專利名稱：自由滾珠軸承、支承臺、搬運設(shè)備、轉(zhuǎn)臺的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及自由滾珠軸承、使用該自由滾珠軸承的支承臺、搬運設(shè)備、轉(zhuǎn)臺。
背景技術(shù)：
若使用利用了自由滾珠軸承的搬運臺及定位用臺時，能夠使搬運物在任意的水平方向上移動及旋轉(zhuǎn)，此時的相對于搬運物的摩擦阻力極小。因此，自由滾珠軸承在需要嚴(yán)格的防損傷或確保高定位精度的制造工序中被采用(例如，專利文獻(xiàn)1)。作為該例，具有基板的加工生產(chǎn)線(成膜、抗蝕劑涂敷、曝光、蝕刻等)，具體的搬運物可例示FPD (平板顯示器) 的顯示器用基樣玻璃等玻璃基板、半導(dǎo)體元件及半導(dǎo)體封裝體等電子零件用的硅基板(晶片)。在這種處理中，在進(jìn)行基板處理的真空裝置的處理室(處理腔室)、為了在真空裝置的入口附近進(jìn)行基板的定位而設(shè)置的稱為負(fù)載鎖定腔室的真空腔室(真空室)或潔凈室內(nèi)可設(shè)置本申請的軸承單元。在這種情況下，可將軸承單元用于工件(物品、搬運件)的搬運、支承、定位。但是，利用自由滾珠軸承的搬運臺也廣泛用于例如鋼板的制造生產(chǎn)線及加工生產(chǎn)線、建材的制造生產(chǎn)線、鋪有瓦楞紙板的搬運物的搬運線等。在這種搬運設(shè)備中，為了使搬運中的物品的移動停止或減速，除設(shè)置自由滾珠軸承以外，往往還設(shè)置使物品碰撞的擋塊、緩沖器、使物品接觸的導(dǎo)向部件等。近年來，提出有內(nèi)置于自由滾珠軸承自身且可對搬運中的物品賦予制動力的構(gòu)成(例如，專利文獻(xiàn)2)。利用這種自由滾珠軸承的搬運設(shè)備具有不需要擋塊、緩沖器、導(dǎo)向部件等的優(yōu)點。專利文獻(xiàn)1 (日本)特開2005-32^94號公報專利文獻(xiàn)2 (日本)特開2004-19877號公報可是，在利用與主球直接接觸的旋轉(zhuǎn)抑制部件的構(gòu)成中，存在如下問題，S卩，產(chǎn)生由摩擦造成的主球的損耗，其結(jié)果，產(chǎn)生的微粒飛散到腔室及潔凈室等搬運室內(nèi)。另外，在為了降低主球附近的部件的移動阻力而使用潤滑脂的構(gòu)成中，存在從潤滑脂發(fā)生的逸出氣體成為搬運室內(nèi)的空氣污染的原因之類的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述課題而設(shè)立的，其目的在于提供一種不引起搬運室內(nèi)的污染而能夠抑制主球旋轉(zhuǎn)的軸承單元、自由滾珠軸承、利用該自由滾珠軸承的支承臺、搬運設(shè)備、 轉(zhuǎn)臺。為了解決上述課題，在本發(fā)明提供以下的構(gòu)成。(1)本發(fā)明第一方面的自由滾珠軸承，具備球支承部，其具有半球狀凹面；多個支承球，其配置在所述半球狀凹面，具有同一直徑Rl ；—個主球，其旋轉(zhuǎn)自如地被所述多個支承球支承，具有比所述直徑Rl大的直徑R2 ；殼體，其具有包圍所述球支承部的形狀，具有比所述直徑R2小的圓形開口部，以使所述主球的一部分從所述開口部、從基端側(cè)向前端側(cè)突出的方式配置；支承球扣環(huán)，其配置在所述殼體內(nèi)部；環(huán)形位移機構(gòu)，其與所述支承球扣環(huán)連接。所述支承球扣環(huán)在所述半球狀凹面與所述主球之間的內(nèi)側(cè)空間具有向所述基端側(cè)的方向插入的大致圓筒形的按壓片，所述支承球扣環(huán)通過所述環(huán)形位移機構(gòu)沿著穿過所述主球的中心且沿所述主球突出的方向的軸即單元中心軸，從按壓位置可移動到待機位置， 在所述支承球扣環(huán)位于所述按壓位置時，所述按壓片按壓所述多個支承球，限制或抑制所述多個支承球的滾動；在所述支承球扣環(huán)位于所述待機位置時，解除所述按壓片對所述多個支承球的滾動的限制或抑制。(2)、在上述(1)的自由滾珠軸承中，所述殼體在其基端側(cè)具有從外部貫通到內(nèi)部的檢查孔，所述環(huán)形位移機構(gòu)具有彈簧，其通過將所述環(huán)形位移機構(gòu)向所述基端側(cè)彈性施力，使所述支承球扣環(huán)形位移到所述按壓位置；操作部位，其為面對所述環(huán)形位移機構(gòu)的所述檢查孔的部位，通過將所述環(huán)形位移機構(gòu)的所述操作部位向所述前端側(cè)按壓，所述支承球扣環(huán)形位移到所述待機位置。(3)、上述(1)或( 的自由滾珠軸承還具備基體部件，其收納在所述殼體內(nèi)的所述基端側(cè)，在內(nèi)部具有圓筒形的缸空間，具有將所述缸空間和所述殼體的內(nèi)部連通的貫通孔；可動體，其在所述缸空間內(nèi)沿所述單元中心軸可移動地配置；連接部件，其插通所述基體部件的所述貫通孔，將所述支承球扣環(huán)和所述可動體連接。(4)、在上述(3)的自由滾珠軸承中，所述彈簧以所述可動體相對于所述基體部件向所述基端側(cè)移動的方式施加彈性作用力，所述彈性作用力經(jīng)由所述連接部件向所述支承球扣環(huán)傳遞。(5)、在上述(1)的自由滾珠軸承中，所述環(huán)形位移機構(gòu)具有彈簧，其將所述支承球扣環(huán)向所述前端側(cè)彈性施力；制動部件，其與所述環(huán)形位移機構(gòu)連接，使所述環(huán)形位移機構(gòu)朝向所述基端側(cè)位移到所述按壓位置。(6)、在上述(5)的自由滾珠軸承中，所述制動部件為對所述支承球扣環(huán)賦予向所述按壓位置的位移力的電磁鐵。(7)、在上述(1)的自由滾珠軸承中，所述環(huán)形位移機構(gòu)為通過電動機的驅(qū)動力使所述支承球扣環(huán)在所述按壓位置與所述待機位置之間可往復(fù)地位移的驅(qū)動裝置。(8)、上述(7)的自由滾珠軸承還具備保持所述殼體的軸承安裝板，所述環(huán)形位移機構(gòu)還包括驅(qū)動力傳遞桿，該驅(qū)動力傳遞桿插通安裝板貫通孔，該安裝板貫通孔貫通所述軸承安裝板，所述驅(qū)動裝置使所述驅(qū)動力傳遞桿繞軸旋轉(zhuǎn)，通過所述驅(qū)動力傳遞桿的所述旋轉(zhuǎn)，所述支承球扣環(huán)在所述按壓位置與所述待機位置之間可位移。(9)、在上述(1)的自由滾珠軸承中，所述支承球扣環(huán)還具有環(huán)主體，其為與所述單元中心軸平行地延伸的圓筒形，沿所述球支承部的外側(cè)面配置；圓環(huán)形的環(huán)頂板部，其從所述環(huán)主體的所述前端側(cè)端部向內(nèi)側(cè)延伸，所述按壓片與所述環(huán)頂板部的內(nèi)側(cè)端部連接， 在所述支承球扣環(huán)位于所述待機位置時，所述按壓片的所述基端側(cè)的端部位于比所述球支承部的所述前端側(cè)的端部更靠基端側(cè)。(10)、在上述(1)的自由滾珠軸承中，所述支承球扣環(huán)還具有從所述環(huán)主體的所述基端側(cè)端部向外側(cè)突出的圓環(huán)形的伸出部，在所述待機位置，所述伸出部從基端側(cè)與所述殼體的內(nèi)面抵接。(11)、在上述(1)的自由滾珠軸承中，所述殼體具備在所述基端側(cè)突設(shè)的絲杠軸，
5在所述絲杠軸上設(shè)有供電用連接端子。(12)、本發(fā)明第二方面，提供一種支承臺，上述⑴或⑵的自由滾珠軸承在該臺板上以突出狀態(tài)安裝在多個部位。(13)、本發(fā)明第三方面，提供一種搬運設(shè)備，具備上述(1)或O)的自由滾珠軸承及/或上述(12)的支承臺。(14)、本發(fā)明第四方面，提供一種轉(zhuǎn)臺，具有上述⑴或⑵的自由滾珠軸承及/ 或上述(1 的支承臺構(gòu)成的基體部件、可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在該基體部件上的旋轉(zhuǎn)臺。在上述(1)的自由滾珠軸承中，在使支承球扣環(huán)移動到待機位置時，既可實現(xiàn)主球的旋轉(zhuǎn)，也可實現(xiàn)伴隨于此的支承球的循環(huán)。當(dāng)將支承球扣環(huán)配置在支承球按壓位置而壓入支承球并限制或抑制支承球的循環(huán)時，主球的旋轉(zhuǎn)阻力增大，主球的旋轉(zhuǎn)被抑制或以不能旋轉(zhuǎn)的方式被約束。通過支承球扣環(huán)總體地控制小球組的旋轉(zhuǎn)阻力，主球的旋轉(zhuǎn)阻力被間接控制。在這種情況下，主球不損耗，沒有伴隨這種損耗的微粒的飛散。另外，由于控制對象為小球組整體，因此制動阻力及損耗不會偏向特定的小球。另外，由于不直接控制主球，因此不會對配置工件(被搬運物)的真空腔室、潔凈室等搬運環(huán)境排放上述微粒及從潤滑脂產(chǎn)生的逸出氣體。因此，能夠抑制搬運環(huán)境及基板等工件的污染。另外，由于不直接將主球制動，故而能夠在正確地保持主球的位置的狀態(tài)下進(jìn)行制動。另外，按壓片和支承球的接觸位置為殼體的內(nèi)側(cè)。因此，不易產(chǎn)生微粒的飛散。在上述O)的自由滾珠軸承中，通過適當(dāng)?shù)卦O(shè)定彈簧的強度，能夠設(shè)定賦予小球組的抑制程度，能夠以希望的程度抑制主球的旋轉(zhuǎn)。在上述(3)的自由滾珠軸承中，支承球扣環(huán)的位移和可動體的位移通過連接部件而連動。因此，通過限制可動體的移動，能夠容易地限制支承球扣環(huán)的移動。在這種情況下， 可動體的限制的過程中產(chǎn)生的物理接觸造成的微粒產(chǎn)生的部位遠(yuǎn)離開口部，能夠防止搬運物的污染。在上述的自由滾珠軸承中，彈簧的彈性作用力作用在位于自主球遠(yuǎn)離的位置的可動體，該彈性作用力向支承球扣環(huán)傳遞。因此，即使在伴隨彈簧的動作而產(chǎn)生了微粒的情況下，也不易污染與搬運物直接接觸的主球。另外，通過適當(dāng)?shù)卣{(diào)節(jié)彈簧的強度，能夠穩(wěn)定地調(diào)節(jié)向支承球的負(fù)荷。在上述(5)的自由滾珠軸承中，能夠利用通過制動部件的來自外部的操作調(diào)節(jié)支承球的制動力，操作的自由度高。在上述(6)的自由滾珠軸承中，例如通過控制向電磁鐵的通電量，能夠調(diào)節(jié)支承球的制動力。因此，根據(jù)運轉(zhuǎn)上的需要，使抑制力多階段地增減等、操作的自由度高。在上述(7)的自由滾珠軸承中，例如通過控制向電動機的通電量，能夠調(diào)節(jié)支承球的制動及解除雙方。因此，根據(jù)運轉(zhuǎn)上的需要，使抑制力多階段地增減等、操作的自由度
尚ο在上述(8)的自由滾珠軸承中，驅(qū)動裝置的配置的自由度高。另外，由于經(jīng)由驅(qū)動力傳遞桿賦予驅(qū)動力，故而能夠?qū)Ⅱ?qū)動裝置配置在遠(yuǎn)離殼體的開口部的位置。因此，從驅(qū)動裝置產(chǎn)生的微粒不易飛散到開口部之外。在上述(9)的自由滾珠軸承中，即使在支承球扣環(huán)的待機狀態(tài)下，按壓片的基端側(cè)的端部也保持侵入到球支承部內(nèi)部的狀態(tài)，由此防止支承球的離散。在上述(10)的自由滾珠軸承中，通過伸出部和殼體的內(nèi)面的接觸，能夠規(guī)定待機位置。由于伸出部位于遠(yuǎn)離主球的外側(cè)，因此伴隨上述接觸的微粒的產(chǎn)生不易污染主球。在上述(11)的自由滾珠軸承中，能夠?qū)⒂糜谥С星蚩刂频碾姍C及電磁鐵配置在單元內(nèi)部。


