)半分開 圓弧部件84， 84構(gòu)成的拼合型推壓環(huán)85，將半分開圓弧部件84， 84相互拉 靠的螺栓86以及形成于一個(gè)半分開圓弧部件84上的螺母87構(gòu)成。
跨越接合狀態(tài)下的第1截頭圓錐臺(tái)狀端部1D和第2截頭圓錐臺(tái)狀端部 2D以覆蓋一對(duì)半分開圓弧部件84的狀態(tài)下，通過(guò)穿過(guò)另一個(gè)半分開圓弧部 件84的穿通孔84h中的螺栓86和螺母87的緊固，因一端在支點(diǎn)Q鉸鏈狀 樞軸支承的半分開圓弧部件84， 84相互拉靠所致的錐形面相互接觸力，各 流體供排口部1A， 2A彼此相互拉靠。拼合型推壓環(huán)85最好由氟樞軸材料 形成，但也可由鋁合金等之外的材料構(gòu)成。
使用第2變形構(gòu)造的維持機(jī)構(gòu)I以將兩個(gè)流體供排口部1A， 2A相互接 續(xù)連接的操作順序如下。首先，如圖18 (a)所示，使第1，第2流體供排 口部1A， 2A進(jìn)行通過(guò)墊圈G而輕微接續(xù)連接的預(yù)連接操作。接著，如圖18 (b)所示，將拼合型推壓環(huán)85覆蓋在預(yù)連接的第1和第2截頭圓錐臺(tái)狀端 部ld， 2d上以進(jìn)行螺栓86所致的緊固操作。通過(guò)該螺栓86的緊固操作， 墊圈G深深地嵌入各流體供排口部1A， 2A中，如圖18 (c)所示，獲得集 成板1與閥2的接續(xù)連接狀態(tài)。
實(shí)施例11
圖19示出實(shí)施例11的集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)。其與實(shí)施例6 的連接結(jié)構(gòu)只是維持機(jī)構(gòu)I不同，下面對(duì)該第3變形構(gòu)造的維持機(jī)構(gòu)I進(jìn)行
說(shuō)明。另外，在圖19中，與圖10 12所示實(shí)施例6中相對(duì)應(yīng)的場(chǎng)所標(biāo)以相 對(duì)應(yīng)的符號(hào)。第3變形構(gòu)造的維持機(jī)構(gòu)I由在集成板1的上面、以在外周部
有外螺紋n的狀態(tài)下形成的俯視看呈圓形的突起狀的第1流體供排口部1A， 在第2流體供排口部2A中、外周部具有外螺紋9n狀態(tài)下形成于閥套6的下 端部上的法蘭部9，具有可與這兩個(gè)外螺紋ln， 9n自由地螺旋固定的內(nèi)螺紋 91n， 92n的第l和第2圓頂螺母91， 92，可與這些圓頂螺母91， 92的外周 槽91m， 92m嵌合的截面形狀大致為-字形的接合環(huán)93構(gòu)成。
兩個(gè)圓頂螺母91 ， 92和接合環(huán)93由例如PFA或PTFE等氟化乙烯樹脂 制成，具有某種程度的撓性。在此，使用第3變形構(gòu)造的維持機(jī)構(gòu)I，將兩 個(gè)流體供排口部1A， 2A相互接續(xù)連接的順序?yàn)?，預(yù)先將接合環(huán)93連接固 定到各圓頂螺母91， 92上以形成一體化的第1和第2圓頂螺母91， 92，將 該一體化的第1和第2圓頂螺母91， 92通過(guò)墊圈G相互拉靠地螺旋安裝到 成裝配狀態(tài)下的第1和第2流體供排口部1A， 2A上，形成集成板與流體器 件的連接結(jié)構(gòu)。不用說(shuō)，此時(shí)的條件為，各外螺紋ln， 9n為相互同一的螺 紋，螺旋安裝后，進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)各圓頂螺母91， 92以更牢固地緊固或之后的螺 栓加固。
另外，也可進(jìn)行如下的裝配順序。即，進(jìn)行分別將圓頂螺母91， 92螺 旋安裝到相對(duì)應(yīng)的外螺紋ln， 9n的狀態(tài)下，將兩個(gè)流體供排口部1A， 2A 通過(guò)墊圈G拉靠，且在墊圈G被壓接的密封狀態(tài)下連接的拉靠工序。該拉 靠工序使用與維持機(jī)構(gòu)I不同的專用的拉靠機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)。由此，在各外螺紋ln， 9n上以分別與其相鄰接的狀態(tài)下螺旋安裝著的第1和第2圓頂螺母91， 92 的外周槽91m, 92m中，將接合環(huán)93強(qiáng)制擴(kuò)徑變形地進(jìn)入，以形成集成板 與流體器件的連接結(jié)構(gòu)。g卩，接合環(huán)93通過(guò)過(guò)度嵌合地連接固定到兩個(gè)圓 頂螺母91， 92上。
