流體控制器用執(zhí)行機構的制作方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及流體控制器用執(zhí)行機構，尤其涉及在流體控制器中對為了使流體通路打開或關閉而上下移動的閥桿進行驅(qū)動的流體控制器用執(zhí)行機構。
【背景技術】
[0002]流體控制器通常具有設置有流體通路的主體、開閉流體通路的閥體、通過上升或下降而使閥體向打開方向或關閉方向移動的閥桿、以及驅(qū)動閥桿的執(zhí)行機構。
[0003]流體控制器用執(zhí)行機構由將閥桿向上方或下方彈壓的彈壓部件、和使閥桿向上方或下方移動的活塞等構成。
[0004]專利文獻I公開了:在流體控制器用執(zhí)行機構中使用由多片圓盤狀隔膜簧組成的彈壓部件。具體來講，該專利文獻I的流體控制器用執(zhí)行機構具有:安裝在主體上方的外殼；由在中央部具有貫通孔的多片圓盤狀隔膜簧構成、并通過貫通孔的下側(cè)周緣部將閥桿向下方彈壓的彈壓部件；配置在閥桿上端面的圓柱狀可動部件；以能夠相對上下移動的方式嵌合于圓柱狀可動部件的外周、并承接彈壓部件的貫通孔的下側(cè)周緣部的彈簧支座；將彈壓部件的貫通孔的上側(cè)周緣部向下方推壓的內(nèi)側(cè)彈簧推壓件；將內(nèi)側(cè)彈簧推壓件固定在外殼上的多個螺栓；將彈壓部件的外周緣部向下方推壓的外側(cè)彈簧推壓件；以及通過導入操作氣體而將外側(cè)彈簧推壓件向下方推壓的操作氣體導入室。而且，彈壓部件在操作氣體未被導入操作氣體導入室的狀態(tài)下，以相對于自然狀態(tài)下的向下方凸出的形狀而凸出量變小的方式彈性變形，從而將閥桿向下方彈壓、將外側(cè)彈簧推壓環(huán)向上方彈壓，通過向操作氣體導入室導入操作氣體，外側(cè)彈簧推壓件被向下方推壓，從而使彈壓部件變形為向上方凸出的形狀。
[0005]現(xiàn)有技術文獻
[0006]專利文獻
[0007]專利文獻1:美國專利6，059, 259號

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]發(fā)明要解決的課題
[0009]根據(jù)上述專利文獻I的流體控制器用執(zhí)行機構，存在以下問題:需要通過多個螺栓將內(nèi)側(cè)彈簧推壓件固定在外殼上，結(jié)構復雜，組裝耗費工時。并且，還存在組裝后無法從外部調(diào)節(jié)彈壓部件的彈壓力的問題。
[0010]本發(fā)明的目的在于，提供一種流體控制器用執(zhí)行機構，不需要用于將內(nèi)側(cè)彈簧推壓件固定在外殼上的多個螺栓，因而結(jié)構簡單且組裝不耗費工時，并且組裝后能夠從外部調(diào)節(jié)彈壓部件的彈壓力。
[0011]解決課題的方法
[0012]本發(fā)明的流體控制器用執(zhí)行機構具有:安裝在主體上方的外殼；由在中央部具有貫通孔的多片圓盤狀隔膜簧構成、并通過貫通孔的下側(cè)周緣部將閥桿向下方彈壓的彈壓部件；將彈壓部件的貫通孔的上側(cè)周緣部向下方推壓的內(nèi)側(cè)彈簧推壓件；將彈壓部件的外周緣部向下方推壓的外側(cè)彈簧推壓件；以及通過導入操作氣體而將外側(cè)彈簧推壓件向下方推壓的操作氣體導入室，彈壓部件在操作氣體未被導入到操作氣體導入室的狀態(tài)下，相對于自然狀態(tài)下的向下方凸出的形狀，以凸出量變小的方式彈性變形，從而將閥桿向下方彈壓、將外側(cè)彈簧推壓環(huán)向上方彈壓；通過向操作氣體導入室導入操作氣體，外側(cè)彈簧推壓件被向下方推壓，從而使彈壓部件變形為向上方凸出的形狀，所述流體控制器用執(zhí)行機構的特征在于，內(nèi)側(cè)彈簧推壓件具有軸部和配置在軸部的下端部的圓筒部，通過圓筒部的下端推壓彈壓部件的貫通孔的上側(cè)周緣部，軸部將外側(cè)彈簧推壓件貫通后向上方延伸，在外殼的頂壁上螺合有調(diào)節(jié)螺釘，該調(diào)節(jié)螺釘?shù)南露伺c內(nèi)側(cè)彈簧推壓件的軸部的上表面抵接從而將內(nèi)側(cè)彈簧推壓件定位。
