專利名稱：高真空密封的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種采用密封組件以形成高真空密封的方法，所述密封組件包括 要密封連接在一起的第一部件和第二部件， 在第一部件與第二部件之間的腔室中的O形圈，所述O形圈密封所述第一部 件和所述第二部件，和 用以減少水滲透通過所述O形圈的裝置。本發(fā)明還涉及為實(shí)現(xiàn)根據(jù)本發(fā)明的方法而配備的高真空密封件，以及包括這種 密封件的設(shè)備。
背景技術(shù)：
在很多設(shè)備中，必須形成高真空密封以在所述設(shè)備的兩個(gè)部件之間形成高真空 密封。這些設(shè)備包括，但是不限于，電子顯微鏡、離子顯微鏡、質(zhì)譜儀、濺射單元、化 學(xué)氣相沉積(CVD)單元。在本文中，高真空被理解為壓力為IX 10_3毫巴-IX 10_9毫巴(IX ICT1-I ΧΙΟ—7帕 斯卡)。在"Vacuum Technology, Practice for Scientific Instruments”，Yoshimura, N.， 2008，ISBN 978-3-540-74432-0，第148頁中提到了(全)氟彈性體O形圈被用作在電 子顯微鏡的高真空系統(tǒng)中的密封件。水蒸汽分子由大氣滲透通過所述彈性體O形圈，結(jié) 果是水蒸汽分子成為在使用彈性體密封的高真空系統(tǒng)中的主要?dú)埩魵怏w。該書繼續(xù)在第150頁提到這一問題的一種解決方案，是1967年由L.de Csernatony 和D.J.Crawley提出的。該解決方案包括使用兩個(gè)同心的O形圈，在O形圈之間的空間 (接下來被稱作中間空間)被抽空達(dá)到例如10毫巴的壓力。當(dāng)O形圈之間的氣體被抽走 時(shí)，水隨之被抽走，導(dǎo)致所述剩余氣體的更低的水分壓。由于在中間空間的更低的水分 壓，因此更少的水滲透通過所述O形圈進(jìn)入高真空內(nèi)。這種所謂的雙O形圈解決方案的一個(gè)缺點(diǎn)是對(duì)于每個(gè)密封使用兩個(gè)O形圈，每 個(gè)密封圈都在它自己的腔室中，并且中間空間的抽空意味著要使用真空管道、真空泵和 控制裝置。這都很大地增加了所述密封的成本。要注意的是，對(duì)于連接所述中間空間和所述泵的管道，管道必須被選擇從而可 耐受從外部到內(nèi)部的大約1個(gè)大氣壓的壓差，而不會(huì)使管道受損。同時(shí)，內(nèi)直徑應(yīng)該足 以適應(yīng)在這些壓力下的合理的泵送速度。這兩種需求造成管道相當(dāng)厚且非常昂貴。在"Fight Humidity in your vacuum system" , P.Danielson, R&D Magazine, June
2001，第67頁，這種相同的解決方案被描述為所有空氣氣體滲透維通(氟橡膠)，但水蒸汽是唯一在密封的空氣一側(cè)呈現(xiàn)正常 變化的。當(dāng)我們認(rèn)為水蒸汽從在20°C 50%相對(duì)濕度的空氣中的滲透速率和空氣大約相 同時(shí)，濕度成為一個(gè)問題。隨著濕度的增加，通常溫度隨之增加，主要的滲透氣體將是 水蒸汽。除非氟橡膠被金屬墊片替換，避免水蒸汽的滲透的唯一方法是采用雙同心O形圈，其具有在雙同心O形圈之間的被抽空的通道，使得所述通道作為“防護(hù)真空”。大 約有10托的壓力通常足以完全阻止任何滲透(All air gases permeate Viton, but water vapor is the only one that presents a normal variation on the air side of a seal.The humidity becomes a problem when we consider that the permeation rate for water vapor from air at 20[degrees] C and 50 % RH is approximately the same as air.As the humidity increases, usually along with a temperature increase, the predominant permeating gas will be water vapor.Barring the replacement of Viton with metal gaskets, the only way to avoid the permeation of water vapor is to use two concentric O-rings with an evacuated channel between them so that the channel can act as a" guard vacuum." A pressure of about 10 torr is usually adequate for this pressure to totally stop any permeation)。