圖1是表示本發(fā)明第一實施方式的軸承單元的自由滾珠軸承附近的局部剖面圖；圖2是表示圖1的軸承單元的按壓用驅(qū)動裝置附近的放大剖面圖；圖3是對將圖1的軸承單元適用于基板定位用臺的真空裝置之一例進(jìn)行說明的平面圖；圖4是對圖3的基板處理設(shè)備的支承臺(定位用臺)進(jìn)行說明的正面圖；圖5是對圖3的基板處理設(shè)備的支承臺(定位用臺)進(jìn)行說明的平面圖；圖6是表示本發(fā)明第二實施方式的軸承單元的圖，是表示自由滾珠軸承附近的局部剖面圖；圖7A是表示本發(fā)明第三實施方式的自由滾珠軸承的待機狀態(tài)的圖；圖7B是表示上述自由滾珠軸承的抑制狀態(tài)的圖；圖8A是表示本發(fā)明第四實施方式的自由滾珠軸承的待機狀態(tài)的圖；圖8B是表示上述自由滾珠軸承的抑制狀態(tài)的圖；圖9A是表示本發(fā)明第五實施方式的自由滾珠軸承的抑制狀態(tài)的正面剖面圖；圖9B是表示上述自由滾珠軸承的待機狀態(tài)的側(cè)剖面圖；圖9C是上述自由滾珠軸承的A-A剖面圖；圖10是對使自由滾珠軸承升降的升降機進(jìn)行說明的正面圖；圖11是表示本發(fā)明第六實施方式的轉(zhuǎn)臺的圖。標(biāo)記說明1 基板20 主體23 球支承部30 殼體41 支承球42 主球50.50A.50A'、50B、501 支承球扣環(huán)61 復(fù)位裝置(彈簧)81 真空裝置82 真空室(負(fù)載鎖定腔室)83:真空室(傳送腔室)84 真空室(處理室)89 支承臺(基板定位用臺)89a 軸承安裝板(臺板)
100 軸承單元110、310、410、510、710 自由滾珠軸承120 罩部件
具體實施例方式以下，對本發(fā)明各實施方式中共同的事項進(jìn)行說明。(自由滾珠軸承及軸承單元的用途)本發(fā)明各實施方式的軸承單元至少包含自由滾珠軸承、在保持氣密(氣壓差)的狀態(tài)下進(jìn)行對該自由滾珠軸承的來自外部的轉(zhuǎn)動制動操作的操作機構(gòu)。這種軸承單元可在例如基板處理(向玻璃基板及硅基板的成膜、抗蝕劑涂敷、曝光、蝕刻等)用的處理腔室及稱為負(fù)載鎖定腔室的真空腔室(真空室。以下也簡稱為腔室) 使用。另外，該軸承單元也可在通過加壓來限制外界氣體流入的環(huán)境即潔凈室內(nèi)使用。作為在這些環(huán)境下被處理的工件(被搬運物)，舉出例如基樣玻璃等玻璃基板、硅晶片等硅基板。被搬入到上述腔室或潔凈室內(nèi)的工件載置在搬運用的搬運臺、支承臺、定位用臺等并進(jìn)行搬運。在這種臺上可安裝以下說明的本發(fā)明各實施方式的軸承單元。除了用于氣密室、氣壓操作室以外，本發(fā)明各實施方式的自由滾珠軸承及使用該自由滾珠軸承的搬運臺也可用于例如鋼板的制造生產(chǎn)線及加工生產(chǎn)線、建材的制造生產(chǎn)線、鋪有瓦楞紙板的搬運物的搬運線等。在將上述自由滾珠軸承用于例如搬運裝置的情況下，將自由滾珠軸承安裝在臺的臺板即軸承安裝板上。在這種情況下，軸承安裝板以水平或接近水平的角度設(shè)置。另外，在這種情況下，自由滾珠軸承以主球鉛直向上突出的方式配置，該主球支承工件的底面。作為其他使用方式，例如，作為搬運設(shè)備的一部分或工件定位裝置的一部分，也可以將軸承安裝板以鉛直或接近鉛直的角度來設(shè)置。在這種情況下，自由滾珠軸承以主球沿水平方向突出的方式設(shè)置，該主球與工件的側(cè)面接觸。在以下的說明中，主要對主球鉛直向上突出的情況進(jìn)行說明。在上述軸承安裝板的多個部位(三個以上的多個部位)以主球向上突出的方式設(shè)置自由滾珠軸承。在軸承前端側(cè)，在向殼體外側(cè)突出的主球上支承上述基板等工件。另外，在本說明書中，搬運臺、定位用臺作為“支承臺”的一種來使用。另外，在上述多個自由滾珠軸承上載置有被搬運物的狀態(tài)下，也可以使用可使多個自由滾珠軸承整體升降的升降機。(主球及支承球的動作)在本實施方式的自由滾珠軸承中，隨著主球的旋轉(zhuǎn)，多個支承球沿半球狀凹面滾動，支承球的位置關(guān)系循環(huán)。即，使主球旋轉(zhuǎn)時，與該主球接觸的支承球從動于主球進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，在半球狀凹面滾動移動。其結(jié)果，在半球狀凹面內(nèi)側(cè)產(chǎn)生支承球的循環(huán)。在以下的附圖及說明書中，只要不作另外說明，都將主球從外殼突出的方向定義為上(前端側(cè))，將主球的突出方向的相反方向定義為下(基端側(cè))。另外，將穿過主球的中心且與上述主球的突出方向平行的軸設(shè)為單元中心軸。在徑向上，將接近該軸承的中心軸的方向設(shè)為內(nèi)側(cè)，將遠(yuǎn)離中心軸的方向設(shè)為外側(cè)。(第一實施方式)
以下，參照圖1 5對本發(fā)明第一實施方式(本實施方式的軸承單元100、自由滾珠軸承110、支承臺89)進(jìn)行說明。如圖3、圖4、圖5所示，在此說明的軸承單元100包含用于將顯示器用基樣玻璃、 硅基板(晶片)等之類的基板1精密定位的基板定位用臺89 (支承臺。以下也簡稱為定位用臺)。在該基板定位用臺89的臺板89a上設(shè)有自由滾珠軸承110、按壓用驅(qū)動裝置70 (參照圖1)、罩部件120。在臺板89a上(圖4中，臺板89a的上側(cè))的多個部位突出設(shè)有自由滾珠軸承110。上述定位用臺89設(shè)置在設(shè)于構(gòu)成圖4所示的工藝設(shè)備80的真空裝置81的負(fù)載鎖定腔室82、傳送腔室83、稱為處理室的真空腔室(真空室)內(nèi)。在本實施方式中，作為一例，對定位用臺89設(shè)置在負(fù)載鎖定腔室82內(nèi)的情況進(jìn)行說明。上述真空裝置81具備用于在上述基板1上進(jìn)行賦膜、抗蝕劑涂敷、曝光、蝕刻之類的處理的多個(圖示例中，三個)處理室84a、84b、84c (處理腔室)、上述負(fù)載鎖定腔室82、 傳送腔室83。 符號8 為設(shè)于負(fù)載鎖定腔室82的大氣門，符號8 為在負(fù)載鎖定腔室82與傳送腔室83之間進(jìn)行開閉的門(以下也稱為中間門)，85c、85d、8k為在第一 三處理室84a、 84b,84c與傳送腔室83之間進(jìn)行開閉的門(以下也稱為處理腔室門)。在傳送腔室83內(nèi)設(shè)置有用于使基板1移動的機械手86 (基板移送裝置。以下也稱為真空機械手)。負(fù)載鎖定腔室82內(nèi)的定位用臺89與處理室84a、84b、8k之間的基板1的移送通過該真空機械手 86進(jìn)行。負(fù)載鎖定腔室82、傳送腔室83、處理室84a、84b、8 相當(dāng)于本實施方式的真空室。 另外，真空裝置81整體也相當(dāng)于本實施方式的真空室。工藝設(shè)備80具備設(shè)置于真空裝置81之外的盒87及機械手88 (基板移送裝置。以下也稱為大氣機械手)和上述的真空裝置81。大氣機械手88利用可沿XYZ方向移動的可動臂88a搬運例如基板1。機械手88 的構(gòu)成不限于此，可采用在真空裝置內(nèi)使用的眾所周知的機械手。另外，真空裝置81內(nèi)的真空機械手86也可采用在真空裝置內(nèi)使用的眾所周知的機械手。大氣機械手88進(jìn)行從盒87取出的基板1的向真空裝置81的搬入及在真空裝置 81的處理完成后的基板1的從真空裝置81的搬出。在大氣機械手88進(jìn)行的向真空裝置81的基板1的搬入中，將開閉真空裝置81的基板1的搬入出口的大氣門85a敞開(中間門8 關(guān)閉)，將基板1載置在負(fù)載鎖定腔室 82內(nèi)的定位用臺89上。被搬入到定位用臺89的臺板89a上的基板1在載置于在自由滾珠軸承110的上部突出的主球42(參照圖1。后述)上的狀態(tài)下被水平支承，所述自由滾珠軸承110突出設(shè)置在臺板89a上的多個部位。而且，在該狀態(tài)下，如圖5所示，設(shè)于基板定位用臺89的定位裝置的L形的一對定位部件89b與矩形板狀的基板1的四角的角部中位于對角線上的一組角部抵接，從兩側(cè)將基板1夾入，由此進(jìn)行基板1的定位。如圖5中箭頭G所示，上述一對定位部件89b通過設(shè)于定位裝置的驅(qū)動裝置而移動，彼此的間隔方向的距離可變。上述一對定位部件89b在將基板1從兩側(cè)夾入而定位以后，以彼此離開的方式移動，退避到不成為基板1的下一搬運動作的障礙的位置。
另外，作為定位裝置，不限于上述構(gòu)成，例如，可采用由在兩塊平行板之間夾入基板的第一定位裝置、在方向與該第一定位裝置相差90度的兩塊平行板之間夾入基板的第二定位裝置構(gòu)成的眾所周知的構(gòu)成等。大氣機械手88在將基板1載置于定位用臺89上之后，將大氣門8 關(guān)閉，將負(fù)載鎖定腔室82內(nèi)減壓。與此同時，進(jìn)行定位用臺89上的基板1的定位。而且，在減壓完成以后，將中間門8 敞開，由真空機械手86將在定位用臺89上完成定位后的基板1搬入多個處理室8 8 中的任一室內(nèi)進(jìn)行處理。另外，負(fù)載鎖定腔室82內(nèi)的減壓開始也可以為定位用臺89上的基板1的定位開始之前、定位完成后、定位動作中的任一定時。中間門85b 僅在負(fù)載鎖定腔室82與傳送腔室83之間的基板1的移送時敞開?；?的處理按照賦膜等處理工序，將從處理室取出的基板1搬入另一處理室 (或者，搬入原來的處理室)來進(jìn)行?；?相對于處理室的搬入搬出由真空機械手86進(jìn)行。另外，在將從處理室取出后的基板1搬入另一處理室(或者，搬入原處理室)的情況下，將從處理室取出的基板1暫時經(jīng)過定位用臺89的定位后，放入另一處理室。如果處理工序完成，則真空機械手86將基板1從處理室取出，載置在負(fù)載鎖定腔室82內(nèi)的定位用臺89上。此時，中間門8 敞開，大氣門8 關(guān)閉。此后，將中間門8 關(guān)閉，進(jìn)行負(fù)載鎖定腔室82內(nèi)的向大氣壓的升壓及定位用臺89上的基板1的定位。此后， 將大氣門8 敞開，由大氣機械手88將基板1搬出真空裝置81外。如圖4、圖5所示，定位用臺89具有在臺板89a上的多個部位突出設(shè)置的自由滾珠軸承110。在該自由滾珠軸承110的上部突出有旋轉(zhuǎn)自如的主球42(參照圖1)。基板1 在載置于該主球42之上的狀態(tài)下被水平支承。在這種情況下，相對于基板1的摩擦阻力極小，故而能夠順暢地進(jìn)行基板1的基于定位裝置的定位。接著，對軸承單元100進(jìn)行說明。如圖1所示，該軸承單元100具有安裝于定位用臺89的臺板89a(軸承安裝板、軸承支承體)的多個部位的上述自由滾珠軸承110、按壓用驅(qū)動裝置70、罩部件120。按壓用驅(qū)動裝置70設(shè)置在與上面89c側(cè)(表面?zhèn)?、?jīng)由上述臺板89a而設(shè)有上述自由滾珠軸承 110的殼體30的側(cè)、圖1上側(cè))相反的下面89d(背面)側(cè)。按壓用驅(qū)動裝置70使驅(qū)動力傳遞桿62以向上述臺板89a的背面89d側(cè)的突出尺寸增大的方式移動。罩部件120安裝在上述臺板89a的背面89d。該罩部件120對上述自由滾珠軸承110的驅(qū)動力傳遞桿62 (后述)的突出于臺板89a的背面89d側(cè)的部分(背面?zhèn)韧怀霾?2a)及上述按壓用驅(qū)動裝置 70—并覆蓋。如圖1所示，在此說明的自由滾珠軸承110具備主體20、殼體30、多個支承球41、 主球42、支承球扣環(huán)50、彈簧61 (復(fù)位裝置)。主體20具有形成有以半球狀凹面21為內(nèi)面的球支承用凹部22的塊狀(具體而言，圓柱狀)球支承部23及從該球支承部23的上述球支承用凹部22的開口部相反側(cè)(基端側(cè))的端部突出的絲杠軸對。殼體30以包圍該主體20的上述球支承部23的方式設(shè)置。 