[0013]由于內(nèi)側(cè)彈簧推壓件的圓筒部的下端推壓彈壓部件，內(nèi)側(cè)彈簧推壓件的軸部的上表面通過調(diào)節(jié)螺釘而被定位，所以內(nèi)側(cè)彈簧推壓件被夾在調(diào)節(jié)螺釘與彈壓部件之間。因此，不需要用于固定內(nèi)側(cè)彈簧部件的多個螺栓，因而結(jié)構簡單且組裝不花費工時。而且，組裝后，通過改變調(diào)節(jié)螺釘?shù)穆萑肓浚軌驈耐獠空{(diào)節(jié)彈壓部件的彈壓力，能夠穩(wěn)定地得到關閉流體流入通路所需要的壓力。
[0014]優(yōu)選的是，在外殼的比外側(cè)彈簧推壓件靠上方的位置，固定有對面板(counterplate)，在外殼的頂壁與對面板之間配置有活塞，該活塞設有供內(nèi)側(cè)彈簧推壓件的軸部穿插的貫通孔，該活塞具有貫通對面板且下表面與外側(cè)彈簧推壓件的上表面抵接的下方突出部，導入操作氣體的操作氣體導入室設置在活塞的上側(cè)，操作氣體導入室內(nèi)的操作氣體，能夠從形成在內(nèi)側(cè)彈簧推壓件的軸部的外周面與活塞的貫通孔的周面之間的間隙而流入到外側(cè)彈簧推壓件的上表面上側(cè)，在導入操作氣體時，活塞以及外側(cè)彈簧推壓件雙方被操作氣體向下方推壓。
[0015]這樣，操作氣體導入室能夠僅為在活塞的上側(cè)設置的這一個操作氣體導入室，能夠使構造變得簡化。并且，由于操作氣體導入室內(nèi)的操作氣體流入到外側(cè)彈簧推壓件的上表面上側(cè)，所以外側(cè)彈簧推壓件被操作氣體向下方推壓，能夠加大將活塞以及外側(cè)彈簧推壓件向下方推壓的力，即使在為了可靠地進行流體通路的關閉操作而加大了彈壓部件的彈壓力的情況下，也能夠通過執(zhí)行機構的較小的輸出(操作氣體的壓力等)來可靠地進行流體通路的打開操作。
[0016]另外，在本說明書中，上下是指圖的上下(將流體控制器的主體一側(cè)設為下，將流體控制器用執(zhí)行機構的外殼一側(cè)設為上)，但該上下是為了方便說明，也存在上下顛倒、使上下變?yōu)樽笥襾硎褂玫那闆r。
[0017]發(fā)明的效果
[0018]根據(jù)本發(fā)明的流體控制器用執(zhí)行機構，由于內(nèi)側(cè)彈簧推壓件被夾在調(diào)節(jié)螺釘與彈壓部件之間，因此，不需要用于固定內(nèi)側(cè)彈簧部件的多個螺栓，因而結(jié)構簡單且組裝不花費工時。而且，組裝后，通過改變調(diào)節(jié)螺釘?shù)穆萑肓浚軌驈耐獠空{(diào)節(jié)彈壓部件的彈壓力，能夠穩(wěn)定地得到關閉流體流入通路所需要的壓力。
【附圖說明】
[0019]圖1是表示本發(fā)明的流體控制器用執(zhí)行機構的一個實施方式的垂直剖視圖，示出了流體通路關閉的狀態(tài)。
[0020]圖2示出了閥桿從圖1向上方移動而使流體通路打開的狀態(tài)。
[0021]附圖標記說明
[0022](I) 隔膜閥
[0023](2)主體
[0024](7)閥桿
[0025](9) 流體控制器用執(zhí)行機構
[0026](11)外殼
[0027](Ild)頂壁
[0028](12)彈壓部件
[0029](12a)貫通孔
[0030](15)內(nèi)側(cè)彈簧推壓件
[0031](16)外側(cè)彈簧推壓件
[0032](19)調(diào)節(jié)螺釘
[0033](20)操作氣體導入室
[0034](21)圓盤狀隔膜簧
[0035](22)軸部
[0036](23)圓筒部
【具體實施方式】
[0037]以下參照附圖對本發(fā)明的實施方式進行說明。