由此可得出結(jié)論在2001年雙O形圈解決方案仍然屬于“當(dāng)前工藝水平”。要注意的是，對(duì)于高真空和超高真空密封常常使用金屬密封。一種典型的金屬 密封是例如所謂的Conf lat 法蘭(CFF)，它展示出兩個(gè)圓形刀口，其壓縮銅墊圈。所 述銅墊圈可退火到足夠低的壓力/強(qiáng)度以滿足用以所述墊圈彈性變形的需求。由于銅顯 示出低的泄漏速率和滲透性，可得到1X10_12毫巴的范圍的壓力。所述CFF的缺點(diǎn)是壓 縮所述銅圈的所需的高壓，使得具有高硬度的結(jié)構(gòu)成為必要，使得高質(zhì)量鋼，例如不銹 鋼的厚法蘭成為必要，以及很多螺栓必須是具有適當(dāng)定義轉(zhuǎn)矩地關(guān)閉。這導(dǎo)致昂貴的密 封。同樣，打開和制造該密封(用于例如維修)也要大量的時(shí)間。而且，所述墊圈只能 被使用一次，導(dǎo)致一次性使用的高成本。美國專利第US5516122中描述了另一個(gè)方案，使用高拋光的溝槽，其中一個(gè)O 形圈放置于此，所述溝槽被所述O形圈幾乎全部包圍。根據(jù)上述專利中的發(fā)明，拋光的 影響是在所述O形圈周圍有少量的泄漏，且有少量的滲透通過所述O形圈。該發(fā)明人權(quán) 利主張可達(dá)到的壓力有成千倍地減少。本發(fā)明的申請(qǐng)人不能再現(xiàn)這些數(shù)字。作為可能的原因，申請(qǐng)人建議，盡管在所 述發(fā)明中由其產(chǎn)生滲透的通道的長度較長，這導(dǎo)致分子滲透穿過所述O形圈而通過通道 的較長的時(shí)間，而不會(huì)減少由通道產(chǎn)生的數(shù)量。所述通道的數(shù)量由于暴露于空氣/真空 的所述O形圈的面積的減少而減少，但是這對(duì)于上述成千倍地減少是不夠的。申請(qǐng)人:發(fā)現(xiàn)在設(shè)置所述O形圈時(shí)存在困難根據(jù)所述專利所述O形圈經(jīng)常被兩 個(gè)法蘭間的壓力損壞，導(dǎo)致大量的泄漏。要注意的是，即使如果這是一個(gè)解決方案，經(jīng) 過改進(jìn)的溝槽的成本也很高。明顯地，對(duì)于簡單、可靠和廉價(jià)的、具有較弱水滲透性的密封件存在長期需 求。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明旨在提供一種密封組件，所述密封組件對(duì)于水而言具有與雙O形圈密封 件可比的滲透性，但是成本更低。為此，本發(fā)明的特征在于，用于減少水滲透通過所述O形圈的裝置表現(xiàn)為以下 形式，即將O形圈在工作中不暴露在真空中或被壓靠在所述第一部件或所述第二部件上 的部分暴露在干燥氣體中。
本發(fā)明基于對(duì)于水的滲透性而言需要減小水蒸汽壓力的理解。這可通過降低所 有氣體和水(在雙O形圈密封中具備的)的總壓來實(shí)現(xiàn)，也可通過降低在或多或少恒定的 總壓下的氣體的濕度來實(shí)現(xiàn)。降低濕度是通過將O形圈暴露于干燥氣體例如干燥空氣或 氮?dú)庵衼硗瓿傻?。為了將O形圈暴露于干燥氣體，可通過施加一較小的過壓力將干燥氣 體供應(yīng)到所述O形圈以將干燥氣體供給到所述O形圈，由此干燥氣體代替正常的當(dāng)前的 潮濕空氣。供給氣體優(yōu)選地通過管道完成。由于這種管道中氣體展示出它的內(nèi)部的壓力 比它的外部的壓力稍高，不存在管道受損的風(fēng)險(xiǎn)，這是在所述雙O形圈方案中所述真空 管道所需要的情況。同時(shí)，由于所述壓力接近于大氣壓力，并且需要的氣體流量很小， 所述管道的直徑可為小直徑。所述小直徑和所述小過壓兩者造成管道比在雙O形圈情況 中使用的那些管道便宜得多?？