多個支承球41配置在上述球支承部23的上述半球狀凹面21。主球42的直徑比該支承球 41大。主球42經(jīng)由上述支承球41旋轉(zhuǎn)自如地支承于上述半球狀凹面21。支承球扣環(huán)50在確保于上述球支承部23與上述殼體30之間的內(nèi)側(cè)空間11內(nèi)，可沿與上述球支承用凹部22的深度方向一致的方向即軸承高度方向(在圖1中，上下方向， 主球42突出的方向)移動。彈簧61 (復(fù)位裝置)組裝在上述殼體30的內(nèi)側(cè)，對上述支承球扣環(huán)50在上述軸承高度方向上向上述內(nèi)側(cè)空間的基端側(cè)相反的方向彈性施力。上述主球42的一部分從形成于上述殼體30的主球突出用開口部31突出。通過該殼體30防止上述主球42飛出。作為彈簧61，除了采用螺旋彈簧以外，也可采用板簧等。另外，在本說明書中，將主球42的一部分從自由滾珠軸承110的殼體30突出的方向設(shè)為軸承前端側(cè)(圖1中，上側(cè)。也簡稱為前端側(cè))來使用，將該軸承前端側(cè)相反的側(cè) (圖1中，下側(cè))設(shè)為軸承基端側(cè)(也簡稱為基端側(cè))來使用。上述殼體30的主球突出用開口部31的內(nèi)徑比主球42的外徑小。在球42被與主體20的球支承部23的半球狀凹面21接觸的多個支承球41支承且不自上述支承球41浮起的狀態(tài)下，設(shè)定該主球突出用開口部31的內(nèi)徑，以使其在主球突出用開口部31的內(nèi)周面與主球42之間，確?？墒怪髑?2游動的間隙C。在圖1中，符號20a所示的假想線為上述主體20的絲杠軸M的中心軸線。上述主體20的上述球支承用凹部22的開口部中央及上述球支承用凹部22的最深部位于上述中心軸線20a上。另外，該中心軸線20a為穿過上述主球的中心且沿著上述主球突出的方向的軸。以下，也將上述中心軸線20a稱為主體軸線(單元中心軸)。在圖1中，該自由滾珠軸承110將絲杠軸M旋入基板定位用臺89的臺板89a，球支承用凹部22的開口部位于球支承部23的上部。主體軸線20a以成為垂直于臺板89a(垂直于臺板89a的上面89c)的方向的方式固定。但是，該自由滾珠軸承110也能夠以球支承用凹部22的開口部位于球支承部23 的上側(cè)且主體軸線20a傾斜的朝向來使用。另外，也能夠以軸承高度方向成為水平的朝向來使用。例如，在以軸承高度方向成為水平的朝向而使用的情況下，主球42也可通過支承球41支承而全方向地旋轉(zhuǎn)。在該狀態(tài)下，如后所述，只要通過支承球扣環(huán)50進(jìn)行支承球41 的壓入，主球42的旋轉(zhuǎn)阻力就小，主球42就能夠以輕輕的力順暢地旋轉(zhuǎn)。在圖1中，作為本實施方式的自由滾珠軸承110的主體20、殼體30、支承球41及主球42、支承球扣環(huán)50，可采用金屬制的、塑料制的等。另外，在基板1與主球42接觸時防止基板1所帶的靜電造成的火花的發(fā)生這一點上，主球42以具有IO3 IOkiQ / 口(每單位面積的電阻ohm per square)的表面電阻率的方式由導(dǎo)電性(狹義的導(dǎo)電性)或半導(dǎo)電性樹脂構(gòu)成，另外，也可以設(shè)置與該主球42相接的接地用通電部。例如，采用具有上述的IO3 1(ΓΩ/ □的表面電阻率的主球42，且采用由不銹鋼等導(dǎo)電性金屬形成的支承球41，另外，作為主體20，也可以由不銹鋼等導(dǎo)電性金屬形成其整體?；蛘?，也可以在塑料等絕緣材料的母材上設(shè)有與支承球41相接并確保電導(dǎo)通的導(dǎo)電性金屬制的接觸部件(形成有半球狀凹面的部件)和與該接觸部件電連接的接地用配線部。在該情況的自由滾珠軸承中，支承球41和主體20成為接地用通電部。通過將接地用通電部與自由滾珠軸承外部的接地用電路連接并接地，能夠防止基板1與主球42相接時的火花的發(fā)生。由于火花的發(fā)生成為基板1損傷的原因，因此通過采用上述構(gòu)成的自由滾珠軸承110，能夠防止火花引起的基板1的損傷，能夠?qū)崿F(xiàn)產(chǎn)品成品率的提高等。支承球41、主體20也可由半導(dǎo)電性樹脂構(gòu)成。另外，圖示例的自由滾珠軸承110在主體20上一體成形有作為安裝部的絲杠軸 24。因此，絲杠軸M為與主體20相同的導(dǎo)電性或半導(dǎo)電性樹脂，但也可分體地構(gòu)成絲杠軸。 在該情況下，也可由導(dǎo)電性金屬構(gòu)成絲杠軸的一部分。作為形成主球42的導(dǎo)電性樹脂材料，可采用在基體樹脂內(nèi)分散混有導(dǎo)電性金屬填充物的材料、及在基體樹脂內(nèi)添加有防靜電聚合物的材料等。通過這種材料，具有IO3 101° Ω / □的表面電阻率。作為基體樹脂，可采用Ρ0Μ(聚甲醛)、PAI (聚酰胺酰亞胺)、 PBI (聚苯并咪唑)、PCTFE (聚氯三氟乙烯)、PEEK (聚醚醚酮)、PEI (聚醚酰亞胺)、PI (聚酰亞胺)、PPS(聚苯硫醚)、蜜胺樹脂、芳香族聚酰胺樹脂(聚酰胺樹脂)等。另外，也可使用LCP (液晶聚合物)、PBT(聚丁烯對苯二甲酸酯)、PES(聚醚砜)、其他樹脂。在對于真空裝置內(nèi)的環(huán)境的特性穩(wěn)定性等方面，優(yōu)選超強耐熱性塑料( 7 全芳香族聚酰亞胺樹脂即杜邦公司的注冊商標(biāo))及PBI。關(guān)于主體20及殼體30、支承球扣環(huán)50，也可由同樣的導(dǎo)電性樹脂材料形成。另外，根據(jù)工件(搬運物)的重量及特性，主球42的材料也可以使用不銹鋼等導(dǎo)電性金屬。特別是，在工件的重量較大的情況下，主球42、支承球41及主體20也可以全部由不銹鋼形成，以提高支承其荷重。此外，根據(jù)必要的傳導(dǎo)性、荷重特性、成本等必要條件， 也可以采用主球42為不銹鋼，支承球41和主體20為樹脂的構(gòu)成，還可以采用主球42、支承球41及主體20都為樹脂的構(gòu)成。另外，導(dǎo)電性樹脂是指與絕緣性樹脂對比的廣義的意思，包含所謂的半導(dǎo)電性樹脂和狹義的導(dǎo)電性樹脂。通常，體積電阻率為IO13Qcm程度以下的合成樹脂在與絕緣性樹脂對比的廣義上可稱為導(dǎo)電性樹脂。其中，體積電阻率為IO5 IO13 Ω cm程度的樹脂可稱為半導(dǎo)電性樹脂， 另外，體積電阻率為IO5 IOuiQcm程度的樹脂作為適合控制靜電阻礙的半導(dǎo)電性樹脂，也可稱作抗靜電性樹脂。以該意思來理解，在本實施方式的自由滾珠軸承中，構(gòu)成主球等的導(dǎo)電性樹脂(導(dǎo)電性樹脂成形件)也可稱為導(dǎo)電性或抗靜電性樹脂。另外，作為本實施方式的自由滾珠軸承的主體20、殼體30、支承球41及主球42、支承球扣環(huán)50，也可由不具有導(dǎo)電性、半導(dǎo)電性的材質(zhì)(例如，金屬、塑料等)形成。如圖1所示，主體20的絲杠軸M從塊狀(具體而言，圓柱狀)的球支承部23的基端側(cè)的端面(底面23a)突出。換言之，上述主體20為在絲杠軸M的一端突出設(shè)有比該絲杠軸M粗的外觀圓柱狀的球支承部23的構(gòu)成。在圖示例的自由滾珠軸承110中，上述殼體30的具體構(gòu)成如下。在上述主體20 的上述絲杠軸M上擰合有環(huán)狀的基端側(cè)殼體部件32的外周部。在該殼體部件32上嵌合形成有上述主球突出用開口部31的環(huán)狀帽33而一體化。上述基端側(cè)殼體部件32為在環(huán)狀底板32a的外周設(shè)有向該底板32a的一面?zhèn)韧怀龅闹鼙诓?2b的構(gòu)成。而且，該基端側(cè)殼體部件32通過貫通上述底板32a的中央部的內(nèi)螺紋孔32c擰合安裝在上述絲杠軸M的外側(cè)?；藗?cè)殼體部件32的周壁部32b以包圍主體20的球支承部23周圍的方式配置。另外，在圖1中，基端側(cè)殼體部件32的底板3 與球支承部23的底面23a抵接。另一方面，在帽33中，在形成有上述主球突出用開口部31的環(huán)狀蓋板部33a的外周設(shè)有向該蓋板部33a的一面?zhèn)韧怀龅膫?cè)壁部33b。周設(shè)于上述側(cè)壁部33b的內(nèi)周側(cè)的卡合突起33c進(jìn)入周設(shè)于基端側(cè)殼體部件32的周壁部32b的外周側(cè)的卡合突起32d的基端側(cè)而卡合。這樣，通過與上述基端側(cè)殼體部件32嵌合，蓋板部33a覆蓋上述主體20的球支承部23的球支承用凹部22的開口部的周圍的端面(前端面23b)。上述基端側(cè)殼體部件32的卡合突起32d及上述帽33的卡合突起33c作為用于使帽33與基端側(cè)殼體部件32嵌合(結(jié)合)而一體化的結(jié)合部發(fā)揮作用。如圖1所示，支承球扣環(huán)50為環(huán)狀的部件，外插于主體20的球支承部23，沿軸承高度方向可移動地收納在上述球支承部23與殼體30之間的內(nèi)側(cè)空間11。該支承球扣環(huán)50具備主體環(huán)53、基端側(cè)環(huán)部M、按壓片55。主體環(huán)53具有環(huán)狀頂板部51及圓筒部52，所述環(huán)狀頂板部51配置在帽33的蓋板部33a與球支承部23的前端面2 之間(內(nèi)側(cè)空間11的前端側(cè)空間部Ila)，所述圓筒部52遍及該環(huán)狀頂板部51的整個外周，在環(huán)狀頂板部51的一面?zhèn)壤郀钔辉O(shè)，其軸承基端側(cè)的端部配置在上述內(nèi)側(cè)空間11中于球支承部23的外周面23c和與該外周面23c對面的殼體30的內(nèi)周面34之間確保的部分即環(huán)狀空間部lib?；藗?cè)環(huán)部M從該主體環(huán)53的圓筒部52側(cè)的端部(圓筒部52的軸承基端側(cè)的端部)延伸，配置在上述環(huán)狀空間部lib。環(huán)狀按壓片55遍及上述主體環(huán)53的環(huán)狀頂板部51的內(nèi)周端的整周，肋狀突設(shè)， 插入上述主體20的上述半球狀凹面21與上述主球42之間，將上述支承球41壓入。該自由滾珠軸承110還包含驅(qū)動力傳遞桿62和桿驅(qū)動用板63。驅(qū)動力傳遞桿62 (以下也簡稱為桿)固定在上述支承球扣環(huán)50的外周部(具體而言，基端側(cè)環(huán)部，從該支承球扣環(huán)50向軸承基端側(cè)延伸。桿驅(qū)動用板63設(shè)置在桿62的從上述殼體30的底板32向殼體30外側(cè)突出的部分。在該實施方式中，桿62及桿驅(qū)動用板63作為用于將按壓用驅(qū)動裝置70產(chǎn)生的驅(qū)動力傳遞到支承球扣環(huán)的驅(qū)動力傳遞部件發(fā)揮作用。桿62與支承球扣環(huán)50 —體地移動。以下，也將安裝有上述桿62的支承球扣環(huán)50稱為帶驅(qū)動桿的扣環(huán)。在圖示例的帶驅(qū)動桿的扣環(huán)中，在支承球扣環(huán)50的基端側(cè)環(huán)部54，以向其基端側(cè)的端面5 開口的方式形成有內(nèi)螺紋孔Md。通過將桿62的一端的外螺紋部62b旋入該內(nèi)螺紋孔Md，桿62固定在支承球扣環(huán) 50。桿62通過向與相對于內(nèi)螺紋孔54d的旋入方向相反的方向旋轉(zhuǎn)，也能夠脫離基端側(cè)環(huán)部M。作為桿62，為了防止桿驅(qū)動用板63脫離，可采用設(shè)于該桿62的另一端側(cè)并在該桿 62的外周凸緣狀地突出的防脫部62c(后述)為桿62的較粗地形成的一部分的構(gòu)成、上述防脫部62c擰合固定在桿62的防脫部62c以外的部分(棒狀的桿主體)的構(gòu)成。