專利名稱：真空反應(yīng)室隔離閥結(jié)構(gòu)改良的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型關(guān)于一種真空反應(yīng)室隔離閥結(jié)構(gòu)改良，在隔離閥內(nèi)的金屬軟管的外環(huán)套接套管，通過該套管的密封作用，從而能完全杜絕金屬軟管與制程氣體接觸。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)的隔離閥,請(qǐng)配合參閱圖I所示,主要由基座10、金屬軟管(Bellow管)12及氣缸13所組成，該金屬軟管12的后端連接有氣缸13，并在金屬軟管12與氣缸13之間設(shè)置彈簧(圖中未顯示)，利用氣缸13配合彈簧的伸縮而能控制金屬軟管12在基座10內(nèi)移動(dòng)， 使基座10形成導(dǎo)通或關(guān)閉，當(dāng)將氣缸13向后拉伸時(shí)，該金屬軟管12則逐漸退離基座10的導(dǎo)通口 101，進(jìn)而能開啟基座10的導(dǎo)通口 101使制程氣體釋出，且能利用氣缸13后端的行程控制裝置14，先將金屬軟管12內(nèi)的水分完全抽出后，再導(dǎo)通制程氣體以制作產(chǎn)品。然而，當(dāng)制程氣體接觸到金屬軟管12時(shí)，即會(huì)產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，造成產(chǎn)品污染，產(chǎn)生許多不良品，尤其是制程氣體流動(dòng)于金屬軟管之間，使金屬軟管12暴露于制程氣體中，常導(dǎo)致金屬軟管12因腐蝕而損壞無法使用，只能淘汰更換，制作成本相當(dāng)高且費(fèi)時(shí)費(fèi)力，雖然傳統(tǒng)隔離閥延用已久，但實(shí)際上仍具有以下缺失現(xiàn)有隔離閥的金屬軟管10長期暴露于制程氣體中，從而導(dǎo)致金屬軟管10腐蝕毀壞，造成金屬軟管10的效用極差且汰換率高。現(xiàn)有的金屬軟管12在使用時(shí)，直接接觸制程氣體，所以會(huì)產(chǎn)生許多微塵，該微塵通過制程氣體的流動(dòng)而污染產(chǎn)品，造成產(chǎn)品的不良率偏高。實(shí)用新型人基于傳統(tǒng)的金屬軟管在使用上的缺失，即其不僅成本高且效果差，并不能滿足所需，于是極力研發(fā)改良，并憑借本身的專業(yè)及多年來的工作經(jīng)驗(yàn)，再加上多次的試驗(yàn)、修正與改進(jìn)后，終于研發(fā)出一種保護(hù)裝置，不僅能提升良率，更能延長金屬軟管的使用壽命。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型涉及于一種真空反應(yīng)室隔離閥結(jié)構(gòu)改良，采用的技術(shù)方案為該真空反應(yīng)室隔離閥結(jié)構(gòu)改良，由基座、套管、金屬軟管、氣缸及油封所組成，其中，該金屬軟管套置入該套管中，且置入于該基座內(nèi)，該套管的前后端都利用該油封將該金屬軟管密封于該基座中空內(nèi)部，而該金屬軟管連接有該氣缸，通過該氣缸使該金屬軟管能在該基座內(nèi)移動(dòng)，而該套管套入該金屬軟管的外環(huán)側(cè)，能夠與前后端裝置的該油封將金屬軟管完全密閉。采用上述結(jié)構(gòu)，能夠完全阻隔金屬軟管接觸制程氣體，使隔離閥內(nèi)的金屬軟管不會(huì)因制程氣體的流動(dòng)或隔離閥的作動(dòng)而產(chǎn)生微塵，從而避免造成產(chǎn)品污染，且使金屬軟管不會(huì)因制程氣體反應(yīng)而腐蝕，不僅具有延長金屬軟管壽命的效果，還能夠確實(shí)降低產(chǎn)品的不良率，使用效果極佳。

[0009]圖I是現(xiàn)有隔離閥的組裝示意圖。圖2是本實(shí)用新型的立體分解圖。圖3是本實(shí)用新型的組裝示意圖。圖4是本實(shí)用新型套管組裝的放大圖。附圖標(biāo)記說明10_基座；101-導(dǎo)通口 ；12_金屬軟管；13-氣缸；14-行程控制裝置；20_基座；201_導(dǎo)通口 ；21_套管；22_金屬軟管；23_氣缸；24_行程控制裝置；3_油封。
具體實(shí)施方式