[0038]圖1和圖2示出了將本發(fā)明的流體控制器用執(zhí)行機構適用于隔膜閥的一種實施方式。
[0039]隔膜閥(I)具有:設置有流體流入通路(2a)以及流體流出通路(2b)的主體(2);通過閥蓋螺母(4)而被固定在主體(2)的上方的閥蓋(bonnet) (3);設置在流體流入通路(2a)的周緣的環(huán)狀閥座(5);通過被推壓在環(huán)狀閥座(5)上或遠離環(huán)狀閥座(5)來開閉流體通路(2a)的隔膜(閥體)(6);能夠移動地配置在閥蓋(3)內(nèi)并通過上升或下降使隔膜
(6)向打開方向或關閉方向移動的閥桿(7);配置在閥桿(7)的下端部并將隔膜(6)向下方推壓的隔膜推壓件(8);以及流體控制器用執(zhí)行機構(9)。
[0040]流體控制器用執(zhí)行機構(9)具有:通過閥蓋⑶安裝在主體⑵上的外殼(11);在中央部具有貫通孔(12a)、并配置在外殼(11)內(nèi)的下端部附近的圓盤狀的彈壓部件(12)，其中，在貫通孔(12a)中穿插有閥桿(7)的上端部；一體地設置在閥桿(7)的上端部附近、并承接彈壓部件(12)的貫通孔(12a)的下側(cè)周緣部的凸緣部(13);從下側(cè)與彈壓部件
(12)的貫通孔(12a)的下側(cè)周緣部相對的環(huán)狀的彈簧支座(14);將彈壓部件(12)的貫通孔(12a)的上側(cè)周緣部向下方推壓的內(nèi)側(cè)彈簧推壓件(15);以及將彈壓部件(12)的外周緣部向下方推壓的外側(cè)彈簧推壓件(16)。
[0041]外殼(11)由螺合在閥蓋(3)的上端部而固定的下部外殼(11a)、以及螺合在下部外殼(Ila)上的上部外殼(Ilb)構成。在下部外殼(Ila)與上部外殼(Ilb)的結(jié)合部分上配置有對面板(17)。對面板(17)由圓板狀的主體(17a)、和從主體(17a)的外周緣部向下方延伸的圓筒狀突出部(17b)構成。在圓筒狀突出部(17b)的外周面設置有外螺紋部，通過圓筒狀突出部(17b)的下部與設置在下部外殼(Ila)上的內(nèi)螺紋部相螺合，并且，設置在上部外殼(Ilb)上的內(nèi)螺紋部與圓筒狀突出部(17b)的上部相螺合，從而下部外殼(Ila)與上部外殼(Ilb)通過對面板(17)而結(jié)合起來。
[0042]彈壓部件(12)由多片(圖示為3片)圓盤狀隔膜簧(21)構成。各隔膜簧(21)在自然狀態(tài)下的形狀為圓錐狀，在中央部設置有貫通孔(21a)，從貫通孔(21a)呈放射狀地設置有多個槽(圖示略)。通過使各隔膜簧(21)從凸出的狀態(tài)變形為平坦或凸出量變小，從而隔膜簧(21)被付與要恢復到原來的凸出狀態(tài)的彈性力。圖1所示的各圓盤狀隔膜簧
(21)，相對于自然狀態(tài)以使凸出量變小的方式彈性變形，其中，在自然狀態(tài)下，各圓盤狀隔膜簧(21)成為中央部相對于周緣部凸出的形狀。
[0043]彈簧支座(14)以能夠相對上下移動的方式嵌合于閥桿(7)的凸緣部(13)的外周，并嵌入到設置在外殼(11)的底壁上的環(huán)狀凹處(IlC)而固定。彈簧支座(14)的上表面(14a)為隨著趨向于徑向外側(cè)而向上方移動的錐面。在圖1所示的狀態(tài)下，彈壓部件(12)的貫通孔(12a)的下側(cè)周緣部與閥桿(7)的凸緣部(13)的上表面相抵接，在彈壓部件(12)的貫通孔(12a)的下側(cè)周緣部與彈簧支座(14)的上表面(14a)之間，形成微小的間隙。
[0044]內(nèi)側(cè)彈簧推壓件(15)由軸部(22)和設置在軸部(22)的下端部的圓筒部(23)構成。圓筒部(23)的下表面(23a)為隨著趨向于徑向外側(cè)而向下方移動的錐面。圓筒部(23)的外徑與彈簧支座(14)的外徑大致相等。內(nèi)側(cè)彈簧推壓件(15)通過圓筒部(23)的下表面(23a)的外周部(圓筒部(23)的下端)將彈壓部件(12)向下方推壓。
[0045]外側(cè)彈簧推壓件(16)配置在