在后者構(gòu)成的情況下，作為用于將桿62 (桿主體)固定在支承球扣環(huán)50上的方法，不限定于上述的旋入，也可采用例如合成樹脂制的支承球扣環(huán)50的樹脂成形時的金屬制的桿62的一端向基端側(cè)環(huán)部M的埋入固定(插入模制成形)、金屬制的桿62相對于金屬制的支承球扣環(huán)50的基端側(cè)環(huán)部M的焊接等。在圖1中，自由滾珠軸承110在使突出設(shè)置于形成殼體30的上述內(nèi)周面34的外周壁的外周(具體而言，基端側(cè)殼體部件32的周壁部32b的外周)的凸緣部36與臺板89a的上面89c抵接的狀態(tài)下，密封固定在臺板89a上。該殼體32的底板3 與在上述臺板89a 上形成為對應(yīng)于上述底板32的大小的貫通孔(以下，安裝板貫通孔89e)位置對齊。圖中符號37為用于將凸緣部36固定于臺板89a的螺釘。在圖示例的自由滾珠軸承110中，上述殼體32的凸緣部36為將上述底板3 延長到基端側(cè)殼體部件32的周壁部32b外側(cè)的突片。但是，不局限于該構(gòu)成，也可采用如下的構(gòu)成等，例如，上述凸緣部36位于比上述底板3 更靠軸承前端側(cè)的位置，將殼體30中自上述凸緣部36偏向軸承基端側(cè)的部分插入臺板89a的安裝板貫通孔89e，從而將上述自由滾珠軸承110安裝于臺板89a。另外，殼體32相對于臺板89a的密封固定如下所述來實現(xiàn)。在位于上述臺板89a 的上述安裝板貫通孔89e周圍的部分，固定上述殼體32 (在本實施方式中，凸緣部36)，由此將上述安裝板貫通孔89e的周圍密封。由此，在由上述底板3 和臺板89a構(gòu)成的復(fù)合壁部130的、突出有上述自由滾珠軸承110的軸承前端側(cè)的表面?zhèn)认喾吹谋趁鎮(zhèn)?，能夠阻止通過桿驅(qū)動用板63和桿62的接觸(后述)而產(chǎn)生的微粒從上述罩部件120的內(nèi)側(cè)空間(收納按壓用驅(qū)動裝置70、驅(qū)動力傳遞桿62的背面?zhèn)韧怀霾? 的收納空間)穿過臺板89a和殼體32之間而飛濺到復(fù)合壁部130的表面?zhèn)鹊那闆r。另外，殼體32相對于臺板89a的密封固定不使用潤滑脂，避免從潤滑脂產(chǎn)生的逸出氣體造成的腔室(在此，負(fù)載鎖定腔室82)內(nèi)的污染。另外，根據(jù)需要，也可以使用0型環(huán)(圖示略)等，但作為0型環(huán)，與橡膠制的0型環(huán)相比，優(yōu)選使用金屬制的0型環(huán)。上述罩部件120形成為收納上述驅(qū)動力傳遞桿62的背面?zhèn)韧怀霾? 及上述按壓用驅(qū)動裝置70的容器狀。罩部件120的口緣部密封固定(根據(jù)需要，使用0型環(huán)(圖示略)等)在臺板89a的背面89d。該罩部件120將其口緣部密封固定在上述臺板89a的位于上述安裝板貫通孔89e周圍的部分，覆蓋按壓用驅(qū)動裝置70和驅(qū)動力傳遞桿62的背面?zhèn)韧怀霾?2a。按壓用驅(qū)動裝置70、驅(qū)動力傳遞桿62的背面?zhèn)韧怀霾? 收納在由罩部件 120和復(fù)合壁部130包圍的內(nèi)側(cè)的收納空間內(nèi)。圖中符號121為將罩部件120的突出設(shè)置于口緣部外周的凸緣部固定在臺板89a 的螺釘。另外，罩部件120相對于臺板89a的密封固定不使用潤滑脂，避免從潤滑脂產(chǎn)生的逸出氣體造成的腔室(在此，負(fù)載鎖定腔室82)內(nèi)污染。另外，作為0型環(huán)，與橡膠制的0 型環(huán)相比，優(yōu)選使用金屬制的0型環(huán)。上述桿62穿過形成于上述殼體32的底板32a的底板貫通孔32e，固定于上述支承球扣環(huán)50的一端(前端)側(cè)相反的另一端(基端)側(cè)向由上述底板3 和臺板89a構(gòu)成的復(fù)合壁部130的突出有上述自由滾珠軸承110的軸承前端側(cè)的表面?zhèn)认喾吹谋趁鎮(zhèn)韧?br> 出ο底板貫通孔32e以能夠在其內(nèi)周面與桿62外周面之間確保間隙的方式，使其截面尺寸(與其中心軸線方向正交的截面的大小)比桿62的截面尺寸稍大。優(yōu)選該截面尺寸不過大。作為底板貫通孔32e，例如可采用內(nèi)徑比桿62外徑稍大的圓孔。如果底板貫通孔32e的截面尺寸為能夠在其內(nèi)周面與桿62外周面之間確保間隙的大小，則能夠抑制或消除底板貫通孔32e內(nèi)面和桿62的接觸造成的微粒的產(chǎn)生。另外， 通過抑制底板貫通孔32e的截面尺寸不過大，不易產(chǎn)生從復(fù)合壁部130背面?zhèn)鹊臈U驅(qū)動用板63和桿62的接觸部等產(chǎn)生的微粒向自由滾珠軸承110的內(nèi)側(cè)空間11 (詳細(xì)而言，環(huán)狀空間部lib)的移動。其結(jié)果，能夠抑制來自殼體30的主球突出用開口部31的微粒的飛散 (飛散量的消減)。上述按壓用驅(qū)動裝置70配置在上述復(fù)合壁部130的背面?zhèn)?。由此，能夠?qū)ι鲜鰲U 62的突出于臺板89a的上述復(fù)合壁部130背面?zhèn)鹊牟糠旨幢趁鎮(zhèn)韧怀霾? 賦予使復(fù)合壁部130的背面?zhèn)鹊臈U62的突出尺寸增大的方向的位移力。具體而言，圖1例示的軸承單元100的按壓用驅(qū)動裝置70為電磁鐵，以下，也將該按壓用驅(qū)動裝置稱為電磁鐵。在背面?zhèn)韧徊?2f固定有電磁鐵70并將其配置在上述復(fù)合壁部130的背面?zhèn)?，該背面?zhèn)韧徊?2f在自由滾珠軸承110的殼體30的底板32的外周且在其外面?zhèn)?背面?zhèn)取?軸承基端側(cè)。內(nèi)側(cè)空間11相反的側(cè))環(huán)狀地突出設(shè)置并插入上述安裝板貫通孔89e，配置于上述復(fù)合壁部130的背面?zhèn)?。該電磁鐵70與設(shè)置于遠(yuǎn)離軸承單元100的位置的通電裝置140電連接。通過由該通電裝置140通電，在與固定在設(shè)于桿62的背面?zhèn)韧怀霾?2a的上述桿驅(qū)動用板63的永久磁鐵63a之間產(chǎn)生磁斥力，對桿62賦予使其從復(fù)合壁部130向背面?zhèn)鹊耐怀龀叽缭龃蟮姆较虻奈灰屏?。另外，在罩部?20內(nèi)確保有可實現(xiàn)上述桿62及桿驅(qū)動用板63的移動的大小的空間(收納空間)。上述桿62均等配置在支承球扣環(huán)50外周部的周向的三個以上的多個部位(具體而言，四個部位。參照圖2)而安裝，相互平行地設(shè)置。如圖2所示，各桿62內(nèi)插在形成于上述桿驅(qū)動用板63的貫通孔即桿插通孔63b 內(nèi)。上述桿驅(qū)動用板63由帶驅(qū)動桿扣環(huán)的多根桿62引導(dǎo)，在各桿62的基端(圖1中，下端)且在以向該桿62的外周伸出的方式突出設(shè)置的防脫部62c與上述電磁鐵70之間，可沿軸承高度方向移動。而且，在該軸承單元100中，當(dāng)對上述電磁鐵70通電，則通過上述磁斥力，上述桿驅(qū)動用板63按壓各桿62c的防脫部62c。由此，對桿62賦予使其從復(fù)合壁部130向背面?zhèn)鹊耐怀龀叽缭龃蟮姆较虻奈灰屏ΑＴ谏鲜鰲U驅(qū)動用板63上安裝上述永久磁鐵63a，成為帶磁鐵驅(qū)動用板。該板經(jīng)由電磁鐵70配置在復(fù)合壁部130的相反側(cè)，當(dāng)通過向電磁鐵70通電而使磁斥力發(fā)揮作用時， 賦予距復(fù)合壁部130的距離增大的方向的位移力。由此，對桿62賦予使其從復(fù)合壁部130 向背面?zhèn)鹊耐怀龀叽缭龃蟮姆较虻奈灰屏?。能夠從一個桿驅(qū)動用板63對多根桿62c賦予這種位移力。由此，能夠使向軸承基端側(cè)的位移力作用于支承球扣環(huán)50。這樣就能夠?qū)⑸鲜鲋С星蚩郗h(huán)50配置在由其按壓片55壓入支承球41的支承球按壓位置(圖1中，假想線所示的支承球扣環(huán)50的位置)。在不通過按壓用驅(qū)動裝置70對支承球扣環(huán)50作用向上述軸承基端側(cè)的位移力時
15(不對電磁鐵70通電時)，如圖1的實線所示，自由滾珠軸承110的支承球扣環(huán)50通過彈簧61的彈性，配置在按壓片55使球支承部23的支承球41自支承球按壓位置向帽33的蓋板部33a的側(cè)(內(nèi)側(cè)空間11的開放端側(cè))遠(yuǎn)離的位置(待機位置)。在圖示例的自由滾珠軸承110中，在支承球扣環(huán)50的主體環(huán)53和相對于該主體環(huán)53向其外周側(cè)稍偏移的基端側(cè)環(huán)部M之間的臺階部分，形成有抵接面56 (基端側(cè)環(huán)部 54的主體環(huán)側(cè)的端面)。該抵接面56通過彈簧61的彈性而從內(nèi)側(cè)空間11的基端側(cè)與向帽33的側(cè)壁部33b的內(nèi)周側(cè)伸出的突壁部35抵接的位置為支承球扣環(huán)50的待機位置。在支承球扣環(huán)50位于待機位置時，其環(huán)狀頂板部51不與帽33的蓋板部33a抵接，在帽33的蓋板部33a與環(huán)狀頂板部51之間確保微小的間隙。若為該構(gòu)成，則在支承球扣環(huán)50通過彈簧61的彈性從支承球按壓位置復(fù)位至待機位置時，不產(chǎn)生由帽33的蓋板部 33a和環(huán)狀頂板部51的接觸造成的微粒，因此有效地有助于抑制自由滾珠軸承的微粒的產(chǎn)生、抑制由自由滾珠軸承產(chǎn)生的微粒向真空室(在此，負(fù)載鎖定腔室)內(nèi)的飛散量。支承球扣環(huán)50的上述基端側(cè)環(huán)部M的內(nèi)徑設(shè)定為比球支承部23的外徑(圓筒面狀的外周面23c的直徑)稍大，以使其能夠在上述基端側(cè)環(huán)部M的內(nèi)周面5 與球支承部23的外周面23c之間確保微小的間隙。另外，上述基端側(cè)環(huán)部M的外徑設(shè)定為比殼體 30外周壁的內(nèi)徑(具體而言，帽33的側(cè)壁部33b的突壁部35以外的部分的內(nèi)徑；另外，殼體30的內(nèi)周面34不包含形成有突壁部35的部位)稍小，以能夠在上述基端側(cè)環(huán)部M的外周面54b與殼體30的內(nèi)周面34之間確保微小的間隙?；藗?cè)環(huán)部M內(nèi)徑與球支承部23外徑之差、基端側(cè)環(huán)部M外徑與殼體30的外周壁內(nèi)徑之差也可以相同。在該實施方式中，基端側(cè)環(huán)部M外徑與殼體30的外周壁內(nèi)徑之差比基端側(cè)環(huán)部M內(nèi)徑與球支承部23外徑之差大。在這種情況下，即使在上述基端側(cè)環(huán)部討的內(nèi)周面5 與球支承部23的外周面23c之間的間隙的范圍內(nèi)發(fā)生支承球扣環(huán)50 的擺動，上述基端側(cè)環(huán)部M也不與殼體30的內(nèi)周面34接觸。若為該構(gòu)成，則在支承球扣環(huán)50沿軸承高度方向移動時，能夠?qū)⑸鲜龌藗?cè)環(huán)部 54相對于球支承部23的接觸抑制得較少。因此，與例如基端側(cè)環(huán)部M的內(nèi)周面5 與球支承部23的外周面23c面接觸而滑動的構(gòu)成相比，在抑制微粒的產(chǎn)生這一點上是有利的。另外，在本實施方式中，也可采用基端側(cè)環(huán)部M外徑與殼體30的外周壁內(nèi)徑之差比基端側(cè)環(huán)部M內(nèi)徑與球支承部23外徑之差小的構(gòu)成。另外，在本實施方式中，基端側(cè)環(huán)部M內(nèi)徑與球支承部23外徑之差(內(nèi)外徑差) 及基端側(cè)環(huán)部M外徑與殼體30的外周壁內(nèi)徑之差(內(nèi)外徑差)中的至少一方允許在支承球扣環(huán)50上，在與軸承高度方向垂直的方向上相對于球支承部23進(jìn)行稍許游動(微動)， 在支承球扣環(huán)50不較大地偏斜的范圍內(nèi)進(jìn)行設(shè)定。