該構(gòu)成的維持機(jī)構(gòu)I如文字所述，僅具有將第1和第2流體供排口部1A， 2A的通過(guò)墊圈G的密封連接狀態(tài)加以維持的功能?？墒?，因各圓頂螺母91 ， 92與接合環(huán)93可相對(duì)回轉(zhuǎn)，這些圓頂螺母91， 92可一同進(jìn)行簡(jiǎn)單的轉(zhuǎn)動(dòng)， 在因時(shí)間變化或蠕動(dòng)等，密封壓接力降低時(shí)，可強(qiáng)制地轉(zhuǎn)動(dòng)圓頂螺母91， 92 之一或兩者，可實(shí)現(xiàn)螺栓加固操作。
實(shí)施例12
圖20示出實(shí)施例12的集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)。其與實(shí)施例6的 連接結(jié)構(gòu)只是維持機(jī)構(gòu)I不同，下面對(duì)該第4變形構(gòu)造的維持機(jī)構(gòu)I進(jìn)行說(shuō) 明。第4變形構(gòu)造的維持機(jī)構(gòu)I，如圖20所示，由在集成板1的上面以在外 周部具有外螺紋In的狀態(tài)下形成的俯視看呈圓形的突起狀的第1流體供排 口部1A，在第流體供排口部2A中以在外周部具有外螺紋9n的狀態(tài)下形成 于閥套6的下端部的法蘭9，具有可與這兩個(gè)外螺紋ln， 9n可自由螺旋固定 的內(nèi)螺紋101n的筒狀螺母101構(gòu)成。
筒狀螺母101在前端側(cè)的內(nèi)螺紋101n與基端側(cè)的內(nèi)向法蘭102之間形 成比外螺紋ln， 9n直徑大的內(nèi)挖內(nèi)周部101a，內(nèi)向法蘭102在軸心P方向 形成與法蘭部9干涉的內(nèi)徑尺寸。在圖20所示的裝配狀態(tài)下，流體器件2 的外螺紋9n收納于內(nèi)挖內(nèi)周部101a中，在只是集成板1的外螺紋ln與內(nèi) 螺紋101n螺紋配合的狀態(tài)下，維持著第1和第2流體供排口部1A， 2A相 互拉靠的狀態(tài)。
為了裝配，首先，將筒狀螺母101的內(nèi)螺紋101n與流體器件2的法蘭 部9的外螺紋9n螺紋配合地緊固，讓外螺紋9n可自由回轉(zhuǎn)地收納于內(nèi)挖內(nèi) 周部101a中的狀態(tài)，在該狀態(tài)下，通過(guò)墊圈G，將內(nèi)螺紋101n與集成板1 的外螺紋ln螺紋配合著緊固。如此，筒狀螺母101由于與法蘭部9的外螺 紋9n相對(duì)空轉(zhuǎn)，只是集成板1通過(guò)緊固而螺旋送進(jìn)，結(jié)果，集成板1與流 體器件2拉靠，通過(guò)墊圈G，流體通路3， 7維持在密封狀態(tài)下的連通相連 的拉靠狀態(tài)，從而構(gòu)成了帶拉靠功能的維持機(jī)構(gòu)。
實(shí)施例13
圖21示出實(shí)施例13的集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)。其與實(shí)施例6的 連接結(jié)構(gòu)只是維持機(jī)構(gòu)I不同，下面對(duì)該第5變形構(gòu)造的維持機(jī)構(gòu)I進(jìn)行說(shuō) 明。第5變形構(gòu)造的維持機(jī)構(gòu)I為圖15所示的第1變形構(gòu)造的維持機(jī)構(gòu)I與 圖20所示的第4變形構(gòu)造的維持機(jī)構(gòu)I的折衷的構(gòu)成，如圖21所示，由在 集成板1的上面以在外周部具有外螺紋ln的狀態(tài)下形成的俯視看呈圓形的 突起狀的第1流體供排口部1A，在第2流體供排口部2A中以在外周部具有 外螺紋9n的狀態(tài)下形成于閥套6的下端部的法蘭部9，具有可自由地螺紋配
合在這兩個(gè)外螺紋ln， 9n上的內(nèi)螺紋llln的筒狀螺母111，分切環(huán)112構(gòu)成。