捎糜谶@種管的材料的例子有，例如，六氟丙烯和四氟乙 烯的共聚物(FEP)、聚氨酯(PU)、聚乙烯(PE)、聚酰胺(PA)和聚四氟乙烯(PTFE)。在根據(jù)本發(fā)明的方法的一個(gè)實(shí)施例中，所述O形圈是聚合物。這些聚合物被用 于標(biāo)準(zhǔn)的中等真空度O形圈中。例子為，例如，含氟彈性體、例如viton (維通)、和 全氟彈性體例如Kalrez 。根據(jù)例如溫度范圍、耐化學(xué)品性、對(duì)光子例如紫外線和X射線 等的耐受性選擇材料。根據(jù)本發(fā)明的方法的另一個(gè)實(shí)施例中，所述干燥氣體中的水含量少于O.lg/m3。空氣中的水含量與溫度和相對(duì)濕度的函數(shù)關(guān)系在表1中示出。
相對(duì)濕度％]10%20%30%40%50%60%70%80%90%100%空氣 溫度+303.06.19.112.115.218.221.324.327.330.4+252.34.66.99.211.513.816.118.420.723,0[°C]+201.73.55,26.98.710.412.113.815.617.3表1 作為溫度和相對(duì)濕度的函數(shù)的空氣中水的絕對(duì)濕度(g/m3)假設(shè)一個(gè)大約20°C和50%相對(duì)濕度的標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境，絕對(duì)濕度接近于lOg/m3。通過 采用具有水含量為100倍少于正常空氣水含量的干燥空氣，水的滲透性同樣也被降低了 100倍。假設(shè)在中間空間中的氣體中的相對(duì)的水含量與周圍空氣中的水含量相同，這成百 倍的減少可相比于其中間空間的壓力為10毫巴(大約大氣壓的1/100)雙O形圈密封。要注意的是，在這種降低的壓力下的某一體積的相對(duì)的水含量常常比大氣空氣 的水含量高。在根據(jù)本發(fā)明的方法的另一個(gè)實(shí)施例中，所述干燥氣體為干燥氮?dú)?。具有低含水量的氮?dú)鈴V泛地用作一種工業(yè)氣體。它可以加壓氣體的形式被供應(yīng) (在瓶內(nèi))，或者它可由煮沸液氮而形成。要注意很多使用高真空的設(shè)備采用氮?dú)鈦磉M(jìn)行吹掃和通氣，并且由此在這類設(shè) 備中得到干燥氮?dú)廨^易實(shí)現(xiàn)。對(duì)氮?dú)獾氖褂靡蚨耆粫?huì)導(dǎo)致增加費(fèi)用。根據(jù)本發(fā)明的方法的另一個(gè)實(shí)施例中，所述干燥氣體被通過包圍所述O形圈的 通道與所述O形圈接觸，所述通道在所述部件中的至少一個(gè)中形成，所述通道顯示具有進(jìn)口和出口。通過用在其中吹干燥氣體的通道包圍所述O形圈，所述O形圈完全被所述 干燥氣體圍繞。在根據(jù)本發(fā)明的方法的另一實(shí)施例中，在所述通道中存在連續(xù)的干燥氣體流。為了除去所述通道內(nèi)的任何殘留水分，干燥氣體流被用于排除所述殘留水分。 所述流可為一不連續(xù)流，但是一連續(xù)流可優(yōu)選地用于消除例如振動(dòng)，該振動(dòng)例如是通道 或管道中的壓力脈動(dòng)而引起的。要注意的是為減少振動(dòng)需要將連續(xù)氣體流動(dòng)限制為臨界值以下的流動(dòng)。在本發(fā)明的一個(gè)方面的一密封組件，該密封組件包括要密封連接在一起的第 一部件和第二部件，在第一部件與第二部件之間的腔室中的O形圈，所述O形圈密封所 述第一部件和所述第二部件，其特征在于，所述密封組件包括用于將干燥氣體供應(yīng)到所 述O形圈的通道，以及將所述干燥氣體供應(yīng)到所述通道的進(jìn)口。在根據(jù)本發(fā)明的所述密封組件的一個(gè)實(shí)施例中，所述密封組件進(jìn)一步包括與所 述通道接觸的出口。為了除去所述通道內(nèi)的所有的殘留水分，優(yōu)選一干燥氣體流保持在所述通道 內(nèi)。這意味著用于干燥氣體的一進(jìn)口和一通路被排盡。這可通過在所述通道和周圍空 氣之間進(jìn)行滲漏連接而實(shí)現(xiàn)，但是優(yōu)選一移至遠(yuǎn)離于所述進(jìn)口的出口被使用，以使得所 述干燥氣體被強(qiáng)制流向所述O形圈的周圍。所述出口可采用一從腔室到外部的通道的形 式，但是也可以采用其它；螺紋接頭的形式，帶有或不帶有連接到其上的管道。在另一實(shí)施例中一裝置配備有一根據(jù)本發(fā)明的所述密封組件。