這樣，通過將上述內(nèi)外徑差抑制得較小，不易產(chǎn)生從復(fù)合壁部130背面?zhèn)鹊臈U驅(qū)動用板63和桿62的接觸部等產(chǎn)生的微粒從自由滾珠軸承110內(nèi)的環(huán)狀空間部lib向前端側(cè)空間部Ila的移動。通過該構(gòu)成，能夠抑制來自殼體30的主球突出用開口部31的微粒的飛散(消減飛散量)。在基端側(cè)環(huán)部M與球支承部23的外周面23c之間、基端側(cè)環(huán)部M與殼體30的內(nèi)周面34之間不設(shè)置降低支承球扣環(huán)50的移動阻力的潤滑用的潤滑脂。這是為了避免從潤滑脂排放的逸出氣體造成的室內(nèi)污染。在支承球扣環(huán)50位于圖1所示的待機位置的狀態(tài)下，當(dāng)使從按壓用驅(qū)動裝置70經(jīng)由桿62向上述軸承基端側(cè)的位移力作用于支承球扣環(huán)50時，如圖1假想線所示，支承球扣環(huán)50從上述待機位置向上述支承球按壓位置移動。此時，支承球扣環(huán)50的按壓片55壓入球支承部23的支承球41。結(jié)果，球支承部23的支承球41的旋轉(zhuǎn)被抑制。作為其結(jié)果， 與不賦予向內(nèi)側(cè)空間11的基端側(cè)的位移力時相比，主球42的旋轉(zhuǎn)阻力增大。如圖1所示，上述支承球扣環(huán)50的按壓片55的外徑比球支承用凹部22的開口部的內(nèi)徑稍小。在支承球扣環(huán)50位于支承球按壓位置時，按壓片55不與球支承用凹部22的半球狀凹面21接觸。另外，在支承球扣環(huán)50位于支承球按壓位置時，按壓片55也不與主球42接觸。另外，此時，支承球扣環(huán)50的環(huán)狀頂板部51不與球支承部23 (詳細(xì)而言，其前端面23b)接觸。支承球扣環(huán)50在上述基端側(cè)環(huán)部M的內(nèi)周面5 與球支承部23的外周面23c 之間的間隙的范圍內(nèi)可擺動。該間隙的大小即基端側(cè)環(huán)部M內(nèi)徑與球支承部23外徑之差如下設(shè)定，即，在支承球扣環(huán)50位于支承球按壓位置時，按壓片55不與球支承用凹部22的半球狀凹面21接觸，也不與主球42接觸。若為該構(gòu)成，則不發(fā)生按壓片55和球支承部23的接觸、按壓片55和主球42的接觸、環(huán)狀頂板部51和球支承部23的接觸，不產(chǎn)生微粒。因此，有效地有助于抑制從主球突出用開口部31向殼體30外側(cè)的微粒的飛散(飛散量的消減)。另外，支承球扣環(huán)50的基端側(cè)環(huán)部M內(nèi)徑與球支承部23外徑之差如下設(shè)定，即， 在支承球扣環(huán)50位于待機位置時，也不產(chǎn)生按壓片55和球支承部23的接觸及按壓片55 和主球42的接觸。上述按壓片55從球支承部23的球支承用凹部22的開口部側(cè)插入上述半球狀凹面21與上述主球42之間，壓入上述支承球41。因此，該按壓片55壓入支承球41的位置 (支承球按壓位置)從球支承用凹部22的開口部移動到該球支承用凹部22的底部側(cè)的位置。另外，由于成為按壓片陽大致堵塞球支承用凹部22的開口部附近的內(nèi)面與上述主球 42之間的狀態(tài)，因此在該支承球按壓位置，不易產(chǎn)生由于按壓片55和支承球41的接觸而產(chǎn)生的微粒自球支承用凹部22的飛散。另外，在本實施方式中，在支承球扣環(huán)50位于待機位置時，按壓片55配置在可防止支承球41自上述球支承用凹部22飛出的位置。因此，在支承球扣環(huán)50位于待機位置時， 也維持按壓片陽大致堵塞球支承用凹部22的開口部附近的內(nèi)面與上述主球42之間的狀態(tài)。通過該構(gòu)成，按壓片55抑制微粒自球支承用凹部22的飛散。在圖4的軸承單元100中，定位用臺89在上述臺板89a的多個部位(多處)具有軸承組裝體部150。軸承組裝體部150具有自由滾珠軸承110和按壓用驅(qū)動裝置70和罩部件120。軸承單元100設(shè)置在支承臺板89a的腳部件89f上。而且，該定位用臺89在將載置于上述軸承單元100上的基板1支承在突出于各軸承組裝體部150的自由滾珠軸承110的向軸承前端側(cè)(上端側(cè))的主球42上的狀態(tài)下，由定位裝置進(jìn)行定位。另外，上述軸承組裝體部150其自身也可作為本實施方式的軸承單元發(fā)揮作用。另外，軸承單元100其自身也可作為本實施方式的支承臺發(fā)揮作用。在圖4例示的定位用臺89中，軸承單元100的各軸承組裝體部150的按壓用驅(qū)動裝置70 (按壓用驅(qū)動裝置70參照圖1)與一個通電裝置140電連接。由一個通電裝置140可實現(xiàn)全部的軸承組裝體部150的同步驅(qū)動。S卩，由一個通電裝置140同時且同步地進(jìn)行向按壓用驅(qū)動裝置70的通電實現(xiàn)的支承球扣環(huán)50 (參照圖1)從待機位置向支承球按壓位置的移動、通電停止實現(xiàn)的支承球扣環(huán)50向待機位置的復(fù)位(基于彈簧61彈性的復(fù)位)。如圖1所示，在圖示例的軸承單元100(軸承組裝體部150)中，在罩部件120的外面設(shè)有用于連接向電磁鐵70供電用的外部電氣電路141 (罩部件120外側(cè)的電氣電路)的供電用連接端子71。上述供電用連接端子71經(jīng)由設(shè)于上述罩部件120內(nèi)的導(dǎo)電電路72與上述電磁鐵70電連接。另外，圖1中符號142是為了將外部電氣電路141可與供電用連接端子71接觸、分離地連接而設(shè)于外部電氣電路141終端的端子。若為該構(gòu)成，則與例如經(jīng)由貫通罩部件120內(nèi)外的供電線而將設(shè)于真空室外側(cè)的通電裝置140電磁鐵70連接的構(gòu)成相比，容易實現(xiàn)罩部件120的密封性的確保，在防止罩部件120的內(nèi)側(cè)產(chǎn)生的微粒在復(fù)合壁部130背面?zhèn)鹊娘w散這一點上是理想的。另外，作為外部電氣電路141，為了抑制真空室內(nèi)的逸出氣體的產(chǎn)生，優(yōu)選利用金屬裸線及由導(dǎo)電性金屬構(gòu)成的棒狀、板狀等金屬部件(例如，基板定位用臺89的構(gòu)成部件) 等。另外，作為連接器142，也優(yōu)選使用例如利用陶瓷制殼體的構(gòu)成的連接器、及利用逸出氣體較少產(chǎn)生的塑料制殼體的構(gòu)成的連接器等。另外，也可采用不使用端子142而是通過軟釬焊等直接將利用金屬裸線及導(dǎo)電性金屬制的部件等構(gòu)成的外部電氣電路141與罩部件 120的供電用連接端子71電連接的構(gòu)成。作為罩部件120內(nèi)的導(dǎo)電電路72，也使用例如金屬裸線及由導(dǎo)電性金屬構(gòu)成的棒狀、板狀等金屬部件等，在抑制(或消減)逸出氣體的產(chǎn)生這一點上是理想的。如圖4、圖5所示，在基板定位用臺89中，在各自由滾珠軸承110的支承球扣環(huán)50 位于待機位置的狀態(tài)下，將基板1搬入臺板89a上。然后，進(jìn)行定位裝置的L形的一對定位部件89b實現(xiàn)的基板1的定位動作。即，由一對定位部件89b將基板1夾入。此后，將對應(yīng)于各自由滾珠軸承110而設(shè)置的按壓用驅(qū)動裝置70驅(qū)動(向電磁鐵70通電)，由支承球扣環(huán)50將支承球41壓入，成為抑制了支承球41及主球42的旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)。此后，將定位裝置的一對定位部件89b對基板1的夾入解除。真空機械手86(參照圖3)或大氣機械手88實現(xiàn)的自定位用臺89上的基板1的搬出在將一對定位部件89b對基板1的夾入解除之后進(jìn)行。在將基板1(特別是，尺寸較大的基板。例如，第七代尺寸(1870X2200mm)或比其更大型的FPD用玻璃基板)載置在臺板89a上時，往往存在微小的撓曲。在由多個定位部件 89b夾入而定位時，也大多不會消除上述撓曲。而且，在這種撓曲殘留的狀態(tài)下，當(dāng)使定位部件彼此之間分離而解除基板1的夾入時，往往因上述撓曲的影響而產(chǎn)生若干位置偏移。當(dāng)基板定位用臺89上的基板1的位置偏移大、且在由真空機械手86(參照圖幻等真空裝置 81內(nèi)的基板搬運裝置(處理室內(nèi)搬運裝置)搬入處理室內(nèi)以后也不消除時，也會對在處理室內(nèi)進(jìn)行的處理工藝帶來影響。因此，縮小或消除基板定位用臺89上的基板1的位置偏移在基板1的加工等處理精度的確保這一點上也是理想的。以來，作為基板定位用臺使用的自由滾珠軸承，要求主球的旋轉(zhuǎn)阻力盡可能地小。 但是，判明當(dāng)主球的旋轉(zhuǎn)阻力這樣地非常小時，在使夾入基板進(jìn)行定位的定位部件彼此之間分離而將基板1的夾入解除時，具有基板1的撓曲引起的位置偏移變大的傾向。本發(fā)明者發(fā)現(xiàn)，如上所述，通過在由支承球扣環(huán)50壓入支承球41成為抑制了支承球41及主球42的旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)之后，解除定位裝置的一對定位部件89b對基板1的夾入，能夠抑制或消除解除了定位部件對基板1的夾入之后的基板1的位置偏移。關(guān)于解除了定位部件對基板1的夾入之后的主球42的旋轉(zhuǎn)抑制，與以使主球42 不旋轉(zhuǎn)的方式固定相比，允許主球42相對于基板1的微動的追隨旋轉(zhuǎn)，通過主球42的旋轉(zhuǎn)阻力來抑制基板1的位移，故而是理想的。在這種情況下，能夠消除基板1的撓曲及緩和撓曲等引起的基板的應(yīng)力。另外，也能夠充分得到定位部件實現(xiàn)的夾入解除后的基板1整體的位置偏移抑制效果。因此，支承球扣環(huán)50對支承球41的壓入無需以使支承球41不旋轉(zhuǎn)的方式固定支承球41。抑制支承球41的旋轉(zhuǎn)，其結(jié)果，只要能夠抑制主球42的旋轉(zhuǎn)即可。因此，支承球41的壓入所需的作用于支承球扣環(huán)50的按壓力(換言之，向軸承基端側(cè)的位移力)無需是能夠以使其不旋轉(zhuǎn)的方式固定主球42的較強的力。在自由滾珠軸承110的支承球扣環(huán)50對支承球41的旋轉(zhuǎn)抑制時(壓入時)，與釋放時(將支承球扣環(huán)50配置在待機位置時)相比，可得到格外高的摩擦系數(shù)。因此，在抑制時也可采用以使主球不旋轉(zhuǎn)的方式固定的使用方法。在現(xiàn)有技術(shù)即專利文獻(xiàn)2的圖2 (a)、(b)記載的自由滾珠軸承(移送用球體支承裝置)中，容易產(chǎn)生通過蓋部件(專利文獻(xiàn)2中，符號5a)和加壓部件和腳狀部的接觸而產(chǎn)生的微粒的飛散。另一方面，根據(jù)本實施方式的軸承單元100，能夠容易地實現(xiàn)微粒的飛散抑制(飛散量的消減)。用于使支承球扣環(huán)50沿軸承高度方向移動的驅(qū)動裝置(按壓用驅(qū)動裝置)、用于將該按壓用驅(qū)動裝置的驅(qū)動力傳遞到安裝于支承球扣環(huán)50的桿62的部件即桿驅(qū)動用板63 和桿62的接觸部被配置于復(fù)合壁部130背面?zhèn)鹊恼植考?20覆蓋。因此，即使從按壓用驅(qū)動裝置及桿驅(qū)動用板63和桿62的接觸部產(chǎn)生微粒，該微粒也不飛散到復(fù)合壁部130的背面?zhèn)?。并且，按壓用?qū)動裝置及桿驅(qū)動用板63和桿62的接觸部位于遠(yuǎn)離殼體30的主球突出用開口部31的位置。因此，在該接觸部產(chǎn)生的微粒難以到達(dá)殼體30的主球突出用開口部31，難以產(chǎn)生自主球突出用開口部31的飛散。因此，有效地有助于抑制微粒自主球突出用開口部31的的飛散(飛散量的消減)。另外，在該軸承單元100中，如上所述，不會產(chǎn)生支承球扣環(huán)50的環(huán)狀頂板部51 和帽33的蓋板部33a的接觸、按壓片55和球支承部23的接觸、按壓片55和主球42的接觸、環(huán)狀頂板部51和球支承部23的接觸。這也有效地有助于抑制微粒自自由滾珠軸承110 的殼體30的主球突出用開口部31的飛散(飛散量的消減)。(第二實施方式)接著，參照圖6對本發(fā)明第二實施方式進(jìn)行說明。如圖6所示，該實施方式的軸承單元300采用電電機370 (旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置)作為按壓用驅(qū)動裝置。為了配置該軸承單元300，在定位用臺89的臺板89a的多個部位設(shè)置軸承組裝體部350。在軸承組裝體部350中，在臺板89a上設(shè)置自由滾珠軸承310、上述電動機 370、罩部件120。代替上述的第一實施方式中已說明的自由滾珠軸承110的支承球扣環(huán)50、殼體 30、驅(qū)動力傳遞桿62，在上述自由滾珠軸承310中具有支承球扣環(huán)50A、殼體330、驅(qū)動力傳遞軸371。