筒狀螺母111在前端側(cè)的內(nèi)螺紋llln與基端側(cè)的內(nèi)向法蘭113之間形 成比外螺紋ln， 9n直徑大的內(nèi)挖內(nèi)周部llla，內(nèi)向法蘭113在軸心P方向 形成與法蘭部9不干涉程度的內(nèi)徑部113a。分切環(huán)112為將圓形環(huán)分段成三 個(gè)以上(例如，由約120度的3個(gè)扇形部件構(gòu)成)，可讓內(nèi)向法蘭113或內(nèi) 螺紋111 n從外部自由地進(jìn)入內(nèi)挖內(nèi)周部111 a，并且可在內(nèi)挖內(nèi)周部111 a中 裝配成環(huán)狀。另外，分切環(huán)12也可由具有通過(guò)如開口環(huán)那樣地處于徑向程 度撓曲而可進(jìn)入內(nèi)挖內(nèi)周部llla中的撓性的單一C字形體構(gòu)成。
使用該第5變形構(gòu)造的維持機(jī)構(gòu)I的裝配如下。即，根據(jù)上述要領(lǐng)，預(yù) 先將分切環(huán)112進(jìn)入內(nèi)挖內(nèi)周部llla的狀態(tài)，之后的工序與前述的第4變 形構(gòu)造的維持機(jī)構(gòu)I的場(chǎng)合相同。因此，省略了對(duì)其以上的裝配順序的說(shuō)明。
其他實(shí)施例
在圖1 圖3所示的集成板與流體器件的同心多重流道型連接結(jié)構(gòu)中， 外徑側(cè)的第2墊圈G2盡管圖示省略了，但可以為外周壁63的上下端比內(nèi)周 壁53短并且僅水平狀切斷的構(gòu)造。在雙重管道連接結(jié)構(gòu)中，在最外徑側(cè)的 第2墊圈G2的外周壁63上可無(wú)密封功能。在實(shí)施例1 5中的墊圈Gl， G2 為上下和左右成對(duì)稱形狀，但可以是例如內(nèi)外周壁的長(zhǎng)度或厚度不同或者可 以是上下非對(duì)稱等，并不限于圖示的形狀。另外，也可以是在外側(cè)的環(huán)狀流 體通路8的再外側(cè)具有一或多個(gè)環(huán)狀的流體通路的三重以上的集成板與流體 器件的連接結(jié)構(gòu)，位于最外側(cè)的墊圈以外的墊圈采用其內(nèi)外周面這兩者兼作 流體路徑的構(gòu)成。
另外，作為本發(fā)明的"流體器件"，定義為閥、泵、儲(chǔ)液器、流體貯存 容器、熱交換器、調(diào)節(jié)器、壓力計(jì)、流量計(jì)、加熱器、法蘭管道等主要為集 成板以外的流體關(guān)系構(gòu)件的總稱。此外，作為帶有拉靠功能的維持機(jī)構(gòu)，也 可以是松緊螺絲扣式(例如在圖9或圖19所示的構(gòu)造中，將任意一個(gè)外 螺紋ln， 9n作為反螺紋，將跨接在這兩個(gè)外螺紋ln，9n上的開口環(huán)螺紋安裝 的構(gòu)造)。另外，對(duì)于環(huán)狀推壓突起33， 43，可由環(huán)狀推壓壁部33， 43替 代，可將這些環(huán)狀推壓突起12， 13， 22， 23， 32， 42與環(huán)狀推壓壁部33， 43統(tǒng)稱定義為"環(huán)狀推壓部分"。
權(quán)利要求
1、一種集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，集成板具有第1流體供排口部，該第1流體供排口部開口有以同心狀形成的管狀的流體通路或環(huán)狀的流體通路和一個(gè)以上的環(huán)狀的流體通路，流體器件具有第2流體供排口部，該第2流體供排口部開口有以同心狀形成的管狀的流體通路或環(huán)狀的流體通路和一個(gè)以上的環(huán)狀的流體通路，將集成板的所述第1流體供排口部與流體器件的所述第2流體供排口部，通過(guò)使各自的多個(gè)流體通路分別相對(duì)應(yīng)、且在經(jīng)由介于所述第1流體供排口部與所述第2流體供排口部之間的多個(gè)環(huán)狀的墊圈而使各流體通路密封的狀態(tài)下連通而連接，在這種狀態(tài)下，在所述第1流體供排口部以及所述第2流體供排口部上，在開口于各端面的所述各流體通路的外徑側(cè)部分形成環(huán)狀突起，所述各墊圈由具有撓性的材料構(gòu)成，且具有為了將所述第1、第2流體供排口部的相對(duì)應(yīng)的所述流體通路相互連通而形成的流體路徑、以及為了與形成于所述第1和第2流體供排口部的端面上的所述環(huán)狀突起分別嵌合而形成于所述流體路徑的外徑側(cè)部分的一對(duì)環(huán)狀槽；具備維持機(jī)構(gòu)，該維持機(jī)構(gòu