在根據(jù)本發(fā)明的裝置的又一實(shí)施例中，所述裝置包括多個(gè)根據(jù)本發(fā)明的密封組 件，其中通道是連續(xù)地連接。在根據(jù)本發(fā)明的裝置的又一實(shí)施例中，一壓力調(diào)節(jié)器連續(xù)的與通道或多通道連 接以用于調(diào)節(jié)通過通道或多通道中的流動(dòng)的壓力。在根據(jù)本發(fā)明的裝置的另一個(gè)實(shí)施例中，所述裝置為一粒子光學(xué)裝置。在一粒子光學(xué)裝置中，例如是透射電子顯微鏡(TEM)、掃描透射電子顯微鏡 (STEM)、掃描電子顯微鏡(SEM)、聚焦離子束裝置(FIB)、或者電子探針微分析儀 (EPMA)，所述裝置的一部分常常被抽空成一高真空。特別是這類裝置的粒子源常常被 抽空到上述的壓力。在根據(jù)本發(fā)明的裝置的另一個(gè)實(shí)施例中，所述裝置為一低溫裝置。當(dāng)使用其內(nèi)的表面被冷卻到一低溫溫度的一裝置時(shí)，水蒸汽將在所述低溫表面 上凝結(jié)，導(dǎo)致冰在被冷卻表面上生長。以例如在一電子顯微鏡內(nèi)發(fā)生的例子，為在其內(nèi) 在液氮或液氦溫度下觀察的樣本。清楚的是在樣本上冰的生長干擾了對(duì)樣本的觀察。同 樣地，探測器例如X射線探測器，可能需要被冷卻，引起冰在所述探測器上的生長。這 可能使所述探測器的性能惡化。通過使用根據(jù)本發(fā)明的所述密封，很少的水泄漏進(jìn)所述系統(tǒng)的所述高真空內(nèi)， 導(dǎo)致在被冷卻表面上生成的冰的減少。在根據(jù)本發(fā)明的裝置的另一個(gè)實(shí)施例中，所述裝置在一罩殼內(nèi)被封閉，且所述 通道的所述出口被供給到所述罩殼的外部以避免發(fā)生窒息的風(fēng)險(xiǎn)。一些裝置被封閉在罩殼中。這樣做是為了減少由所述裝置產(chǎn)生的噪音的量，或者這樣做是為了增強(qiáng)所述裝置對(duì)聲噪音的抗擾性。封閉裝置的其它原因可能是減少熱漂 移等。當(dāng)打開罩殼時(shí)，例如為了維修所述裝置或者為了調(diào)整所述裝置的一個(gè)部件，由 于所述密封排出不可呼吸的氣體進(jìn)入殼體內(nèi)可能發(fā)生窒息危險(xiǎn)。為了避免窒息危險(xiǎn)，因 此提出將密封組件的出口可引導(dǎo)至一個(gè)良好通風(fēng)的區(qū)域。由于密封組件所需要的氣體流 很小，排出至罩殼的外部環(huán)境可以是充分的。


現(xiàn)在參考附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行描述，在附圖中使用相同的附圖標(biāo)號(hào)表示對(duì)應(yīng)的元 件，其中圖1示意性地示出常規(guī)O形圈密封件的橫截面。圖2示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的密封件的橫截面。
具體實(shí)施例方式圖1示意性地示出了常規(guī)O形圈密封件的橫截面。圖1示出第一部件為真空密閉地焊接到管100上的法蘭101，第二部件為真空密 閉地焊接到管102上的法蘭103。所述兩個(gè)部件通過螺栓104、螺母105、墊圈106和107 互相擰緊在一起。法蘭101示出具有溝槽108，法蘭103示出具有溝槽109，所述兩個(gè)溝 槽形成O形圈腔室，O形圈110置于其中。所述O形圈通過在O形圈的表面111接觸溝 槽108且通過在表面112接觸溝槽109而形成密封。所述管100，102的內(nèi)部106通過真空泵(未示出)例如渦輪分子泵、油擴(kuò)散泵 或離子吸氣泵而被抽空。O形圈的外表面114暴露于大氣壓力下，同時(shí)內(nèi)表面113暴露 在真空中。結(jié)果是水將從O形圈腔室的外部空間115滲透到抽空的內(nèi)部116。圖2示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的密封件的橫截面。圖2可被認(rèn)為是由圖1得到 的。法蘭101和103略微旋轉(zhuǎn)，使得螺栓104、螺母105、墊圈106和107不在切開平面 上。法蘭101示出具有進(jìn)口螺紋接頭200，所述進(jìn)口螺紋接頭被設(shè)置成使得與O形圈 腔室的外部空間115相接觸，和相似的出口螺紋接頭201，所述出口螺紋接頭被設(shè)置在O 形圈腔室徑向相對(duì)側(cè)。