支承球扣環(huán)50A在其基端側(cè)具有帶卡合齒的環(huán)部3 (基端側(cè)環(huán)部)。在環(huán)部3M 的外周面54b具備齒輪卡合齒Me。齒輪卡合齒5 與固定在驅(qū)動力傳遞軸371 (驅(qū)動力傳遞桿)前端的蝸桿372(驅(qū)動力傳遞齒輪)嚙合，所述驅(qū)動力傳遞軸371(驅(qū)動力傳遞桿) 安裝在上述電動機370。在殼體330上形成有用于使上述驅(qū)動力傳遞軸371穿過的底板貫通孔33加。上述驅(qū)動力傳遞軸371與設(shè)于該殼體330內(nèi)的上述蝸桿372固定在一起。另外，與上述的第一實施方式不同，在該實施方式中，不設(shè)置彈簧61。除此之外，第一實施方式中已說明的自由滾珠軸承110和該實施方式的自由滾珠軸承310為大致相同的構(gòu)成。上述驅(qū)動力傳遞軸371通過向電動機370的驅(qū)動軸的插入等，可一體旋轉(zhuǎn)地安裝在上述驅(qū)動軸。上述驅(qū)動力傳遞軸371通過電動機370被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動。由于上述蝸桿372固定于驅(qū)動力傳遞軸371，因此上述驅(qū)動力傳遞軸371和蝸桿372通過電動機370而一體地旋轉(zhuǎn)。另外，圖6例示的支承球扣環(huán)50A的帶卡合齒的環(huán)部354與圖1例示的支承球扣環(huán)50的基端側(cè)環(huán)部M相比，軸承高度方向的尺寸短。但是，該尺寸可適當(dāng)設(shè)定，也可制成與第一實施方式的支承球扣環(huán)50的基端側(cè)環(huán)部M相同的尺寸。上述殼體330構(gòu)成為，將形成有上述主球突出用開口部31的環(huán)狀帽333在基端側(cè)殼體部件332的外周部嵌合而一體化?；藗?cè)殼體部件332與上述主體20的上述絲杠軸 24擰合。殼體330具有收納主體20的球支承部23這樣的形狀及配置。在基端側(cè)殼體部件332上形成有底板貫通孔33 。在殼體330中，在基端側(cè)殼體部件332和主體20的球支承部23的外周面23c和與該外周面23c面對的該殼體330的內(nèi)周面334之間，確保能夠收納上述蝸桿372的環(huán)狀空間部311b。在這一點上，本實施方式的殼體330和第一實施方式的殼體30不同。在其他方面，殼體30和殼體330大致相同。在圖6中，對與第一實施方式的自由滾珠軸承110的殼體30同樣的構(gòu)成部分標(biāo)注相同的符號。上述基端側(cè)殼體部件332為在環(huán)狀底板33 的外周設(shè)有用于與帽333卡合的卡合突起33c的整體板狀部件。而且，該基端側(cè)殼體部件332通過將上述底板33 的中央部貫通的內(nèi)螺紋孔32c擰合在上述絲杠軸M的外側(cè)，垂直(與主體20的中心軸線20a垂直) 地安裝在軸承高度方向上。另外，在圖1中，基端側(cè)殼體部件332的底板33 與球支承部 23的底面23a抵接。另一方面，帽333的構(gòu)成為，在形成有上述主球突出用開口部31的環(huán)狀的蓋板部 33a的外周設(shè)有向該蓋板部33a的一面?zhèn)韧怀龅膫?cè)壁部33b。通過使周設(shè)于上述側(cè)壁部3 內(nèi)周側(cè)的卡合突起33c進(jìn)入周設(shè)于基端側(cè)殼體部件332外周部的卡合突起32d的基端側(cè)而進(jìn)行卡合，與上述基端側(cè)殼體部件332嵌合。由蓋板部33a覆蓋上述主體20的球支承部23 的球支承用凹部22的開口部的周圍的端面(前端面23b)。與上述的第一實施方式同樣，在帽333的蓋板部33a與上述球支承部23之間確保前端側(cè)空間部11a。在殼體330與球支承部23之間，確保由上述前端側(cè)空間部Ila和與該前端側(cè)空間部Ila的外周部連通的上述環(huán)狀空間部311b構(gòu)成的內(nèi)側(cè)空間311。
另外，上述環(huán)狀空間部3lib的軸承前端側(cè)(圖6中，上側(cè))因向帽33的側(cè)壁部33b 的內(nèi)周側(cè)伸出的突壁部35，與比該突壁部35更靠軸承基端側(cè)的位置(圖6中，下側(cè))相比變窄。上述自由滾珠軸承310將主體20的絲杠軸M插入在臺板89a形成的貫通孔即軸承主體插通孔89i。通過與該絲杠軸M的在臺板89a背面?zhèn)韧怀龅牟糠謹(jǐn)Q合的螺母89 j的緊固，使殼體330的底板33 與臺板89a抵接而固定安裝在臺板89a上。圖6中符號8 為墊圈。另外，使在底板33 僅形成有一個的底板貫通孔33 與形成于臺板89a的貫通孔89h (安裝板貫通孔。以下也稱為軸插通孔)位置對齊并連通。上述軸插通孔89h形成為與底板貫通孔33 大致同等的內(nèi)徑。另外，在圖6中，臺板89a的內(nèi)螺紋孔89g(未圖示)既可以是貫通臺板89a的貫通孔，也可以是不貫通臺板89a的非貫通孔。為了確保更高的氣密性而優(yōu)選非貫通孔。將殼體330的底板33 和臺板89a合并設(shè)為復(fù)合壁部351。上述電動機370配置在臺板89a的背面?zhèn)?圖6中為下面。復(fù)合壁部351的背面?zhèn)?，固定設(shè)置在臺板89a。另外，在該軸承單元300、軸承組裝體部350中，使自由滾珠軸承310的上述驅(qū)動力傳遞軸371的從殼體330的底板33 的底板貫通孔33 向殼體330外側(cè)(軸承基端側(cè)) 突出的部分貫通臺板89a的軸插通孔89h，將其固定有蝸桿372的前端部相反的基端部安裝在臺板89a的背面?zhèn)鹊纳鲜鲭妱与姍C370的輸出軸。上述蝸桿372配置在自由滾珠軸承 310的環(huán)狀空間部311b內(nèi)，與支承球扣環(huán)50A的帶卡合齒環(huán)部3M的齒輪卡合齒5 嚙合。 而且，通過由電動機370將驅(qū)動力傳遞軸371旋轉(zhuǎn)驅(qū)動，能夠使支承球扣環(huán)50A沿軸承高度方向移動。即，支承球扣環(huán)50A的帶卡合齒的環(huán)部3M作為蝸輪發(fā)揮作用，通過固定有蝸桿 372的驅(qū)動力傳遞軸371的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動，支承球扣環(huán)50A沿軸承高度方向移動。上述電動電機370由安裝于復(fù)合壁部351背面的罩部件120覆蓋。在該電動機 370上經(jīng)由設(shè)于罩部件120的供電用連接端子71、罩部件120內(nèi)的導(dǎo)電電路72而電連接有自軸承單元300遠(yuǎn)離配置的通電裝置140。上述電動機370通過來自上述通電裝置140的供電，將上述驅(qū)動力傳遞軸371旋轉(zhuǎn)驅(qū)動。上述通電裝置140也作為控制上述電動電機370的驅(qū)動的控制裝置發(fā)揮作用。電動機370通過上述通電裝置140的控制，可切換驅(qū)動力傳遞軸371的旋轉(zhuǎn)方向的正反。由此，在該軸承單元300、軸承組裝體部350中，可實現(xiàn)支承球扣環(huán)50A從待機位置向支承球按壓位置的移動及從支承球按壓位置向待機位置的移動。在該實施方式中，按壓用驅(qū)動裝置(電動機370)配置在復(fù)合壁部351的背面?zhèn)龋?遠(yuǎn)離殼體330的主球突出用開口部31。因此，從按壓用驅(qū)動裝置產(chǎn)生的微粒不易到達(dá)殼體 330的主球突出用開口部31，有效地有助于抑制微粒自主球突出用開口部31的飛散(飛散量的消減)。另外，上述蝸桿372配置在支承球扣環(huán)50A的帶卡合齒的環(huán)部354與殼體330的內(nèi)周面334(經(jīng)由環(huán)狀空間部311b與球支承部23的外周面相對的殼體內(nèi)面)之間，蝸桿 372和支承球扣環(huán)50A的齒輪卡合齒Me的接觸點遠(yuǎn)離殼體330的主球突出用開口部31。 因此，即使從蝸桿372和支承球扣環(huán)50A的齒輪卡合齒5 的接觸點產(chǎn)生微粒，該微粒也不易到達(dá)主球突出用開口部31。因此，有效地有助于抑制微粒自主球突出用開口部31的飛散(飛散量的消減)。另外，優(yōu)選支承球扣環(huán)50A的帶卡合齒的環(huán)部3M與球支承部23的外周面之間的距離與第一實施方式同樣抑制得較小。該情況在本發(fā)明的另一實施方式中也同樣。另外，在圖示例中，對通過與支承球扣環(huán)50A的齒輪卡合齒5 嚙合的蝸桿372的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動使支承球扣環(huán)50A沿軸承高度方向移動的構(gòu)成進(jìn)行了例示，但本發(fā)明不限于此。 也可采用由電動機將與例如形成于支承球扣環(huán)50的基端側(cè)環(huán)部的外周面的齒條嚙合的小齒輪旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的構(gòu)成。(第三實施方式)參照圖7A、圖7B對本發(fā)明第三實施方式進(jìn)行說明。關(guān)于與第一、第二實施方式的共同點，省略說明，對不同之處進(jìn)行詳述。該實施方式的自由滾珠軸承410作為按壓用驅(qū)動裝置具有支承球扣環(huán)450、往復(fù)可動部件460 (可動體)、驅(qū)動力傳遞軸471。該自由滾珠軸承410的殼體430在其下端內(nèi)側(cè)具有內(nèi)螺紋?；w440具有大致圓盤狀的頂板部440a、大致圓筒狀的側(cè)面部440b、從側(cè)面部 440b的下端向徑向外側(cè)擴展的凸緣440c?；w440在其側(cè)面部440b的上部外側(cè)具有外螺紋。殼體430的內(nèi)螺紋夾著墊圈而與基體440的外螺紋擰合。球支承部23嵌入基體440的上面的凹部進(jìn)行固定。在基體440的內(nèi)部形成有圓筒形的缸空間441。在本實施方式中，缸空間441以與球支承部23同軸的方式配置在球支承部23的基端側(cè)。缸空間441的直徑比球支承部23 的直徑大。