)維持著接合狀態(tài)，該接合狀態(tài)是使所述第1流體供排口部與所述第2流體供排口部隔著所述多個(gè)墊圈而相互拉靠，所述第1流體供排口部的所述環(huán)狀突起與所述各墊圈的一端的環(huán)狀槽嵌合，所述第2流體供排口部的所述環(huán)狀突起與所述各墊圈的另一端的所述環(huán)狀槽嵌合，從而形成嵌合密封部的狀態(tài)，同時(shí)，在所述多個(gè)墊圈中，在所述接合狀態(tài)下在內(nèi)徑側(cè)和外徑側(cè)這兩者上存在所述流體通路的中間墊圈，其外周面形成為構(gòu)成壁面的狀態(tài)，該壁面用于形成環(huán)狀的流體路徑，該環(huán)狀的流體路徑將存在于所述中間墊圈的外徑側(cè)的所述第1流體供排口部的所述環(huán)狀的流體通路和所述第2流體供排口部的所述環(huán)狀的流體通路連通。
2、 按照權(quán)利要求l所述的集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)，其特征在于， 在所述第1和第2流體供排口部的端面上的所述環(huán)狀突起的內(nèi)徑側(cè)和外徑側(cè) 上形成有環(huán)狀推壓部分，該環(huán)狀推壓部分抑制或阻止為了形成所述墊圈的所 述環(huán)狀槽而向軸心方向突出形成的內(nèi)外的周壁端部因所述環(huán)狀槽與所述環(huán) 狀突起嵌合而引起的擴(kuò)寬變形。
3、 按照權(quán)利要求2所述的集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)，其特征在于， 所述周壁端部與所述環(huán)狀推壓部分在所述接合狀態(tài)下被壓接而形成密封部。
4、 按照權(quán)利要求3所述的集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)，其特征在于， 所述環(huán)狀推壓部分形成為具有使所述環(huán)狀突起側(cè)的側(cè)周面傾斜的錐形周面 的前窄狀的環(huán)狀突起，以使由所述環(huán)狀推壓部分與所述環(huán)狀突起圍住的谷部 成內(nèi)窄狀，所述周壁端部形成為前窄狀的環(huán)狀突起，具有與所述環(huán)狀推壓部 分的錐形周面相抵接的錐形周面，并且可自由迸入所述谷部?jī)?nèi)，在所述接合 狀態(tài)下，所述周壁端部進(jìn)入所述谷部?jī)?nèi)，使所述兩個(gè)錐形周面相互壓接。
5、 按照權(quán)利要求1 4中任一項(xiàng)所述的集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)， 其特征在于，所述墊圈的截面形狀呈相對(duì)于沿著所述第1和第2流體供排口 部的軸心方向的中心線和垂直于該中心線的中心線這兩者而成線對(duì)稱的近 似H型形狀。
6、 按照權(quán)利要求1 5中任一項(xiàng)所述的集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)， 其特征在于，所述維持機(jī)構(gòu)發(fā)揮將所述第1流體供排口部與第2流體供排口 部拉靠而獲得所述接合狀態(tài)的拉靠功能。
7、 按照權(quán)利要求6所述的集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)，其特征在于， 所述維持機(jī)構(gòu)具有形成于所述第1流體供排口部與第2流體供排口部的至少 任意一方的端部上的外向法蘭、形成于該外向法蘭上的貫通孔、以及通過(guò)該 貫通孔而與設(shè)置在所述第1流體供排口部與第2流體供排口部的任意另一方 上的螺母部螺旋緊固的螺栓，通過(guò)使所述螺栓與所述螺母部螺旋緊固，所述第1流體供排口部與第2 流體供排口部隔著所述多個(gè)墊圈而相互拉靠。