所述進(jìn)口螺紋接頭通過管道(未示出)，例如塑料管道與干燥氣體 貯存器相連，同時(shí)所述出口螺紋接頭可與氣體被排到環(huán)境中的空間連通。要注意的是，當(dāng)設(shè)備包括多個(gè)根據(jù)本發(fā)明的密封件時(shí)，一個(gè)密封件的進(jìn)口可與 另一密封件的出口相連。通過將不同密封件的氣體進(jìn)口和出口連續(xù)地串聯(lián)鏈接，僅一個(gè) 氣體流量需要進(jìn)行調(diào)節(jié)/控制。另外，管道的總長度可能比當(dāng)由一個(gè)點(diǎn)對(duì)所有進(jìn)口供氣 時(shí)短。通過供給少量的干燥氣體，例如干燥空氣或干燥氮?dú)?，流?jīng)螺紋接頭200進(jìn)入 所述O形圈腔室的外部空間時(shí)，所述O形圈的外部不再暴露于水蒸汽中。結(jié)果是沒有水 能夠滲透通過所述O形圈。少量氣體流量足夠使得從所述O形圈腔室的外部空間115和所述O形圈的外表 面114排除全部濕氣。所述氣體流量可通過調(diào)節(jié)在所述進(jìn)口和所述出口之間的壓力差來進(jìn)行調(diào)節(jié)，例如采用壓力調(diào)節(jié)器。當(dāng)使用壓力調(diào)節(jié)器時(shí)，連接到所述進(jìn)口和所述出口的 所述管道的傳導(dǎo)力，還有通道的傳導(dǎo)力，決定所述氣體流量。要注意的是，當(dāng)所述O形圈被安裝好且水在O形圈上或O形圈內(nèi)時(shí)，需要過一 段時(shí)間才能排除所述在O形圈內(nèi)或O形圈上的水。這是一個(gè)已公知的問題，因此所述O 形圈在安裝之前被適度地加熱以減少所述水的量，還減少例如增塑劑的量。這種適度的 加熱也稱為“烘干(baking)，，或“烘透(bake-out)，，。所述進(jìn)口和出口限定了在O形圈中的兩部分，一個(gè)部分從所述進(jìn)口螺紋接頭順 時(shí)針方向到所述出口螺紋接頭，另一個(gè)部分從所述進(jìn)口螺紋接頭逆時(shí)針方向到所述出口 螺紋接頭。優(yōu)選地，所述進(jìn)口螺紋接頭和所述出口螺紋接頭被安裝在法蘭的相對(duì)側(cè)，使 得通道的兩個(gè)部分具有大約相同的長度，以及由此具有相同的氣體傳導(dǎo)力。因此當(dāng)干燥 氣體進(jìn)入所述通道時(shí)，通道的兩個(gè)部分受到相同地沖刷。但是當(dāng)所述進(jìn)口和所述出口相 互靠近時(shí)，這并不重要且能夠獲得良好的結(jié)果。所述進(jìn)口和所述出口螺紋接頭可如圖2中所示的被設(shè)置在一個(gè)法蘭上，但是所 述進(jìn)口螺紋接頭可設(shè)置在一個(gè)法蘭上而所述出口螺紋接頭可設(shè)置在另一個(gè)上。雖然在上述內(nèi)容中僅提及圓形的法蘭和溝槽作參考，對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說 采用其它形式，例如類似正方形形狀，是眾所周知的。要注意的是，密封可僅裝備進(jìn)口螺紋接頭，且所述干燥氣體從法蘭101和103擠 壓在一起的平面流出。同樣，所述出口螺紋接頭可通過在一個(gè)或多個(gè)法蘭中的一個(gè)或多 個(gè)溝槽來代替，從而連接所述O形圈腔室和環(huán)境。要進(jìn)一步注意的是，當(dāng)采用不同于干燥空氣的氣體時(shí)，例如干燥N2,建議將所 述出口通向一個(gè)良好通風(fēng)的區(qū)域，以避免發(fā)生窒息的風(fēng)險(xiǎn)。要注意的是，所述O形圈腔室可由兩個(gè)溝槽構(gòu)成，每一個(gè)法蘭一個(gè)，但是也可 能采用僅帶有一個(gè)溝槽的腔室，另一法蘭顯示為例如一個(gè)平面的形式。
權(quán)利要求
1.一種使用密封組件以形成高真空密封的方法，所述密封組件包括要密封連接在一起的第一部件(101)和第二部件(103)，在第一部件與第二部件之間的腔室中的O形圈(110)，所述O形圈密封所述第一部件 和所述第二部件，和用于減少水滲透通過所述O形圈的裝置，其特征在于，用于減少水滲透通過所述O形圈的裝置表現(xiàn)為以下形式，即將O形圈在工作中不 暴露在真空中或被壓靠在所述第一部件或所述第二部件上的部分(114)暴露在干燥氣體 中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述O形圈(110)的材料是聚合物。