首先，請(qǐng)參閱圖2所示，是本實(shí)用新型的立體分解圖，該真空反應(yīng)室隔離閥主要由基座20、套管21、金屬軟管(Bellow管)22、氣缸23配合油封3所組成。套管21套入金屬軟管22的外環(huán)側(cè)，且在套管21的前后端都套設(shè)有抗氟油封3，從而能將金屬軟管22完全密閉，且將金屬軟管22置入基座20內(nèi)，位于金屬軟管22頂端連接有氣缸23，通過氣缸23使金屬軟管22能在基座20內(nèi)移動(dòng)，且在金屬軟管22與氣缸23之間設(shè)有彈簧(圖中未顯示)，氣缸23連接有行程控制裝置24，能夠控制套管21橫移的距離。該彈簧能夠配合氣缸23的移動(dòng)，進(jìn)而能控制金屬軟管22在基座20之間開啟或關(guān)閉導(dǎo)通口 201，再利用行程控制裝置24，能夠調(diào)整套管21橫移的距離，使金屬軟管22與套管21間能保留約2mm 6mm的間隙，用來清除管內(nèi)殘留的微量水氣，具體為在制程氣體導(dǎo)入前先行通氣約2 3小時(shí)，這樣能夠充分將管內(nèi)的水分完全由間隙排出。接著，請(qǐng)繼續(xù)參閱圖3并配合圖4所示，該基座20的導(dǎo)通口 201能夠控制真空反應(yīng)室的制程氣體流動(dòng)，所以制程氣體會(huì)與基座20內(nèi)金屬軟管22產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，此時(shí)將經(jīng)表面處理的鋁制套管21套入金屬軟管22的外環(huán)側(cè)，并在套管21的前后端都裝設(shè)抗氟油封3，從而能將金屬軟管22與制程氣體完全阻隔，當(dāng)開啟基座20使制程氣體導(dǎo)通時(shí)，利用套管21的保護(hù)使金屬軟管22不會(huì)受制程氣體的化學(xué)反應(yīng)而腐蝕或產(chǎn)生微塵，不僅能夠延長金屬軟管22的使用壽命，更能降低產(chǎn)品的不良率。因此本實(shí)用新型比傳統(tǒng)方式具有進(jìn)步性及實(shí)用性，使用上顯然具有如下的優(yōu)點(diǎn)本實(shí)用新型在金屬軟管22的外環(huán)側(cè)套置套管21，將金屬軟管22與制程氣體完全阻隔，能夠避免金屬軟管22腐蝕，從而能延長金屬軟管22的壽命。本實(shí)用新型在的套管21是鋁制并經(jīng)表面處理，套設(shè)在金屬軟管22的外環(huán)側(cè)，形成一層保護(hù)裝置，使金屬軟管22不會(huì)與制程氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而避免產(chǎn)生微塵，確實(shí)降低產(chǎn)品的不良率。綜上所述，本實(shí)用新型通過將套管套入金屬軟管的外環(huán)側(cè)，將制程氣體與金屬軟管完全阻隔，使金屬軟管不會(huì)與制程氣體直接接觸，能夠避免金屬軟管與氣體反應(yīng)而產(chǎn)生微塵造成產(chǎn)品污染，能確實(shí)降低產(chǎn)品的不良率，且申請(qǐng)前并未發(fā)現(xiàn)有相同的產(chǎn)品專利存在，也未見于刊物，符合新型專利的要件，故依法提出專利申請(qǐng)。
權(quán)利要求1.ー種真空反應(yīng)室隔離閥結(jié)構(gòu)改良，由基座、套管、金屬軟管、氣缸及油封所組成，其特征在于，該金屬軟管套置入該套管中，且置入于該基座內(nèi)，該套管的前后端都利用該油封將該金屬軟管密封于該基座中空內(nèi)部，而該金屬軟管連接有該氣缸，通過該氣缸使該金屬軟管能在該基座內(nèi)移動(dòng)，而該套管套入該金屬軟管的外環(huán)側(cè)，能夠與前后端裝置的該油封將金屬軟管完全密閉。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述真空反應(yīng)室隔離閥結(jié)構(gòu)改良，其特征在于，該氣缸連接有行程 控制裝置，能夠控制該套管橫移的距離。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種真空反應(yīng)室隔離閥結(jié)構(gòu)改良，在傳統(tǒng)隔離閥內(nèi)的金屬軟管的外環(huán)側(cè)套合鋁制套管，通過該特別的鋁制套管達(dá)到密封作用，將金屬軟管與制程氣體隔離，而能完全杜絕金屬軟管與制程氣體直接接觸，能夠避免金屬軟管與氣體反應(yīng)而產(chǎn)生微塵造成產(chǎn)品污染，確實(shí)降低產(chǎn)品的不良率，并利用套管形成一層保護(hù)裝置，使金屬軟管不受制程氣體反應(yīng)而腐蝕，達(dá)到延長金屬軟管的使用壽命，比傳統(tǒng)隔離閥具有明顯的進(jìn)步性與實(shí)用性。
文檔編號(hào)F16K3/24GK202402679SQ20112042780
公開日2012年8月29日 申請(qǐng)日期2011年11月2日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月2日
發(fā)明者許慶豐 申請(qǐng)人:許慶豐