8、 按照權(quán)利要求6所述的集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)，其特征在于， 所述維持機(jī)構(gòu)包括筒狀螺母，其具有與形成在所述第l流體供排口部和第 2流體供排口部的任意一方的外周部上的外螺紋部可自由地螺紋配合的內(nèi)螺 紋部；分切環(huán)，其以與形成于所述第1流體供排口部和第2流體供排口部的 任意另一方的端部上的外向法蘭在所述第1、第2流體供排口部的軸心方向 上發(fā)生干涉的方式外嵌在所述第1流體供排口部和第2流體供排口部的任意 另一方的端部上，在所述筒狀螺母的一端部上形成有內(nèi)向法蘭，該內(nèi)向法蘭具有容許所述 外向法蘭通過(guò)且與所述分切環(huán)在所述軸心方向上干涉的開口部，通過(guò)所述筒狀螺母對(duì)所述外螺紋部的緊固操作，所述第1流體供排口部 與第2流體供排口部隔著所述多個(gè)墊圈而相互拉靠。 -
9、 按照權(quán)利要求1 8中任一項(xiàng)所述的集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)， 其特征在于，所述墊圈由氟化乙烯樹脂形成。
10、 按照權(quán)利要求1 9中任一項(xiàng)所述的集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)， 其特征在于，所述第1流體供排口部與第2流體供排口部由氟化乙烯樹脂形成。
11、 一種集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，集成板具有開口 有管狀的流體通路的第1流體供排口部，流體器件具有開口有管狀的流體通路的第2流體供排口部，在通過(guò)介于這些第1流體供排口部與第2流體供排 口部之間的環(huán)狀的墊圈而將所述流體通路密封的狀態(tài)下將集成板的所述第1 流體供排口部與流體器件的所述第2流體供排口部連通而連接，在這種狀態(tài)下，在所述第1流體供排口部以及所述第2流體供排口部上， 在開口于各端面的所述各流體通路的外徑側(cè)部分形成有環(huán)狀突起；所述墊圈由具有撓性的材料構(gòu)成，并且具有為了將所述第l、第2流 體供排口部的相對(duì)應(yīng)的所述流體通路相互連通而形成的流體路徑；為了與形 成于所述第1和第2流體供排口部的端面上的所述環(huán)狀突起分別嵌合而形成 于所述流體路徑的外徑側(cè)部分上的一對(duì)環(huán)狀槽，具有維持機(jī)構(gòu)，該維持機(jī)構(gòu)維持著接合狀態(tài)，該接合狀態(tài)是使所述第1 流體供排口部與所述第2流體供排口部隔著所述墊圈而相互拉靠，所述第1 流體供排口部的所述環(huán)狀突起與所述墊圈的一端的環(huán)狀槽嵌合，所述第2流 體供排口部的所述環(huán)狀突起與所述墊圈的另一端的所述環(huán)狀槽嵌合，從而形 成嵌合密封部的狀態(tài)。
12、 按照權(quán)利要求11所述的集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)，其特征在 于，在所述第1和第2流體供排口部的端面上的所述環(huán)狀突起的內(nèi)徑側(cè)和外 徑側(cè)上形成有環(huán)狀推壓部分，該環(huán)狀推壓部分抑制或阻止為了形成所述墊圈 的所述環(huán)狀槽而向軸心方向突出形成的內(nèi)外的周壁端部因所述環(huán)狀槽與所 述環(huán)狀突起嵌合引起的擴(kuò)寬變形。
13、 按照權(quán)利要求12所述的集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)，其特征在 于，所述周壁端部與所述環(huán)狀推壓部分在所述接合狀態(tài)下被壓接而形成密封 部。
14、 按照權(quán)利要求13所述的集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)，其特征在 于，所述環(huán)狀推壓部分形成為具有使所述環(huán)狀突起側(cè)的側(cè)周面傾斜的錐形周 面的前窄狀的環(huán)狀突起，以使由所述環(huán)狀推壓部分與所述環(huán)狀突起圍住的谷 部成內(nèi)窄狀，所述周壁端部形成為前窄狀的環(huán)狀突起，具有與所述環(huán)狀推壓 部分的錐形周面相抵接的錐形周面，并且可自由進(jìn)入所述谷部?jī)?nèi)，在所述接 合狀態(tài)下，所述周壁端部進(jìn)入所述谷部?jī)?nèi)，使所述兩個(gè)錐形周面相互壓接。