3.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其中所述干燥氣體的水含量少于O.lg/m3。
4.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其中所述干燥氣體為干燥氮?dú)狻?br> 5.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其中所述干燥氣體通過圍繞所述O形圈 的通道與所述O形圈接觸，所述通道在所述部件的至少一個(gè)中形成，所述通道顯示具有 進(jìn)口 (200)和出口(201)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中在所述通道中有所述干燥氣體的流動(dòng)。
7.執(zhí)行前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法的密封組件，所述密封組件包括要密封 連接在一起的第一部件(101)和第二部件(103)，裝配在所述第一部件與所述第二部件之 間的腔室中的O形圈(110)，所述O形圈密封所述第一部件和所述第二部件，其特征在于所述密封組件包括用于將干燥氣體供應(yīng)到所述O形圈的通道，以及將所述干燥氣體 供應(yīng)到所述通道的進(jìn)口(200)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的密封組件，其中所述密封組件進(jìn)一步顯示具有與所述通道接 觸的出口 (201)。
9.配備有根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的密封組件的設(shè)備。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的設(shè)備，包括多個(gè)根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的密封組件，其 中所述通道連續(xù)地連接。
11.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的設(shè)備，其中與所述通道或所述多條通道連續(xù)地連接的 壓力調(diào)節(jié)器用以調(diào)節(jié)通過所述通道或所述多條通道的流量。
12.根據(jù)權(quán)利要求8-10中任一項(xiàng)所述的設(shè)備，其中所述設(shè)備是粒子光學(xué)設(shè)備。
13.根據(jù)權(quán)利要求8-12中任一項(xiàng)所述的設(shè)備，其中所述設(shè)備是低溫設(shè)備。
14.根據(jù)權(quán)利要求8-13中任一項(xiàng)所述的設(shè)備，其中所述設(shè)備被封閉在罩殼內(nèi)，且所述 多條通道的一個(gè)或多個(gè)出口被供給到所述罩殼的外部以避免發(fā)生窒息的風(fēng)險(xiǎn)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用作高真空密封的經(jīng)過改進(jìn)的O形圈密封。標(biāo)準(zhǔn)的O形圈密封的局限性是水的滲透通過所述O形圈。特別是對(duì)于其中的部件保持在低溫溫度的設(shè)備例如低溫電子顯微鏡而言，在真空中水的存在成為一個(gè)問題，由此會(huì)導(dǎo)致冰在所述低溫部件上生長。作為解決方案常常使用雙O形圈密封或金屬密封。以上這兩種解決方案都存在嚴(yán)重缺陷。本發(fā)明提出在通道內(nèi)設(shè)置O形圈，在所述通道內(nèi)吹干燥氣體例如干燥氮?dú)狻Ｍㄟ^這種方式?jīng)]有水能夠滲透通過所述O形圈，由此導(dǎo)致基礎(chǔ)壓力降低和冰的生長大量減少。
文檔編號(hào)F16J15/48GK102011867SQ20101027577
公開日2011年4月13日 申請(qǐng)日期2010年9月7日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月7日
發(fā)明者H·F·M·范登布姆, P·H·T·J·烏蘭, R·J·德格魯特, R·W·P·瓊克斯, S·H·L·范登布姆 申請(qǐng)人:Fei公司