缸空間441向基端側(cè)開口。以包圍該開口 444的方式，在基體440的基部設(shè)有凸緣440c。凸緣440c具有多個用于將軸承單元固定安裝在未圖示的臺上的螺紋孔。在基體440的頂板部440a的外側(cè)端設(shè)有將頂板部440a沿單元中心軸向貫通的貫通孔443。在缸空間441中配置大致圓盤狀的往復(fù)可動部件(可動體)460。驅(qū)動力傳遞軸471具有螺紋部471a和包圍該螺紋部471a的大致圓筒形的軸套 471b。軸套471b為沿其長度方向具有大致恒定的外徑dl和內(nèi)徑d2的大致圓筒形。在軸套471b的基端設(shè)有其外徑為d3的軸套小徑部471bs。d3的大小為dl > d3 > d2。在軸套471b的外徑從dl變化到d3的邊界部存在軸套臺階部471bt。軸套471b沿單元中心軸向可滑動地嵌合在基體440的貫通孔443。軸套471b的基端側(cè)嵌合在后述的往復(fù)可動部件 460的貫通孔443。在該實施方式中，往復(fù)可動部件460的直徑稍小于缸空間441的內(nèi)徑。在這種情況下，在缸空間441的內(nèi)壁與往復(fù)可動部件460的外端之間存在間隙，不直接接觸。另一方面，作為變形例A，也可以使往復(fù)可動部件460的直徑與缸空間441的內(nèi)徑大致相同，形成往復(fù)可動部件460的外端與缸空間441的內(nèi)壁相接的形狀。在變形例A的情況下，往復(fù)可動部件460在缸空間441的內(nèi)部可僅沿單元中心軸向向前端方向和基端方向滑動。在往復(fù)可動部件460上形成有多個貫通孔463。該貫通孔463的上端(前端)的內(nèi)徑與軸套小徑部471bs的外徑d3大致相同。軸套臺階部471bt在貫通孔463的上端的周圍與往復(fù)可動部件460的上面相接。在往復(fù)可動部件460的上面開設(shè)彈簧孔462。彈簧孔462為圓筒形的孔，不將往復(fù)可動部件460沿其厚度方向貫通。彈簧孔462從往復(fù)可動部件460的上面插通到例如往復(fù)可動部件460的厚度的1/3的深度的底部。比彈簧孔462的深度長的彈簧461插入彈簧孔 462。彈簧461的基端側(cè)的端部與彈簧孔462的底部壓接。彈簧461的前端側(cè)的端部與基體440的頂板部440a的基端側(cè)面(圖7A的下面)壓接。通過該構(gòu)成，彈簧461相對于基體440將往復(fù)可動部件460向基端方向施力。往復(fù)可動部件460的貫通孔463配置在彈簧孔462的外側(cè)。貫通孔463以均等的間隔在圓周方向上配置有多個，最低為兩個，優(yōu)選為三個以上，例如四個或六個或其以上。 在貫通孔463多的情況下，具有往復(fù)可動部件460的動作的穩(wěn)定性增加的傾向，但制造成本升高。在圖7A、7B中，設(shè)有三個貫通孔463 (其中，在圖的剖面上僅可看到一個貫通孔463)。 以符合貫通孔463的數(shù)量和位置的方式，形成基體440的貫通孔443。驅(qū)動力傳遞軸471以將對應(yīng)的貫通孔443和貫通孔463的組的各組貫通的方式插通。通過驅(qū)動力傳遞軸471的軸套471b邊被貫通孔443的內(nèi)壁限制邊進(jìn)行摩擦移動，驅(qū)動力傳遞軸471的動作沿單元軸向被限制。在支承球扣環(huán)450的基端側(cè)環(huán)部4M的基端面形成有內(nèi)螺紋部4Mg。驅(qū)動力傳遞軸471的螺紋部471a的前端側(cè)端部與該內(nèi)螺紋部454g擰合。通過螺紋部471a向內(nèi)螺紋部454g內(nèi)的擰合，往復(fù)可動部件460和支承球扣環(huán)450經(jīng)由軸套471b而固定安裝。往復(fù)可動部件460的往復(fù)運動經(jīng)由驅(qū)動力傳遞軸471傳遞到支承球扣環(huán)450。因此，彈簧461的彈性作用力向基端方向壓下支承球扣環(huán)450。通過該作用，支承球扣環(huán)450 移動到支承球按壓位置，按壓片455以恒定的穩(wěn)定壓力壓下支承球(圖7B)。由此，進(jìn)行支承球的制動。該壓力通過適當(dāng)改變彈簧461的數(shù)量、彈簧461的強度及彈簧孔462的深度， 可調(diào)節(jié)到最佳程度。往復(fù)可動部件460基端側(cè)的底面中的至少一部分穿過基體440的基端側(cè)的開口 444在軸承單元400的基端外部露出。通過使例如頂桿與該露出部分抵接而上推，能夠使往復(fù)可動部件460向與彈簧461的彈性施力方向相對的方向(前端方向)移動(圖7A)。此時，支承球扣環(huán)450從支承球按壓位置沿單元軸向穩(wěn)定地移動到待機位置。在往復(fù)可動部件460與基體440的頂板部440a的下面(基端側(cè)面)抵接時，往復(fù)可動部件460的移動停止。伴隨于此，支承球扣環(huán)450的移動也穩(wěn)定，在一定的位置停止。在該構(gòu)成中，支承球扣環(huán)450不直接與其他部件抵接，而是穩(wěn)定地進(jìn)行待機位置的定位。因此，在本實施方式中， 從微粒的飛散抑制的觀點來看，可得到顯著的效果。(第四實施方式)參照圖8A、圖8B對本發(fā)明第四實施方式的自由滾珠軸承510進(jìn)行說明。關(guān)于與上述的第一至第三實施方式的共同點，省略說明，對不同之處進(jìn)行詳細(xì)說明。在本實施方式的自由滾珠軸承510中，殼體530的帽533和支承球扣環(huán)550為一體的部件。在該構(gòu)成中，與例如第三實施方式的構(gòu)成相比，零件數(shù)量較少，因此可得到制造成本顯著消減的效果。另外，在支承球扣環(huán)550從待機位置向按壓位置移動到基端側(cè)時，伴隨于此，帽533也向基端側(cè)移動。此時，也可以按照帽33的主球突出用開口部531與主球 42接觸的方式設(shè)定主球突出用開口部531的內(nèi)徑。在這種情況下，在支承球41及主球42的旋轉(zhuǎn)在按壓位置受到抑制時，主球突出用開口部531能夠支承主球42并使其穩(wěn)定。在對搬運物施加制動的情況下，沿著相對于單元中心軸的徑向，從搬運物產(chǎn)生向主球42的反作用力。在這種情況下，通過主球突出用開口部531對主球42的輔助支承，能夠使主球42更加穩(wěn)定。在本實施方式中，彈簧孔562及彈簧561在單元中心軸位置僅設(shè)有一個。在這種情況下，零件數(shù)量減少，能夠抑制制造工時數(shù)和成本。(第五實施方式)參照圖9A、9B、9C對本發(fā)明第五實施方式的自由滾珠軸承710進(jìn)行說明。關(guān)于與上述的第一至第四實施方式的共同點，省略說明，對不同之處進(jìn)行詳細(xì)說明。本實施方式的帽33與設(shè)于基體740的上端外周部的槽部嵌合。在殼體部件(外殼)732的側(cè)面內(nèi)側(cè)形成有內(nèi)螺紋。在基體740的側(cè)面外側(cè)形成有外螺紋?；w740的外螺紋與殼體部件732的內(nèi)螺紋擰合。在殼體部件732的基端側(cè)的中央凸出設(shè)置有絲杠軸724。在絲杠軸M的內(nèi)部形成有沿軸向貫通殼體部件732的檢查孔790。在該檢查孔790插通有連動部件701。連動部件701的形狀、材質(zhì)不作特別限定，但優(yōu)選利用例如不銹鋼制的低肩螺栓等。在往復(fù)可動部件760的中央形成有沿其厚度方向?qū)⑼鶑?fù)可動部件760貫通的貫通內(nèi)螺紋孔700a。連動部件701的前端側(cè)的螺紋部與往復(fù)可動部件760的貫通內(nèi)螺紋孔700a 擰合。如沿圖9A中的A-A面的俯視剖面圖即圖9C所示，在往復(fù)可動部件760上形成有九處彈簧孔762。在各彈簧孔762插入有彈簧763。彈簧孔762的數(shù)量不必為九個部位。優(yōu)選多個彈簧孔762配置為相對于往復(fù)可動部件760的中心軸作為整體成為點對稱的位置關(guān)系。另外，以配置于彈簧孔762彼此之間的方式形成有多個通氣貫通孔705。通氣貫通孔 705將往復(fù)可動部件760沿厚度方向貫通。在基體740的內(nèi)部形成有圓筒形的缸空間741。往復(fù)可動部件760的外徑與缸空間741的內(nèi)徑大致相同。通過往復(fù)可動部件760與缸空間741內(nèi)接，往復(fù)可動部件760的移動方向更穩(wěn)定地限制在軸向上。在本實施方式中，以往復(fù)可動部件760不氣密地密封缸空間741的方式設(shè)置上述通氣貫通孔705。由此，能夠保證往復(fù)可動部件760的自由移動。另外，為了防止主體內(nèi)部的空氣滯留，還形成有將殼體部件732的外面沿徑向貫通的多個外面通氣貫通孔712。本實施方式的支承球扣環(huán)750具備平板圓環(huán)狀的主體環(huán)753和按壓片755，但不具備基端側(cè)環(huán)部。主體環(huán)753的外徑為帽33的圓筒部的內(nèi)徑減去避免接觸摩擦(微粒產(chǎn)生) 的大小的間隙距離而得到的長度。在主體環(huán)753的外側(cè)端附近形成有收納螺紋部771a的頭部的形狀的研缽狀貫通孔780。驅(qū)動力傳遞軸771包含螺紋部771a和軸套771b。螺紋部771a以頭部成為前端側(cè)的朝向插通研缽狀貫通孔780，且插通軸套771b，其基端側(cè)的端部從前端側(cè)插入形成于往復(fù)可動部件760的貫通內(nèi)螺紋孔781進(jìn)行擰合。由此，支承球扣環(huán)750和往復(fù)可動部件760經(jīng)由驅(qū)動力傳遞軸771結(jié)合為一體。螺紋部771a的形狀可優(yōu)選使用例如埋頭螺釘。在該實施方式中，軸套771b插通于基體740的貫通孔這一點與上述的第三實施方式同樣。也可以采用軸套771b和基體740的貫通孔的內(nèi)面接觸而邊在軸向上被限制邊進(jìn)行摩擦移動的構(gòu)成，也可以按照不相互接觸的方式設(shè)置間隙。在該實施方式中，也可以使往復(fù)可動部件760的外徑與缸空間741的內(nèi)徑大致相同而形成往復(fù)可動部件460的外端與缸空間441的內(nèi)壁相接的形狀，還可以設(shè)置間隙來避免接觸。另外，在該實施方式中，也可以使連動部件701的外徑與檢查孔790的內(nèi)徑大致相同而形成連動部件701的外端與檢查孔790的內(nèi)壁相接的形狀，還可以設(shè)置間隙來避免接觸。在軸套771b中進(jìn)行了軸向的動作限制的情況下，軸套771b與支承球扣環(huán)750的距離近，因此可得到更穩(wěn)定的動作。在往復(fù)可動部件760或連動部件701中進(jìn)行了軸向的動作限制的情況下，能夠?qū)⒛Σ猎斐傻奈⒘．a(chǎn)生限定在缸空間741內(nèi)或比其更靠基端側(cè)的位置。通過按壓連動部件701的基端側(cè)的端部，能夠使往復(fù)可動部件760向前端側(cè)移動。 該按壓力和移動通過驅(qū)動力傳遞軸771向支承球扣環(huán)750傳遞，支承球扣環(huán)750從按壓位置移動到待機位置。當(dāng)停止連動部件701的基端側(cè)的端部的按壓時，通過彈簧763的作用力，往復(fù)可動部件760向基端側(cè)移動，通過驅(qū)動力傳遞軸771，支承球扣環(huán)750從待機位置移動到按壓位置。此時，在本實施方式中，往復(fù)可動部件760與缸空間741的基端側(cè)的底面 (圖9A中，殼體部件732的上面)接觸而停止。由此，防止彈簧的作用力過剩地發(fā)揮作用， 防止過剩的按壓力造成的支承球41的磨損。在適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行彈簧的作用力調(diào)節(jié)的情況下，也可以按照不與缸空間741的基端側(cè)的底面接觸的方式設(shè)定往復(fù)可動部件760的厚度。