15、 按照權(quán)利要求11 14中任一項(xiàng)所述的集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，在所述集成板上，所述第1流體供排口部形成有多個(gè)，在所述流體器件上，所述第2流體供排口部與所述第1流體供排口部的存在數(shù) 相對(duì)應(yīng)而形成有多個(gè)，并且，這些多個(gè)第1和第2流體供排口部相互在同一 平面上分別隔著墊圈而可自由地連通而連接。
16、 按照權(quán)利要求11 15中任一項(xiàng)所述的集成板與流體器件的連接結(jié) 構(gòu)，其特征在于，所述墊圈的截面形狀呈相對(duì)于沿著所述第1和第2流體供 排口部的軸心方向的中心線和垂直于該中心線的中心線這兩者成線對(duì)稱的 近似H型形狀。
17、 按照權(quán)利要求11 16中任一項(xiàng)所述的集成板與流體器件的連接結(jié) 構(gòu)，其特征在于，所述維持機(jī)構(gòu)發(fā)揮將所述第1流體供排口部與第2流體供 排口部拉靠而獲得所述接合狀態(tài)的拉靠功能。
18、 按照權(quán)利要求17所述的集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)，其特征在 于，所述維持機(jī)構(gòu)具有形成在所述第1流體供排口部和第2流體供排口部 的至少任意一方的端部上的外向法蘭；形成于該外向法蘭上的貫通孔；通過(guò) 該貫通孔而與設(shè)置于所述第1流體供排口部和第2流體供排口部的任意另一 方上的螺母部螺旋緊固的螺栓，通過(guò)將所述螺栓螺旋緊固到所述螺母部上，所述第1流體供排口部與第 2流體供排口部隔著所述墊圈相互拉靠。
19、 按照權(quán)利要求17所述的集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)，其特征在 于，所述維持機(jī)構(gòu)包括筒狀螺母，其具有與形成在所述第1流體供排口部 和第2流體供排口部的任意一方的外周部上的外螺紋部可自由地螺紋配合的 內(nèi)螺紋部；分切環(huán)，其以與形成于所述第1流體供排口部和第2流體供排口 部的任意另一方的端部上的外向法蘭在所述第1、第2流體供排口部的軸心 方向上發(fā)生干涉的方式外嵌在所述第1流體供排口部和第2流體供排口部的 任意另一方的端部上，在所述筒狀螺母的一端部上形成有內(nèi)向法蘭，該內(nèi)向法蘭具有容許所述 外向法蘭通過(guò)且與所述分切環(huán)在所述軸心方向干涉的開口部，通過(guò)所述筒狀螺母對(duì)所述外螺紋部的緊固操作，所述第1流體供排口部 與第2流體供排口部隔著所述多個(gè)墊圈而相互拉靠。
20、 按照權(quán)利要求11 19中任一項(xiàng)所述的集成板與流體器fN勺連接結(jié) 構(gòu)，其特征在于，所述墊圈由氟化乙烯樹脂形成。
21、 按照權(quán)利要求11 20中任一項(xiàng)所述的集成板與流體器^(牛的連接結(jié) 構(gòu)，其特征在于，所述第1流體供排口部與第2流體供排口部由氟化乙烯樹 脂形成。
全文摘要
為促進(jìn)流體管道集成化而提供進(jìn)一步可緊湊化的集成板與流體器件的連接結(jié)構(gòu)。在使各自的管狀流體通路3a、7與環(huán)狀流體通路4a、8同心配置、通過(guò)內(nèi)外環(huán)狀墊圈G1、G2將集成板1與閥2以密封狀態(tài)連接的同心雙重流道型的連接結(jié)構(gòu)中，在氟化乙烯樹脂制的流體供排口部1A、2A上形成環(huán)狀突起11、21、31、41，在氟化乙烯樹脂制的墊圈G1、G2上形成環(huán)狀槽51、61，通過(guò)將兩個(gè)流體供排口部1A、2A相互拉靠著進(jìn)行維持的維持機(jī)構(gòu)I，環(huán)狀突起與環(huán)狀槽嵌合以維持形成嵌合密封部10的接合狀態(tài)，內(nèi)側(cè)的第1墊圈G1內(nèi)周面54a兼作管狀流道3a、7外壁面，外周面55a兼作環(huán)狀流體通路4a，8內(nèi)壁面，而構(gòu)成多功能化的中間墊圈。
文檔編號(hào)F16L39/00GK101171450SQ20068001521
公開日2008年4月30日 申請(qǐng)日期2006年4月28日 優(yōu)先權(quán)日2005年5月2日
發(fā)明者桂將義 申請(qǐng)人:日本皮拉工業(yè)株式會(huì)社