另外，通過將往復(fù)可動部件760上下翻轉(zhuǎn)而構(gòu)成，能夠?qū)椈?63的施力方向變更為反方向。在這種情況下，彈簧763的作用力使支承球扣環(huán)750移動到待機位置。對此，通過將連動部件701的基端側(cè)的端部向基端方向拉動，使支承球扣環(huán)750移動到按壓位置。(具有升降機構(gòu)的支承臺)如圖10所示，本發(fā)明的各實施方式的自由滾珠軸承110、710等也可用于具有升降機構(gòu)的支承臺。在這種情況下，支承臺具有多個筒狀的支承部件1200。在各個支承部件 1200的上端擰合有自由滾珠軸承110。全部的支承部件1200被升降臺1201—并支承。通過未圖示的升降機構(gòu)，升降臺1201可在保持水平的狀態(tài)下進(jìn)行升降。在載置臺1202上載置有玻璃基板等搬運物1203的狀態(tài)下，當(dāng)使升降臺1201上升時，多個自由滾珠軸承110在保持有搬運物1203的狀態(tài)下，從載置臺1202將搬運物1203抬高。此時，通過保持為抑制自由滾珠軸承110的主球的滾動的狀態(tài)，能夠穩(wěn)定地保持搬運物1203。在使升降臺1201上升后的狀態(tài)下，例如，能夠向未圖示的機械手臂等轉(zhuǎn)交搬運物1203。例如，優(yōu)選將上述第五實施方式的自由滾珠軸承710與該升降機構(gòu)組合。在這種情況下，自由滾珠軸承710通過內(nèi)置的彈簧，能夠總是以恒定的壓力將主球旋轉(zhuǎn)保持為抑制狀態(tài)。因此，在升降臺1201的升降中，也能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定的搬運物1203的保持。另外，僅從自由滾珠軸承710下部施加按壓，就能夠簡單地解除主球的旋轉(zhuǎn)抑制。按壓可利用例如缸等按壓部件1210來進(jìn)行。(第六實施方式)圖11是表示包含本實施方式的多個自由滾珠軸承110的轉(zhuǎn)臺90的變形例。該轉(zhuǎn)臺90具有板狀的基體部件91、安裝于該基體部件91并由突出設(shè)于該基體部件91上的多個(三個以上)自由滾珠軸承110可旋轉(zhuǎn)地支承的旋轉(zhuǎn)臺93、使該旋轉(zhuǎn)臺93 旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置92(電機)。省略圖示，在基體部件91上也設(shè)有按壓用驅(qū)動裝置、罩部件，構(gòu)成與第一實施方式的軸承單元同樣的構(gòu)成的軸承單元。旋轉(zhuǎn)臺93與自由滾珠軸承 110的主球42接觸并被支承。該轉(zhuǎn)臺也可以采用如下的構(gòu)成，S卩，使基體部件作為用于安裝自由滾珠軸承的軸承安裝板發(fā)揮作用，在該基體部件上安裝自由滾珠軸承，例如組裝上述第一 五實施方式的軸承單元中的任一個，由該軸承單元的自由滾珠軸承支承旋轉(zhuǎn)臺。作為本實施方式的軸承單元、支承臺，也可作為用于真空裝置的基板及其他物品的搬運的搬運裝置的一部分來使用。(各種變形例)本實施方式的軸承單元不限于臺板、真空室外壁為水平的構(gòu)成，也包含軸承安裝板從水平成為傾斜的方向(也包含豎直)的構(gòu)成。在這種情況下，可采用例如使自由滾珠軸承的主球與基板的外周的端面等工件的側(cè)面接觸的使用方式。作為軸承單元，也可采用例如在設(shè)于支柱狀的軸承支承體及環(huán)狀的軸承支承體的軸承安裝板上安裝有自由滾珠軸承的構(gòu)成，所述支柱狀的軸承支承體立設(shè)在真空室內(nèi)。作為基板以外的物品(工件)，可舉出例如精密加工后的彎板、管體、環(huán)等部件，本實施方式的軸承單元、支承臺也可適用于對這種部件進(jìn)行真空裝置的賦薄成及表面處理等時的真空裝置內(nèi)的搬運、支承、定位。另外，本實施方式的軸承單元也包含在軸承支承體的軸承安裝板上僅設(shè)有一個自由滾珠軸承的構(gòu)成。另外，在本實施方式中，也可采用如下的構(gòu)成等，例如，在圖11中，作為罩部件 120，采用由非磁性體(例如SUS304等)構(gòu)成的罩部件，通過配置于其外部(復(fù)合壁部背面?zhèn)?的電磁鐵(按壓用驅(qū)動裝置)，從罩部件120的外側(cè)，對由磁性體形成的桿驅(qū)動用板63 或由磁性體形成的桿62自身進(jìn)行磁吸引，可使支承球扣環(huán)從待機位置移動到支承球按壓位置。本申請基于2009年5月15日在日本提出申請的特愿2009-119285號主張優(yōu)先權(quán)， 在此援用其內(nèi)容。產(chǎn)業(yè)上的可利用性在本發(fā)明的自由滾珠軸承中，主球不損耗，沒有伴隨這種損耗的微粒的飛散。另外，由于不直接控制主球，因此不會對配置工件(被搬運物)的真空室、潔凈室等搬運環(huán)境排放上述微粒及從潤滑脂產(chǎn)生的逸出氣體。因此，能夠抑制搬運環(huán)境及基板等工件的污染。 另外，由于不直接將主球制動，因此能夠在正確地保持主球的位置的狀態(tài)下進(jìn)行制動。
2權(quán)利要求
1.一種軸承單元，其具備球支承部，其具有半球狀凹面；多個支承球，其配置在所述半球狀凹面，具有同一直徑Rl ； 一個主球，其旋轉(zhuǎn)自如地被所述多個支承球支承，具有比所述直徑Rl大的直徑R2 ； 殼體，其具有包圍所述球支承部的形狀，具有比所述直徑R2小的圓形開口部，以使所述主球的一部分從所述開口部、從基端側(cè)向前端側(cè)突出的方式配置； 支承球扣環(huán)，其配置在所述殼體內(nèi)部； 環(huán)形位移機構(gòu)，其與所述支承球扣環(huán)連接，其特征在于，所述支承球扣環(huán)在所述半球狀凹面與所述主球之間的內(nèi)側(cè)空間具有向所述基端側(cè)的方向插入的大致圓筒形的按壓片，所述支承球扣環(huán)通過所述環(huán)形位移機構(gòu)沿著穿過所述主球的中心且沿所述主球突出的方向的軸即單元中心軸，從按壓位置可移動到待機位置，在所述支承球扣環(huán)位于所述按壓位置時，所述按壓片按壓所述多個支承球，限制或抑制所述多個支承球的滾動，在所述支承球扣環(huán)位于所述待機位置時，解除所述按壓片對所述多個支承球的滾動的限制或抑制。
2.如權(quán)利要求1所述的軸承單元，其特征在于， 所述殼體在其基端側(cè)具有從外部貫通到內(nèi)部的檢查孔， 所述環(huán)形位移機構(gòu)具有彈簧，其通過將所述環(huán)形位移機構(gòu)向所述基端側(cè)彈性施力，使所述支承球扣環(huán)形位移到所述按壓位置；操作部位，其為面對所述環(huán)形位移機構(gòu)的所述檢查孔的部位，通過將所述環(huán)形位移機構(gòu)的所述操作部位向所述前端側(cè)按壓，所述支承球扣環(huán)形位移到所述待機位置。
3.如權(quán)利要求1或2所述的軸承單元，其特征在于，還具備基體部件，其收納在所述殼體內(nèi)的所述基端側(cè)，在內(nèi)部具有圓筒形的缸空間，具有將所述缸空間和所述殼體的內(nèi)部連通的貫通孔；可動體，其在所述缸空間內(nèi)沿所述單元中心軸可移動地配置；連接部件，其插通所述基體部件的所述貫通孔，將所述支承球扣環(huán)和所述可動體連接。
4.如權(quán)利要求3所述的軸承單元，其特征在于，所述彈簧以所述可動體相對于所述基體部件向所述基端側(cè)移動的方式施加彈性作用力，所述彈性作用力經(jīng)由所述連接部件向所述支承球扣環(huán)傳遞。
5.如權(quán)利要求1所述的軸承單元，其特征在于， 所述環(huán)形位移機構(gòu)具有彈簧，其將所述支承球扣環(huán)向所述前端側(cè)彈性施力；制動部件，其與所述環(huán)形位移機構(gòu)連接，使所述環(huán)形位移機構(gòu)朝向所述基端側(cè)位移到所述按壓位置。
6.如權(quán)利要求5所述的軸承單元，其特征在于，所述制動部件為對所述支承球扣環(huán)賦予向所述按壓位置的位移力的電磁鐵。
7.如權(quán)利要求1所述的軸承單元，其特征在于，所述環(huán)形位移機構(gòu)為通過電動機的驅(qū)動力使所述支承球扣環(huán)在所述按壓位置與所述待機位置之間可往復(fù)地位移的驅(qū)動裝置。
8.如權(quán)利要求7所述的軸承單元，其特征在于， 還具備保持所述殼體的軸承安裝板，所述環(huán)形位移機構(gòu)還包括驅(qū)動力傳遞桿，該驅(qū)動力傳遞桿插通安裝板貫通孔，該安裝板貫通孔貫通所述軸承安裝板，所述驅(qū)動裝置使所述驅(qū)動力傳遞桿繞軸旋轉(zhuǎn)，通過所述驅(qū)動力傳遞桿的所述旋轉(zhuǎn)，所述支承球扣環(huán)在所述按壓位置與所述待機位置之間可位移。
9.如權(quán)利要求1所述的軸承單元，其特征在于， 所述支承球扣環(huán)還具有環(huán)主體，其為與所述單元中心軸平行地延伸的圓筒形，沿所述球支承部的外側(cè)面配置；圓環(huán)形的環(huán)頂板部，其從所述環(huán)主體的所述前端側(cè)端部向內(nèi)側(cè)延伸， 所述按壓片與所述環(huán)頂板部的內(nèi)側(cè)端部連接，在所述支承球扣環(huán)位于所述待機位置時，所述按壓片的所述基端側(cè)的端部位于比所述球支承部的所述前端側(cè)的端部更靠基端側(cè)。
10.如權(quán)利要求1所述的軸承單元，其特征在于，所述支承球扣環(huán)還具有從所述環(huán)主體的所述基端側(cè)端部向外側(cè)突出的圓環(huán)形的伸出部，在所述待機位置，所述伸出部從基端側(cè)與所述殼體的內(nèi)面抵接。
11.如權(quán)利要求1所述的軸承單元，其特征在于，所述殼體具備在所述基端側(cè)突設(shè)的絲杠軸，在所述絲杠軸上設(shè)有供電用連接端子。
12.—種支承臺，其特征在于，權(quán)利要求1或2所述的軸承單元在該臺板上以突出狀態(tài)安裝在多個部位。
13.一種搬運設(shè)備，其特征在于，具備權(quán)利要求1或2所述的軸承單元及/或權(quán)利要求12所述的支承臺。
14.一種轉(zhuǎn)臺，其特征在于，具有由權(quán)利要求1或2所述的軸承單元及/或權(quán)利要求12所述的支承臺構(gòu)成的基體部件、可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在該基體部件上的旋轉(zhuǎn)臺。
全文摘要
本發(fā)明提供一種自由滾珠軸承、支承臺、搬運設(shè)備以及轉(zhuǎn)臺。該自由滾珠軸承(110)具有配置在殼體(30)內(nèi)部的支承球扣環(huán)(50)，支承球扣環(huán)(50)為了限制或抑制配置在半球狀凹面(21)的支承球(41、…41)的滾動或者解除該限制或抑制，能夠從限制或抑制支承球(41、…41)的滾動的位置(按壓位置)移動到解除對支承球(41、…41)的滾動的限制或抑制的位置(待機位置)，而且能夠從待機位置移動到按壓位置，并且具有根據(jù)其移動可在半球狀凹面(21)與主球(42)之間(配置有支承球(41、…41)的空間)出入的圓筒形的按壓片(55)，在支承球扣環(huán)(50)位于按壓位置時，按壓片(55)限制或抑制支承球(41、…41)的滾動；在支承球扣環(huán)(50)位于待機位置時，解除對支承球(41、…41)的滾動的限制或抑制。
文檔編號F16C29/04GK102421686SQ201080020880
公開日2012年4月18日 申請日期2010年5月13日 優(yōu)先權(quán)日2009年5月15日
發(fā)明者井口薰 申請人:株式會社井口機工制作所